JPH0529286A - ウエーハ貼付方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 貼付板に溶融状態の接着剤で仮接着したウエ
−ハを、プレスしないで確実に貼付板に貼り付けるよう
にする。 【構成】 上部冷却プレ−トと下部冷却プレ−トを設
け、ウエ−ハを仮接着した貼付板を下部冷却プレ−ト上
に載置する。その後、上記下部冷却プレ−トと上部冷却
プレ−トを近づけ、上記ウエ−ハを上部冷却プレ−トの
下面に、極くわずかな空間を存して対峙させる。この状
態を所定時間保持することにより、溶融状態の接着剤を
固化し、ウエ−ハを貼付板に確実に貼り付ける。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、ウエ−ハの製造工程に
おいて、ウエ−ハを貼付板に貼り付けるウエ−ハ貼付方
法に関する。

【０００２】

【従来の技術】半導体製造において、ウエ−ハの表面を
平滑に仕上げるためウエ−ハを貼付板に貼り付けて研磨
加工することが行われている。ウエ−ハは厚さが薄いも
のであり、貼付状態の良否がそのまま研磨結果に表われ
るため、ウエ−ハを貼り付ける接着剤層は薄く均一な厚
さに形成され、ウエ−ハを貼付板に確実に貼り付けでき
るものでなければならない。

【０００３】上記接着剤としては、種々の接着剤が知ら
れているが、ウエ−ハ若しくは貼付板に薄く均一に形成
できるよう接着剤は溶融状態で塗布され、数枚のウエ−
ハを貼付板に仮接着したのち、全体をプレスして冷却
し、接着剤を固化するようにしている。

【０００４】

【発明の解決課題】上記のように、貼付板にウエ−ハを
仮接着している溶融状態の接着剤層は、未だ流動性を有
しているため、ウエ−ハを上面からプレスすると該プレ
スの表面形状の影響を受けて変形し、全体が均一な厚さ
に形成されなくなることがあった。そして、このような
影響が表われると、研磨機でウエ−ハを研磨した際に、
ウエ−ハは平滑に加工されない。

【０００５】そこで、本発明の目的は、溶融接着剤によ
りウエ−ハを仮接着した貼付板を、プレスせずに接着剤
を固化させてウエ−ハを確実に貼付板に貼り付けできる
ようにしたウエ−ハ貼付方法を提供することである。

【０００６】

【課題解決の手段】本発明によれば、上部冷却プレ−ト
と下部冷却プレ−トを接離可能に対設し、溶融状態の接
着剤によりウエ−ハを仮接着した貼付板を上記下部冷却
プレ−トに載置し、上記上部冷却プレ−トと下部冷却プ
レ−トを近接して上記ウエ−ハを極少空間を存して上記
上部冷却プレ−トに対峙させ、該状態にウエ−ハを保持
することにより上記接着剤を固化することを特徴とする
ウエ−ハ貼付方法が提供され、上記目的が達成される。

【０００７】

【実施例】以下実施例と共に説明する。図において、上
部冷却プレ−ト（１）と下部冷却プレ−ト（２）は、接
離可能に対設しており、それぞれ冷却水を入口（３），
（４）から各プレ−トに導入し、各プレ−トの全面に形
成した流路（５），（６）を通り、出口（７），（８）
から流出させることにより、溶融した接着剤を固化させ
るに充分な温度に冷却されている。

【０００８】上記上部冷却プレ−ト（１）の下面は、冷
却効果を増加させるために、表面に多数の溝、微少突起
等（図示略）を設けて表面積を広げるようにするとよ
く、また好ましくは周辺に、上部冷却プレ−トと下部冷
却プレ−トを近接させた際上記下部冷却プレ−ト（２）
を囲むようフランジ（９）を形成してある。

【０００９】上記上部冷却プレ−ト（１）と下部冷却プ
レ−ト（２）を接離させるには、上部冷却プレ−トを移
動可能に設けたり、上部及び下部冷却プレ−トをそれぞ
れ移動可能に設けたり適宜にすることができるが、図に
おいては、上部冷却プレ−ト（１）をフレ−ム(10)に固
定し、下部冷却プレ−ト（２）を移動するようにしてあ
る。

【００１０】図において、下部冷却プレ−ト（２）は、
下方に延びる昇降軸(11)を有し、該昇降軸(11)を軸受(1
2)に挿通し、油圧、空気圧等のシリンダ−装置(13)によ
り水平状態で昇降するようにしてあるが、ラックピニオ
ン機構、カム機構その他の適宜の機構により昇降させる
こともできる。

【００１１】上記上部冷却プレ−ト（１）と下部冷却プ
レ−ト（２）の間には、好ましくは窒素ガス等の気体が
流れるようにしてある。図においては、上部冷却プレ−
ト（１）の中央に窒素ガス等の気体の供給管(14)を開口
し、該開口部(15)の前面にバッフル板(16)を設け、窒素
ガスが上部冷却プレ−ト（１）の表面に沿って上部冷却
プレ−ト側から下部冷却プレ−ト側へ向けて流下するよ
うにしてある。このように窒素ガス等の気体を流すこと
により冷却効果を上げることができ、かつウエ−ハの剥
離を抑制することもできる。

【００１２】セラミックス、ガラス板等で作られた貼付
板(17)にウエ−ハ(18)を接着する接着剤は、溶融状態で
ウエ−ハ(18)に塗布したり、若しくは貼付板(17)に塗布
され、好ましくは特開昭６３−３１６４５１号公報に示
すように、自動的にウエ−ハ(18)は貼付板(17)に仮接着
される。

【００１３】上記のようにしてウエ−ハ(18)を仮接着し
た貼付板(17)は、上記下部冷却プレ−ト（２）上に載置
される。その後、該下部冷却プレ−ト（２）は上記シリ
ンダ−装置(13)により上昇し、上記ウエ−ハ(18)と上部
冷却プレ−ト（１）の下面との間に極少空間を存した位
置まで上昇したらその位置で停止する。この空間は、ウ
エ−ハに非接触の状態で上部冷却プレ−ト（１）からの
冷却作用を充分に下部冷却プレ−ト（２）上のウエ−ハ
に及ぼすことができる程度の距離、例えば、１mm〜１０
mm、好ましくは数mm程度とするとよい。また、下部冷却
プレ−ト（２）を、上昇位置に停止させる時間は、ウエ
−ハと貼付板間の接着剤が確実に固化する時間とする。

【００１４】上記のようにしてウエ−ハの接着剤が固化
し貼付板(17)に完全に貼り付いたら、上記シリンダ−装
置(13)により下部冷却プレ−ト（２）を降下し、該貼付
板（17）を該プレ−ト（２）上から取り出し次工程へ送
り、新たにウエ−ハを仮接着した貼付板を下部冷却プレ
−ト上に載置すればよい。

【００１５】

【発明の効果】本発明は以上のように構成され、ウエ−
ハをプレスしないで確実に貼付板に貼り付けでき、プレ
スによる悪影響を解消することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施例を示し、本発明を実施する装
置の一部を断面した正面図である。

【符号の説明】

１ 上部冷却プレ−ト ２ 下部冷却プレ−ト 17 貼付板 18 ウエ−ハ

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 上部冷却プレ−トと下部冷却プレ−トを
   接離可能に対設し、溶融接着剤によりウエ−ハを上面に
   仮接着した貼付板を上記下部冷却プレ−ト上に載置し、
   上記上部冷却プレ−トと下部冷却プレ−トを近接し、上
   記ウエ−ハを上部冷却プレ−トに極少空間を存して対峙
   させ、その状態に保持することにより上記ウエ−ハと貼
   付板間の接着剤を固化しウエ−ハを貼付板に貼り付ける
   ことを特徴とするウエ−ハ貼付方法。
2. 【請求項２】 上記上部冷却プレ−トと下部冷却プレ−
   トの間には、上部冷却プレ−トに沿って気体が流されて
   いる請求項１に記載のウエ−ハ貼付方法。
3. 【請求項３】 上記気体は、上記上部冷却プレ−ト側か
   ら下部冷却プレ−ト側に向けて流下している請求項２に
   記載のウエ−ハ貼付方法。