JPH05296732A - シート厚み測定方法 - Google Patents
シート厚み測定方法Info
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- JPH05296732A JPH05296732A JP9964092A JP9964092A JPH05296732A JP H05296732 A JPH05296732 A JP H05296732A JP 9964092 A JP9964092 A JP 9964092A JP 9964092 A JP9964092 A JP 9964092A JP H05296732 A JPH05296732 A JP H05296732A
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- Japan
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- sheet
- measurement
- thickness
- measured
- gap
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 温度変化等によるシート厚み測定装置の側部
支持部材の伸縮や回転軸の直径変化による厚み測定誤差
を少くする。 【構成】 被測定シート３を回転軸１で密着支持して走
行させ、被測定シート３の表面と遮光板２間にレーザ光
を上下に走査し、レーザ光の透過間隔を測定して被測定
シート３の厚みを測定する。このとき、被測定シート３
の走行部の外側の第１の基準点Ｘ1 の測定値Ｇgi、Ｇmi
と第２の基準点Ｘ2 の測定値Ｇg2、Ｇm2から内挿して、
シート３の走行部の厚み測定点Ｘiの測定値Ｇgi、Ｇmi
を補正する。
支持部材の伸縮や回転軸の直径変化による厚み測定誤差
を少くする。 【構成】 被測定シート３を回転軸１で密着支持して走
行させ、被測定シート３の表面と遮光板２間にレーザ光
を上下に走査し、レーザ光の透過間隔を測定して被測定
シート３の厚みを測定する。このとき、被測定シート３
の走行部の外側の第１の基準点Ｘ1 の測定値Ｇgi、Ｇmi
と第２の基準点Ｘ2 の測定値Ｇg2、Ｇm2から内挿して、
シート３の走行部の厚み測定点Ｘiの測定値Ｇgi、Ｇmi
を補正する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は、ポリエステルフィル
ムなどの製造ラインに用いられるシートの厚み測定装置
に関し、特に被測定シートの幅方向の厚み分布を高精度
に得る厚み測定装置に関するものである。
ムなどの製造ラインに用いられるシートの厚み測定装置
に関し、特に被測定シートの幅方向の厚み分布を高精度
に得る厚み測定装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】図３は例えば特開平１−２８０２０１号
公報に示された従来のシート厚み測定装置を示す構成図
で、図において、１は所定の速度で矢印Ａ方向に回転す
る回転軸、２は回転軸１の表面から所定の空隙Ｇi をも
って回転軸１の軸方向に平行に配置された遮光板、３は
回転軸１に密着されて回転軸１の周速度と同速度で矢印
Ｂ方向に走行する被測定シート、４はレーザ光Ｌと放射
するレーザ光発生器である。５はレーザ光Ｌを空隙部に
向けて反射させる反射ミラーであり、矢印Ｃ方向に微小
回転してレーザ光Ｌを空隙Ｇi の間で上下方向に走査さ
せるようになっている。
公報に示された従来のシート厚み測定装置を示す構成図
で、図において、１は所定の速度で矢印Ａ方向に回転す
る回転軸、２は回転軸１の表面から所定の空隙Ｇi をも
って回転軸１の軸方向に平行に配置された遮光板、３は
回転軸１に密着されて回転軸１の周速度と同速度で矢印
Ｂ方向に走行する被測定シート、４はレーザ光Ｌと放射
するレーザ光発生器である。５はレーザ光Ｌを空隙部に
向けて反射させる反射ミラーであり、矢印Ｃ方向に微小
回転してレーザ光Ｌを空隙Ｇi の間で上下方向に走査さ
せるようになっている。
【０００３】６はレーザ光Ｌを空隙Ｇi で収束させるた
めの集光レンズ、７は空隙Ｇi を通過したレーザ光Ｌを
収束する集光レンズ、８は集光レンズ７を介したレーザ
光Ｌを受光して受光パルスＰi に変換する受光器、９は
受光パルスＰi のパルス幅をクロック定数で計数するカ
ウンターである。１０はカウンター９から得られる計数
値Ｑi に基づいて測定位置Ｘi における被測定シート３
の厚みＴi を演算する演算器であり、１つの測定位置Ｘ
i に対する複数の計算値平均値Ｑi を平均処理する機能
を有している。１１は演算された厚みＴi を表示する表
示器である。
めの集光レンズ、７は空隙Ｇi を通過したレーザ光Ｌを
収束する集光レンズ、８は集光レンズ７を介したレーザ
光Ｌを受光して受光パルスＰi に変換する受光器、９は
受光パルスＰi のパルス幅をクロック定数で計数するカ
ウンターである。１０はカウンター９から得られる計数
値Ｑi に基づいて測定位置Ｘi における被測定シート３
の厚みＴi を演算する演算器であり、１つの測定位置Ｘ
i に対する複数の計算値平均値Ｑi を平均処理する機能
を有している。１１は演算された厚みＴi を表示する表
示器である。
【０００４】１２はレーザ光発生器４、反射ミラー５、
集光レンズ６、７および受光器８を一体化し、これら全
構成要素を一体に支持するためのフレームを備えた測定
ヘッドである。図４は測定ヘッド１２と回転軸１を一体
に支持する構造、および測定方法を図示したものであ
る。測定ヘッド１２はリニアガイド１７に取り付けら
れ、回転軸１の軸方向に平行移動されるようになってい
る。リニアガイド１７は上部支持部材１８に固定され、
上部支持部材１８は側部支持部材１９によって回転軸１
とともに一体化されている。再び図３において、１４は
回転軸１を回転駆動するためのモーターを含む回転駆動
部、１５は測定ヘッド１２を回転軸１の軸方向すなわち
被測定シート３の幅方向に走査駆動するためのモーター
を含む走査駆動部である。
集光レンズ６、７および受光器８を一体化し、これら全
構成要素を一体に支持するためのフレームを備えた測定
ヘッドである。図４は測定ヘッド１２と回転軸１を一体
に支持する構造、および測定方法を図示したものであ
る。測定ヘッド１２はリニアガイド１７に取り付けら
れ、回転軸１の軸方向に平行移動されるようになってい
る。リニアガイド１７は上部支持部材１８に固定され、
上部支持部材１８は側部支持部材１９によって回転軸１
とともに一体化されている。再び図３において、１４は
回転軸１を回転駆動するためのモーターを含む回転駆動
部、１５は測定ヘッド１２を回転軸１の軸方向すなわち
被測定シート３の幅方向に走査駆動するためのモーター
を含む走査駆動部である。
【０００５】１６は演算器１０、回転駆動部１４、走査
駆動部１５のそれぞれの動作シーケンスを制御するため
の制御部であり、回転駆動部１４内のモーターに対して
駆動指令Ｄ1 を出力し、走査駆動部１５内のモーターに
対して駆動指令Ｄ2 を出力し、また演算器１０に対して
演算指令Ｅを出力するようになっている。また演算器１
０および制御部１６は、被測定シート３の幅方向の厚み
分布を得るための演算制御手段を構成している。なお点
線２０は測定ヘッドが図の位置のときのシート３上の測
定される位置を示している。図４において、Ｘ1 、
Ｘi 、Ｘn はレーザ光Ｌが通過する位置を回転軸１の一
端からの距離で表わした値、Ｇg1、Ｇm1、Ｇgi、Ｇmi、
Ｇgn、Ｇmnは各位置における空隙の大きさを表してい
る。
駆動部１５のそれぞれの動作シーケンスを制御するため
の制御部であり、回転駆動部１４内のモーターに対して
駆動指令Ｄ1 を出力し、走査駆動部１５内のモーターに
対して駆動指令Ｄ2 を出力し、また演算器１０に対して
演算指令Ｅを出力するようになっている。また演算器１
０および制御部１６は、被測定シート３の幅方向の厚み
分布を得るための演算制御手段を構成している。なお点
線２０は測定ヘッドが図の位置のときのシート３上の測
定される位置を示している。図４において、Ｘ1 、
Ｘi 、Ｘn はレーザ光Ｌが通過する位置を回転軸１の一
端からの距離で表わした値、Ｇg1、Ｇm1、Ｇgi、Ｇmi、
Ｇgn、Ｇmnは各位置における空隙の大きさを表してい
る。
【０００６】次に図４を参照しながら従来のシート厚み
測定装置の動作について説明する。まず、被測定シート
３が回転軸１上にない状態（添字g で表す）で駆動指令
Ｄ2により、測定ヘッド１２を回転軸１の軸方向に間欠
的に移動させ、後に送出される被測定シート３の測定位
置Ｘi で静止させる。演算器１０は、演算指令Ｅに従っ
て、回転軸１が整数Ｎ（≧１）回転する間、受光パルス
Ｐgiに相当する計数値Ｑgiを複数個取り込んで平均化処
理し、これを位置Ｘi における空隙Ｇgiとして記憶す
る。以上の動作を、各測定位置Ｘi （i ＝１、２、３…
…ｎ）について繰り返し、各測定位置Ｘi に対する空隙
Ｇgiを記憶する。
測定装置の動作について説明する。まず、被測定シート
３が回転軸１上にない状態（添字g で表す）で駆動指令
Ｄ2により、測定ヘッド１２を回転軸１の軸方向に間欠
的に移動させ、後に送出される被測定シート３の測定位
置Ｘi で静止させる。演算器１０は、演算指令Ｅに従っ
て、回転軸１が整数Ｎ（≧１）回転する間、受光パルス
Ｐgiに相当する計数値Ｑgiを複数個取り込んで平均化処
理し、これを位置Ｘi における空隙Ｇgiとして記憶す
る。以上の動作を、各測定位置Ｘi （i ＝１、２、３…
…ｎ）について繰り返し、各測定位置Ｘi に対する空隙
Ｇgiを記憶する。
【０００７】次に製造ラインから送出された被測定シー
ト３を回転軸１に密着して走行させ（添字m で表す）、
前述と同様に測定ヘッド１２を各測定位置Ｘi で静止さ
せながら、遮光板２と被測定シート３との間の空隙Ｇmi
に比例した計数Ｑmiを複数個取り込み、平均化処理した
値を、被測定位置Ｘi における被測定シート３上の空隙
Ｇmiｉとして記憶する。そして、各測定位置Ｘi におけ
る被測定シート３の厚みＴi を、 Ｔi ＝Ｇgi−Ｇmi………（１） として求める。各測定位置Ｘi （i ＝１、２、３……
ｎ）について繰り返し（１）式を演算し、得られた各厚
みＴi を表示器１１に表示して被測定シート３の幅方向
の厚み分布を得る。なお、レーザ光Ｌの通過位置、すな
わち測定位置Ｘi が被測定シート３の側端部に達した場
合は、測定ヘッド１２を逆方向に折り返し駆動する。
ト３を回転軸１に密着して走行させ（添字m で表す）、
前述と同様に測定ヘッド１２を各測定位置Ｘi で静止さ
せながら、遮光板２と被測定シート３との間の空隙Ｇmi
に比例した計数Ｑmiを複数個取り込み、平均化処理した
値を、被測定位置Ｘi における被測定シート３上の空隙
Ｇmiｉとして記憶する。そして、各測定位置Ｘi におけ
る被測定シート３の厚みＴi を、 Ｔi ＝Ｇgi−Ｇmi………（１） として求める。各測定位置Ｘi （i ＝１、２、３……
ｎ）について繰り返し（１）式を演算し、得られた各厚
みＴi を表示器１１に表示して被測定シート３の幅方向
の厚み分布を得る。なお、レーザ光Ｌの通過位置、すな
わち測定位置Ｘi が被測定シート３の側端部に達した場
合は、測定ヘッド１２を逆方向に折り返し駆動する。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】従来のシート厚み測定
装置は以上のように、予め被測定シート３がない状態で
各測定位置Ｘi において空隙Ｇgiを測定し、次に被測定
シート３を流しながら空隙Ｇmiを測定し、その差を厚み
として求めている。ところが測定中における周囲温度の
変化や被測定シート３のもたらす熱などによって、側定
支持部材１９が伸縮を起こしたり、回転軸１の直径変化
が発生することが多い。一例として図４における左側の
側部支持材１９がΔＬ1 だけ伸び、右側の側部支持部材
１９がΔＬ2 だけ伸び、上部支持部材が１８Ａの位置ま
で変化した場合、厚み測定時の空隙Ｇmiは位置によって
差はあるがΔＬ1 〜ΔＬ2 の間の値だけ大きくなるた
め、（１）式から求まる厚みＴi は実際の寸法より小さ
くなる。逆に側部支持部材１９が縮んだ場合には厚み値
Ｔi が実際の寸法より大きくなる。また回転軸１の直径
が変化したときも同様に測定される厚みが実際と食い違
うことが起こるという問題点があった。
装置は以上のように、予め被測定シート３がない状態で
各測定位置Ｘi において空隙Ｇgiを測定し、次に被測定
シート３を流しながら空隙Ｇmiを測定し、その差を厚み
として求めている。ところが測定中における周囲温度の
変化や被測定シート３のもたらす熱などによって、側定
支持部材１９が伸縮を起こしたり、回転軸１の直径変化
が発生することが多い。一例として図４における左側の
側部支持材１９がΔＬ1 だけ伸び、右側の側部支持部材
１９がΔＬ2 だけ伸び、上部支持部材が１８Ａの位置ま
で変化した場合、厚み測定時の空隙Ｇmiは位置によって
差はあるがΔＬ1 〜ΔＬ2 の間の値だけ大きくなるた
め、（１）式から求まる厚みＴi は実際の寸法より小さ
くなる。逆に側部支持部材１９が縮んだ場合には厚み値
Ｔi が実際の寸法より大きくなる。また回転軸１の直径
が変化したときも同様に測定される厚みが実際と食い違
うことが起こるという問題点があった。
【０００９】この発明は上記のような問題点を解消する
ためになされたもので、温度変化等による伸縮が発生し
ても、正しく厚みを測定することができるシート厚み測
定方法を提供することを目的とする。
ためになされたもので、温度変化等による伸縮が発生し
ても、正しく厚みを測定することができるシート厚み測
定方法を提供することを目的とする。
【００１０】
【課題を解決するための手段】この発明に係るシート厚
み測定方法は、回転軸上で被測定シートの走行部の外側
の少なくとも一方に基準点および該回転軸上で該シート
の走行部に厚み測定点を設け、該基準点の測定値の変動
に応じて該厚み測定点の測定値を補正するものである。
み測定方法は、回転軸上で被測定シートの走行部の外側
の少なくとも一方に基準点および該回転軸上で該シート
の走行部に厚み測定点を設け、該基準点の測定値の変動
に応じて該厚み測定点の測定値を補正するものである。
【００１１】また、回転軸上で被測定シートの走行部の
外側の一方に第１の基準点、他方に第２の基準点および
該回転軸上で該シートの走行部に厚み測定点を設け、該
第１および第２の基準点の測定値から内挿して該厚み測
定点の測定値を補正するものである。
外側の一方に第１の基準点、他方に第２の基準点および
該回転軸上で該シートの走行部に厚み測定点を設け、該
第１および第２の基準点の測定値から内挿して該厚み測
定点の測定値を補正するものである。
【００１２】さらに、該基準点と該厚み測定点との間を
一つのレーザ光で走査して測定するものである。
一つのレーザ光で走査して測定するものである。
【００１３】
【作用】この発明によるシート厚み測定方法は、基準点
の測定値の変動に応じて厚み測定点の測定値を補正す
る。
の測定値の変動に応じて厚み測定点の測定値を補正す
る。
【００１４】また、第１および第２の基準点の測定値か
ら内挿して厚み測定点の測定値を補正する。
ら内挿して厚み測定点の測定値を補正する。
【００１５】
実施例１．以下、この発明の一実施例を図について説明
する。図１において、１〜３、１２、１７〜１９は従来
のものと同様である。また、その他の周辺装置も図３と
同様である。演算器１０は従来と異なり、以下に説明す
る演算を行う。まず、被測定シート３が回転軸上にない
状態（添字g で表わす）で以下の測定を行う。始めに駆
動指令Ｄ2 により、測定ヘッド１２を回転軸１の一端部
Ｘ1 の位置に移動させ静止させる。演算器１０は演算指
令Ｅに従って、回転軸１が整数Ｎ（≧１）回転する間、
受光パルスＰg1に相当する計算値Ｑg1を複数個取り込ん
で平均化処理し、これを位置Ｘ1 における空隙Ｇg1とし
て記憶する。
する。図１において、１〜３、１２、１７〜１９は従来
のものと同様である。また、その他の周辺装置も図３と
同様である。演算器１０は従来と異なり、以下に説明す
る演算を行う。まず、被測定シート３が回転軸上にない
状態（添字g で表わす）で以下の測定を行う。始めに駆
動指令Ｄ2 により、測定ヘッド１２を回転軸１の一端部
Ｘ1 の位置に移動させ静止させる。演算器１０は演算指
令Ｅに従って、回転軸１が整数Ｎ（≧１）回転する間、
受光パルスＰg1に相当する計算値Ｑg1を複数個取り込ん
で平均化処理し、これを位置Ｘ1 における空隙Ｇg1とし
て記憶する。
【００１６】続いて後に走行させる被測定シート厚み測
定位置Ｘi に移動させた後静止させ、同様に測定を行な
って位置Ｘi における空隙Ｇgiとして記憶する。この動
作を所定の測定位置について繰り返し、各測定位置Ｘi
に対する空隙Ｇgiを記憶する。ただし以下の説明ではこ
れらは１つの測定位置Ｘi で代表させて説明している。
最後に回転軸１の反対端部Ｘ2 の位置に移動させた後静
止させ、同様に測定を行なって位置Ｘ2 における空隙Ｇ
g2として記憶する。以上で被測定シート３が回転軸１上
にない状態での測定を終了する。さらに精度を上げるた
めに以上の測定を複数回繰り返し、それぞれの位置ごと
に複数回の測定値を平均することによってノイズなどの
外乱の影響を軽減することも可能である。
定位置Ｘi に移動させた後静止させ、同様に測定を行な
って位置Ｘi における空隙Ｇgiとして記憶する。この動
作を所定の測定位置について繰り返し、各測定位置Ｘi
に対する空隙Ｇgiを記憶する。ただし以下の説明ではこ
れらは１つの測定位置Ｘi で代表させて説明している。
最後に回転軸１の反対端部Ｘ2 の位置に移動させた後静
止させ、同様に測定を行なって位置Ｘ2 における空隙Ｇ
g2として記憶する。以上で被測定シート３が回転軸１上
にない状態での測定を終了する。さらに精度を上げるた
めに以上の測定を複数回繰り返し、それぞれの位置ごと
に複数回の測定値を平均することによってノイズなどの
外乱の影響を軽減することも可能である。
【００１７】次に、製造ラインから送出された被測定シ
ート３を回転軸１に密着させて走行させる。このとき前
述の測定位置Ｘ1 、Ｘ2 にシートがかからないようにシ
ートの位置をセットする。この状態でシート厚み測定を
行なう（添字m で表わす）。この時点で温度変化により
両側の側部支持部材１９が伸び、上部支持材１８が１８
Ａの位置に移動している。続いて被測定シート３の厚み
測定位置Ｘi に移動させた後静止させて同様に測定を行
い、位置Ｘi における空隙Ｇmiとして記憶する。最後に
回転軸１の反対端部Ｘ2 の位置に移動させた後静止さ
せ、同様に測定を行って位置Ｘ2 におけるＧm2として記
憶する。
ート３を回転軸１に密着させて走行させる。このとき前
述の測定位置Ｘ1 、Ｘ2 にシートがかからないようにシ
ートの位置をセットする。この状態でシート厚み測定を
行なう（添字m で表わす）。この時点で温度変化により
両側の側部支持部材１９が伸び、上部支持材１８が１８
Ａの位置に移動している。続いて被測定シート３の厚み
測定位置Ｘi に移動させた後静止させて同様に測定を行
い、位置Ｘi における空隙Ｇmiとして記憶する。最後に
回転軸１の反対端部Ｘ2 の位置に移動させた後静止さ
せ、同様に測定を行って位置Ｘ2 におけるＧm2として記
憶する。
【００１８】以上の測定結果をもとに次の演算を行って
シート厚みを算出する。図２は厚みを算出する方法を示
す図であり、各位置での空隙、回転軸１、被測定シート
３の関係を示している。図における破線２１は被測定シ
ート３の無い状態での測定時の遮光板２の位置を、破線
２１Ａは被測定シート３のある状態での測定時の遮光板
２の位置を示している。すなわち、側部支持部材１９の
伸びた分だけ両者の位置が異なっている。温度変化等に
よる寸法変化である位置Ｘ1 での空隙の変化量ΔＬ1 、
位置Ｘ2 での空隙の変化量ΔＬ2 は、それぞれ測定され
た空隙から求められる。 ΔＬ1 ＝Ｇm1−Ｇg1………（２） ΔＬ2 ＝Ｇm2 −Ｇg2 ………（３）
シート厚みを算出する。図２は厚みを算出する方法を示
す図であり、各位置での空隙、回転軸１、被測定シート
３の関係を示している。図における破線２１は被測定シ
ート３の無い状態での測定時の遮光板２の位置を、破線
２１Ａは被測定シート３のある状態での測定時の遮光板
２の位置を示している。すなわち、側部支持部材１９の
伸びた分だけ両者の位置が異なっている。温度変化等に
よる寸法変化である位置Ｘ1 での空隙の変化量ΔＬ1 、
位置Ｘ2 での空隙の変化量ΔＬ2 は、それぞれ測定され
た空隙から求められる。 ΔＬ1 ＝Ｇm1−Ｇg1………（２） ΔＬ2 ＝Ｇm2 −Ｇg2 ………（３）
【００１９】測定位置Ｘi における温度変化等による空
隙の変化量ΔＬi は、上部支持部材１８は剛性が高くそ
の形状を保ったまま移動するため、位置Ｘ1 〜Ｘ2 の間
の空隙変化量はＸ方向位置に対してリニアに変化する、
したがって、ΔＬi はΔＬ1とΔＬ2 をＸ方向の位置で
内挿して、
隙の変化量ΔＬi は、上部支持部材１８は剛性が高くそ
の形状を保ったまま移動するため、位置Ｘ1 〜Ｘ2 の間
の空隙変化量はＸ方向位置に対してリニアに変化する、
したがって、ΔＬi はΔＬ1とΔＬ2 をＸ方向の位置で
内挿して、
【００２０】
【数１】
【００２１】によって求めることができる。このように
ΔＬi が決定できれば、図２のＸi における温度変化等
による誤差を補正されたシート厚みＴi は図より Ｔi ＝Ｇgi−Ｇmi＋ ΔＬi ………（５） で算出できる。演算器１０は、以上（２）〜（５）式の
演算を行って位置Ｘi における厚みＴi を出力する。以
上、１つの測定位置Ｘi についてだけ説明したが、被測
定シート３上の複数の位置に対して同様に測定・演算を
行うことによって、シート厚みの分布が測定できる。
ΔＬi が決定できれば、図２のＸi における温度変化等
による誤差を補正されたシート厚みＴi は図より Ｔi ＝Ｇgi−Ｇmi＋ ΔＬi ………（５） で算出できる。演算器１０は、以上（２）〜（５）式の
演算を行って位置Ｘi における厚みＴi を出力する。以
上、１つの測定位置Ｘi についてだけ説明したが、被測
定シート３上の複数の位置に対して同様に測定・演算を
行うことによって、シート厚みの分布が測定できる。
【００２２】実施例２．また、上記実施例では各測定位
置ごとにヘッドを停止し、回転軸１の整数回転分の時間
のデータを取り込んで平均処理を行っているが、ヘッド
を連続的に移動させながら測定を行う方法もある。その
場合には、回転軸１の偏心の影響を除くため、シートの
ない状態での測定位置とシートの送行した状態での測定
位置を、軸方向のみならず回転の周方向にも一致させる
必要があり、走査駆動部１５による測定ヘッド１２の移
動制御を回転駆動部１４による回転駆動に同期させて行
う。なお、側部支持部材１９等の伸縮は通常、時間的に
ゆっくりしたものであるため、両端部の位置Ｘ1 、Ｘ2
での測定頻度は、測定ヘッドの軸方向の往復走査を複数
回するごとに行っても充分である。また、回転軸１の偏
心が小さいときや、それ程精度を要しないときは、周方
向の補正を省いてもよい。
置ごとにヘッドを停止し、回転軸１の整数回転分の時間
のデータを取り込んで平均処理を行っているが、ヘッド
を連続的に移動させながら測定を行う方法もある。その
場合には、回転軸１の偏心の影響を除くため、シートの
ない状態での測定位置とシートの送行した状態での測定
位置を、軸方向のみならず回転の周方向にも一致させる
必要があり、走査駆動部１５による測定ヘッド１２の移
動制御を回転駆動部１４による回転駆動に同期させて行
う。なお、側部支持部材１９等の伸縮は通常、時間的に
ゆっくりしたものであるため、両端部の位置Ｘ1 、Ｘ2
での測定頻度は、測定ヘッドの軸方向の往復走査を複数
回するごとに行っても充分である。また、回転軸１の偏
心が小さいときや、それ程精度を要しないときは、周方
向の補正を省いてもよい。
【００２３】実施例３．上記実施例１では、ΔＬ1 およ
びΔＬ2 から回転軸１上の位置Ｘi に内挿して補正を行
ったが、通常、ΔＬ1 とΔＬ2 は図２ほど差のあるもの
ではないので、内挿補正ではなくΔＬ1 のみまたはΔＬ
2 のみで直接に補正を行っても概略の補正を行うことが
できる。測定対象物によっては概略補正で良い場合もあ
るので、この補正法であれば、補正が簡単、基準点数が
少なくて済むなどのメリットがある。
びΔＬ2 から回転軸１上の位置Ｘi に内挿して補正を行
ったが、通常、ΔＬ1 とΔＬ2 は図２ほど差のあるもの
ではないので、内挿補正ではなくΔＬ1 のみまたはΔＬ
2 のみで直接に補正を行っても概略の補正を行うことが
できる。測定対象物によっては概略補正で良い場合もあ
るので、この補正法であれば、補正が簡単、基準点数が
少なくて済むなどのメリットがある。
【００２４】実施例４．Ｘ1 、Ｘi 、Ｘ2 の各位置毎に
それぞれ一つのヘッドを割り当てる多ヘッド測定方式と
してもよい。この方式ではヘッドの動きが単純化され
て、測定シーケンスが簡単になるという利点がある。実
施例３のように、Ｘ1 とＸi またはＸ2 とＸi の二つの
ヘッドで補正してもよい。また、Ｘi は被測定シート３
上を幅方向にスキャニングするようにしてもよい。
それぞれ一つのヘッドを割り当てる多ヘッド測定方式と
してもよい。この方式ではヘッドの動きが単純化され
て、測定シーケンスが簡単になるという利点がある。実
施例３のように、Ｘ1 とＸi またはＸ2 とＸi の二つの
ヘッドで補正してもよい。また、Ｘi は被測定シート３
上を幅方向にスキャニングするようにしてもよい。
【００２５】
【発明の効果】以上のように、この発明によれば回転軸
上で被測定シートの走行部の外側の少なくとも一方に基
準点を設け、基準点の変動に応じて厚み測定点の測定値
を補正するようにしたので、側部支持部材の伸縮や回転
軸の直径変化による誤差が打ち消され、厚み測定精度が
向上する。
上で被測定シートの走行部の外側の少なくとも一方に基
準点を設け、基準点の変動に応じて厚み測定点の測定値
を補正するようにしたので、側部支持部材の伸縮や回転
軸の直径変化による誤差が打ち消され、厚み測定精度が
向上する。
【００２６】また、回転軸上で被測定シートの走行部の
外側の一方に第１の基準点および他方に第２の基準点を
設け、第１および第２の基準点の測定値から内挿して厚
み測定点の測定値を補正するようにしたので、側部支持
部材の伸縮や回転軸の直径変化による誤差が打ち消さ
れ、厚み測定精度が向上する。
外側の一方に第１の基準点および他方に第２の基準点を
設け、第１および第２の基準点の測定値から内挿して厚
み測定点の測定値を補正するようにしたので、側部支持
部材の伸縮や回転軸の直径変化による誤差が打ち消さ
れ、厚み測定精度が向上する。
【００２７】また、基準点と厚み測定点との間を一つの
レーザ光で走査して測定するようにしたので、安価で経
済的な測定方法を提出することができる。
レーザ光で走査して測定するようにしたので、安価で経
済的な測定方法を提出することができる。
【図１】この発明の実施例１を示す断面図である。
【図２】この発明の実施例１の測定寸法を示す断面図で
ある。
ある。
【図３】従来のシート厚み測定方法を示す構成図であ
る。
る。
【図４】従来のシート厚み測定方式を示す断面図であ
る。
る。
１ 回転軸 ２ 遮光板 ３ 被測定シート ４ レーザ光発生器 ５ 反射ミラー １２ 測定ヘッド １７ リニアガイド １８ 上部支持部材 １９ 側部支持部材
Claims (3)
- 【請求項１】 被測定シートを回転軸で密着支持しなが
ら走行させ、前記回転軸の面から所定の距離をあけて前
記回転軸心と平行に遮光板を設けて、前記被測定シート
の表面と前記遮光板との間をレーザ光を使って反射ミラ
ーで走査し、レーザ光の透過時間を測定することによっ
て、前記被測定シートの厚みを測定する方法において、
回転軸上で前記被測定シートの走行部の外側の少なくと
も一方に基準点および前記回転軸上で前記シートの走行
部に厚み測定点を設け、前記基準点の測定値の変動に応
じて前記厚み測定点の測定値を補正することを特徴とす
るシート厚み測定方法。 - 【請求項２】 被測定シートを回転軸で密着支持しなが
ら走行させ、前記回転軸の面から所定の距離をあけて前
記回転軸心と平行に遮光板を設けて、前記被測定シート
の表面と前記遮光板との間をレーザ光を使って反射ミラ
ーで走査し、レーザ光の透過時間を測定することによっ
て、前記被測定シートの厚みを測定する方法において、
回転軸上で前記被測定シートの走行部の外側の一方に第
１の基準点、他方に第２の基準点および前記回転軸上で
前記シートの走行部に厚み測定点を設け、前記第１およ
び第２の基準点の測定値から内挿して前記厚み測定点の
測定値を補正することを特徴とするシート厚み測定方
法。 - 【請求項３】 前記基準点と前記厚み測定点との間を一
つのレーザ光で走査して測定することを特徴とする請求
項第１項または請求項第２項記載のシート厚み測定方
法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9964092A JPH05296732A (ja) | 1992-04-20 | 1992-04-20 | シート厚み測定方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9964092A JPH05296732A (ja) | 1992-04-20 | 1992-04-20 | シート厚み測定方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05296732A true JPH05296732A (ja) | 1993-11-09 |
Family
ID=14252662
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9964092A Pending JPH05296732A (ja) | 1992-04-20 | 1992-04-20 | シート厚み測定方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH05296732A (ja) |
-
1992
- 1992-04-20 JP JP9964092A patent/JPH05296732A/ja active Pending
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