JP5715540B2 - 固形接着剤を用いたウエーハの貼付方法及び貼付装置 - Google Patents
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- Mechanical Treatment Of Semiconductor (AREA)
Description
2 接着剤
3 ウエーハ
4 真空吸着パッド
5 ウエーハ仮貼り部
8 加熱ヒーター台
11 割出モーター
15 固形接着滴下装置
16 加熱容器
17 ノズル
22 バルブ
23 透過式センサー
24 計測部
26 レーザーセンサー
34 ウエーハセット治具
36 プレス冷却部
43 冷却台
44 トルクモーター
46 加熱板
Claims (9)
- 固形接着剤が軟化するが流動性を示さない程度の温度に支持基板を加温すること、固形接着剤を滴下可能な温度に溶融すること、該接着剤を上記支持基板のウエーハ貼付部の中央に滴下して滴下した形状に保持すること、その後該支持基板を固形接着剤の軟化温度以上に加温しつつ真空吸着パッドで吸着されたウエーハを滴下された接着剤の上に降下しウエーハの中央部を該接着剤に接触させること、加温により接着剤が流動性を示すようになったら該ウエーハを支持基板に押し付けた状態で真空吸着パッドの吸着真空を破壊すること、該真空吸着パッドでウエーハを支持基板に押圧しつつ支持基板を加温することにより接着剤をウエーハの中央部から外周部まで流動させウエーハを支持基板に仮貼りすること、ウエーハを仮貼りした支持基板を支持基板の裏面側から冷却し接着剤を固化させることを特徴とする固形接着剤を用いたウエーハの貼付方法。
- 上記ウエーハを仮貼りした支持基板を支持基板の裏面側から冷却する工程において、支持基板をプレス冷却する際、ウエーハは接着剤が流動するよう加温される請求項1に記載の固形接着剤を用いたウエーハの貼付方法。
- 上記プレス冷却の際、途中でプレスによる加圧を停止して段階的にプレス冷却を行うようにした請求項2に記載の固形接着剤を用いたウエーハの貼付方法。
- 上記固形接着剤の軟化温度は40〜70℃であり、該接着剤を滴下するときの支持基板の温度は40〜50℃であり、ウエーハを接着剤に接触させるときの支持基板の温度は60℃である請求項1から3のいずれかに記載の固形接着剤を用いたウエーハの貼付方法。
- 支持基板を固形接着剤の軟化温度以上に加熱する加熱ヒーター台と、該加熱ヒーター台に載置された支持基板を加熱ヒーター台に接する位置と離れる位置に昇降させる上下動装置と、固形接着剤を溶融し上昇位置にある支持基板に接着剤を滴下する固形接着剤滴下装置と、ウエーハを保持し滴下した接着剤上にウエーハを押し付けて仮貼りする真空吸着パッドと、ウエーハを仮貼りした支持基板を支持基板の裏面側から冷却してプレス冷却するプレス冷却装置を具備し、上記固形接着剤滴下装置は、固形接着剤を収納する加熱容器と、該加熱容器の下方に設けられたノズルと、該加熱容器に収納した固形接着剤を溶融するよう上記加熱容器を加温するヒーターと、該加熱で溶融した接着剤を加圧する加圧ガスの供給口及び排気口と、ノズルを開閉するバルブを有し、上記ノズルは上記加熱容器を加温するヒーターにより加温されていることを特徴とする固形接着剤を使用したウエーハの貼付装置。
- 上記固形接着剤滴下装置は、加熱容器内の接着剤の残量を検出するレーザーセンサーを有し、該レーザーセンサーと加熱容器の間にはレーザー光が通過するスリットを形成した隔壁と透明ガラスが設けられ、該透明ガラスの表面に上記供給口から供給された加圧ガスを流下させるようにした請求項5に記載の固形接着剤を使用したウエーハの貼付装置。
- 上記固形接着剤滴下装置は、上記レーザーセンサーの検出信号に基づき加圧ガスの流量を制御する電空レギュレターを具備する請求項6に記載の固形接着剤を使用したウエーハの貼付装置。
- 上記プレス冷却装置は、支持基板を冷却する冷却台と、該冷却台に対向して設けられウエーハを加熱する加熱板と、冷却台若しくは加熱板を加熱板若しくは冷却台に向けて移動させる駆動装置を有する請求項5に記載の固形接着剤を用いたウエーハの貼付装置。
- 上記駆動装置はトルクモーターを含み、該トルクモーターにより冷却台若しくは加熱板を途中で停止させながら移動させるようにした請求項8に記載の固形接着剤を用いたウエーハの貼付装置。
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