JPH0530015B2 - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPH0530015B2 JPH0530015B2 JP61228624A JP22862486A JPH0530015B2 JP H0530015 B2 JPH0530015 B2 JP H0530015B2 JP 61228624 A JP61228624 A JP 61228624A JP 22862486 A JP22862486 A JP 22862486A JP H0530015 B2 JPH0530015 B2 JP H0530015B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- anode
- voltage
- accelerating
- emitter
- tube
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
- 230000001133 acceleration Effects 0.000 claims description 17
- 238000010894 electron beam technology Methods 0.000 description 12
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 7
- 238000000605 extraction Methods 0.000 description 4
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 239000012212 insulator Substances 0.000 description 2
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 2
- 230000005684 electric field Effects 0.000 description 1
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/02—Details
- H01J37/04—Arrangements of electrodes and associated parts for generating or controlling the discharge, e.g. electron-optical arrangement, ion-optical arrangement
- H01J37/06—Electron sources; Electron guns
- H01J37/073—Electron guns using field emission, photo emission, or secondary emission electron sources
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Electron Sources, Ion Sources (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
（産業上の利用分野）
本発明は電界放射型電子銃に関し、更に詳しく
は、加速電圧として可変の負の高圧が与えられた
エミツタと、第１の電源より引出し電圧が与えら
れた第１アノードと、第２の電源より静電レンズ
コントロール用の電圧が与えられた第２アノード
と、前記第１アノードとは反対側で該第２アノー
ドに対向して配置された第３アノードと、前記第
２アノード・第３アノード間に形成される静電レ
ンズによつて集束された電子線を加速する多段加
速管とを備えた電界放射型電子銃に関する。
は、加速電圧として可変の負の高圧が与えられた
エミツタと、第１の電源より引出し電圧が与えら
れた第１アノードと、第２の電源より静電レンズ
コントロール用の電圧が与えられた第２アノード
と、前記第１アノードとは反対側で該第２アノー
ドに対向して配置された第３アノードと、前記第
２アノード・第３アノード間に形成される静電レ
ンズによつて集束された電子線を加速する多段加
速管とを備えた電界放射型電子銃に関する。
（従来の技術）
電子顕微鏡は、電子銃から出射された電子線を
加速集束して試料に照射し、透過電子乃至は反射
電子を検出して像を得るようになつている。電子
線を加速する場合において、一般には加速電圧が
高い程、像の鮮明度が向上する。しかしながら、
電子顕微鏡等では常に一定の加速電圧で使用する
ことは少ない。例えば100KVタイプの電子顕微
鏡では目的に応じて数10KVから100KVの範囲で
使用する。
加速集束して試料に照射し、透過電子乃至は反射
電子を検出して像を得るようになつている。電子
線を加速する場合において、一般には加速電圧が
高い程、像の鮮明度が向上する。しかしながら、
電子顕微鏡等では常に一定の加速電圧で使用する
ことは少ない。例えば100KVタイプの電子顕微
鏡では目的に応じて数10KVから100KVの範囲で
使用する。
ところで、加速電圧を変化させると、電子ビー
ムのクロスオーバポイント（光源位置）は変化す
る。第２図はバトラー（Battler）型の静電レン
ズについてのクロスオーバポイントの移動特性を
示す図である。第３図に示すように、エミツタ１
から第１アノード２までの距離をS1、第１アノー
ド２から第２アノード３までの電極間距離をｄ、
第２アノード３からクロスオーバポイントＰまで
の距離をS2、第１アノード２に印加される電圧
（エミツタ１・第１アノード２間の電圧）をV1、
第２アノード３に印加される電圧（エミツタ１・
第２アノード３間の電圧）をV2とする。以上の
定義の下に、第２図はS1／ｄ（電極間距離をｄで
規格化した第１アノードとエミツタ距離間）をパ
ラメータとして電圧比V2／V1を変化させた時の
S2／ｄ（電極間距離をｄで規格化した第２アノー
ドからクロスオーバポイントまでの距離）の変化
を示している。f1はS1／ｄ＝0.5の場合の、f2はパ
ラメータS1／ｄ＝0.68の場合のそれぞれ特性を示
している。第２図により、加速電圧を変化させる
と、クロスオーバポイントＰの位置が変化するこ
とが分かる。クロスオーバポイントの位置が変化
すると、試料上でのビームの明かるさ、ビーム
径、ビームの安定性等が変化するため、クロスオ
ーバポイントは常に前記特性に対しオプテイマム
な位置に固定されることが望まれる。
ムのクロスオーバポイント（光源位置）は変化す
る。第２図はバトラー（Battler）型の静電レン
ズについてのクロスオーバポイントの移動特性を
示す図である。第３図に示すように、エミツタ１
から第１アノード２までの距離をS1、第１アノー
ド２から第２アノード３までの電極間距離をｄ、
第２アノード３からクロスオーバポイントＰまで
の距離をS2、第１アノード２に印加される電圧
（エミツタ１・第１アノード２間の電圧）をV1、
第２アノード３に印加される電圧（エミツタ１・
第２アノード３間の電圧）をV2とする。以上の
定義の下に、第２図はS1／ｄ（電極間距離をｄで
規格化した第１アノードとエミツタ距離間）をパ
ラメータとして電圧比V2／V1を変化させた時の
S2／ｄ（電極間距離をｄで規格化した第２アノー
ドからクロスオーバポイントまでの距離）の変化
を示している。f1はS1／ｄ＝0.5の場合の、f2はパ
ラメータS1／ｄ＝0.68の場合のそれぞれ特性を示
している。第２図により、加速電圧を変化させる
と、クロスオーバポイントＰの位置が変化するこ
とが分かる。クロスオーバポイントの位置が変化
すると、試料上でのビームの明かるさ、ビーム
径、ビームの安定性等が変化するため、クロスオ
ーバポイントは常に前記特性に対しオプテイマム
な位置に固定されることが望まれる。
（発明が解決しようとする問題点）
従来の１段加速型の電界放射型電子銃において
は加速電圧に応じて第２アノードに印加する電圧
の値を変えてクロスオーバポイントの位置が変わ
らないようにしている。第４図は従来の100KV
タイプ電界放射型電子銃の構成例を示す図であ
る。−100KV電位に保持されたエミツタ１１から
出射された電子線は、第１アノード（引出し電
極）１２により引出された後、第２アノード１３
及び第３アノード１４を通過して加速されＰ点に
クロスオーバを結ぶ。ここで、第１アノード１２
の電位としては−100KV〜−90KV、第２アノー
ド１３の電位としては同じく−100KV〜−90KV
程度が用いられ、第３アノード１４は接地されて
いる。このように構成された装置において、各ア
ノードに前述範囲の電位を与えた後、第２アノー
ド１３に印加する電圧の値を可変してクロスオー
バポイントＰの位置を一定に調整している。ここ
で、第２アノード１３、第３アノード１４は静電
レンズとして作用する。しかしながら、200KV
の多段加速管を用いた電界放射型電子銃でクロス
オーバポイントの位置を一定にする技術は確立さ
れていなかつた。
は加速電圧に応じて第２アノードに印加する電圧
の値を変えてクロスオーバポイントの位置が変わ
らないようにしている。第４図は従来の100KV
タイプ電界放射型電子銃の構成例を示す図であ
る。−100KV電位に保持されたエミツタ１１から
出射された電子線は、第１アノード（引出し電
極）１２により引出された後、第２アノード１３
及び第３アノード１４を通過して加速されＰ点に
クロスオーバを結ぶ。ここで、第１アノード１２
の電位としては−100KV〜−90KV、第２アノー
ド１３の電位としては同じく−100KV〜−90KV
程度が用いられ、第３アノード１４は接地されて
いる。このように構成された装置において、各ア
ノードに前述範囲の電位を与えた後、第２アノー
ド１３に印加する電圧の値を可変してクロスオー
バポイントＰの位置を一定に調整している。ここ
で、第２アノード１３、第３アノード１４は静電
レンズとして作用する。しかしながら、200KV
の多段加速管を用いた電界放射型電子銃でクロス
オーバポイントの位置を一定にする技術は確立さ
れていなかつた。
本発明はこのような点に鑑みてなされたもので
あつて、その目的は、多段加速管を用いた電子銃
の場合であつても、加速電圧を可変した場合でも
クロスオーバポイントの位置を一定に固定するこ
とができる電界放射型電子銃を、簡単な構成で且
つ大形化や製造コストの大幅な上昇を伴うことな
く実現することにある。
あつて、その目的は、多段加速管を用いた電子銃
の場合であつても、加速電圧を可変した場合でも
クロスオーバポイントの位置を一定に固定するこ
とができる電界放射型電子銃を、簡単な構成で且
つ大形化や製造コストの大幅な上昇を伴うことな
く実現することにある。
（問題点を解決するための手段）
前記した問題点を解決する本発明は、加速電圧
として可変の負の高圧が与えられたエミツタと、
第１の電源より引出し電圧が与えられた第１アノ
ードと、第２の電源より静電レンズコントロール
用の電圧が与えられた第２アノードと、前記第１
アノードとは反対側で該第２アノードに対向して
配置された第３アノードと、前記第２アノード・
第３アノード間に形成される静電レンズによつて
集束された電子線を加速する多段加速管とを備え
た電界放射型電子銃において、前記多段加速管の
各加速電極に、前記加速電圧としての負の高圧を
多数の分圧抵抗によつて分圧して得た電圧を与
え、且つ前記多段加速管の最上段より下段の加速
電極に前記第３アノードを電気的に接続すると共
に、前記加速電圧としての負の高圧を変化させた
際に、前記エミツタ・前記第２アノード間の電圧
と前記エミツタ・前記第３アノード間の電圧との
比を略一定に保つように前記多段加速管の加速電
極と接地間を短絡する手段を設けたことを特徴と
するものである。
として可変の負の高圧が与えられたエミツタと、
第１の電源より引出し電圧が与えられた第１アノ
ードと、第２の電源より静電レンズコントロール
用の電圧が与えられた第２アノードと、前記第１
アノードとは反対側で該第２アノードに対向して
配置された第３アノードと、前記第２アノード・
第３アノード間に形成される静電レンズによつて
集束された電子線を加速する多段加速管とを備え
た電界放射型電子銃において、前記多段加速管の
各加速電極に、前記加速電圧としての負の高圧を
多数の分圧抵抗によつて分圧して得た電圧を与
え、且つ前記多段加速管の最上段より下段の加速
電極に前記第３アノードを電気的に接続すると共
に、前記加速電圧としての負の高圧を変化させた
際に、前記エミツタ・前記第２アノード間の電圧
と前記エミツタ・前記第３アノード間の電圧との
比を略一定に保つように前記多段加速管の加速電
極と接地間を短絡する手段を設けたことを特徴と
するものである。
（作用）
本発明では、エミツタ・第２アノード間の電圧
とエミツタ・第３アノード間の電圧との比を略一
定に保つように多段加速管の加速電極と接地間を
短絡する手段を設けているので、加速電圧を変化
させても、第２アノードと第３アノードに印加さ
れる電圧の比は一定に保たれる。このため、クロ
スオーバポイントを各加速電圧に対して常にオプ
テイマムな位置に固定することができる。
とエミツタ・第３アノード間の電圧との比を略一
定に保つように多段加速管の加速電極と接地間を
短絡する手段を設けているので、加速電圧を変化
させても、第２アノードと第３アノードに印加さ
れる電圧の比は一定に保たれる。このため、クロ
スオーバポイントを各加速電圧に対して常にオプ
テイマムな位置に固定することができる。
ここで、クロスオーバポイントを各加速電圧に
対して常にオプテイマムな位置に固定することが
できる原理を、第３図の構成を例にとり第２図の
特性図を参照して説明する。第３図の構成におい
て、第２アノード３より下段に電極があつたとし
てもその電極については、そのビーム通路の穴径
を大きくとれば、殆ど静電レンズ作用を無視でき
るため、クロスオーバポイントは略第１アノード
２、第２アノード３によるレンズ作用で見積もる
ことができる。従つて、第２図からわかるよう
に、S1／ｄが一定の時、電圧比V2／V1が一定で
あれば特性図よりS2／ｄも一定となる。即ち、ク
ロスオーバポイントを固定できることになる。
対して常にオプテイマムな位置に固定することが
できる原理を、第３図の構成を例にとり第２図の
特性図を参照して説明する。第３図の構成におい
て、第２アノード３より下段に電極があつたとし
てもその電極については、そのビーム通路の穴径
を大きくとれば、殆ど静電レンズ作用を無視でき
るため、クロスオーバポイントは略第１アノード
２、第２アノード３によるレンズ作用で見積もる
ことができる。従つて、第２図からわかるよう
に、S1／ｄが一定の時、電圧比V2／V1が一定で
あれば特性図よりS2／ｄも一定となる。即ち、ク
ロスオーバポイントを固定できることになる。
（実施例）
以下、図面を参照して本発明の実施例を詳細に
説明する。
説明する。
第１図は本発明の一実施例を示す構成図であ
る。図は200KVの多段加速管を有した電界放射
型電子銃の構成を示している。図において、２１
はハイテンシヨン（HT）電位（−200KV）に維
持されたエミツタ、２２は第１アノード（引出し
電極）、２３は第２アノード、２４は６段の多段
加速管である。該多段加速管２４はR1〜R6の分
圧抵抗、各段から引出された加速電極A1〜A6、
各加速電極A1〜A6とは逆方向（真空外）に引出
されたフープ（電界緩和リング）より構成されて
いる。そして、加速電極A1〜A6はインシユレー
タ２５により位置決め固定されている。２６は第
３アノードで、多段加速管２４のうちの加速電極
A3を第３アノードとして併用している。S1乃至
S3はそれぞれ加速電極A4〜A6と接地間に接続さ
れた短絡用スイツチである。
る。図は200KVの多段加速管を有した電界放射
型電子銃の構成を示している。図において、２１
はハイテンシヨン（HT）電位（−200KV）に維
持されたエミツタ、２２は第１アノード（引出し
電極）、２３は第２アノード、２４は６段の多段
加速管である。該多段加速管２４はR1〜R6の分
圧抵抗、各段から引出された加速電極A1〜A6、
各加速電極A1〜A6とは逆方向（真空外）に引出
されたフープ（電界緩和リング）より構成されて
いる。そして、加速電極A1〜A6はインシユレー
タ２５により位置決め固定されている。２６は第
３アノードで、多段加速管２４のうちの加速電極
A3を第３アノードとして併用している。S1乃至
S3はそれぞれ加速電極A4〜A6と接地間に接続さ
れた短絡用スイツチである。
V10は第１アノード２２とエミツタ２１間に印
加されたフイルードエミツシヨン（電界放射）電
流引出し電圧で、例えば、数KV〜10KVのもの
である。V20は第２アノード２３とエミツタ２１
間に印加されたエミツシヨン電流コントロール及
び静電レンズコントロール電圧で、例えば、
0KV〜10KVのものである。これら電圧V10，V20
は最適な値に調整できるようになつている。分圧
抵抗R1〜R6はその一端がハイテンシヨン電圧
（−200KV）端子に接続され、他端は接地されて
いる。従つて、分圧抵抗R1〜R6、の各段からは
分圧比に応じた分圧電圧が取出され、各加速電極
A1〜A6に供給される。
加されたフイルードエミツシヨン（電界放射）電
流引出し電圧で、例えば、数KV〜10KVのもの
である。V20は第２アノード２３とエミツタ２１
間に印加されたエミツシヨン電流コントロール及
び静電レンズコントロール電圧で、例えば、
0KV〜10KVのものである。これら電圧V10，V20
は最適な値に調整できるようになつている。分圧
抵抗R1〜R6はその一端がハイテンシヨン電圧
（−200KV）端子に接続され、他端は接地されて
いる。従つて、分圧抵抗R1〜R6、の各段からは
分圧比に応じた分圧電圧が取出され、各加速電極
A1〜A6に供給される。
エミツタ２１は電子線の発生源であり、FEG
の場合、コールドタイプと多少加熱して用いるサ
ーマルタイプとがある。第２アノード２３に印加
される電圧は、適正な電子線を得るための手段で
あり、引出し電圧（第１アノード電圧）とも関連
しながら設定する。この電圧は、通常エミツタ電
位（−200KV）に対して通常０〜10KV正方向に
設定される。第２アノード２３と第３アノード２
６とでバトラー型静電レンズを構成し、エミツタ
２１から出射された電子線を集束する役目をす
る。このように構成された装置の動作を説明すれ
ば、以下のとおりである。
の場合、コールドタイプと多少加熱して用いるサ
ーマルタイプとがある。第２アノード２３に印加
される電圧は、適正な電子線を得るための手段で
あり、引出し電圧（第１アノード電圧）とも関連
しながら設定する。この電圧は、通常エミツタ電
位（−200KV）に対して通常０〜10KV正方向に
設定される。第２アノード２３と第３アノード２
６とでバトラー型静電レンズを構成し、エミツタ
２１から出射された電子線を集束する役目をす
る。このように構成された装置の動作を説明すれ
ば、以下のとおりである。
第１アノード２２にエミツタ電位（−HT）に
対して数KV〜10KV程度正方向の電圧を印加す
ると、エミツタ２１から電子線が発生する。発生
した電子線は、第２アノード２３、第３アノード
２６による静電レンズ作用により集束される。集
束された電子ビームは多段加速管２４を通過する
間に加速される。
対して数KV〜10KV程度正方向の電圧を印加す
ると、エミツタ２１から電子線が発生する。発生
した電子線は、第２アノード２３、第３アノード
２６による静電レンズ作用により集束される。集
束された電子ビームは多段加速管２４を通過する
間に加速される。
ここで、例えば加速電圧（−HT）が200KVの
時、スイツチS1〜S3は全てオフ、従つて、各段は
200÷６＝33（KV）を負担する。この場合、静電
レンズコントロール用の電圧V20を小さいので無
視すると、第２、第３アノード２３，２６間の電
位差は33×２＝66（KV）となる。次に、加速電
圧（−HT）が160KVの時にはスイツチS3のみオ
ンになり、各段は160÷５＝32（KV）を負担す
る。この時、第２、第３アノード２３，２６間の
電位差は32×２＝64（KV）となる。同様にして
加速電圧（−HT）が120KVの時にはスイツチS2
及びS3がオンになり、加速電圧（−HT）が
100KVの時にはスイツチS1，S2及びS3がオンに
なる。この時の第２、第３アノード間の電位差は
前者が60KV、後者が66KVとなる。このように
して、加速電圧が変化した場合でも第２アノード
２３と第３アノード２６間の電位差が略60KVと
一定に保たれる。電位差が一定に保たれるという
ことは、加速電圧を大幅に変えない限り、これら
アノードに印加される電圧の比が略一定に保たれ
ることを表わす。第２、第３アノードに印加され
る電圧の比が一定に保たれると、前述したように
クロスオーバポイントを一定位置に固定すること
ができる。従つて加速電圧を変化させても常にク
ロスオーバポイントをオプテイマムに位置づけて
使用することができる。
時、スイツチS1〜S3は全てオフ、従つて、各段は
200÷６＝33（KV）を負担する。この場合、静電
レンズコントロール用の電圧V20を小さいので無
視すると、第２、第３アノード２３，２６間の電
位差は33×２＝66（KV）となる。次に、加速電
圧（−HT）が160KVの時にはスイツチS3のみオ
ンになり、各段は160÷５＝32（KV）を負担す
る。この時、第２、第３アノード２３，２６間の
電位差は32×２＝64（KV）となる。同様にして
加速電圧（−HT）が120KVの時にはスイツチS2
及びS3がオンになり、加速電圧（−HT）が
100KVの時にはスイツチS1，S2及びS3がオンに
なる。この時の第２、第３アノード間の電位差は
前者が60KV、後者が66KVとなる。このように
して、加速電圧が変化した場合でも第２アノード
２３と第３アノード２６間の電位差が略60KVと
一定に保たれる。電位差が一定に保たれるという
ことは、加速電圧を大幅に変えない限り、これら
アノードに印加される電圧の比が略一定に保たれ
ることを表わす。第２、第３アノードに印加され
る電圧の比が一定に保たれると、前述したように
クロスオーバポイントを一定位置に固定すること
ができる。従つて加速電圧を変化させても常にク
ロスオーバポイントをオプテイマムに位置づけて
使用することができる。
（発明の効果）
以上詳細に説明したように、本発明によれば、
多段加速管の各加速電極に、加速電圧を多数の分
圧抵抗によつて分圧して得た電圧を与え、且つ多
段加速管の最上段より下段の加速電極に、第３ア
ノードを電気的に接続して、多段加速管と第３ア
ノードへの印加電圧を確保すると共に、加速電圧
に応じて第２アノードと第３アノードに印加され
る電圧の比を略一定に保つように多段加速管の加
速電極と接地間を短絡するという簡素な手段を設
けることにより、簡単な構成で且つ大型化や製造
コストの大幅な上昇を伴うことなく、クロスオー
バポイントを各加速電圧に対して常にオプテイマ
ムな位置に固定できる電界放射型電子銃を実現す
ることができる。
多段加速管の各加速電極に、加速電圧を多数の分
圧抵抗によつて分圧して得た電圧を与え、且つ多
段加速管の最上段より下段の加速電極に、第３ア
ノードを電気的に接続して、多段加速管と第３ア
ノードへの印加電圧を確保すると共に、加速電圧
に応じて第２アノードと第３アノードに印加され
る電圧の比を略一定に保つように多段加速管の加
速電極と接地間を短絡するという簡素な手段を設
けることにより、簡単な構成で且つ大型化や製造
コストの大幅な上昇を伴うことなく、クロスオー
バポイントを各加速電圧に対して常にオプテイマ
ムな位置に固定できる電界放射型電子銃を実現す
ることができる。
第１図は本発明の一実施例を示す構成図、第２
図はクロスオーバポイントの移動特性を示す図、
第３図、第４図は電子銃の構成概念を示す図であ
る。 １，１１，２１……エミツタ、２，１２，２２
……第１アノード、３，１３，２３……第２アノ
ード、１４，２６……第３アノード、２４……多
段加速管、２５……インシユレータ、R1〜R6…
…分圧抵抗、A1〜A6……加速電極、S1〜S3……
短絡スイツチ。
図はクロスオーバポイントの移動特性を示す図、
第３図、第４図は電子銃の構成概念を示す図であ
る。 １，１１，２１……エミツタ、２，１２，２２
……第１アノード、３，１３，２３……第２アノ
ード、１４，２６……第３アノード、２４……多
段加速管、２５……インシユレータ、R1〜R6…
…分圧抵抗、A1〜A6……加速電極、S1〜S3……
短絡スイツチ。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １ 加速電圧として可変の負の高圧（−HT）が
与えられたエミツタ２１と、第１の電源より引出
し電圧V10が与えられた第１アノード２２と、第
２の電源より静電レンズコントロール用の電圧
V20が与えられた第２アノード２３と、前記第１
アノード２２とは反対側で該第２アノード２３に
対向して配置された第３アノード２６と、前記第
２アノード２３・第３アノード２６間に形成され
る静電レンズによつて集束された電子線を加速す
る多段加速管２４とを備えた電界放射型電子銃に
おいて、 前記多段加速管２４の各加速電極に、前記加速
電圧としての負の高圧（−HT）を多数の分圧抵
抗によつて分圧して得た電圧を与え、前記第３ア
ノード２６を、前記多段加速管２４の最上段より
下段の加速電極に電気的に接続すると共に、前記
加速電圧としての負の高圧（−HT）を変化させ
た際に、前記エミツタ２１・前記第２アノード２
３間の電圧と前記エミツタ２１・前記第３アノー
ド２６間の電圧との比を略一定に保つように前記
多段加速管２４の加速電極と接地間を短絡する手
段を設けたことを特徴とする電界放射型電子銃。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61228624A JPS6381743A (ja) | 1986-09-26 | 1986-09-26 | 電界放射型電子銃 |
| US07/099,550 US4814716A (en) | 1986-09-26 | 1987-09-22 | Apparatus for producing and accelerating an electron beam |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61228624A JPS6381743A (ja) | 1986-09-26 | 1986-09-26 | 電界放射型電子銃 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6381743A JPS6381743A (ja) | 1988-04-12 |
| JPH0530015B2 true JPH0530015B2 (ja) | 1993-05-07 |
Family
ID=16879256
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP61228624A Granted JPS6381743A (ja) | 1986-09-26 | 1986-09-26 | 電界放射型電子銃 |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US4814716A (ja) |
| JP (1) | JPS6381743A (ja) |
Families Citing this family (12)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2796305B2 (ja) * | 1988-06-17 | 1998-09-10 | 株式会社日立製作所 | 電界放射電子銃 |
| US5568021A (en) * | 1993-03-22 | 1996-10-22 | Gesellschaftfur Schwerionenforschung mbH | Electrostatic accelerator up to 200 kV |
| KR20020079848A (ko) * | 2000-02-11 | 2002-10-19 | 베리안 세미콘덕터 이큅먼트 어소시에이츠, 인크. | 고에너지 가속기를 저에너지 모드에서 가동하는 방법 및장치 |
| JP2004335320A (ja) * | 2003-05-09 | 2004-11-25 | Hitachi High-Technologies Corp | 荷電粒子線装置 |
| JP2007518223A (ja) * | 2003-12-30 | 2007-07-05 | コミツサリア タ レネルジー アトミーク | 発散制御機能を有したハイブリッド型マルチビーム電子放出デバイス |
| JP2006216396A (ja) * | 2005-02-04 | 2006-08-17 | Hitachi High-Technologies Corp | 荷電粒子線装置 |
| RU2313925C2 (ru) * | 2005-02-22 | 2007-12-27 | Валерий Тимофеевич Гавич | Способ ускорения двух пучков электронов в одном линейном резонансном ускорителе |
| JP5149387B2 (ja) * | 2008-08-08 | 2013-02-20 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | 荷電粒子銃及びこれを用いた集束イオンビーム装置 |
| DE102010041813A1 (de) | 2010-09-30 | 2012-04-05 | Carl Zeiss Nts Gmbh | Teilchenstrahlgerät und Verfahren zur Untersuchung und/oder Bearbeitung eines Objekts |
| JP6647961B2 (ja) * | 2016-05-11 | 2020-02-14 | 日本電子株式会社 | 電子顕微鏡および電子顕微鏡の制御方法 |
| JP7054633B2 (ja) * | 2018-02-09 | 2022-04-14 | 日本電子株式会社 | 電子顕微鏡および電子顕微鏡の制御方法 |
| WO2024018568A1 (ja) * | 2022-07-20 | 2024-01-25 | 株式会社日立ハイテク | 荷電粒子線装置 |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5011576A (ja) * | 1973-05-31 | 1975-02-06 | ||
| JPS51117568A (en) * | 1975-04-07 | 1976-10-15 | Hitachi Ltd | Electron gun for use in electron microscope |
Family Cites Families (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US3946268A (en) * | 1974-10-21 | 1976-03-23 | American Optical Corporation | Field emission gun improvement |
| US4160905A (en) * | 1976-11-27 | 1979-07-10 | Kratos Limited | Electron microscopes |
| US4383180A (en) * | 1981-05-18 | 1983-05-10 | Varian Associates, Inc. | Particle beam accelerator |
-
1986
- 1986-09-26 JP JP61228624A patent/JPS6381743A/ja active Granted
-
1987
- 1987-09-22 US US07/099,550 patent/US4814716A/en not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5011576A (ja) * | 1973-05-31 | 1975-02-06 | ||
| JPS51117568A (en) * | 1975-04-07 | 1976-10-15 | Hitachi Ltd | Electron gun for use in electron microscope |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| US4814716A (en) | 1989-03-21 |
| JPS6381743A (ja) | 1988-04-12 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| EP0544516B1 (en) | Apparatus for field emission device electrostatic electron beam focussing | |
| JPH0530015B2 (ja) | ||
| EP0116083A4 (en) | ELECTRONIC GUN WITH LOW VOLTAGE FIELD EMISSION. | |
| US4274035A (en) | Field emission electron gun | |
| US4544845A (en) | Electron gun with a field emission cathode and a magnetic lens | |
| US4020387A (en) | Field emission electron gun | |
| US3614422A (en) | Surge reduction resistors between a high-voltage source and an electron microscope electron gun | |
| US3931517A (en) | Field emission electron gun | |
| JP3451879B2 (ja) | 荷電粒子加速装置 | |
| JP2019139964A (ja) | 電子顕微鏡および電子顕微鏡の制御方法 | |
| JPH0228227B2 (ja) | ||
| JPH0567445A (ja) | 広範囲加速電圧イオン源用加速装置 | |
| US3912930A (en) | Electron beam focusing system | |
| US4825080A (en) | Electrical particle gun | |
| JPH0218852A (ja) | 荷電粒子ビーム装置 | |
| JP2501659B2 (ja) | 多段加速方式電界放射形電子顕微鏡 | |
| JPH01274349A (ja) | 電子銃用高圧電源 | |
| JP2625369B2 (ja) | 電子ビーム露光装置 | |
| JPH03283245A (ja) | 電界放出型電子銃 | |
| JPH05135899A (ja) | 直流電圧型加速器の加速管 | |
| JP3168748B2 (ja) | 電界放出型電子源 | |
| JPH0610963B2 (ja) | 電子ビ−ム発生装置 | |
| JPS5856948B2 (ja) | 電界放出型電子銃 | |
| US4628226A (en) | Method and arrangement for preventing cathode damage when switching on field emission electron guns | |
| JPH0518838Y2 (ja) |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| EXPY | Cancellation because of completion of term |