JPH05312512A - 位置合わせ装置 - Google Patents
位置合わせ装置Info
- Publication number
- JPH05312512A JPH05312512A JP4119126A JP11912692A JPH05312512A JP H05312512 A JPH05312512 A JP H05312512A JP 4119126 A JP4119126 A JP 4119126A JP 11912692 A JP11912692 A JP 11912692A JP H05312512 A JPH05312512 A JP H05312512A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- image
- substrate
- work
- recognizing
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- Pending
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 本発明により、向かい合うワークに対して向
かい合うワークを位置合わせしようとする２つのワーク
を対向させた位置で光量変化無しで画像認識が可能であ
り、構造が簡単な画像認識機構を持った位置合わせ装置
を提供する。 【構成】 本発明の位置合わせ装置は、向かい合うワー
クを位置合わせしようとする２つのワークを対向させた
位置で画像認識を行う画像認識機構に於て、位置合わせ
しようとする２つのワークを対向させ、前記の２つのワ
ークの中間位置に、画像認識用カメラと前記の２つのワ
ークのそれぞれの像を画像認識用カメラに導くための２
枚の切替可能な全反射鏡を配置したことを特徴とする。 【効果】 本発明によれば、光量変化がなく、構造が簡
単になるので位置合わせ精度を向上させることが容易に
なる。
かい合うワークを位置合わせしようとする２つのワーク
を対向させた位置で光量変化無しで画像認識が可能であ
り、構造が簡単な画像認識機構を持った位置合わせ装置
を提供する。 【構成】 本発明の位置合わせ装置は、向かい合うワー
クを位置合わせしようとする２つのワークを対向させた
位置で画像認識を行う画像認識機構に於て、位置合わせ
しようとする２つのワークを対向させ、前記の２つのワ
ークの中間位置に、画像認識用カメラと前記の２つのワ
ークのそれぞれの像を画像認識用カメラに導くための２
枚の切替可能な全反射鏡を配置したことを特徴とする。 【効果】 本発明によれば、光量変化がなく、構造が簡
単になるので位置合わせ精度を向上させることが容易に
なる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、位置合わせ装置の向か
い合うワークに対する画像認識機構に関する。
い合うワークに対する画像認識機構に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来の向かい合うワークを位置合わせす
る構造は、図３、図４（Ａ），（Ｂ）の如き構造であっ
た。
る構造は、図３、図４（Ａ），（Ｂ）の如き構造であっ
た。
【０００３】即ち、図３に於て８はワークＡ、９はワー
クＡ８と向かい合わせて接合されるワークＢ、１０及び
１１は画像認識カメラで、位置合わせ方法は画像認識カ
メラ１０によりワークＡを画像認識し、画像認識カメラ
１１によりワークＢを画像認識した後に、例えばワーク
ＡをワークＢとの接合位置に移動して位置合わせを行う
構造である。 図４（Ａ），（Ｂ）に於ては、１２はワ
ークＡ、１３はワークＢ、１４は画像認識カメラ、１５
はキュービックプリズムで中にハーフミラー１５ａと全
反射面１５ｂが入っている。１６はワークＡ１２に対す
るシャッターＡ、１７はワークＢ１３に対するシャッタ
ーＢである。まず図４（Ａ）のようにシャッターＡ１６
を開き、シャッターＢ１７を閉じることによってワーク
Ｂ１３の光路をふさぎ、ワークＡ１２の像をハーフミラ
ー１５ａで反射して画像認識カメラ１４で画像認識す
る。その後に、図４（Ｂ）のように シャッターＡ１６
を閉じ、シャッターＢ１７を開くことによってワークＡ
１２の光路をふさぎ、ワークＢ１３の像をまずハーフミ
ラー１５ａで光を反射させ、次に全反射面１５ｂで反射
することにより画像認識カメラ１４で画像認識する。そ
して、上記の２回の画像認識により得られた位置情報を
基に位置合わせを行う。
クＡ８と向かい合わせて接合されるワークＢ、１０及び
１１は画像認識カメラで、位置合わせ方法は画像認識カ
メラ１０によりワークＡを画像認識し、画像認識カメラ
１１によりワークＢを画像認識した後に、例えばワーク
ＡをワークＢとの接合位置に移動して位置合わせを行う
構造である。 図４（Ａ），（Ｂ）に於ては、１２はワ
ークＡ、１３はワークＢ、１４は画像認識カメラ、１５
はキュービックプリズムで中にハーフミラー１５ａと全
反射面１５ｂが入っている。１６はワークＡ１２に対す
るシャッターＡ、１７はワークＢ１３に対するシャッタ
ーＢである。まず図４（Ａ）のようにシャッターＡ１６
を開き、シャッターＢ１７を閉じることによってワーク
Ｂ１３の光路をふさぎ、ワークＡ１２の像をハーフミラ
ー１５ａで反射して画像認識カメラ１４で画像認識す
る。その後に、図４（Ｂ）のように シャッターＡ１６
を閉じ、シャッターＢ１７を開くことによってワークＡ
１２の光路をふさぎ、ワークＢ１３の像をまずハーフミ
ラー１５ａで光を反射させ、次に全反射面１５ｂで反射
することにより画像認識カメラ１４で画像認識する。そ
して、上記の２回の画像認識により得られた位置情報を
基に位置合わせを行う。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかし、前述の従来技
術では図３のようにワークＡまたはワークＢを接合する
位置とは別の位置で少なくとも１つは画像認識をする必
要があるため画像認識後に実際の接合位置に移動するこ
とになり、移動量の大きさからも移動時の位置決め精度
が位置合わせに大きく影響を及ぼし、位置合わせ精度が
悪くなるという問題を有していた。
術では図３のようにワークＡまたはワークＢを接合する
位置とは別の位置で少なくとも１つは画像認識をする必
要があるため画像認識後に実際の接合位置に移動するこ
とになり、移動量の大きさからも移動時の位置決め精度
が位置合わせに大きく影響を及ぼし、位置合わせ精度が
悪くなるという問題を有していた。
【０００５】一方、図４の場合は画像認識後のワークの
移動は微小範囲でよいが、キュービックプリズム１５で
ワークＡ１２を画像認識する場合はハーフミラー１５ａ
で反射するのみであるが、ワークＢ１３を画像認識する
場合はハーフミラー１５ａで反射した後に全反射面１５
ｂで反射されてハーフミラー１５ａを透過する為に、ワ
ークＡ１２の画像とワークＢ１３の画像では、画像認識
カメラ１４の位置で光量が２：１の比率になるという問
題点を有していた。また、シャッターＡ１６とシャッタ
ーＢ１７の切り替えが必要になり構造が複雑であるとい
う問題点も有していた。
移動は微小範囲でよいが、キュービックプリズム１５で
ワークＡ１２を画像認識する場合はハーフミラー１５ａ
で反射するのみであるが、ワークＢ１３を画像認識する
場合はハーフミラー１５ａで反射した後に全反射面１５
ｂで反射されてハーフミラー１５ａを透過する為に、ワ
ークＡ１２の画像とワークＢ１３の画像では、画像認識
カメラ１４の位置で光量が２：１の比率になるという問
題点を有していた。また、シャッターＡ１６とシャッタ
ーＢ１７の切り替えが必要になり構造が複雑であるとい
う問題点も有していた。
【０００６】そこで本発明はこのような問題点を解決す
るもので、その目的は、光量変化がなく構造が簡単であ
り、位置合わせしようとする２つのワークを対向させた
位置で画像認識が可能な画像認識機構を持った位置合わ
せ装置を提供する点にある。
るもので、その目的は、光量変化がなく構造が簡単であ
り、位置合わせしようとする２つのワークを対向させた
位置で画像認識が可能な画像認識機構を持った位置合わ
せ装置を提供する点にある。
【０００７】
【課題を解決するための手段】本発明の位置合わせ装置
は、向かい合うワークを位置合わせしようとする２つの
ワークを対向させた位置で画像認識を行う画像認識機構
に於て、位置合わせしようとする２つのワークを対向さ
せ、前記の２つのワークの中間位置に、画像認識用カメ
ラと前記の２つのワークのそれぞれの像を画像認識用カ
メラに導くための２枚の切替可能な全反射鏡を配置した
ことを特徴とする。
は、向かい合うワークを位置合わせしようとする２つの
ワークを対向させた位置で画像認識を行う画像認識機構
に於て、位置合わせしようとする２つのワークを対向さ
せ、前記の２つのワークの中間位置に、画像認識用カメ
ラと前記の２つのワークのそれぞれの像を画像認識用カ
メラに導くための２枚の切替可能な全反射鏡を配置した
ことを特徴とする。
【０００８】
【実施例】ここでは、向かい合う半導体素子と基板の相
対位置を合わせる場合に応用した例をあげる。
対位置を合わせる場合に応用した例をあげる。
【０００９】図１（Ａ），（Ｂ）と図２（Ａ），（Ｂ）
は向かい合う半導体素子と基板の位置合わせに本発明を
適用した実施例である。図１（Ａ），（Ｂ）と図２
（Ａ），（Ｂ）に於て、１は半導体素子、２は半導体素
子１が接合される基板、３は画像認識カメラ、４は半導
体素子認識用全反射鏡、５は基板認識用全反射鏡、６は
半導体素子認識用全反射鏡４と基板認識用全反射鏡５を
固定する保持部であり、矢印方向に軌道部７により移動
が可能である。また図２（Ａ）のように、半導体素子認
識用全反射鏡４は、紙面に垂直で半導体素子１と基板２
の接合される点を結ぶ直線Ａを含むような平面に対し
て、前記の直線Ａと画像認識用カメラ３の光路中心直線
Ｂとが交わる点を通る紙面に垂直な直線を回転中心線と
して反時計回りに４５度回転させた平面が全反射鏡にな
った面であり、保持部６に固定されている。そして、図
２（Ｂ）のように基板認識用全反射鏡５は半導体素子認
識用全反射鏡４に対して前記の回転中心線で時計回りに
９０度回転させた平面が全反射鏡になった面であり、保
持部６の半導体認識用全反射鏡４とは図１のように異な
る位置に固定されている。
は向かい合う半導体素子と基板の位置合わせに本発明を
適用した実施例である。図１（Ａ），（Ｂ）と図２
（Ａ），（Ｂ）に於て、１は半導体素子、２は半導体素
子１が接合される基板、３は画像認識カメラ、４は半導
体素子認識用全反射鏡、５は基板認識用全反射鏡、６は
半導体素子認識用全反射鏡４と基板認識用全反射鏡５を
固定する保持部であり、矢印方向に軌道部７により移動
が可能である。また図２（Ａ）のように、半導体素子認
識用全反射鏡４は、紙面に垂直で半導体素子１と基板２
の接合される点を結ぶ直線Ａを含むような平面に対し
て、前記の直線Ａと画像認識用カメラ３の光路中心直線
Ｂとが交わる点を通る紙面に垂直な直線を回転中心線と
して反時計回りに４５度回転させた平面が全反射鏡にな
った面であり、保持部６に固定されている。そして、図
２（Ｂ）のように基板認識用全反射鏡５は半導体素子認
識用全反射鏡４に対して前記の回転中心線で時計回りに
９０度回転させた平面が全反射鏡になった面であり、保
持部６の半導体認識用全反射鏡４とは図１のように異な
る位置に固定されている。
【００１０】本発明による位置合わせの手順を以下に説
明する。まず、図１（Ａ）のように半導体素子認識用全
反射鏡４により半導体素子１の像を画像認識カメラ３で
画像認識し、次に半導体素子認識用全反射鏡４と基板認
識用全反射鏡５が固定されている保持部６のみを軌道部
７にそって矢印方向に移動させて、図１（Ｂ）のように
半導体素子１、基板２、画像認識カメラ３は動かすこと
なく基板認識用全反射鏡５により基板２の像を半導体素
子１の像を画像認識した時と同一の画像認識カメラ３で
画像認識する。そして、以上の手順で得られた半導体素
子１と基板２の位置情報を基にして半導体素子１と基板
２を大きく動かすことなく位置合わせを行う。
明する。まず、図１（Ａ）のように半導体素子認識用全
反射鏡４により半導体素子１の像を画像認識カメラ３で
画像認識し、次に半導体素子認識用全反射鏡４と基板認
識用全反射鏡５が固定されている保持部６のみを軌道部
７にそって矢印方向に移動させて、図１（Ｂ）のように
半導体素子１、基板２、画像認識カメラ３は動かすこと
なく基板認識用全反射鏡５により基板２の像を半導体素
子１の像を画像認識した時と同一の画像認識カメラ３で
画像認識する。そして、以上の手順で得られた半導体素
子１と基板２の位置情報を基にして半導体素子１と基板
２を大きく動かすことなく位置合わせを行う。
【００１１】なお本発明は、ここではワークが半導体素
子と基板の例で説明したが、その他に例えば半導体素子
と液晶パネル、フレキシブルテープと液晶パネルなどに
も使用できる。
子と基板の例で説明したが、その他に例えば半導体素子
と液晶パネル、フレキシブルテープと液晶パネルなどに
も使用できる。
【００１２】
【発明の効果】以上、述べたように本発明によれば、２
つのワークに対するそれぞれの認識用全反射鏡を保持部
に固定しておき、認識するワークに対して保持部を軌道
部にそって移動させて認識用全反射鏡を切り替えること
で画像認識する画像認識機構により、２つのワークに対
するそれぞれの認識用全反射鏡を互いに９０度の角度に
なるように保持部に固定さえすれば保持部の移動方向の
位置決め精度はあまり必要ではなくなるばかりでなく、
ワークを大きく移動させる必要もないことから構成部品
点数が少なくてよくなり構造的に簡単にできる。またワ
ークに対する像がそれぞれの認識用全反射鏡によって一
回反射されるのみであることから２つの像の光量の変化
がなく安定した認識が可能になる。よって、上記の効果
により位置合わせ精度を向上させることも容易になり、
本発明の効果は極めて大きい。
つのワークに対するそれぞれの認識用全反射鏡を保持部
に固定しておき、認識するワークに対して保持部を軌道
部にそって移動させて認識用全反射鏡を切り替えること
で画像認識する画像認識機構により、２つのワークに対
するそれぞれの認識用全反射鏡を互いに９０度の角度に
なるように保持部に固定さえすれば保持部の移動方向の
位置決め精度はあまり必要ではなくなるばかりでなく、
ワークを大きく移動させる必要もないことから構成部品
点数が少なくてよくなり構造的に簡単にできる。またワ
ークに対する像がそれぞれの認識用全反射鏡によって一
回反射されるのみであることから２つの像の光量の変化
がなく安定した認識が可能になる。よって、上記の効果
により位置合わせ精度を向上させることも容易になり、
本発明の効果は極めて大きい。
【図１】本発明の位置合わせ装置の説明図１。
【図２】本発明の位置合わせ装置の説明図２。
【図３】従来例の位置合わせ装置の説明図１。
【図４】従来例の位置合わせ装置の説明図２。
１ 半導体素子 ２ 基板 ３ 画像認識カメラ ４ 半導体素子認識用全反射鏡 ５ 基板認識用全反射鏡 ６ 保持部 ７ 軌道部 ８ ワークＡ ９ ワークＢ １０ 画像認識カメラ １１ 画像認識カメラ １２ ワークＡ １３ ワークＢ １４ 画像認識カメラ １５ キュービックプリズム １５ａ ハーフミラー １５ｂ 全反射面 １６ シャッターＡ １７ シャッターＢ Ａ 半導体素子１と基板２の接合される点を結ぶ直
線 Ｂ 光路中心直線
線 Ｂ 光路中心直線
Claims (1)
- 向かい合うワークを位置合わせする構造に於て、位置合
わせしようとする２つのワークを対向させ、前記の２つ
のワークの中間位置に、画像認識用カメラと前記の２つ
のワークのそれぞれの像を画像認識用カメラに導くため
の２枚の切替可能な全反射鏡を配置したことを特徴とす
る位置合わせ装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4119126A JPH05312512A (ja) | 1992-05-12 | 1992-05-12 | 位置合わせ装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4119126A JPH05312512A (ja) | 1992-05-12 | 1992-05-12 | 位置合わせ装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05312512A true JPH05312512A (ja) | 1993-11-22 |
Family
ID=14753587
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4119126A Pending JPH05312512A (ja) | 1992-05-12 | 1992-05-12 | 位置合わせ装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH05312512A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2012133742A (ja) * | 2010-12-22 | 2012-07-12 | Metal Industries Research Development Center | 高精度アライメント用画像収集装置とその画像収集モジュール |
-
1992
- 1992-05-12 JP JP4119126A patent/JPH05312512A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2012133742A (ja) * | 2010-12-22 | 2012-07-12 | Metal Industries Research Development Center | 高精度アライメント用画像収集装置とその画像収集モジュール |
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