JPH0533243Y2 - - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 産業上の利用分野 本考案はワークの位置決め精度を維持する位置
決め装置、特に半導体ペレツト、磁気ヘツド等の
位置決め精度が問題となる様なワークの位置決め
に好適な位置決め装置に関する。

従来の技術 従来の位置決め装置の一例を第７図を参照しな
がら説明する。図において１は平面形状が略Ｌ形
で内角側を基準面とする位置決め体で基準面は研
磨されている。２は位置決め体の内角と同一の角
度をなす基準面をもつワーク、３はワークの基準
面の一面を位置決め体に押しつける第１押圧体、
４は３と直交して配置されワークの基準面のもう
一方を位置決め体に押しつける第２押圧体であ
る。

この装置の動作を以下の説明する。

位置決め体１の内角側にワーク２をセツトす
る。次に第１押圧体３と第２押圧体４によりワー
ク２を位置決め体１に押しつけることによりワー
ク３の２面を位置決め体１の基準面に倣わせて位
置決めするものである。

本考案が解決しようとする問題点 上記装置は異物５が位置決め体１とワーク２の
間にはさまつた場合逃げ場がなく、異物５の大き
さ以下の位置決め精度を維持できないという問題
があつた。また位置決め体１についた大型異物は
あらかじめ位置決め体１をエアブローすることに
より除去されるが、微小異物はエアブロー時に生
じる静電気によつて却つて付着力が増し、ワーク
２に付着した異物は除去できず、数10ミクロン程
度の位置ずれは許容しなければならないという問
題があつた。

問題点を解決するための手段 本考案は上記問題点を解決するために、平面形
状が略Ｌ形で内角側を基準面とする位置決め体に
おいて、基準面に穴を設け、かつ前記穴を通して
吸引することにより、位置決め体とワークの間に
はさまつた異物を除去し、位置決め精度を維持す
るものである。

作 用 位置決め体とワークの間の異物を吸引除去す
る。

実施例 以下に本考案の具体的実施例を第１図〜第６図
から説明する。

図において第７図と同一符号は同一物を示し、
説明を省略する。図中、第７図と相異するものに
ついて説明する。

１′は平面形状が略Ｌ形で内角側を基準面とす
る位置決め体で、その基準面に穴７を設け、かつ
前記穴７を通して吸引するための負圧源接続用穴
８が設けられている。６は位置決め体１′の一部
をなすふたで、前記穴７を通して吸引可能にす
る。また２−Ａはワークの第１基準面、２−Ｂは
ワークの第２基準面である。

以下この動作を説明する。

まず第１図に示す様に位置決め体１′の内角側
にワーク２をセツトする。次に第３図に示す様に
第１押圧体、３によりワークの第１基準面２−Ａ
を位置決め体１′に押しつける。さらに第４図に
示す様に第２押圧体４によりワークの第２基準面
２−Ｂを位置決め体１′に押しつけた状態で第１
の押圧体３でワーク２を押す。このときワークの
第１基準面２−Ａの異物５は位置決め体１′の穴
７，７間に当たつているため、ワーク２の移動に
より穴７内に追いこまれ、完全に除去される。こ
こで一旦第１押圧体３、第２押圧体４を開放し、
第１図に示す様に位置決め体１′の内角側にワー
ク２をセツトされた初期状態にもどし、今度は第
５図に示す様に第２押圧体４によりワークの第２
基準面２−Ｂを位置決め体１′に押しつける。さ
らに第６図に示す様に第１押圧体３によりワーク
の第１基準面を位置決め体１′に押しつける。こ
のきワークの基準面側の異物５は同様に完全に除
去され、位置決め体１′とワーク２を完全に密着
させることができ、異物５に影響されることなく
位置決め精度が維持される。

考案の効果 本考案によれば次の様な効果が得られる。

(1) 位置決め時にワークと位置決め板の間の異物
を完全除去できるので高精度の位置決めが可能
である。

(2) 従来必要さとれたエアブローなどの清掃作業
が不要となる。

【図面の簡単な説明】

第１図〜第６図は本考案の実施例を示し、第１
図は要部平面図、第２図は第１図におけるＡ−Ａ
断面図、第３図〜第６図は本考案説明図である。
第７図は従来方法の説明図を示す。 １′……位置決め体、２……ワーク、７……穴。

Claims (1)

1. 【実用新案登録請求の範囲】 ワークを基準面に押しつけて位置決めする位置
   決め装置において、略Ｌ字形で内角面を第１と第
   ２の基準面とする位置決め体と、 上記位置決め体の第１と第２の基準面に設けら
   れた吸引穴と第１の基準面にワークを摺動させる
   押圧体と第２の基準面にワークを摺動させる押圧
   体とからなることを特徴とする位置決め装置。