JPH01143625A - ガスの脱湿方法 - Google Patents
ガスの脱湿方法Info
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- JPH01143625A JPH01143625A JP62300432A JP30043287A JPH01143625A JP H01143625 A JPH01143625 A JP H01143625A JP 62300432 A JP62300432 A JP 62300432A JP 30043287 A JP30043287 A JP 30043287A JP H01143625 A JPH01143625 A JP H01143625A
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Landscapes
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、ガスの脱湿方法、詳しくは、ガスに含まれる
水分を、水分選択透過性の分離膜を用い、エネルギー効
率良く且つ容易に除去する方法に関するもので、本発明
の方法は、例えば計装用加圧ガス及び駆動装置用加圧ガ
スの脱湿等に利用される。
水分を、水分選択透過性の分離膜を用い、エネルギー効
率良く且つ容易に除去する方法に関するもので、本発明
の方法は、例えば計装用加圧ガス及び駆動装置用加圧ガ
スの脱湿等に利用される。
計装用加圧ガスは、プロセス制御機器(例えば、空気圧
式伝送器、空気圧式調節計、空気圧式駆動装置等)に使
用されるもので、例えば、化学プラントの流量、差圧、
圧力、液位、温度等のプロセス変数をガス圧力(0,0
5〜1. OKg/c+a Ha)に変換し受(へ計器
に伝送するためのプロセス制御装置のガス圧力源として
重要な役割を果たしている。
式伝送器、空気圧式調節計、空気圧式駆動装置等)に使
用されるもので、例えば、化学プラントの流量、差圧、
圧力、液位、温度等のプロセス変数をガス圧力(0,0
5〜1. OKg/c+a Ha)に変換し受(へ計器
に伝送するためのプロセス制御装置のガス圧力源として
重要な役割を果たしている。
また、駆動装置用加圧ガスは、産業ロボット等に使用さ
れるもので、例えば、機械加工設備(プレス、グイキャ
スト設備)の自動化を図るために使用される空気シリン
ダ、ロークリアクチュエータ等の機器の駆動源として使
用されている。このような機器の駆動源としては、通常
5Kg/cj−G程度の加圧空気が用いられている。
れるもので、例えば、機械加工設備(プレス、グイキャ
スト設備)の自動化を図るために使用される空気シリン
ダ、ロークリアクチュエータ等の機器の駆動源として使
用されている。このような機器の駆動源としては、通常
5Kg/cj−G程度の加圧空気が用いられている。
上記の計装用加圧ガス及び駆動装置用加圧ガスとしては
、プロセス制御機器や機械加工設備等を安全且つ円滑に
運転するために、ドレン、ダスト等の発生の惧れのない
清浄な乾燥したガス(水分含11500ppm程度以下
)を使用する必要がある。
、プロセス制御機器や機械加工設備等を安全且つ円滑に
運転するために、ドレン、ダスト等の発生の惧れのない
清浄な乾燥したガス(水分含11500ppm程度以下
)を使用する必要がある。
従来、乾燥ガスを得る方法としては、吸着法や冷却法が
あり、特に吸着法は低レベル迄水分含量を減少させるこ
とが可能であるため、最も一般的に利用されている。こ
の吸着法における吸着剤としては、モレキュラーシープ
、シリカゲル、活性アルミナ等が用いられている。
あり、特に吸着法は低レベル迄水分含量を減少させるこ
とが可能であるため、最も一般的に利用されている。こ
の吸着法における吸着剤としては、モレキュラーシープ
、シリカゲル、活性アルミナ等が用いられている。
また、最近、各種の無機質膜又は有機質膜からなるガス
分離膜を内蔵したガス分離装置を用いてガスの脱湿を行
う方法が、いくつか提案されていごのようなガス分離膜
を用いたガスの脱湿方法としては、ガス分離膜の透過側
を減圧に保持することにより、或いはガス分離膜の透過
側を乾燥ガスでパージすることにより、ガス分離膜の供
給側と透過(jjllとの間に水蒸気分圧差を生じさせ
て、ガスを脱湿する方法があり、この方法では、パージ
ガスとして用いられる乾燥ガスは各種駆動装置の駆動源
として用いられることなく大気へ放出されている。
分離膜を内蔵したガス分離装置を用いてガスの脱湿を行
う方法が、いくつか提案されていごのようなガス分離膜
を用いたガスの脱湿方法としては、ガス分離膜の透過側
を減圧に保持することにより、或いはガス分離膜の透過
側を乾燥ガスでパージすることにより、ガス分離膜の供
給側と透過(jjllとの間に水蒸気分圧差を生じさせ
て、ガスを脱湿する方法があり、この方法では、パージ
ガスとして用いられる乾燥ガスは各種駆動装置の駆動源
として用いられることなく大気へ放出されている。
前記の吸着法は、ガス中の水分の除去を非常に効率的に
行え、且つ脱湿後の水分含量を非常に低レベル、例えば
空気においては大気圧露点−50℃程度迄脱湿すること
が可能であるが、吸着容重を超えた場合には、加熱或い
は圧力変化により吸着剤の再生処理を行う必要があり、
吸着(乾燥ガスの製造)−吸着剤の再生の繰り返し運転
となる。
行え、且つ脱湿後の水分含量を非常に低レベル、例えば
空気においては大気圧露点−50℃程度迄脱湿すること
が可能であるが、吸着容重を超えた場合には、加熱或い
は圧力変化により吸着剤の再生処理を行う必要があり、
吸着(乾燥ガスの製造)−吸着剤の再生の繰り返し運転
となる。
そのため、前記の吸着法は、吸着剤の再生に要するエネ
ルギーの消費量が大きく、また運転の複雑さ、操業上の
安全性、保守・管理の困難さ等の問題がある。
ルギーの消費量が大きく、また運転の複雑さ、操業上の
安全性、保守・管理の困難さ等の問題がある。
また、ガス分離膜を用いた前記の方法は、前記の吸着法
に比して、小型で軽量な装置にすることができ、維持管
理が容易であって安全性が高い等の利点を有するが、ガ
ス分離膜を用いたi?■記の方法の内、ガス分離膜の透
過側を′減圧に保持する方法の場合は、該透過側を減圧
に保持する手段として真空ポンプ等の装置が用いられ、
その動力費が高い等の問題がある。また、ガス分離膜の
透過側を乾燥ガスでパージする方法の場合は、かなり大
量の乾燥ガスが必要であり、この乾燥ガスの製造法が問
題となる。ガス分離膜のi3過側をパージする乾燥ガス
として、該ガス分離膜の透過側で得られた脱湿ガスの一
部を用いることも考えられるが、この場合は、高圧の脱
湿ガスの一部を各種駆動装置の駆動源として利用するこ
となく消費してしまうことになるため、エネルギー効率
が悪いという問題が生じる。
に比して、小型で軽量な装置にすることができ、維持管
理が容易であって安全性が高い等の利点を有するが、ガ
ス分離膜を用いたi?■記の方法の内、ガス分離膜の透
過側を′減圧に保持する方法の場合は、該透過側を減圧
に保持する手段として真空ポンプ等の装置が用いられ、
その動力費が高い等の問題がある。また、ガス分離膜の
透過側を乾燥ガスでパージする方法の場合は、かなり大
量の乾燥ガスが必要であり、この乾燥ガスの製造法が問
題となる。ガス分離膜のi3過側をパージする乾燥ガス
として、該ガス分離膜の透過側で得られた脱湿ガスの一
部を用いることも考えられるが、この場合は、高圧の脱
湿ガスの一部を各種駆動装置の駆動源として利用するこ
となく消費してしまうことになるため、エネルギー効率
が悪いという問題が生じる。
従って、本発明の目的は、低湿度のガスを、エネルギー
効率良く且つ容易に得ることができる、ガスの脱湿方法
を提供することにある。
効率良く且つ容易に得ることができる、ガスの脱湿方法
を提供することにある。
本発明者等は、種々検討した結果、ガス分^11膜の高
圧側でizFられる脱湿ガスを放圧し、該放圧時に生じ
るガスの膨張エネルギーを利用して真空ポンプを駆動さ
せて、上記ガス分離膜の低圧側を残圧することにより、
前記目的が達成されることを知見した。
圧側でizFられる脱湿ガスを放圧し、該放圧時に生じ
るガスの膨張エネルギーを利用して真空ポンプを駆動さ
せて、上記ガス分離膜の低圧側を残圧することにより、
前記目的が達成されることを知見した。
本発明は、上記知見に基づきなされたもので、ガス分離
1模を内蔵したガス分離装置を用い、Ilu圧した水蒸
気含有ガスを上記ガス分離膜の高圧側に供給し、且つそ
の際上記ガス分離膜の低圧側を減圧することにより、上
記ガス分離膜の高圧側と低圧側との間に水蒸気分圧差を
生しさせて、上記水蒸気含有ガスを脱湿する方法であっ
て、上記ガス分離膜の高圧側で得られた脱湿ガスを放圧
し、該放圧時に生じるガスの膨張エネルギーを利用して
真空ポンプを駆動させることにより、上記ガス分離膜の
低圧側を減圧することを特徴とするガスの脱湿方法を提
供するものである。
1模を内蔵したガス分離装置を用い、Ilu圧した水蒸
気含有ガスを上記ガス分離膜の高圧側に供給し、且つそ
の際上記ガス分離膜の低圧側を減圧することにより、上
記ガス分離膜の高圧側と低圧側との間に水蒸気分圧差を
生しさせて、上記水蒸気含有ガスを脱湿する方法であっ
て、上記ガス分離膜の高圧側で得られた脱湿ガスを放圧
し、該放圧時に生じるガスの膨張エネルギーを利用して
真空ポンプを駆動させることにより、上記ガス分離膜の
低圧側を減圧することを特徴とするガスの脱湿方法を提
供するものである。
以下、本発明のガスの脱湿方法を、図面に示す実施態様
について詳述する。尚、本発明の処理対象となるガスの
種類は、特に制限されないが、計装用及び駆動装置用の
ガスとしては、主に空気が用いられているので、以下、
ガスとして空気を用いた場合について説明する。
について詳述する。尚、本発明の処理対象となるガスの
種類は、特に制限されないが、計装用及び駆動装置用の
ガスとしては、主に空気が用いられているので、以下、
ガスとして空気を用いた場合について説明する。
先ず、第1図のフローシートに示す実施態様について説
明する。
明する。
処理対象である加圧した水蒸気含有空気を、ガス分離装
置1のガス分離膜2の高圧側(供給側)21にライン八
から供給する。その際、ガス分離膜2の低圧側(透過側
)22を、後述するように、真空ポンプ4で減圧し且つ
乾燥空気でパージする。
置1のガス分離膜2の高圧側(供給側)21にライン八
から供給する。その際、ガス分離膜2の低圧側(透過側
)22を、後述するように、真空ポンプ4で減圧し且つ
乾燥空気でパージする。
その結果、ガス分離膜2の高圧側21と低圧側22との
間に水蒸気分圧差が生じて、上記水蒸気含有空気に含ま
れる水1気がガス分離膜2を透過し、ガス分離膜2の高
圧倒21の出口に脱湿空気(非透過ガス)が得られる。
間に水蒸気分圧差が生じて、上記水蒸気含有空気に含ま
れる水1気がガス分離膜2を透過し、ガス分離膜2の高
圧倒21の出口に脱湿空気(非透過ガス)が得られる。
得られた脱湿空気を、ラインBから送出し、その一部を
上記のガス分離膜2の低圧側22をパージする乾燥空気
(パージガス)として該低圧側22に導入する他は、ラ
インCから取り出す。
上記のガス分離膜2の低圧側22をパージする乾燥空気
(パージガス)として該低圧側22に導入する他は、ラ
インCから取り出す。
一方、パージガスとしてガス分離膜2の低圧側22に導
入する脱湿空気を、ラインDから駆動装置3に4人する
。駆動装置3に導入した脱湿空気を放圧し、該放圧時に
生じる膨張エネルギーを駆動源として駆動装置3を作動
させる。この駆動装置3の動力をポンプ動力として真空
ポンプ4を駆動させる。この真空ポンプ4によりガス分
離膜2の低圧側22中のガスがラインFから吸引され、
該低圧側22は減圧に保持される。
入する脱湿空気を、ラインDから駆動装置3に4人する
。駆動装置3に導入した脱湿空気を放圧し、該放圧時に
生じる膨張エネルギーを駆動源として駆動装置3を作動
させる。この駆動装置3の動力をポンプ動力として真空
ポンプ4を駆動させる。この真空ポンプ4によりガス分
離膜2の低圧側22中のガスがラインFから吸引され、
該低圧側22は減圧に保持される。
また、駆動装置3で放圧した脱湿空気をラインEからガ
ス分離膜2の低圧側22に導入し、この脱湿空気で該低
圧側22をパージする。
ス分離膜2の低圧側22に導入し、この脱湿空気で該低
圧側22をパージする。
このように、ガス分離膜2の低圧側22を真空ポンプ4
により減圧に保持し且つ脱湿空気の一部でパージするこ
とにより、ガス分離膜2を透過してきた水蒸気は上記脱
湿空気と共にラインFから真空ポンプ4に吸引され、ラ
インGから大気へ排出される。その結果、ガス分離膜2
の高圧側21と低圧側22との間の水蒸気分圧差が確保
され、上記水蒸気含有空気の脱湿を効率良く行うことが
できる。
により減圧に保持し且つ脱湿空気の一部でパージするこ
とにより、ガス分離膜2を透過してきた水蒸気は上記脱
湿空気と共にラインFから真空ポンプ4に吸引され、ラ
インGから大気へ排出される。その結果、ガス分離膜2
の高圧側21と低圧側22との間の水蒸気分圧差が確保
され、上記水蒸気含有空気の脱湿を効率良く行うことが
できる。
ガス分離膜2の高圧側21に供給する加圧した水蒸気含
有空気の圧力は、脱湿空気の用途に応じて適宜決定され
、通常、2.0〜9.9Kg/−・G程度である。また
、水蒸気含有空気の供給量は、通常、O,1〜300
Nn?/hr程度とすると良い。
有空気の圧力は、脱湿空気の用途に応じて適宜決定され
、通常、2.0〜9.9Kg/−・G程度である。また
、水蒸気含有空気の供給量は、通常、O,1〜300
Nn?/hr程度とすると良い。
また、ガス分離膜2の大きさは、水蒸気含有空気の圧力
、水蒸気濃度及び供給量に応じて選定され、通常、有効
膜面積が0.05〜300dとなるようにするのが好ま
しい。
、水蒸気濃度及び供給量に応じて選定され、通常、有効
膜面積が0.05〜300dとなるようにするのが好ま
しい。
また、駆動装置3としては、エアシリンダー、回転翼等
が用いられる。
が用いられる。
また、真空ポンプ4としては、駆動装置3としてエアシ
リンダー等の往復動の駆動装置を用いた場合には往復動
真空ポンプが用いられ、回転翼等の回転動の駆動装置を
用いた場合にはスクリュー型真空ポンプ、ヘーン型真空
ポンプが用いられる。
リンダー等の往復動の駆動装置を用いた場合には往復動
真空ポンプが用いられ、回転翼等の回転動の駆動装置を
用いた場合にはスクリュー型真空ポンプ、ヘーン型真空
ポンプが用いられる。
また、ガス分離膜2の低圧側22の減圧度は、ガス分離
膜2を透過した水蒸気が凝縮しない範囲で高めることが
好ましい。
膜2を透過した水蒸気が凝縮しない範囲で高めることが
好ましい。
また、ガス分離膜2の低圧側22に導入する脱湿空気の
h士は、ガス分離膜2の高圧側21に供給する水蒸気含
有空気の供給量の0〜20%とするのが好ましい。
h士は、ガス分離膜2の高圧側21に供給する水蒸気含
有空気の供給量の0〜20%とするのが好ましい。
尚、ガス分離膜2の高圧側21に供給する水蒸気含有空
気は、該高圧側21に供給する111■に、フィルター
で処理して、該水蒸気含有空気に含まれる油分、ゴミ等
の不純物を予め除去して置くことが好ましい。
気は、該高圧側21に供給する111■に、フィルター
で処理して、該水蒸気含有空気に含まれる油分、ゴミ等
の不純物を予め除去して置くことが好ましい。
次に、第2図のフローシートに示す実施態様について説
明する。この実施態様は、ガス分離膜2の高圧側21で
得られた脱湿空気の全量をラインB゛から駆動装置3に
導入し、第1図のフローシートに示す実施態様と同様に
して駆動装置3を作動させ、該駆動装置3の動力をポン
プ動力として真空ポンプ4を駆動させた後、脱湿空気を
ガス分離膜2の低圧側22に導入することなく脱湿空気
の全量を製品としてラインC°から取り出すものである
。その他は、第1図のフローシートに示す実施態様の場
合と同様に実施される。
明する。この実施態様は、ガス分離膜2の高圧側21で
得られた脱湿空気の全量をラインB゛から駆動装置3に
導入し、第1図のフローシートに示す実施態様と同様に
して駆動装置3を作動させ、該駆動装置3の動力をポン
プ動力として真空ポンプ4を駆動させた後、脱湿空気を
ガス分離膜2の低圧側22に導入することなく脱湿空気
の全量を製品としてラインC°から取り出すものである
。その他は、第1図のフローシートに示す実施態様の場
合と同様に実施される。
上述の本発明の方法で用いられるガス分離膜としては、
セラミック多孔質膜等からなる無機質分離膜、ポリアミ
ド膜、セルロース膜、酢酸セルロース膜、ポリイミド膜
等からなる有機質分離膜が挙げられ、これらの中でも気
体選択透過性能に優れ且つ耐熱性、耐薬品性にも優れた
芳香族ポリイミド製分離膜が好ましい。
セラミック多孔質膜等からなる無機質分離膜、ポリアミ
ド膜、セルロース膜、酢酸セルロース膜、ポリイミド膜
等からなる有機質分離膜が挙げられ、これらの中でも気
体選択透過性能に優れ且つ耐熱性、耐薬品性にも優れた
芳香族ポリイミド製分離膜が好ましい。
上記分離膜としては、有効膜面積の大きい中空糸の集合
体が好ましいが、スパイラル状膜、平膜等でも良い。
体が好ましいが、スパイラル状膜、平膜等でも良い。
分離膜として用いられる上記中空糸は、その外径が、通
常50〜2000μ、好ましくは200〜1000μで
ある。中空糸の外径が小さ過ぎると圧力損失が大きくな
り、大き過ぎると有効膜面積が減少する。また、上記中
空糸としては、(厚み/外径)=0.1〜0.3の条件
を満たすものを用いるのが好ましい。尚、上記厚み=(
外径−内径)/2である。中空糸の厚みが小さいと耐圧
性が不充分となり、また厚みが大きいと気体選択透過性
が不良となる場合がある。
常50〜2000μ、好ましくは200〜1000μで
ある。中空糸の外径が小さ過ぎると圧力損失が大きくな
り、大き過ぎると有効膜面積が減少する。また、上記中
空糸としては、(厚み/外径)=0.1〜0.3の条件
を満たすものを用いるのが好ましい。尚、上記厚み=(
外径−内径)/2である。中空糸の厚みが小さいと耐圧
性が不充分となり、また厚みが大きいと気体選択透過性
が不良となる場合がある。
中空糸の集合体からなる好ましい芳香族ポリイ −ミド
製分離膜としては、例えば、特開昭62〜42723号
公報に記載の芳香族ポリイミド製分離膜が挙げられる。
製分離膜としては、例えば、特開昭62〜42723号
公報に記載の芳香族ポリイミド製分離膜が挙げられる。
以下、本発明の実施例を比較例と共に挙げ、本発明を更
に詳細に説明する。
に詳細に説明する。
実施例1
第1図に示すフローシートに従って下記のようにして水
蒸気含有ガスのJIIHWを行った。
蒸気含有ガスのJIIHWを行った。
加圧湿潤空気(圧カフ Kg/c+J−G、40℃、飽
和湿度)を100 Nm” /hrで、有効膜面積53
Mの芳香族ポリイミド製中空糸膜2の高圧側21にライ
ンAから供給した。中空糸膜2の高圧側21で得られた
脱湿空気の一部を10 N m” /hrでエフシリン
ダー3にラインDから導入し、放圧して往復動を生じさ
せた。放圧した脱湿空気を中空糸膜2の低圧側22にラ
インEから導入し、該低圧側22をパージした。一方、
エアシリンダー3の動力をポンプ動力として真空ポンプ
4を駆動させ、中空糸膜2の低圧側22の圧力を一〇、
48にg/ c+a−Gとした。中空糸膜2をi3過し
た水蒸気を、パージガスと共にラインFから真空ポンプ
4に吸引しラインGから大気へ排出した。その結果、ラ
インCから大気圧露点−31,3℃の脱湿空気(水分含
量345ppm+ )が81 N m3/hrで得られ
た。
和湿度)を100 Nm” /hrで、有効膜面積53
Mの芳香族ポリイミド製中空糸膜2の高圧側21にライ
ンAから供給した。中空糸膜2の高圧側21で得られた
脱湿空気の一部を10 N m” /hrでエフシリン
ダー3にラインDから導入し、放圧して往復動を生じさ
せた。放圧した脱湿空気を中空糸膜2の低圧側22にラ
インEから導入し、該低圧側22をパージした。一方、
エアシリンダー3の動力をポンプ動力として真空ポンプ
4を駆動させ、中空糸膜2の低圧側22の圧力を一〇、
48にg/ c+a−Gとした。中空糸膜2をi3過し
た水蒸気を、パージガスと共にラインFから真空ポンプ
4に吸引しラインGから大気へ排出した。その結果、ラ
インCから大気圧露点−31,3℃の脱湿空気(水分含
量345ppm+ )が81 N m3/hrで得られ
た。
比較例1
エアシリンダー及び真空ポンプを設けず、中空糸膜2の
高圧側21で得られた脱湿空気の一部を放圧して10
Nm’ /hrで中空糸膜2の低圧側22に供給した以
外は実施例1と同様にして加圧湿潤空気の脱湿を行った
ところ、大気圧露点−14゜1℃の脱湿空気(水分台!
1t180Qpp惟)が81゜5Nm’/hrで得られ
た。
高圧側21で得られた脱湿空気の一部を放圧して10
Nm’ /hrで中空糸膜2の低圧側22に供給した以
外は実施例1と同様にして加圧湿潤空気の脱湿を行った
ところ、大気圧露点−14゜1℃の脱湿空気(水分台!
1t180Qpp惟)が81゜5Nm’/hrで得られ
た。
本発明のガスの脱湿方法によれば、低湿度のガスを、エ
ネルギー効率良く且つ容易に、しかも連続的に得ること
ができ、また、ガスの脱湿装置を小型化及び軽量化する
ことができる等の効果が奏される。
ネルギー効率良く且つ容易に、しかも連続的に得ること
ができ、また、ガスの脱湿装置を小型化及び軽量化する
ことができる等の効果が奏される。
第1図は、本発明の脱湿方法の一実施態様の概略を示す
フローシートであり、第2図は、本発明の脱湿方法の別
の実施態様の概略を示すフローシートである。 l・・ガス分離装置、2・・ガス分離膜、21・・ガス
分離膜の高圧側、22・・ガス分離膜の低圧側、3・・
駆動装置、4・・真空ポンプ特許出願人 宇部興産
株式会社
フローシートであり、第2図は、本発明の脱湿方法の別
の実施態様の概略を示すフローシートである。 l・・ガス分離装置、2・・ガス分離膜、21・・ガス
分離膜の高圧側、22・・ガス分離膜の低圧側、3・・
駆動装置、4・・真空ポンプ特許出願人 宇部興産
株式会社
Claims (3)
- (1)ガス分離膜を内蔵したガス分離装置を用い、加圧
した水蒸気含有ガスを上記ガス分離膜の高圧側に供給し
、且つその際上記ガス分離膜の低圧側を減圧することに
より、上記ガス分離膜の高圧側と低圧側との間に水蒸気
分圧差を生じさせて、上記水蒸気含有ガスを脱湿する方
法であって、上記ガス分離膜の高圧側で得られた脱湿ガ
スを放圧し、該放圧時に生じるガスの膨張エネルギーを
利用して真空ポンプを駆動させることにより、上記ガス
分離膜の低圧側を減圧することを特徴とするガスの脱湿
方法。 - (2)ガス分離膜の高圧側で得られた脱湿ガスの一部を
放圧し、該放圧時に生じるガスの膨張エネルギーを利用
して真空ポンプを駆動させた後、該脱湿ガスをガス分離
膜の低圧側に導入する特許請求の範囲第(1)項記載の
ガスの脱湿方法。 - (3)ガス分離膜が、芳香族ポリイミド製膜である特許
請求の範囲第(1)項記載のガスの脱湿方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP62300432A JPH01143625A (ja) | 1987-11-27 | 1987-11-27 | ガスの脱湿方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP62300432A JPH01143625A (ja) | 1987-11-27 | 1987-11-27 | ガスの脱湿方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH01143625A true JPH01143625A (ja) | 1989-06-06 |
Family
ID=17884735
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP62300432A Pending JPH01143625A (ja) | 1987-11-27 | 1987-11-27 | ガスの脱湿方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH01143625A (ja) |
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4944776A (en) * | 1989-10-05 | 1990-07-31 | Andrew Corporation | Dehumidifier for waveguide system |
US4952219A (en) * | 1989-09-29 | 1990-08-28 | Air Products And Chemicals, Inc. | Membrane drying of gas feeds to low temperature units |
US5681368A (en) * | 1995-07-05 | 1997-10-28 | Andrew Corporation | Dehumidifier system using membrane cartridge |
US6485545B1 (en) * | 1997-09-06 | 2002-11-26 | Gkss-Forschungszentrum Geesthacht Gmbh | Arrangement for removing water vapor from pressurized gases or gas mixtures |
JP2003010604A (ja) * | 2001-07-02 | 2003-01-14 | Mitsubishi Rayon Co Ltd | 脱気装置 |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS564209U (ja) * | 1979-06-21 | 1981-01-14 | ||
JPS60238120A (ja) * | 1984-05-11 | 1985-11-27 | Takuma Sogo Kenkyusho:Kk | 空気の除湿装置 |
JPS6242723A (ja) * | 1985-08-20 | 1987-02-24 | Ube Ind Ltd | 混合ガスの除湿方法 |
JPS6249929A (ja) * | 1985-08-27 | 1987-03-04 | Matsushita Electric Works Ltd | 除湿機 |
-
1987
- 1987-11-27 JP JP62300432A patent/JPH01143625A/ja active Pending
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