JPH0530761A - 表面波モータ - Google Patents

表面波モータ

Info

Publication number
JPH0530761A
JPH0530761A JP3199893A JP19989391A JPH0530761A JP H0530761 A JPH0530761 A JP H0530761A JP 3199893 A JP3199893 A JP 3199893A JP 19989391 A JP19989391 A JP 19989391A JP H0530761 A JPH0530761 A JP H0530761A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
stator
rotor
elastic body
wave motor
rotors
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP3199893A
Other languages
English (en)
Inventor
Soichi Wakui
宗一 和久井
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Azbil Corp
Original Assignee
Azbil Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Azbil Corp filed Critical Azbil Corp
Priority to JP3199893A priority Critical patent/JPH0530761A/ja
Publication of JPH0530761A publication Critical patent/JPH0530761A/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • General Electrical Machinery Utilizing Piezoelectricity, Electrostriction Or Magnetostriction (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【目的】 出力トルクを増大した表面波モータを得る。 【構成】 弾性体4,12の表面に密着して構成された
圧電体7,14からなるステータ部8,11と、ステー
タ部8,11の弾性体4,12と圧接するロータ部3と
を有し、前記圧電体7,4に駆動信号を印加し圧電体を
振動させると共に前記弾性体4,12を振動させ、弾性
体と前記ロータ部との境界面における弾性体表面に生じ
る表面波によりロータ部3を駆動する表面波モータにお
いて、ロータ部3を少なくとも一つ以上構成すると共に
前記ロータ部の両面あるいは片面に前記ロータ部3を駆
動するステータ部8,11を構成し、これらロータ部3
とステータ部8,11の対を複数設けたものである。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】この発明は、表面波モータに関
し、更に詳しくはモータの出力トルクを増大した表面波
モータに関する。
【0002】
【従来の技術】従来の表面波モータの構成は一つのステ
ータに対して一つのロータが対応しており、これらステ
ータとロータとはスプリングにより所定の圧力で圧接さ
れている。図4は上述した従来の表面波モータのトルク
発生部の構成を示す図である。この図において50はト
ルク発生部である出力軸のステータ部とロータ部を示し
ている。51は出力軸52の周面に固定されたリング状
のロータ部である。53はリング状の弾性体であり、こ
の弾性体53の一方の面54には圧電体55が固定され
ている。そして、弾性体53と圧電体55とでステータ
部56を構成している。このステータ部は図示していな
いリング状の板ばねにより矢印Aの方向に付勢される。
この結果ステータ部56の駆動面57は前記ロータ部5
1の被駆動面に所定の圧力で押し付けられている。この
表面波モータのトルクはロータ部51とステータ部56
の弾性体53の駆動面57に生ずる進行波により発生す
る(図2参照)。
【0003】いま、ロータ部51における周方向の力を
Fとし、ロータ部51の被駆動面とステータ部56の駆
動面57との圧接力をPとすると、ロータ部51とステ
ータ部56との接触点O(図2参照)では次の関係が成
立する。
【0004】
【数1】F/n=μ(P/n)
【0005】ただしnは接触点の数、μは静止摩擦係数
でありロータ部の重量は無視する。従ってロータ部全体
では
【0006】
【数2】F=μP
【0007】の周方向の力が働いている。ロータ部の中
心から接触点までの距離をrとすると、この表面波モー
タが発生するトルクTは
【0008】
【数3】T=μPr (1)
【0009】となる。この表面波モータに高い負荷(>
μPr)をかけた場合、ロータ部とステータ部との間で
すべりが発生する。従って、前記した式(1)からも明
らかなようにトルクを増大させるには、止摩擦係数μが
ステータ部とロータ部の材質の性質により決定されてし
まうので圧接力Pをおおきくする。
【0010】
【発明が解決しようとする課題】従来の表面波モータに
は次に述べるような問題点がある。すなわち、モータに
定格より大きな負荷がかかった場合などは、ロータ部と
ステータ部との間ですべりが発生し、ロータ部とステー
タ部の回転速度が異なってくる。この結果、回転効率の
低下あるいはステータ部とロータ部との境界面が摩耗し
てしまい、モータの寿命が著しく低下する問題があっ
た。また、高出力トルクを得るには圧接力Pを大きくす
るのであるが、圧接力Pを大きくし過ぎるとステータ部
の共振点にずれが生じ、あるいはステータ部の振動がロ
ータ部に伝わって、効率が著しく低下する問題があっ
た。
【0011】この発明は上記した問題を解決するために
為されたものであり、この発明は出力トルクを増大した
表面波モータを得ることを目的としている。
【0012】
【課題を解決するための手段】この発明に係る表面波モ
ータにおいては、ロータ部を少なくとも一つ以上構成す
る。さらに、このロータ部の両面あるいは片面に前記ロ
ータ部を駆動するステータ部を設ける。そして、これら
ステータ部とロータ部との対を複数構成する。
【0013】
【作用】ロータ部の両面あるいは片面にロータ部を駆動
するステータ部が設けられ、これらロータ部とステータ
部との対が複数設けられるので出力トルクが増大する。
【0014】
【実施例】以下、この発明の第1の実施例を図面を参照
して説明する。図1はこの実施例における表面波モータ
のトルク発生部の構成を示す図である。この図におい
て、1はトルク発生部である出力軸のステータ部とロー
タ部を示している。2は表面波モータの出力軸、3は出
力軸2の周面に形成されたリング状のロータ部である。
4はリング状の弾性体であり、この弾性体4の面5には
圧電体7が張り付けられている。そして、これら弾性体
4と圧電体7とにより第1のステータ部8が構成されて
いる。さらに、この第1のステータ部8は図示していな
いスプリングによりロータ部3の方向に付勢されてい
る。この結果、弾性体4の駆動面6とロータ部3の被駆
動面9とは圧接された状態にある。一方ロータ部3のも
う一方の面にもステータ部8と同一の第2のステータ部
11が構成されている。すなわち、リング状の弾性体1
2があり、この弾性体12の面13には圧電体14が張
り付けられている。そして、これら弾性体12と圧電体
14とにより第2のステータ部11が構成されている。
さらに、このステータ部11は図示していないスプリン
グによりロータ部3の方向に付勢されている。この結
果、弾性体12の駆動面15とロータ部3の被駆動面1
0とは圧接された状態にある。この実施例では上述した
ように、ロータ部3の両面から第1のステータ部8およ
び第2のステータ部11により同一方向の回転力を与え
トルクを発生する構成である。第1のステータ部8の弾
性体4とロータ部3との境界面において、弾性体4の駆
動面6に生じる進行波の進む方向は図2に示すようにロ
ータ部3の回転方向とば逆方向である。したがって第2
のステータ部11の弾性体12の駆動面15に生ずる進
行波の進む方向もロータ部3の回転方向と逆になるよう
に圧電体14を励振する必要がある。また第1のステー
タ部8によるロータ部3の送り速度と第2のステータ部
11による送り速度は一致させる必要がある。ステータ
部とロータ部における送り速度との関係は
【0015】
【数4】(送り速度)=K・(ステータ振幅)・(ステ
ータ部板厚)・(周波数)3/2 但し、Kは比例定数。
【0016】であるので第1のステータ部8と第2のス
テータ部11のステータ振幅、ステータ部板厚、圧電体
を励振する際の周波数はそれぞれ一致させる必要があ
る。この実施例では上述したような構成であるのでロー
タ部3の片面のみにステータ部が設けられている場合に
比較して倍のトルクを発生させることができる。
【0017】次にこの発明の第2の実施例について説明
する。図3はこの実施例における表面波モータのトルク
発生部の構成を示す図である。この実施例では第1の実
施例におけるロータ部とステータ部とから構成されるト
ルク発生部を出力軸に対して2段直列に配置した構成で
ある。この図において16はトルク発生部である出力軸
のロータ部とステータ部を示している。17は表面波モ
ータの出力軸、18,19は出力軸17の周面に形成さ
れたリング状のロータ部である。
【0018】20は前記出力軸17の周囲に配置された
リング状の弾性体であり、この弾性体20の一方の面2
1には圧電体22が張り付けられている。そして、弾性
体20と圧電体22とにより第1のステータ部23が構
成されている。さらに、この第1のステータ部23の圧
電体22は、リング状の圧接板24に固定されている。
圧接板24は前記出力軸17の周囲において出力軸17
の中心線Y方向に多少移動可能なようにモータケースG
に取り付けられている。
【0019】27は前記出力軸17の周囲に配置された
リング状の弾性体であり、この弾性体27の一方の面2
8には圧電体29が張り付けられている。そして、弾性
体27と圧電体29とにより第2のステータ部30が構
成されている。さらに、この第2のステータ部30の圧
電体29はリング状の圧接板31に固定されている。圧
接板31は前記出力軸17の周囲において出力軸17の
中心線Y方向に多少移動可能なようにモータケースGに
取り付けられている。
【0020】34はスプリングであり、圧接板24と圧
接板31とに両端部が固定されている。そして圧接板2
4,25を前記ロータ部18の方向に付勢している。圧
接板24,25は矢印Y方向に移動可能に構成されてい
るので、ロータ部18の被駆動面26,33はそれぞれ
弾性体20の駆動面25および弾性体27の駆動面32
と圧接した状態となっている。
【0021】35は第3のステータ部、36は第4のス
テータ部である。これら第3,第4のステータ部の構成
は前記第1,第2のステータ部と同一であり、37,3
8は圧電体、39,40は弾性体、41,42は圧接
板、43はスプリングである。そして、第3のステータ
部35における弾性体39の駆動面44および第4のス
テータ部36における弾性体39の駆動面45はロータ
部19の両面にスプリング41によりそれぞれ圧接した
状態となっている。
【0022】この実施例では上述した構成であり、ロー
タ部18,19をそれぞれ共有している二つのステータ
部23と30および35と36のロータ部に圧接する弾
性体の駆動面25,32,44,45には各々ロータ部
の回転方向に対し逆方向に進む進行波が形成される。こ
の実施例では、第1実施例の表面波モータに比較して2
倍の出力トルクを発生することができる。
【0023】
【発明の効果】この発明によれば高出力トルクが発生す
るので、従来困難であった高負荷トルクに対応した表面
波モータが実現できる。
【図面の簡単な説明】
【図1】この発明の第1の実施例の表面波モータのトル
ク発生部の構成を示す図である。
【図2】表面波モータのトルク発生原理を示す図であ
る。
【図3】この発明の第2の実施例の表面波モータのトル
ク発生部の構成を示す図である。
【図4】従来の表面波モータのトルク発生部の構成を示
す図である。
【符号の説明】
1 出力軸のステータ部とロータ部 2 出力軸 3 ロータ部 4 弾性体 5 弾性体の面 6 駆動面 7 圧電体 8 第1のステータ部 9 被駆動面 10 被駆動面 11 第2のステータ部 12 弾性体 13 弾性体の面 14 圧電体 15 駆動面

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 【請求項1】 弾性体および該弾性体の表面に密着して
    構成された圧電体からなるステータ部と、ステータ部の
    弾性体と圧接するロータ部とを有し、前記圧電体に駆動
    信号を印加し圧電体を振動させると共に前記弾性体を振
    動させ、弾性体と前記ロータ部との境界面における弾性
    体表面に生じる表面波によりロータ部を駆動する表面波
    モータにおいて、ロータ部を少なくとも一つ以上構成す
    ると共に前記ロータ部の両面あるいは片面に前記ロータ
    部を駆動するステータ部を構成し、これらロータ部とス
    テータ部の対を複数設けたことを特徴とする表面波モー
    タ。
JP3199893A 1991-07-16 1991-07-16 表面波モータ Pending JPH0530761A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP3199893A JPH0530761A (ja) 1991-07-16 1991-07-16 表面波モータ

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP3199893A JPH0530761A (ja) 1991-07-16 1991-07-16 表面波モータ

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPH0530761A true JPH0530761A (ja) 1993-02-05

Family

ID=16415362

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP3199893A Pending JPH0530761A (ja) 1991-07-16 1991-07-16 表面波モータ

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPH0530761A (ja)

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2007511799A (ja) * 2003-11-18 2007-05-10 マイクロン・テクノロジー・インコーポレーテッド 偏光レチクル・フォトリソグラフィ・システム、及び偏光レチクルを偏光とともに用いてパターンを形成する方法
US7692780B2 (en) 2006-07-14 2010-04-06 Nikon Corporation Surface inspecting apparatus
US7697139B2 (en) 2006-05-10 2010-04-13 Nikon Corporation Surface inspection apparatus
JP2019162027A (ja) * 2019-04-11 2019-09-19 セイコーエプソン株式会社 圧電駆動装置及びその駆動方法、ロボット及びその駆動方法

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2007511799A (ja) * 2003-11-18 2007-05-10 マイクロン・テクノロジー・インコーポレーテッド 偏光レチクル・フォトリソグラフィ・システム、及び偏光レチクルを偏光とともに用いてパターンを形成する方法
US7697139B2 (en) 2006-05-10 2010-04-13 Nikon Corporation Surface inspection apparatus
US7990535B2 (en) 2006-05-10 2011-08-02 Nikon Corporation Surface state detecting apparatus
US7692780B2 (en) 2006-07-14 2010-04-06 Nikon Corporation Surface inspecting apparatus
JP2019162027A (ja) * 2019-04-11 2019-09-19 セイコーエプソン株式会社 圧電駆動装置及びその駆動方法、ロボット及びその駆動方法

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP2996477B2 (ja) 振動波駆動装置
JPS59201684A (ja) 振動波モ−タ
US4723085A (en) Vibration wave motor
JPH0532991B2 (ja)
JPH0530761A (ja) 表面波モータ
JPH02214478A (ja) 超音波モータ
JPH0636673B2 (ja) 駆動装置
JP4026930B2 (ja) 振動波装置および振動波駆動装置
JPS6373887A (ja) 進行波型超音波モ−タ
US5440192A (en) Ultrasonic motor
JPS6389074A (ja) 表面波モ−タ
JPS63174581A (ja) 振動波モ−タ
JPH0588073B2 (ja)
JPH011486A (ja) 超音波モータ
JPH06121554A (ja) 超音波モータ
JPS60183981A (ja) 超音波モ−タ
JPH062478Y2 (ja) 超音波モ−タ
JP3155339B2 (ja) 超音波モータ
JPS60207467A (ja) 超音波モ−タ
JP4731737B2 (ja) 振動波モータ
JPS60207466A (ja) 超音波モ−タ
JPH0681523B2 (ja) 振動波モ−タ
EP0539969B1 (en) Ultrasonic motor
JPH0251379A (ja) 超音波モータ
JPS62196081A (ja) 超音波モ−タ