JPH05308788A - サーボモータの制御装置 - Google Patents
サーボモータの制御装置Info
- Publication number
- JPH05308788A JPH05308788A JP4109450A JP10945092A JPH05308788A JP H05308788 A JPH05308788 A JP H05308788A JP 4109450 A JP4109450 A JP 4109450A JP 10945092 A JP10945092 A JP 10945092A JP H05308788 A JPH05308788 A JP H05308788A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- speed
- circuit
- servo motor
- loop
- pulse
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- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Control Of Electric Motors In General (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 サーボブロック時において微振動を抑制する
ことにより騒音振動をなくすとともにエンコーダパルス
の発生を防止し、このモータを使用する機器がモータが
サーボブロック状態ではないと誤認することがないよう
にしたサーボモータの制御装置を提供する。 【構成】 位置ループと、エンコーダのフィードバック
パルスをＦ／Ｖ変換するＦ／Ｖ回路と速度誤差アンプと
を有する速度ループと、位置ループに入力される指令パ
ルスの周波数がごく低い所定値以下の時に０速度信号を
発生する０速度弁別回路１と、０速度信号が発生してい
る時には上記Ｆ／Ｖ回路の時定数を大きくする時定数増
加回路２とを備えているサーボモータの制御装置。
ことにより騒音振動をなくすとともにエンコーダパルス
の発生を防止し、このモータを使用する機器がモータが
サーボブロック状態ではないと誤認することがないよう
にしたサーボモータの制御装置を提供する。 【構成】 位置ループと、エンコーダのフィードバック
パルスをＦ／Ｖ変換するＦ／Ｖ回路と速度誤差アンプと
を有する速度ループと、位置ループに入力される指令パ
ルスの周波数がごく低い所定値以下の時に０速度信号を
発生する０速度弁別回路１と、０速度信号が発生してい
る時には上記Ｆ／Ｖ回路の時定数を大きくする時定数増
加回路２とを備えているサーボモータの制御装置。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は半導体製造装置などに使
用されるサーボモータの制御装置に関する。
用されるサーボモータの制御装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】半導体製造装置に使用されるサーボモー
タの一例として、ウエハーにホトレジストを塗布するス
ピンナー（回転式塗布機）を駆動するサーボモータを説
明する。スピンナーは高い回転数精度が要求されるの
で、駆動するサーボモータの制御装置は位置ループと速
度ループを備えたパルス列入力形のものが用いられてい
る。
タの一例として、ウエハーにホトレジストを塗布するス
ピンナー（回転式塗布機）を駆動するサーボモータを説
明する。スピンナーは高い回転数精度が要求されるの
で、駆動するサーボモータの制御装置は位置ループと速
度ループを備えたパルス列入力形のものが用いられてい
る。
【０００３】制御装置の従来例を図４に示す。速度誤差
アンプに入力される速度指令信号は、パルス列入力の速
度指令パルスをＦ／Ｖ変換した速度指令信号Ｎｒｅｆ１
と、速度指令パルスとエンコーダの出力パルスを比較し
た偏差カウンタの出力をＤ／Ａ変換した速度指令信号Ｎ
ｒｅｆ２との和である。また、エンコーダの出力パルス
をＦ／Ｖ変換した後フィルタを通したものが速度フィー
ドバック信号Ｎｆｂである。すなわち、速度指令信号Ｎ
ｒｅｆ１とＮｒｅｆ２との和から速度フィードバック信
号Ｎｆｂが減算された結果が速度指令信号として速度誤
差アンプに入力される。速度誤差アンプの出力はトルク
指令信号となってトルク制御回路（図示せず）に入力さ
れ、トルク制御回路の出力がサーボモータを駆動し、ス
ピンナーは回転してウエハーにはホトレジストがスピン
コートされる。
アンプに入力される速度指令信号は、パルス列入力の速
度指令パルスをＦ／Ｖ変換した速度指令信号Ｎｒｅｆ１
と、速度指令パルスとエンコーダの出力パルスを比較し
た偏差カウンタの出力をＤ／Ａ変換した速度指令信号Ｎ
ｒｅｆ２との和である。また、エンコーダの出力パルス
をＦ／Ｖ変換した後フィルタを通したものが速度フィー
ドバック信号Ｎｆｂである。すなわち、速度指令信号Ｎ
ｒｅｆ１とＮｒｅｆ２との和から速度フィードバック信
号Ｎｆｂが減算された結果が速度指令信号として速度誤
差アンプに入力される。速度誤差アンプの出力はトルク
指令信号となってトルク制御回路（図示せず）に入力さ
れ、トルク制御回路の出力がサーボモータを駆動し、ス
ピンナーは回転してウエハーにはホトレジストがスピン
コートされる。
【０００４】ウエハーのスピンナーからの搬出またはス
ピンナーへの搬入は、速度指令パルスを０としてサーボ
モータをサーボロックした状態で行なわれる。このとき
に何らかの影響、たとえばコギングトルクによって、サ
ーボモータが微小に動いた場合、エンコーダはその動き
に相応したパルスを出力する。このパルスは速度フィー
ドバック信号Ｎｆｂと速度指令信号Ｎｒｅｆ２とを作
る。サーボモータの出力軸の動きが微小で出力パルス数
が０近傍の場合、速度指令信号Ｎｒｅｆ２がサーボモー
タのトルク指令に与える影響は速度フィードバック信号
Ｎｆｂが与える影響に比べて小さい。よって、速度フィ
ードバック信号Ｎｆｂによってサーボモータは動いた方
向と逆方向のトルクを発生しサーボモータは微小な範囲
で振動する。しかし、もし振動が大きくなれば速度指令
信号Ｎｒｅｆ２の影響が大きくなるので発振することは
ない。つまり、速度フィードバック信号Ｎｆｂと速度指
令信号Ｎｒｅｆ２の力が釣り合ったところで、サーボモ
ータは微小な振動を行なうことがある。
ピンナーへの搬入は、速度指令パルスを０としてサーボ
モータをサーボロックした状態で行なわれる。このとき
に何らかの影響、たとえばコギングトルクによって、サ
ーボモータが微小に動いた場合、エンコーダはその動き
に相応したパルスを出力する。このパルスは速度フィー
ドバック信号Ｎｆｂと速度指令信号Ｎｒｅｆ２とを作
る。サーボモータの出力軸の動きが微小で出力パルス数
が０近傍の場合、速度指令信号Ｎｒｅｆ２がサーボモー
タのトルク指令に与える影響は速度フィードバック信号
Ｎｆｂが与える影響に比べて小さい。よって、速度フィ
ードバック信号Ｎｆｂによってサーボモータは動いた方
向と逆方向のトルクを発生しサーボモータは微小な範囲
で振動する。しかし、もし振動が大きくなれば速度指令
信号Ｎｒｅｆ２の影響が大きくなるので発振することは
ない。つまり、速度フィードバック信号Ｎｆｂと速度指
令信号Ｎｒｅｆ２の力が釣り合ったところで、サーボモ
ータは微小な振動を行なうことがある。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】上記したサーボロック
時の微振動はサーボモータを使用する機器に騒音と振動
を発生させるので可能な限り小さくすることが望まし
い。また、上記従来例で説明したスピンナーは、ウエハ
ーの搬出または搬入を、サーボモータがサーボロック状
態にあるのを確認しながら行なう。その確認はエンコー
ダのＡ相パルスをモニターして行なうのが普通で、サー
ボロック時の微振動によってＡ相パルスが出力される
と、スピンナーはサーボモータが回転していると判断し
て工程の進行を停止してしまう問題点があった。
時の微振動はサーボモータを使用する機器に騒音と振動
を発生させるので可能な限り小さくすることが望まし
い。また、上記従来例で説明したスピンナーは、ウエハ
ーの搬出または搬入を、サーボモータがサーボロック状
態にあるのを確認しながら行なう。その確認はエンコー
ダのＡ相パルスをモニターして行なうのが普通で、サー
ボロック時の微振動によってＡ相パルスが出力される
と、スピンナーはサーボモータが回転していると判断し
て工程の進行を停止してしまう問題点があった。
【０００６】本発明は上記従来の課題を解決するもの
で、サーボロック時において微振動を抑制することによ
り騒音振動をなくすとともにエンコーダパルスの発生を
防止し、このモータを使用する機器がモータがサーボロ
ック状態ではないと誤認することがないようにしたサー
ボモータの制御装置を提供することを目的とする。
で、サーボロック時において微振動を抑制することによ
り騒音振動をなくすとともにエンコーダパルスの発生を
防止し、このモータを使用する機器がモータがサーボロ
ック状態ではないと誤認することがないようにしたサー
ボモータの制御装置を提供することを目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に本発明のサーボモータの制御装置は、位置ループと、
エンコーダのフィードバックパルスをＦ／Ｖ変換するＦ
／Ｖ回路と速度誤差アンプとを有する速度ループと、位
置ループに入力される指令パルスの周波数がごく低い所
定値以下のときに０速度信号を発生する０速度弁別回路
と、０速度信号が発生しているときには速度ループ内の
Ｆ／Ｖ回路の時定数を大きくする手段、または速度誤差
アンプのゲインを小さくする手段とを備えている。
に本発明のサーボモータの制御装置は、位置ループと、
エンコーダのフィードバックパルスをＦ／Ｖ変換するＦ
／Ｖ回路と速度誤差アンプとを有する速度ループと、位
置ループに入力される指令パルスの周波数がごく低い所
定値以下のときに０速度信号を発生する０速度弁別回路
と、０速度信号が発生しているときには速度ループ内の
Ｆ／Ｖ回路の時定数を大きくする手段、または速度誤差
アンプのゲインを小さくする手段とを備えている。
【０００８】
【作用】この構成によって、サーボロック時の微振動を
抑制して、騒音と振動およびＡ相パルスの発生を防止す
ることができる。
抑制して、騒音と振動およびＡ相パルスの発生を防止す
ることができる。
【０００９】
【実施例】以下、本発明の一実施例を図面を参照しなが
ら説明する。図１は本発明のサーボモータの制御装置の
構成の一例を示すブロック図で、従来の技術の項で説明
した図４のブロック図に０速度弁別回路１と時定数増加
回路２とを追加したものである。０速度弁別回路１は速
度指令パルスをカウントして、周波数がごく低い所定値
以下のときにはサーボロックであるとして０速度信号を
出力する。
ら説明する。図１は本発明のサーボモータの制御装置の
構成の一例を示すブロック図で、従来の技術の項で説明
した図４のブロック図に０速度弁別回路１と時定数増加
回路２とを追加したものである。０速度弁別回路１は速
度指令パルスをカウントして、周波数がごく低い所定値
以下のときにはサーボロックであるとして０速度信号を
出力する。
【００１０】図２は時定数増加回路２の詳細で、上記０
速度弁別回路１が出力する０速度信号はアナログスイッ
チ３をオンしてフィルタの時定数を増加させる。これに
よりサーボロック時の微振動は抑制される。
速度弁別回路１が出力する０速度信号はアナログスイッ
チ３をオンしてフィルタの時定数を増加させる。これに
よりサーボロック時の微振動は抑制される。
【００１１】図３は本発明のサーボモータの制御装置の
構成の他の一例を示すブロック図で、従来の技術の項で
説明した図４のブロック図に０速度弁別回路１とゲイン
調整回路４とを追加したものである。ゲイン調整回路４
は０速度弁別回路１が０速度信号を出力したときは速度
誤差アンプのゲインを小さくしてサーボロック時の微振
動を抑制する。
構成の他の一例を示すブロック図で、従来の技術の項で
説明した図４のブロック図に０速度弁別回路１とゲイン
調整回路４とを追加したものである。ゲイン調整回路４
は０速度弁別回路１が０速度信号を出力したときは速度
誤差アンプのゲインを小さくしてサーボロック時の微振
動を抑制する。
【００１２】
【発明の効果】以上の説明で明らかなように、本発明の
サーボモータの制御装置は、０速度弁別回路がモータが
サーボロック状態にあると判断した場合、Ｆ／Ｖ変換回
路の時定数を大きくする、または速度誤差アンプのゲイ
ンを小さくする。その結果、サーボロック時の騒音と振
動およびエンコーダパルスの発生を防止した、スピンナ
ーなどに使いやすいサーボモータの制御装置を提供する
ことができる。
サーボモータの制御装置は、０速度弁別回路がモータが
サーボロック状態にあると判断した場合、Ｆ／Ｖ変換回
路の時定数を大きくする、または速度誤差アンプのゲイ
ンを小さくする。その結果、サーボロック時の騒音と振
動およびエンコーダパルスの発生を防止した、スピンナ
ーなどに使いやすいサーボモータの制御装置を提供する
ことができる。
【図１】本発明のサーボモータの制御装置の構成の一例
を示すブロック図
を示すブロック図
【図２】時定数増加回路の詳細を示す図
【図３】本発明のサーボモータの制御装置の構成の他の
一例を示すブロック図
一例を示すブロック図
【図４】従来のサーボモータの制御装置の構成の一例を
示すブロック図
示すブロック図
１ ０速度弁別回路 ２ 時定数増加回路 ３ アナログスイッチ ４ ゲイン調整回路
Claims (2)
- 【請求項１】 位置ループと、エンコーダのフィードバ
ックパルスをＦ／Ｖ変換するＦ／Ｖ回路と速度誤差アン
プとを有する速度ループと、位置ループに入力される指
令パルスの周波数がごく低い所定値以下のときに０速度
信号を発生する０速度弁別回路と、０速度信号が発生し
ているときには上記Ｆ／Ｖ回路の時定数を大きくする手
段とを備えているサーボモータの制御装置。 - 【請求項２】 位置ループと、エンコーダのフィードバ
ックパルスをＦ／Ｖ変換するＦ／Ｖ回路と速度誤差アン
プとを有する速度ループと、位置ループに入力される指
令パルスの周波数がごく低い所定値以下のときに０速度
信号を発生する０速度弁別回路と、０速度信号が発生し
ているときには上記速度誤差アンプのゲインを小さくす
る手段とを備えているサーボモータの制御装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4109450A JPH05308788A (ja) | 1992-04-28 | 1992-04-28 | サーボモータの制御装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4109450A JPH05308788A (ja) | 1992-04-28 | 1992-04-28 | サーボモータの制御装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05308788A true JPH05308788A (ja) | 1993-11-19 |
Family
ID=14510551
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4109450A Pending JPH05308788A (ja) | 1992-04-28 | 1992-04-28 | サーボモータの制御装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH05308788A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5886491A (en) * | 1995-09-29 | 1999-03-23 | Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha | Position control unit for electric motor |
| JP2008048570A (ja) * | 2006-08-21 | 2008-02-28 | Yaskawa Electric Corp | 交流モータ制御装置とその制御方法 |
-
1992
- 1992-04-28 JP JP4109450A patent/JPH05308788A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5886491A (en) * | 1995-09-29 | 1999-03-23 | Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha | Position control unit for electric motor |
| JP2008048570A (ja) * | 2006-08-21 | 2008-02-28 | Yaskawa Electric Corp | 交流モータ制御装置とその制御方法 |
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