JPH0533060U - 金属探針 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 探針の半導体チップとの接触部が汚染や変形
を受けたときに簡単に補修できるようにする。 【構成】 アルミ線１を金属筒２の案内孔３内に通し、
その先端を金属筒から少し出してねじ６により固定す
る。アルミ線１の先端部が汚れた場合、アルミ線を引き
出して適当な長さで切断するようにする。

Description

【考案の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】

本考案は、金属探針に関し、特に、半導体チップの電気的特性を測定するため にチップ上のパッドに直接接触させる金属探針に関する。

【０００２】

【従来の技術】

この種従来の金属探針としては、図５に示されるような、パッドと接触する先 端部と、これを固定する機構へ取り付けられる軸部分とが一体となった金属針８ が用いられてきた。

【０００３】

【考案が解決しようとする課題】

上述した従来の金属針では、多数個のチップの特性をチェックすることによっ て針の先端部分が汚れたり、変形したりするため、パッドとの電気的接触を良好 に保つために、先端部分を研磨したり新しい針を交換したりする必要が生じる。

【０００４】 而して、新しい針と交換する場合や先端部分を研磨するために針を固定する機 構から取りはずす場合は、再取り付け時に精度よく位置決めをするためには多大 の手間を必要とする。また、固定する機構から取りはずさないで研磨する場合も 研磨のために探針の位置をずらさなければならない場合が多く、結局研磨後再度 位置決めをしなければならないので先の場合と同様に多大の手間を必要とする。

【０００５】

【課題を解決するための手段】

本考案の金属探針は、金属細線と、この金属細線をその先端部に案内する案内 孔を有する金属筒と、金属細線を金属筒の案内孔内に保持する保持機構と、を有 するものである。

【０００６】

【実施例】

次に、本考案の実施例について図面を参照して説明する。 図１は、本考案の第１の実施例を示す断面図である。同図に示されるように、 約２０μｍφのアルミ線１が、金属筒２の中央に形成された約２５μｍφの案内 孔３を通って一端が金属筒２の先端部から突出している。アルミ線１の他端は、 金属筒２に取り付けられたリール４に巻きとられている。また、金属筒２にはね じ穴５が設けられており、アルミ線１は、このねじ孔に螺合されるねじ６によっ て金属筒２に固定されている。

【０００７】 このように構成された金属探針では、パッドと接触するアルミ線１の先端部が 汚染されたり変形したりしても、金属筒２を支持機構から取りはずす必要はなく 、アルミ線を引き出し適当な箇所で切断すれば済むので、補修作業は著しく簡易 化される。

【０００８】 図２は、本考案の第２の実施例を示す断面図である。本実施例では、金属筒２ の案内孔３の中にこの孔に対して斜めに取り付けられた板ばね７によってアルミ 線１が金属筒２に固定されている。第２の実施例では、第１の実施例に比べて固 定状態は若干不安定となるが、アルミ線の先端を引き出すだけで固定位置が容易 に変更できるという利点がある。

【０００９】 図３は、本考案の第３の実施例を示す断面図である。本実施例では、板ばね７ として環状に加工されたものが用いられている。本実施例は、板ばねが金属筒２ の案内孔３に嵌着されるものであるので、板ばね７の金属筒２への取り付けが容 易化される。

【００１０】 図４は、本考案の第４の実施例を示す断面図である。本実施例では、アルミ線 １は、金属筒２の側面から斜めに明けられた案内孔を通った後に先端部に導かれ ている。

【００１１】 以上好ましい実施例について説明したが、本考案はこれら実施例に限定される ものではない。例えば、金属細線としてはアルミ線に代えて金線、燐青銅線等他 の材料のものを用いることができ、またリールは、金属筒に支持されるのではな く、金属筒の支持体に支持されるようにしてもよい。

【００１２】

【考案の効果】

以上説明したように、本考案の金属探針は、半導体チップとの接触部となる金 属細線を金属筒の案内孔内に通し、保持部材によって金属筒に着脱自在に保持し たものであり、金属細線の保持箇所を容易に変更できるようになされたものであ る。そのため、本考案によれば、チップ上のパッドと接触する先端部分が汚れた り、変形したりした場合、金属細線を金属筒部分から引き出し適当な長さで切断 することによって、簡単に補修を行うことができる。従って、探針の接触部が変 形や汚染を受けても探針全体を固定している機構を動かす必要がなくなり、探針 の補修時に位置決めのために多大な手間を必要とした不都合が解消される。

【図面の簡単な説明】

【図１】本考案の第１の実施例を示す断面図。

【図２】本考案の第２の実施例を示す断面図。

【図３】本考案の第３の実施例を示す断面図。

【図４】本考案の第４の実施例を示す断面図。

【図５】従来例の断面図。

【符号の説明】

１ アルミ線 ２ 金属筒 ３ 案内孔 ４ リール ５ ねじ孔 ６ ねじ ７ 板ばね ８ 金属針

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 【請求項１】 金属細線と、前記金属細線を先端部へ案
   内する案内孔が形成されている金属筒と、前記金属細線
   を前記金属筒の前記案内孔内に保持する保持機構と、を
   具備する金属探針。