JPH05293328A - 可燃性有機蒸気含有空気の処理方法 - Google Patents
可燃性有機蒸気含有空気の処理方法Info
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- JPH05293328A JPH05293328A JP12428992A JP12428992A JPH05293328A JP H05293328 A JPH05293328 A JP H05293328A JP 12428992 A JP12428992 A JP 12428992A JP 12428992 A JP12428992 A JP 12428992A JP H05293328 A JPH05293328 A JP H05293328A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】可燃性有機蒸気含有空気排ガスを有機蒸気に対
し選択透過性を有する通常の膜で爆発の畏れなく、しか
も、透過速度を充分に保持して処理できる可燃性有機蒸
気含有空気の処理方法を提供する。 【構成】可燃性有機蒸気を含有する空気を、その有機蒸
気に対し選択透過性を有する膜モジュ−ルにより処理す
る方法において、膜モジュ−ルの透過側に不燃性ガスを
供給して透過側ガスの有機蒸気濃度を当該有機蒸気の爆
発濃度範囲の下限濃度以下にすると共に透過側ガスの有
機蒸気濃度の低減により膜モジュ−ルの膜間有機蒸気濃
度差を増加させることを特徴とする。
し選択透過性を有する通常の膜で爆発の畏れなく、しか
も、透過速度を充分に保持して処理できる可燃性有機蒸
気含有空気の処理方法を提供する。 【構成】可燃性有機蒸気を含有する空気を、その有機蒸
気に対し選択透過性を有する膜モジュ−ルにより処理す
る方法において、膜モジュ−ルの透過側に不燃性ガスを
供給して透過側ガスの有機蒸気濃度を当該有機蒸気の爆
発濃度範囲の下限濃度以下にすると共に透過側ガスの有
機蒸気濃度の低減により膜モジュ−ルの膜間有機蒸気濃
度差を増加させることを特徴とする。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は可燃性有機蒸気含有空気
の処理方法に関し、工場排ガスの処理に有用なものであ
るる。
の処理方法に関し、工場排ガスの処理に有用なものであ
るる。
【０００２】
【従来の技術】工場排ガスとしての有機蒸気含有空気に
おいては、環境衛生上、有機蒸気を分離し、その有機蒸
気濃度を所定の規制濃度以下にして大気中に放出するこ
とが必要であり、この場合、有機蒸気を回収できる経済
的利益もある。従来、例えば、トルエン蒸気含有空気排
ガスの処理には、トルエン蒸気を活性炭等の吸着剤で分
離し、この吸着トルエンを水蒸気やチッ素ガス等の不活
性ガスで脱離回収する方法が多用されている。
おいては、環境衛生上、有機蒸気を分離し、その有機蒸
気濃度を所定の規制濃度以下にして大気中に放出するこ
とが必要であり、この場合、有機蒸気を回収できる経済
的利益もある。従来、例えば、トルエン蒸気含有空気排
ガスの処理には、トルエン蒸気を活性炭等の吸着剤で分
離し、この吸着トルエンを水蒸気やチッ素ガス等の不活
性ガスで脱離回収する方法が多用されている。
【０００３】しかながら、近来においては、膜分離技術
の発展がめざましく、上記の工場排ガスの処理を全面的
に膜分離で行うこと、若しくは膜分離と凝縮法、吸着
法、または吸収法との組合せで行うことが試みられてい
る。
の発展がめざましく、上記の工場排ガスの処理を全面的
に膜分離で行うこと、若しくは膜分離と凝縮法、吸着
法、または吸収法との組合せで行うことが試みられてい
る。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】ところで、トルエン蒸
気の爆発濃度範囲は、酸素濃度１１VOL%以上の場合、
１．２〜７．１VOL%であり、酸素濃度１１VOL%以下では
爆発の危険性はない。しかしながら、上記のトルエン蒸
気含有空気排ガスを、トルエン蒸気に対し選択透過性を
有する通常の膜、例えば、シリコン透過膜で透過すれ
ば、透過ガス中の酸素濃度も高くなるから、透過ガス中
の酸素濃度を１１VOL%以下に抑えることは難しく、かか
るもとで、透過ガス中のトルエン蒸気濃度が１．２〜
７．１VOL%となるとガス爆発の危険性がある。
気の爆発濃度範囲は、酸素濃度１１VOL%以上の場合、
１．２〜７．１VOL%であり、酸素濃度１１VOL%以下では
爆発の危険性はない。しかしながら、上記のトルエン蒸
気含有空気排ガスを、トルエン蒸気に対し選択透過性を
有する通常の膜、例えば、シリコン透過膜で透過すれ
ば、透過ガス中の酸素濃度も高くなるから、透過ガス中
の酸素濃度を１１VOL%以下に抑えることは難しく、かか
るもとで、透過ガス中のトルエン蒸気濃度が１．２〜
７．１VOL%となるとガス爆発の危険性がある。
【０００５】かかる危険性を排除するために、透過膜に
トルエン蒸気に対する選択透過性以外に酸素に対する優
れた遮断性を有する膜を開発することは今後の課題であ
り、当面においては、可燃性有機蒸気含有空気を既存の
膜で爆発の畏れなく安全に、しかも充分な透過速度で処
理することが要請される。
トルエン蒸気に対する選択透過性以外に酸素に対する優
れた遮断性を有する膜を開発することは今後の課題であ
り、当面においては、可燃性有機蒸気含有空気を既存の
膜で爆発の畏れなく安全に、しかも充分な透過速度で処
理することが要請される。
【０００６】本発明の目的は、可燃性有機蒸気含有空気
排ガスを有機蒸気に対し選択透過性を有する通常の膜で
爆発の畏れなく、しかも、透過速度を充分に保持して処
理できる可燃性有機蒸気含有空気の処理方法を提供する
ことにある。
排ガスを有機蒸気に対し選択透過性を有する通常の膜で
爆発の畏れなく、しかも、透過速度を充分に保持して処
理できる可燃性有機蒸気含有空気の処理方法を提供する
ことにある。
【０００７】
【課題を解決するための手段】本発明の可燃性有機蒸気
含有空気の処理方法は、可燃性有機蒸気を含有する空気
を、その有機蒸気に対し選択透過性を有する膜モジュ−
ルにより処理する方法において、膜モジュ−ルの透過側
に不燃性ガスを供給して透過側ガスの有機蒸気濃度を当
該有機蒸気の爆発濃度範囲の下限濃度以下にすると共に
透過側ガスの有機蒸気濃度の低減により膜モジュ−ルの
膜間有機蒸気濃度差を増加させることを特徴とする構成
である。
含有空気の処理方法は、可燃性有機蒸気を含有する空気
を、その有機蒸気に対し選択透過性を有する膜モジュ−
ルにより処理する方法において、膜モジュ−ルの透過側
に不燃性ガスを供給して透過側ガスの有機蒸気濃度を当
該有機蒸気の爆発濃度範囲の下限濃度以下にすると共に
透過側ガスの有機蒸気濃度の低減により膜モジュ−ルの
膜間有機蒸気濃度差を増加させることを特徴とする構成
である。
【０００８】
【作用】有機蒸気に対し選択透過性を有する膜の透過特
性の如何にかかわらず、膜モジュ−ルの透過側ガスの有
機蒸気濃度を当該有機蒸気の爆発濃度範囲の下限濃度以
下になし得、その膜に通常の酸素遮断性能以上の特性を
付与するまでもなく、爆発の危険性を排除できる。ま
た、膜モジュ−ル透過側での不燃性ガスの供給による減
圧度の低下による透過流量の減少を、透過側ガスの有機
蒸気濃度の低下にによる膜間有機蒸気濃度差の増加によ
る透過流量の増大で補償でき、有機蒸気の透過流量をよ
く維持できる。
性の如何にかかわらず、膜モジュ−ルの透過側ガスの有
機蒸気濃度を当該有機蒸気の爆発濃度範囲の下限濃度以
下になし得、その膜に通常の酸素遮断性能以上の特性を
付与するまでもなく、爆発の危険性を排除できる。ま
た、膜モジュ−ル透過側での不燃性ガスの供給による減
圧度の低下による透過流量の減少を、透過側ガスの有機
蒸気濃度の低下にによる膜間有機蒸気濃度差の増加によ
る透過流量の増大で補償でき、有機蒸気の透過流量をよ
く維持できる。
【０００９】
【実施例】以下、図面により本発明の実施例を説明す
る。図１は本発明において使用するガス処理装置の一例
を示している。図１において、１は可燃性有機蒸気を含
有する空気の排ガス源である。２は膜モジュ−ルであ
り、膜には有機蒸気に対し選択透過性を有する複合膜ま
たは非対称膜を使用している。２１は非透過ガス排出口
である。３は膜モジュ−ル２に被処理ガスを供給する送
風機、４は膜モジュ−ル２の透過側を減圧する真空ポン
プである。５は膜モジュ−ル２の透過側への不燃性ガス
供給管である。
る。図１は本発明において使用するガス処理装置の一例
を示している。図１において、１は可燃性有機蒸気を含
有する空気の排ガス源である。２は膜モジュ−ルであ
り、膜には有機蒸気に対し選択透過性を有する複合膜ま
たは非対称膜を使用している。２１は非透過ガス排出口
である。３は膜モジュ−ル２に被処理ガスを供給する送
風機、４は膜モジュ−ル２の透過側を減圧する真空ポン
プである。５は膜モジュ−ル２の透過側への不燃性ガス
供給管である。
【００１０】図１に示すガス処理装置を使用して、本発
明により可燃性有機蒸気含有空気排ガスを処理するに
は、送風機３により排ガス源１からの被処理ガスを膜モ
ジュ−ル２に導入し、該膜モジュ−ル２の透過側を真空
ポンプ４により減圧し、導入被処理ガス中の可燃性有機
蒸気を膜の選択透過性で分離し、この分離により非透過
ガス中の有機蒸気濃度を環境衛生上の規制基準値以下と
し、非透過ガス排出口２１から大気中に放出していく。
明により可燃性有機蒸気含有空気排ガスを処理するに
は、送風機３により排ガス源１からの被処理ガスを膜モ
ジュ−ル２に導入し、該膜モジュ−ル２の透過側を真空
ポンプ４により減圧し、導入被処理ガス中の可燃性有機
蒸気を膜の選択透過性で分離し、この分離により非透過
ガス中の有機蒸気濃度を環境衛生上の規制基準値以下と
し、非透過ガス排出口２１から大気中に放出していく。
【００１１】一方、膜モジュ−ル２の透過側ガスを不燃
性ガス供給管５からの不燃性ガスで希釈し、その透過側
ガスの有機蒸気濃度を爆発濃度範囲の下限値以下にした
うえで、次ぎの処理段階に導入していく。
性ガス供給管５からの不燃性ガスで希釈し、その透過側
ガスの有機蒸気濃度を爆発濃度範囲の下限値以下にした
うえで、次ぎの処理段階に導入していく。
【００１２】この場合、膜モジュ−ル２の透過側への不
燃性ガスの供給により、真空ポンプ４の負荷が増大し、
膜モジュ−ルの透過側減圧度が悪くなるが、透過側ガス
の有機蒸気濃度の減少で膜間の有機蒸気濃度差が増加す
るから、膜モジュ−ルの透過側減圧度の悪化による透過
流量の低下を膜間有機蒸気濃度差の増加による透過流量
の増大でよく補償でき、有機蒸気に対する透過流量を充
分に保持しつつ、有機蒸気含有空気を所定の基準値以下
にして大気中に放出できる。
燃性ガスの供給により、真空ポンプ４の負荷が増大し、
膜モジュ−ルの透過側減圧度が悪くなるが、透過側ガス
の有機蒸気濃度の減少で膜間の有機蒸気濃度差が増加す
るから、膜モジュ−ルの透過側減圧度の悪化による透過
流量の低下を膜間有機蒸気濃度差の増加による透過流量
の増大でよく補償でき、有機蒸気に対する透過流量を充
分に保持しつつ、有機蒸気含有空気を所定の基準値以下
にして大気中に放出できる。
【００１３】本発明は印刷工場、塗装工場等からの排ガ
スであるトルエン等の有機蒸気含有空気の処理に有用で
あり、以下、その実施例について説明する。このトルエ
ン蒸気の場合の爆発濃度範囲は、酸素濃度１１VOL%以上
のもとで、１．２VOL%〜７．１VOL%である。
スであるトルエン等の有機蒸気含有空気の処理に有用で
あり、以下、その実施例について説明する。このトルエ
ン蒸気の場合の爆発濃度範囲は、酸素濃度１１VOL%以上
のもとで、１．２VOL%〜７．１VOL%である。
【００１４】実施例１ 図１に示すガス処理装置を使用し、この場合、膜モジュ
−ル２には膜面積１４ｍ2のスパイラル膜モジュ−ルを
使用し、膜には、ポリスルホン支持膜上にシリコン薄膜
を塗布形成した複合膜を用いた。被処理ガスには、トル
エン蒸気０．３VOL%，水分２．３VOL%，酸素２０．３VO
L%の混合ガスを使用した。
−ル２には膜面積１４ｍ2のスパイラル膜モジュ−ルを
使用し、膜には、ポリスルホン支持膜上にシリコン薄膜
を塗布形成した複合膜を用いた。被処理ガスには、トル
エン蒸気０．３VOL%，水分２．３VOL%，酸素２０．３VO
L%の混合ガスを使用した。
【００１５】この混合ガスを１００Nm3/hrで膜モジュ−
ル２に供給し、膜モジュ−ル２の透過側に不燃性ガスと
してチッ素ガスを１０Nm3/hrで供給し、透過側ガス流量
を１７Nm3/hr，非透過ガスの流出量を９３Nm3/hrとする
ように送風機３並びに真空ポンプ４を操作したところ、
非透過ガスの組成が、トルエン蒸気０．１４VOL%，水分
１．２VOL%，酸素２０．０VOL%となり、透過側ガスの組
成がトルエン蒸気１．０VOL%，水分７．０VOL%，酸素１
０．０VOL%となった。従って、透過側ガスのトルエン蒸
気濃度がトルエン蒸気爆発濃度範囲の下限値である１．
２VOL%以下で、しかも、その酸素濃度が１１VOL%以下と
なっているので、トルエン蒸気の爆発の畏れは全くな
い。
ル２に供給し、膜モジュ−ル２の透過側に不燃性ガスと
してチッ素ガスを１０Nm3/hrで供給し、透過側ガス流量
を１７Nm3/hr，非透過ガスの流出量を９３Nm3/hrとする
ように送風機３並びに真空ポンプ４を操作したところ、
非透過ガスの組成が、トルエン蒸気０．１４VOL%，水分
１．２VOL%，酸素２０．０VOL%となり、透過側ガスの組
成がトルエン蒸気１．０VOL%，水分７．０VOL%，酸素１
０．０VOL%となった。従って、透過側ガスのトルエン蒸
気濃度がトルエン蒸気爆発濃度範囲の下限値である１．
２VOL%以下で、しかも、その酸素濃度が１１VOL%以下と
なっているので、トルエン蒸気の爆発の畏れは全くな
い。
【００１６】比較例 上記実施例１に対し、膜モジュ−ルの透過側へのチッ素
ガスの供給を停止した以外、他の条件は実施例１と同様
にして混合ガスを処理したところ、非透過ガス流量が９
５Nm3/hr，その組成が、トルエン蒸気０．１４VOL%，水
分１．２VOL%，酸素２０．０VOL%となり、実施例１と殆
ど同一であり、実施例１において、膜モジュ−ルの透過
側透過側ガスへのチッ素ガスの供給にもかかわらず、膜
の透過流量をよく保持できることが明らかである。ま
た、この比較例では、透過側ガスの流量が５Nm3/hr，そ
のガス組成がトルエン蒸気３．３VOL%，水分２３VOL%，
酸素２６．０VOL%であリ、トルエン蒸気の爆発濃度範囲
内、即ち、酸素濃度１１VOL%以上のもとでの１．２VOL%
〜７．１VOL%に入っており、実施例１とは異なり、爆発
の危険性がある。
ガスの供給を停止した以外、他の条件は実施例１と同様
にして混合ガスを処理したところ、非透過ガス流量が９
５Nm3/hr，その組成が、トルエン蒸気０．１４VOL%，水
分１．２VOL%，酸素２０．０VOL%となり、実施例１と殆
ど同一であり、実施例１において、膜モジュ−ルの透過
側透過側ガスへのチッ素ガスの供給にもかかわらず、膜
の透過流量をよく保持できることが明らかである。ま
た、この比較例では、透過側ガスの流量が５Nm3/hr，そ
のガス組成がトルエン蒸気３．３VOL%，水分２３VOL%，
酸素２６．０VOL%であリ、トルエン蒸気の爆発濃度範囲
内、即ち、酸素濃度１１VOL%以上のもとでの１．２VOL%
〜７．１VOL%に入っており、実施例１とは異なり、爆発
の危険性がある。
【００１７】図２は本発明において使用されるガス処理
装置の別例を示し、有機蒸気を液相回収する場合に使用
される。図２において、３は送風機を、２は第１段膜モ
ジュ−ルを、４は第１段真空ポンプを、２１は第１段膜
モジュ−ル２の非透過ガス排出口を、５は第１段膜モジ
ュ−ル２の透過側への不燃性ガス供給管をそれぞれ示
し、これらの構成は図１に示す装置に実質上同一であ
る。２０は第１段真空ポンプ４の出口側に連結した第２
段膜モジュ−ルを、４０は第２段真空ポンプをそれぞれ
示し、第２段膜モジュ−ル２０の非透過ガス出口201を
送風機３の入口側に連通してある。勿論、この第２段膜
モジュ−ル２０の膜にも、第１段膜モジュ−ル２と同
様、有機蒸気に対し選択透過性を有する複合膜、または
非対称膜を使用している。６は第２真空ポンプ４０の出
口側に連結した凝縮器を、６２は凝縮液取出管を、６１
は非凝縮ガス出口をそれぞれ示し、非凝縮ガス出口６１
を第２段膜モジュ−ル２０の入口側に連通してある。
装置の別例を示し、有機蒸気を液相回収する場合に使用
される。図２において、３は送風機を、２は第１段膜モ
ジュ−ルを、４は第１段真空ポンプを、２１は第１段膜
モジュ−ル２の非透過ガス排出口を、５は第１段膜モジ
ュ−ル２の透過側への不燃性ガス供給管をそれぞれ示
し、これらの構成は図１に示す装置に実質上同一であ
る。２０は第１段真空ポンプ４の出口側に連結した第２
段膜モジュ−ルを、４０は第２段真空ポンプをそれぞれ
示し、第２段膜モジュ−ル２０の非透過ガス出口201を
送風機３の入口側に連通してある。勿論、この第２段膜
モジュ−ル２０の膜にも、第１段膜モジュ−ル２と同
様、有機蒸気に対し選択透過性を有する複合膜、または
非対称膜を使用している。６は第２真空ポンプ４０の出
口側に連結した凝縮器を、６２は凝縮液取出管を、６１
は非凝縮ガス出口をそれぞれ示し、非凝縮ガス出口６１
を第２段膜モジュ−ル２０の入口側に連通してある。
【００１８】５０は第２段膜モジュ−ル２０の透過側に
不燃性ガスを供給する不燃性ガス供給管を、500は凝縮
器６のガス入口側に不燃性ガスを供給する不燃性ガス供
給管をそれぞれ示し、省略することもできる。
不燃性ガスを供給する不燃性ガス供給管を、500は凝縮
器６のガス入口側に不燃性ガスを供給する不燃性ガス供
給管をそれぞれ示し、省略することもできる。
【００１９】図２に示すガス処理装置を使用して、本発
明により可燃性有機蒸気含有空気排ガスを処理するに
は、不燃性ガスを不燃性ガス供給管５より第１段膜モジ
ュ−ル２の透過側に供給しつつ、第１段膜モジュ−ル２
により排ガス源１からの排ガスを処理し、該膜モジュ−
ル２の透過側ガスをその有機蒸気濃度を爆発濃度範囲の
下限値以下にしたうえで、第２段膜モジュ−ル２０に送
り、該膜モジュ−ル２０の膜の有機蒸気に対する選択透
過性により同膜モジュ−ル２０の透過側ガスの有機蒸気
濃度を上げ、この高濃度有機蒸気ガスを凝縮器６に通し
て有機蒸気を液相で回収していく。
明により可燃性有機蒸気含有空気排ガスを処理するに
は、不燃性ガスを不燃性ガス供給管５より第１段膜モジ
ュ−ル２の透過側に供給しつつ、第１段膜モジュ−ル２
により排ガス源１からの排ガスを処理し、該膜モジュ−
ル２の透過側ガスをその有機蒸気濃度を爆発濃度範囲の
下限値以下にしたうえで、第２段膜モジュ−ル２０に送
り、該膜モジュ−ル２０の膜の有機蒸気に対する選択透
過性により同膜モジュ−ル２０の透過側ガスの有機蒸気
濃度を上げ、この高濃度有機蒸気ガスを凝縮器６に通し
て有機蒸気を液相で回収していく。
【００２０】この場合、第２段膜モジュ−ル２０の透過
側ガスの有機蒸気濃度がその爆発濃度範囲内にあるとき
は、不燃性ガス供給管５０より第２段膜モジュ−ル２０
の透過側に不燃性ガスが供給され、その膜モジュ−ルの
透過側ガスの酸素濃度が爆発濃度以下にされる。また、
有機蒸気の種類や凝縮温度等により、凝縮器６の非凝縮
ガス出口６１でのガス中の有機蒸気濃度が有機蒸気の爆
発濃度範囲内に入るときは、凝縮器６の入口側の不燃性
ガス供給管500から不燃性ガスが供給され、そのガスの
酸素濃度が爆発濃度以下とされる。
側ガスの有機蒸気濃度がその爆発濃度範囲内にあるとき
は、不燃性ガス供給管５０より第２段膜モジュ−ル２０
の透過側に不燃性ガスが供給され、その膜モジュ−ルの
透過側ガスの酸素濃度が爆発濃度以下にされる。また、
有機蒸気の種類や凝縮温度等により、凝縮器６の非凝縮
ガス出口６１でのガス中の有機蒸気濃度が有機蒸気の爆
発濃度範囲内に入るときは、凝縮器６の入口側の不燃性
ガス供給管500から不燃性ガスが供給され、そのガスの
酸素濃度が爆発濃度以下とされる。
【００２１】実施例２ 図２において、第１段膜モジュ−ル２並びに第２段膜モ
ジュ−ル２０に実施例１と同一の膜モジュ−ルを使用
し、凝縮器６には、０〜３℃にて冷却水を循環する多管
式を使用した。
ジュ−ル２０に実施例１と同一の膜モジュ−ルを使用
し、凝縮器６には、０〜３℃にて冷却水を循環する多管
式を使用した。
【００２２】実施例１と同一の被処理ガスを供給量１０
０Nm3/hrで第１段膜モジュ−ル２に供給し、不燃性ガス
供給管５による第１段膜モジュ−ル２の透過側へのチッ
素ガスの供給流量を１０Nm3/hrとし（他の不燃性ガス供
給管５０，500からの供給は行わなかった）、第１段膜
モジュ−ル２の非透過ガス流量を９９Nm3/hr，第１段膜
モジュ−ル２の透過側ガス流量を１１Nm3/hrとするよう
に運転した。この場合、凝縮器６による凝縮液の回収量
は、１．５ｋｇ／ｈｒであり、凝縮液の組成はトルエン
４３ｗｔ％，水５７ｗｔ％であり、被処理ガス中の約５
０％のトルエンを回収できた。
０Nm3/hrで第１段膜モジュ−ル２に供給し、不燃性ガス
供給管５による第１段膜モジュ−ル２の透過側へのチッ
素ガスの供給流量を１０Nm3/hrとし（他の不燃性ガス供
給管５０，500からの供給は行わなかった）、第１段膜
モジュ−ル２の非透過ガス流量を９９Nm3/hr，第１段膜
モジュ−ル２の透過側ガス流量を１１Nm3/hrとするよう
に運転した。この場合、凝縮器６による凝縮液の回収量
は、１．５ｋｇ／ｈｒであり、凝縮液の組成はトルエン
４３ｗｔ％，水５７ｗｔ％であり、被処理ガス中の約５
０％のトルエンを回収できた。
【００２３】また、凝縮器出口６１の非凝縮ガス中のト
ルエン蒸気濃度は１．１VOL%以下であり、第２段膜モジ
ュ−ル２０の透過側ガス中のトルエン蒸気濃度は８．０
VOL%以上であり、共にトルエン蒸気の爆発濃度範囲外で
あった。更に、第１段膜モジュ−ル２の非透過ガス流量
が９９Nm3/hr，そのガス組成がトルエン蒸気０．１５VO
L%，水分１．３VOL%，酸素２０．５VOL%であり、実施例
１にほぼ同等であり、トルエン蒸気の透過流量もよく保
持できた。
ルエン蒸気濃度は１．１VOL%以下であり、第２段膜モジ
ュ−ル２０の透過側ガス中のトルエン蒸気濃度は８．０
VOL%以上であり、共にトルエン蒸気の爆発濃度範囲外で
あった。更に、第１段膜モジュ−ル２の非透過ガス流量
が９９Nm3/hr，そのガス組成がトルエン蒸気０．１５VO
L%，水分１．３VOL%，酸素２０．５VOL%であり、実施例
１にほぼ同等であり、トルエン蒸気の透過流量もよく保
持できた。
【００２４】なお、本発明において、不燃性ガスには有
機蒸気と混合されても有機蒸気を燃焼させないものであ
れば適宜のガスを使用でき、上記のチッ素ガス以外に、
水蒸気、ヘリウムガス等も使用できる。
機蒸気と混合されても有機蒸気を燃焼させないものであ
れば適宜のガスを使用でき、上記のチッ素ガス以外に、
水蒸気、ヘリウムガス等も使用できる。
【００２５】また、膜モジュ−ルには、膜が有機蒸気に
対し選択透過性を有し、かつ、透過側の一端から不燃性
ガスを供給でき、他端側から透過側ガスを流出できるも
のであればよく、上記スパイラル型膜モジュ−ル以外
に、中空糸膜型、プレ−ト型等を使用できる。
対し選択透過性を有し、かつ、透過側の一端から不燃性
ガスを供給でき、他端側から透過側ガスを流出できるも
のであればよく、上記スパイラル型膜モジュ−ル以外
に、中空糸膜型、プレ−ト型等を使用できる。
【００２６】
【発明の効果】本発明の可燃性有機蒸気含有空気の処理
方法によれば、膜モジュ−ルの透過側ガスの有機蒸気濃
度を、その透過側への不燃性ガスの供給により有機蒸気
の爆発濃度範囲の下限値以下、もしくは、酸素濃度を爆
発濃度以下にでき、膜を有機蒸気に対する選択透過性の
みから選択しても有機蒸気の爆発を排除でき、かかる膜
の選択と、膜間有機蒸気濃度差の増加による有機蒸気の
透過流量の維持とにより、可燃性有機蒸気含有空気を爆
発の畏れなく、かつ充分な透過速度のもとで処理でき
る。
方法によれば、膜モジュ−ルの透過側ガスの有機蒸気濃
度を、その透過側への不燃性ガスの供給により有機蒸気
の爆発濃度範囲の下限値以下、もしくは、酸素濃度を爆
発濃度以下にでき、膜を有機蒸気に対する選択透過性の
みから選択しても有機蒸気の爆発を排除でき、かかる膜
の選択と、膜間有機蒸気濃度差の増加による有機蒸気の
透過流量の維持とにより、可燃性有機蒸気含有空気を爆
発の畏れなく、かつ充分な透過速度のもとで処理でき
る。
【図１】本発明において使用するガス処理装置の一例を
示す説明図である。
示す説明図である。
【図２】本発明において使用するガス処理装置の別例を
示す説明図である。
示す説明図である。
２ 膜モジュ−ル ５ 不燃性ガス供給管
Claims (1)
- 【請求項１】可燃性有機蒸気を含有する空気を、その有
機蒸気に対し選択透過性を有する膜モジュ−ルにより処
理する方法において、膜モジュ−ルの透過側に不燃性ガ
スを供給して透過側ガスの有機蒸気濃度を当該有機蒸気
の爆発濃度範囲の下限濃度以下にすると共に透過側ガス
の有機蒸気濃度の低減により膜モジュ−ルの膜間有機蒸
気濃度差を増加させることを特徴とする可燃性有機蒸気
含有空気の処理方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12428992A JPH05293328A (ja) | 1992-04-17 | 1992-04-17 | 可燃性有機蒸気含有空気の処理方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12428992A JPH05293328A (ja) | 1992-04-17 | 1992-04-17 | 可燃性有機蒸気含有空気の処理方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05293328A true JPH05293328A (ja) | 1993-11-09 |
Family
ID=14881658
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP12428992A Pending JPH05293328A (ja) | 1992-04-17 | 1992-04-17 | 可燃性有機蒸気含有空気の処理方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH05293328A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2004186675A (ja) * | 2002-12-02 | 2004-07-02 | Semiconductor Components Industries Llc | 狭いドーピング・プロファイルを有する高性能半導体デバイスを作成する構造および方法 |
| WO2008019934A1 (de) * | 2006-08-15 | 2008-02-21 | Extrude Hone Gmbh | Vorrichtung zum thermischen entgraten von werkstücken |
| CN107219309A (zh) * | 2016-03-22 | 2017-09-29 | 国家安全生产监督管理总局化学品登记中心 | 可发性聚苯乙烯危险性评估方法 |
-
1992
- 1992-04-17 JP JP12428992A patent/JPH05293328A/ja active Pending
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2004186675A (ja) * | 2002-12-02 | 2004-07-02 | Semiconductor Components Industries Llc | 狭いドーピング・プロファイルを有する高性能半導体デバイスを作成する構造および方法 |
| WO2008019934A1 (de) * | 2006-08-15 | 2008-02-21 | Extrude Hone Gmbh | Vorrichtung zum thermischen entgraten von werkstücken |
| US8696977B2 (en) | 2006-08-15 | 2014-04-15 | Kennametal Inc. | Device for the thermal deburring of workpieces |
| US9132512B2 (en) | 2006-08-15 | 2015-09-15 | Kennametal Extrude Hone GmbH | Device for the thermal deburring of workpieces |
| CN107219309A (zh) * | 2016-03-22 | 2017-09-29 | 国家安全生产监督管理总局化学品登记中心 | 可发性聚苯乙烯危险性评估方法 |
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