JPH05320876A - 耐食性金属物品及びその製造方法 - Google Patents

耐食性金属物品及びその製造方法

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JPH05320876A
JPH05320876A JP15007192A JP15007192A JPH05320876A JP H05320876 A JPH05320876 A JP H05320876A JP 15007192 A JP15007192 A JP 15007192A JP 15007192 A JP15007192 A JP 15007192A JP H05320876 A JPH05320876 A JP H05320876A
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JP
Japan
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article
metal
metal article
ions
ion plating
Prior art date
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Pending
Application number
JP15007192A
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English (en)
Inventor
Atsuo Kawana
淳雄 川名
Toshio Omura
敏夫 大村
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Sumitomo Metal Mining Co Ltd
Original Assignee
Sumitomo Metal Mining Co Ltd
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Publication date
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Abstract

(57)【要約】 【目的】 従来のメッキ処理の問題点を解消し、耐食性
が一段と向上した金属物品及びその製造方法を提供す
る。 【構成】 金属物品の表面から0.5μm以上の深さま
でCrが濃度を減少させながら分散している耐食性金属
物品及び、金属物品の表面にイオンプレーティング法に
よりCrイオンを照射することを特徴とする請求項1記
載の耐食性金属物品の製造方法。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、表面に耐食性を有する
金属物品及びその製造方法に関するものである。
【0002】
【従来の技術】従来より金属物品の耐食性を向上させる
には、表面にNi、Cr等の耐食性の高い金属のメッキ
を施すことが行われている。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】しかし、上記Ni、C
r等の金属メッキ膜は金属物品表面近傍の数μmの薄い
膜であるため、また、金属物品とメッキ層との境界面が
熱膨張係数、熱伝導度等物理的特性の異なる不連続な面
であるため、摩耗、衝撃、加熱等により破壊され易く、
破壊された部分から腐食が進行するという問題がある。
【0004】そこで、本発明の目的は、上記従来のメッ
キ処理の問題点を解消し、耐食性が一段と向上した金属
物品及びその製造方法を提供することにある。
【0005】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、本発明の金属物品は、金属物品の表面から0.5μ
m以上の深さまでCrが濃度を減少させながら分散して
いる点に特徴がある。また、その製造方法は金属物品の
表面にイオンプレーティング法によりCrイオンを照射
する点に特徴がある。
【0006】
【作用】本発明の耐食性金属物品は、表面から0.5μ
m以上の深さまで、金属物品にもともと含有されている
Crの濃度以上のCrが、濃度を減少させながら分散し
ているものである。この表面からCrが分散している領
域の深さは、高々10μmまであれば良く、通常は0.
5〜3μmであり、0.5μmより浅いと十分な耐食性
が得られない。Crの濃度勾配は一定である必要はない
が、濃度は表面から内部に向かって連続的に減少し、不
連続な濃度ギャップがないことが必要である。
【0007】金属物品表面から0.5μm以上の深さの
領域はCrと金属物品の材料との混合層であり、Crの
濃度は表面では高く内部に向かって連続的に低くなって
いる。このためメッキ、塗布処理等でみられる表面処理
層と金属物品母材との不連続な界面が存在せず、衝撃、
加熱等によって表面層が剥離するということはない。ま
た、金属物品母材の有する耐摩耗性、硬度等の特性もほ
ぼ維持できる。
【0008】本発明に使用される金属物品の材料は、純
金属あるいは合金材料であり、特に鉄鋼材料において効
果がある。用いられる鉄鋼材料としては、例えば、S1
5Cなどの肌焼鋼、S45Cなどの構造用鋼、SUP1
0などのばね鋼、SUJ2などの軸受鋼、SACM1な
どの窒化鋼、SKD6などの熱間加工用工具鋼、SKD
11などの冷間加工用工具鋼、SKH51などの高速度
鋼、SUS310Sなどの耐熱鋼、SUS410などの
耐食耐酸鋼などが挙げられる。
【0009】本発明の金属物品の製造には、公知のいず
れの方式のイオンプレーティング法も用いることができ
る。イオンプレーティング法は金属を蒸発させ、この蒸
発した金属をイオン化し、さらにイオン化した金属分子
を反応性ガス雰囲気下で電界により加速して、物品の表
面に打ち込むものである。
【0010】金属を蒸発させるには、抵抗加熱や電子銃
加熱を用いる方法等がある。蒸発した金属のイオン化は
公知のカソードアーク放電、グロー放電、高周波放電、
イオン化電極を用いる方法、ホロカソード法のいずれで
も良い。これらの中で、カソードアーク放電型のイオン
プレーティング法は金属の蒸発とイオン化とを同時に行
う方式のものであり、他の方法に比べて金属のイオン化
効率が高い。また他の方式では、Crが完全にイオン化
されないためCr蒸気が金属物品表面を覆ってCr層が
形成されて、物品内部深くまでCrが分散しにくくなる
という問題があるが、カソードアーク放電型のイオンプ
レーティング法ではこのようなことがなく、本発明の実
施には最適である。
【0011】カソードアーク放電型のイオンプレーティ
ング法では、10-3Torr以下の真空下でCrの蒸発、イ
オン化を行う。イオン化したCrを加速するために金属
物品に印加する電圧は500〜2000Vが望ましく、
700〜1500Vが最適である。金属物品に印加する
電圧が500V未満ではCrイオンの運動エネルギーが
十分でなく、金属物品表面への打ち込み効果が小さくな
るからであり、また2000Vを超えるとCrイオンの
運動エネルギーが大きくなりすぎ、金属物品表面をスパ
ッタリングして損傷してしまう確率が高くなるからであ
る。
【0012】一般のイオンプレーティング法では、Ti
Nなどの金属窒化物を形成させるために窒素ガスなどの
反応性ガスを原料として導入するが、本発明の製造方法
においては反応性ガスを導入する必要はなく、反応容器
を10-3Torr以上の高真空下にする。Crイオンの照射
が終了した後は真空中もしくは不活性ガス雰囲気下で金
属物品を冷却し、容器内を大気圧に戻して取り出せば良
い。
【0013】
【実施例】
実施例 ・・・ 大きさ17×17×2mm、ビッカー
ス硬度Hv=850のSKH51高速度鋼の板材を母材
とし、Crカソードを備えたカソードアーク方式のイオ
ンプレーティング装置を用いて、本発明の金属物品を製
造した。装置反応容器内の所定位置に板材をセットした
後、反応容器内を10-5Torrまで真空排気し、板材に1
000Vのバイアス電圧を印加し、Crカソードよりア
ーク放電を生起させた。この時アーク放電電流は60A
であった。赤外放射温度計により板材の表面温度を監視
しながらこのアーク放電を5分間続け、金属Crを蒸
発、イオン化させた。アーク放電中最大450℃まで板
材表面温度の上昇が認められた。
【0014】反応容器内真空下で板材を冷却した後取り
出したところ、外観は金属光沢を有し、ビッカース硬度
はHv=750であった。この板材をSIMS(二次イ
オン質量分析装置)により板材表面から深さ方向にCr
の分布を測定した。図1にこのときのSIMSのスパッ
タリング時間に対するCrの検出強度を示す。スパッタ
リング開始後40分間一定値以上のCrが連続して検出
され、母材SKH51鋼に含まれるCr濃度よりも明ら
かに高い濃度のCrが板材表面から0.5μm以上の深
さまで単調に濃度を減少させながら存在していること確
認された。
【0015】次に、Crイオンを照射した板材を、Cr
イオン照射面以外はテープでマスキングして、10%、
20℃の塩酸溶液中に50時間浸漬して耐食性を調査し
た。浸漬後の基板の外観に変化は認められず、金属光沢
を保っていた。
【0016】比較例1 ・・・ バイアス電圧を200
Vにした他は実施例と同様の方法でCrイオンを照射し
た板材を作製し、SIMSにより板材表面から深さ方向
にCrの分布を測定したところ、板材表面から深さ0.
2μmまで金属Crの層が形成され、Crイオン照射に
よって打ち込まれたCrは板材表面から深さ0.4μm
までしか検出されなかった。実施例と同様の方法で耐食
性の調査をしたところ、浸漬後の基板は金属光沢を失
い、変色した。
【0017】比較例2 ・・・ バイアス電圧を220
0Vにした他は実施例と同様の方法でCrイオンを照射
した板材を作製したところ、板材表面が損傷により荒れ
てしまった。
【0018】
【発明の効果】本発明による耐食性金属物品は耐食性が
大幅に向上し、また本発明の製造方法により該耐食性金
属物品が得られた。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の耐食性金属物品の表面の、SIMSに
よる深さ方向のCr検出強度を示す図である。

Claims (2)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 金属物品の表面から0.5μm以上の深
    さまでCrが濃度を減少させながら分散している耐食性
    金属物品。
  2. 【請求項2】 金属物品の表面にイオンプレーティング
    法によりCrイオンを照射することを特徴とする請求項
    1記載の耐食性金属物品の製造方法。
JP15007192A 1992-05-19 1992-05-19 耐食性金属物品及びその製造方法 Pending JPH05320876A (ja)

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JP15007192A JPH05320876A (ja) 1992-05-19 1992-05-19 耐食性金属物品及びその製造方法

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JPH05320876A true JPH05320876A (ja) 1993-12-07

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ID=15488890

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JP15007192A Pending JPH05320876A (ja) 1992-05-19 1992-05-19 耐食性金属物品及びその製造方法

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Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS50141541A (ja) * 1974-04-30 1975-11-14
JPS5397941A (en) * 1977-02-07 1978-08-26 Kawasaki Heavy Ind Ltd Surface treating method for high temperature corrosion resistance and ion plating diffusion treatment furnace

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS50141541A (ja) * 1974-04-30 1975-11-14
JPS5397941A (en) * 1977-02-07 1978-08-26 Kawasaki Heavy Ind Ltd Surface treating method for high temperature corrosion resistance and ion plating diffusion treatment furnace

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