JPH05325146A - 磁気ヘッド検査装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 （修正有） 【目的】 浮上量と電磁変換特性の両測定ができる磁気
ヘッド測定装置。 【構成】 １枚または２枚のディスクで浮上量と電磁変
換特性の両者の測定用のテストディスクを構成する。テ
ストディスクを装着するスピンドル３a 、モータ３b の
回転機構３と、被検査の磁気ヘッド１を装着移動するキ
ャリッジ機構２、浮上量測定部５、電磁変換特性測定部
７を具備し、スピンドル３a 装着の１枚または２枚のテ
ストディスクに、キャリッジ機構２で磁気ヘッド１をシ
ーク移動して浮上量と電磁変換特性をそれぞれ測定す
る。テストディスクが１枚及び２枚の場合は、前者では
透明なガラスディスク８を半径方向に２分割し、一方を
浮上量測定領域８a 、他には磁性膜を塗布して電磁変換
特性測定領域８b とし、後者では浮上量測定用のガラス
ディスクと、電磁変換特性測定用磁気ディスクとを、ス
ピンドルに上下２段に装着し、キャリッジ機構２に対す
る昇降機構を設ける。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】この発明は、磁気ヘッドの検査装
置に関し、詳しくは１台の測定装置により、磁気ヘッド
の浮上量測定と電磁変換特性の両者をそれぞれ測定でき
る検査装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】磁気ディスク装置に使用される磁気ヘッ
ドは、製造過程で各種の特性が測定されて検査される。
測定項目は磁気ヘッドの浮上量に関するものと、データ
信号の書込み／読出し特性、すなわち電磁変換特性に関
するものに大別される。

【０００３】図３(a) は浮上量測定装置の概略の構成を
示す。石英などのガラスディスク４を装着するスピンド
ル３a 、およびこれを回転するモータ３b よりなる回転
機構３と、被検査の磁気ヘッド１を装着してディスクの
半径方向に移動するキャリッジ機構２、ならびにディス
ク４の上方に配設された干渉光量センサ５a 、およびこ
れを浮上量測定回路５b に接続して構成された浮上量測
定部５よりなる。測定においては、磁気ヘッド１をキャ
リッジ機構に装着して所定のトラックＴ_R に位置決め
し、センサ５a により磁気ヘッド１の浮上高さを検出
し、検出信号を浮上量測定回路５b に入力して浮上量が
測定される。

【０００４】図３(b) は電磁変換特性測定装置の概略の
構成を示す。上記の浮上量測定と同様に、スピンドル３
a に磁気ディスク６を装着して回転し、被検査の磁気ヘ
ッド１がキャリッジ機構２に装着されてディスクの半径
方向に移動し、所定のトラックＴ_R に位置決めする。こ
れに対して電磁変換特性測定７を設け、これより出力さ
れるテスト信号を磁気ヘッド１に与えて磁気ディスク６
に対する書込み／読出しを行い、読出し信号により電磁
変換特性が測定される。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】上記においては、浮上
量測定装置と電磁変換特性測定装置は別個の装置であ
り、被検査の磁気ヘッド１は、まず前者に装着されて浮
上量が測定され、これが終了した後、後者に装着替えし
て電磁変換特性が測定される。このような装着替えには
それなりの手間と時間が必要であり、多数の磁気ヘッド
を効率的に測定するためには装着替えを要しない測定方
法が望ましい。ここで両測定装置を別個とする主な理由
は、両測定に対するテストディスクが異なるからであ
る。一方、両測定装置を比較すると、キャリッジ機構２
と回転機構３は全く同一であるので、これらは両測定に
共通に使用することが可能であり、これに対して両測定
に対応できるテストディスクを使用すれば、測定装置を
１台に集約することができる。これにより磁気ヘッドの
装着替えが不要となり、その手間と時間が省略される。
この発明は以上に鑑みてなされたもので、浮上量と電磁
変換特性の両測定に対応できるテストディスクを使用し
て、従来の別個の装置を集約した磁気ヘッド測定装置を
提供することを目的とするものである。

【０００６】

【課題を解決するための手段】この発明は上記の目的を
達成する磁気ヘッド測定装置であって、１枚または２枚
のディスクにより、磁気ヘッドの浮上量測定と電磁変換
特性測定の両者に対するテストディスクを構成する。テ
ストディスクを装着するスピンドル、およびスピンドル
を回転するモータよりなる回転機構と、磁気ヘッドを装
着して移動するキャリッジ機構と、浮上量測定部、およ
び電磁変換特性測定とを具備する。スピンドルに装着さ
れたテストディスクに対して、キャリッジ機構により磁
気ヘッドをシーク移動し、磁気ヘッドの浮上量と電磁変
換特性をそれぞれ測定する。上記の１枚のテストディス
クは、透明なガラスディスクを半径方向に２分割し、分
割された一方を浮上量測定領域として構成する。上記の
２枚のテストディスクは、浮上量測定に対する透明なガ
ラスディスクと、電磁変換特性測定に対する磁気ディス
クとにより構成し、スピンドルに両ディスクを上下２段
に装着する。装着されたガラスディスクと磁気ディスク
の高さ位置に対して、キャリッジ機構を移動して停止す
る昇降機構を設けたものである。

【０００７】

【作用】上記の磁気ヘッド測定装置においては、１枚ま
たは２枚のディスクにより、浮上量と電磁変換特性の両
者の測定用のテストディスクが構成され、これがスピン
ドルに装着されてモータにより回転し、キャリッジ機構
に装着された被検査の磁気ヘッドがテストディスクの所
定のトラックをシークし、浮上量測定部により磁気ヘッ
ドの浮上量が、また電磁変換特性測定により電磁変換特
性がそれぞれ測定される。テストディスクが１枚の場合
は、透明なガラスディスクを半径方向に２分割し、分割
された一方を浮上量測定領域とし、他方に対して磁性膜
を塗布して電磁変換特性測定領域として構成され、キャ
リッジ機構により磁気ヘッドを各領域に移動して上記の
各測定をそれぞれ行う。また、テストディスクが２枚の
場合は、浮上量測定に対する透明なガラスディスクと、
電磁変換特性測定に対する磁気ディスクとにより構成
し、スピンドルに両ディスクを上下２段に装着する。こ
れに対して設けられた昇降機構により、キャリッジ機構
に装着された被検査の磁気ヘッドを各ディスクの高さ位
置に移動して、上記の各測定をそれぞれ行う。以上によ
り、従来別個であった浮上量測定装置と電磁変換特性測
定装置が１台の測定装置に集約され、必要とされた磁気
ヘッドの装着替えが不要となって、その手間と時間が省
略される。

【０００８】

【実施例】図１はこの発明の第１の実施例を示す。キャ
リッジ機構２、回転機構３、浮上量測定部５、および電
磁変換特性測定７を具備する。この実施例はテストディ
スクが１枚の場合で、１枚の透明なガラスディスクを素
材とし、これを半径方向に外周領域８a と内周領域８b
の２つ領域に分割する。外周領域８a はそのまま浮上量
測定に充当し、内周領域８b には磁気ディスクと同一の
磁性膜を塗布して電磁変換特性測定に充当してテストデ
ィスク８を構成する。この場合、外周領域８a と内周領
域８b の境界に段差が生じないように、予め内周領域を
磁性膜の厚さだけ凹ませておき、境界部分を研磨などに
より滑らかにすることが必要である。磁気ヘッド１の検
査においては、キャリッジ機構２をディスク８より退避
して磁気ヘッド１を装着し、ついで外周領域８a に移動
して所定のトラックをシークし、従来と同様に浮上量測
定部５により磁気ヘッド１の浮上量を測定する。これが
終了後、磁気ヘッドを内周領域８b に移動して、従来と
同様に電磁変換特性測定７より出力されるテスト信号を
磁気ヘッド１に与えて磁性膜に対する書込み／読出しを
行い、読出し信号により電磁変換特性が測定される。

【０００９】図２はこの発明の第２の実施例を示す。キ
ャリッジ機構２、回転機構３、浮上量測定部５、および
電磁変換特性測定７は第１の実施例と同一とする。この
実施例はテストディスクが２枚の場合で、２枚のテスト
ディスクには、前記した図３(a) の透明なガラスディス
ク４と図３(b) の磁気ディスク６を使用し、これらをス
ピンドル３a に上下２段に装着する。また、磁気ヘッド
１をディスク４と６の間に移動するために、キャリッジ
機構２を昇降する昇降機構９を設ける。磁気ヘッドの検
査においては、まずキャリッジ機構２を磁気ヘッド１の
装着位置に退避してこれを装着し、昇降機構９によりキ
ャリッジ機構２を上昇または下降してディスク４の高さ
位置に停止する。キャリッジ機構２により磁気ヘッド１
を水平移動して所定のトラックにシークし、従来と同様
に浮上量測定部５により浮上量を測定する。測定終了
後、磁気ヘッド１を退避し、昇降機構９によりディスク
６の高さ位置に停止して水平移動により所定のトラック
にシークし、従来と同様に電磁変換特性測定７により電
磁変換特性が測定される。

【００１０】

【発明の効果】以上の説明のとおり、この発明による磁
気ヘッド検査装置においては、浮上量と電磁変換特性の
両者の測定用の１枚または２枚のテストディスクを使用
することにより、従来別個であった浮上量測定装置と電
磁変換特性測定装置が１台の測定装置に集約され、磁気
ヘッドの装着替えの手間と時間が省略されて検査時間が
短縮されるもので、検査装置の台数の減少による設備経
費の節減と、検査効率の向上とに寄与するところには大
きいものがある。

【図面の簡単な説明】

【図１】 この発明の第１の実施例に対する構成図を示
す。

【図２】 この発明の第２の実施例に対する構成図を示
す。

【図３】 (a) は磁気ヘッドに対する従来の浮上量測定
装置の構成図を示し、(b) は同じく従来の電磁変換特性
測定装置の構成図を示す。

【符号の説明】

１…磁気ヘッド、２…キャリッジ機構、３…回転機構、
３a …スピンドル、３b …モータ、４…ガラスディス
ク、５…浮上量測定部、５a …干渉光量センサ、５b …
浮上量測定回路、６…磁気ディスク、７…電磁変換特性
測定、８…テストディスク、８a …浮上量測定領域、８
b …電磁変換測定領域、９…昇降機構。

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 １枚または２枚のディスクにより、磁気
   ヘッドの浮上量測定と電磁変換特性測定の両者に対する
   テストディスクを構成し、該テストディスクを装着する
   スピンドル、および該スピンドルを回転するモータより
   なる回転機構と、前記磁気ヘッドを装着して移動するキ
   ャリッジ機構と、浮上量測定部、および電磁変換特性測
   定とを具備し、該スピンドルに装着された前記テストデ
   ィスクに対して、該キャリッジ機構により該磁気ヘッド
   をシーク移動し、該磁気ヘッドの浮上量と電磁変換特性
   をそれぞれ測定することを特徴とする、磁気ヘッド検査
   装置。
2. 【請求項２】 前記１枚のテストディスクは、透明なガ
   ラスディスクを半径方向に２分割し、該２分割された一
   方を前記浮上量測定に対する測定領域とし、他方に対し
   て磁性膜を塗布して前記電磁変換特性測定に対する測定
   領域として構成する、請求項１記載の磁気ヘッド検査装
   置。
3. 【請求項３】 前記２枚のテストディスクは、前記浮上
   量測定に対する透明なガラスディスクと、前記電磁変換
   特性測定に対する磁気ディスクとにより構成し、前記ス
   ピンドルに該ガラスディスクと該磁気ディスクを上下２
   段に装着し、該装着されたガラスディスクと磁気ディス
   クの高さ位置に対して、前記キャリッジ機構を移動して
   停止する昇降機構を設けたことを特徴とする、請求項１
   記載の磁気ヘッド検査装置。