JPH05287577A - 電鋳型製造用基板及び電鋳型の製造方法 - Google Patents

電鋳型製造用基板及び電鋳型の製造方法

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JPH05287577A
JPH05287577A JP4117991A JP11799192A JPH05287577A JP H05287577 A JPH05287577 A JP H05287577A JP 4117991 A JP4117991 A JP 4117991A JP 11799192 A JP11799192 A JP 11799192A JP H05287577 A JPH05287577 A JP H05287577A
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JP
Japan
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sleeve
electrocasting
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electroforming mold
electroforming
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JP4117991A
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English (en)
Inventor
Kazunari Tokuda
一成 徳田
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Olympus Corp
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Olympus Optical Co Ltd
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Abstract

(57)【要約】 【目的】 品質の良い電鋳型を歩留まりよく得る。 【構成】 電鋳型製造基板は、原盤1を張り付ける面6
aを有する本体6と、原盤1を張り付ける面6aの周囲
を囲むスリーブ7とで構成する。原盤1を、本体6の上
面6aに接着剤8で張り付け(図3)、原盤1の上面に
成膜(図4)し、表面を導電化する。次に電鋳して所定
の部分に電鋳部5析出させ(図6)、そして電鋳部5上
面を研磨(図7参照)する。研磨後、ボルト8を外し、
電鋳部5と本体6をそれぞれバイス11,12でチャッ
クし、上下に引張り、電鋳部5とスリーブ7を一体に、
本体6から分離する。次にスリーブ7に衝撃を加えて電
鋳部5とスリーブ7とを分離し(図9)、分離後、電鋳
部5の側面に形成された凸部5aを機械加工にて削り取
る(図10)。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、電鋳型製造用基板と電
鋳型の製造方法に関する。
【0002】
【従来の技術】従来の電鋳による金型の製造方法を図1
6に基づいて説明する。従来ホログラムやマイクロレン
ズアレイ等の金型は原盤を電鋳反転により複製して製造
していた。製造に際しては、まず、複製の元となる原盤
1を金属製の電鋳型製造用基板2の上面に固定する(図
16a参照)。次に電鋳する面を特定しない方法で導電
膜3を成膜するする事により導電化(原盤が絶縁体であ
る事が多い)する(図16b参照)。そしてこれに陰極
4を結合し電鋳し電鋳部5を形成する(図16c)。電
鋳部5は、エッジ部の電流密度が高まるため大きく成長
する(図16c)。
【0003】よって、電鋳部5の上面を平滑にする為に
エンドミル等の工具16で切削或いは研磨を行う(図1
6d)。この時に、加工の衝撃力によって電鋳部5が原
盤から分離しない様に、電鋳部5は電鋳型製造用基板2
の側面2aにまで着ける。更に電鋳型製造用基板2の側
面に引っかかる為の溝2bがある。次に電鋳部5を分離
するが、この為に電鋳部5の電鋳型製造用基板2の側面
に回っている部分を機械加工で落とす(図16e)。そ
れから電鋳部分5と導電膜3とを原盤3と分離する(図
16f)。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記従
来技術においては次のような問題点があった。すなわ
ち、図16(e)に示す機械加工の工程において、機械
加工による振動、発熱によって、また加工くず等によつ
て電鋳部5にダメージを与えてしまうという欠点があっ
た。なぜなら、ホログラムやマイクロレンズアレイ等の
部品は、極めて微細な凹凸を有する物で、ちょっとした
外力によってもダメージを受けやすいものである。
【0005】従って、電鋳型製造用基板2の側面に形成
された電鋳層5を機械加工により分離する際は、図17
に示すように、外周の引っかかりが解除されると、機械
加工の振動により電鋳部5の部分がわずかに浮き、上下
方向に振動したり、水平方向に振動したり、発熱による
熱膨張によって熱応力を受けたり、原盤と電鋳の間隙に
異物が侵入したりするという現象が推定でき、これらの
現象が原因となって電鋳部にダメージを与え、電鋳型の
良品の歩留まり低下につながっていた。
【0006】また、最近多く生産されている情報記録円
盤の型を製造するにも、電鋳で行われているが、この技
術においては、電鋳上面の研磨は、原盤と電鋳との分離
を行った後に研磨治具に装着して行っている。しかしな
がら、この方法によれば、研磨治具が必要であり、研磨
治具への装着等が面倒であるという欠点があった。
【0007】本発明は、上記従来技術の問題点に鑑みて
なされたものであり、簡易な手段で、電鋳型をダメージ
なく得ると共に電鋳型の品質を高め、歩留まりを向上す
る、電鋳型製造用基板及び電鋳型の製造方法を提供する
ことを目的とする。
【0008】
【課題を解決するための手段】本発明は、原盤を固定し
て原盤と一体的に電鋳をほどこす電鋳型製造用基板であ
り、電鋳型製造用基板(原盤を固定する面を持つ部材で
あり、以下の説明では電鋳型製造用基板と称する)と、
スリーブ(原盤を固定する面の周囲を取り囲む部材で、
以下の説明ではスリーブと称する)とを別の部材で構成
することとした。
【0009】また、本発明は、原盤を電鋳型製造用基板
に固定して一体的に電鋳をほどこした後、電鋳型を得る
電鋳型の製造方法であり、電鋳型製造用基板とスリーブ
とを組立固定した状態とし、電鋳を原盤の表面と、原盤
を固定した面と、スリーブとの面に対して析出させ、所
望の電鋳厚さに達した後、前記スリーブの電鋳型製造用
基板への固定を解除し、スリーブと電鋳部とを一体に電
鋳型製造用基板から分離し、その後電鋳部とスリーブと
を分離して電鋳型を得ることとした。
【0010】
【作用】上記の電鋳型製造用基板と電鋳型の製造方法と
によれば、電鋳部と原盤とが接している状態で、ダメー
ジの原因となる電鋳型製造用基板の側面を機械加工する
必要がないので、前述の図15に示した様なダメージを
電鋳が浮ける事がない。すなわち、電鋳を分離する際に
接触面(転写面)に対して純粋に直角な方向のみの力に
よって分離する事が可能となる。
【0011】
【実施例1】図1〜図10は、本実施例の電鋳型製造用
基板と電鋳型の製造方法である。すなわち、電鋳型製造
基板は、原盤1を張り付ける面6aを有する本体6と、
原盤1を張り付ける面6aの周囲を囲むスリーブ7とで
構成している。本体6はその外側にスリーブ7を嵌合し
得る様な寸法となっており、ボルト8にて組立固定した
状態を図1及び図2(平面図)に示す。組立固定した場
合には、原盤1を張り付ける面6a側は一様な平面とな
る。スリーブ7は、外側面に溝7aを有し、真鍮で形成
されている。
【0012】次にこの様に形成した電鋳型製造用基板を
用いての製造方法を説明すると、前述の図1及び図2の
状態に形成した電鋳型製造用基板に、図3に示すよう
に、アクリル製のマイクロレンズアレイ原盤1を、本体
6の上面6aに接着剤8で張り付ける。次に図4及び図
5(図4の要部拡大図)に示すように、原盤1の上面に
真空蒸着にてニッケル9を1000オングストロームの
厚さに成膜し、表面を導電化する。
【0013】次に、陰極10を接続し、スルファミン酸
ニッケル浴で所望の厚さまで電鋳する(図6参照)。こ
の際に、電鋳部5は、原盤1の上面、本体6の上面6
a、及びスリーブ7の上面と側面まで析出させ、本体6
の側面には析出させない。次に、電鋳部5の上面を研磨
(図7参照)し、研磨終了後、図8に示すように、ボル
ト8を外してスリーブ7の本体6への固定を解除する。
電鋳部5と本体6をそれぞれバイス11,12でチャッ
クし、上下に引張る事により、電鋳部5とスリーブ7を
一体に、本体6から分離する。次の工程で、電鋳部5と
スリーブ7とを分離するが、分離するには、スリーブ7
に衝撃を加える事等により容易に行える(図9参照)。
分離後は、電鋳部5の側面に形成された凸部5a(図9
参照)を機械加工にて削り取る(図10)。
【0014】従って、上記説明の本実施例にあっては、
電鋳部5と原盤1とを分離した後に、電鋳部側面を機械
加工にて削り取るため、電鋳部5のダメージを与えるこ
とがなく、高品質の電鋳型を得る事ができる効果があ
る。
【0015】
【実施例2】図11は、本実施例の電鋳型製造用基板で
あり、前述の実施例1と異なる点を中心に説明する。す
なわち、スリーブ7の本体6に固定するボルト8の位置
を側面方向から締めるように構成した。この電鋳型製造
用基板を用いての電鋳型の製造工程は前述の実施例1と
同様に行われるのでその説明は省略する。
【0016】従って、上記説明の本実施例にあっては、
実施例1と同様の効果が得られるばかりでなく、スリー
ブ7をボルト8で本体6に側面から締め付ける事によ
り、スリーブ7と本体6のパーティング13がピッタリ
付くことから、より連続的な上面を形成でき、電鋳の際
にパーティング13の不連続部での析出異常や応力の発
生が抑えられ、より応力の少ない、より均一で良好な電
鋳型を得る事ができる効果がある。
【0017】
【実施例3】図12及び図13は、本実施例の電鋳型製
造用基板であり、前述の実施例2と異なる点を中心に説
明する。すなわち、本体6に、本体6の下面6b側から
本体6にスリーブ7の下面が接触する面6c側へ貫通す
る穴6dを設けて構成している。この電鋳型製造用基板
を用いての電鋳型の製造工程は、スリーブ7の本体6か
らの固定を解除する工程以外は前述の実施例1と同様に
行われるのでその説明は省略する。すなわち、電鋳部5
とスリーブ7を本体6から分離する際には、穴6dに下
面6bからノックピン14を通し、スリーブ7の下面7
bを押す事により行う(図13参照)。
【0018】従って、上記説明の本実施例にあっては、
電鋳部5に(電鋳部5をバイスで加えないので)より無
理な力を加える事無く、電鋳部5とスリーブ7を本体6
から分離できる効果がある。
【0019】
【実施例4】図14及び図15は、本実施例の電鋳型製
造用基板であり、前述の実施例2と異なる点を中心に説
明する。すなわち、本体6に、本体6の下面6b側から
本体6にスリーブ7の下面が接触する面6c側へ貫通す
る雌ネジ6eを設けて構成している。この電鋳型製造用
基板を用いての電鋳型の製造工程は、スリーブ7の本体
6からの固定を解除する工程以外は前述の実施例1と同
様に行われるのでその説明は省略する。すなわち、電鋳
部5とスリーブ7を本体6から分離する際には、雌ネジ
6eに下面6bから雄ネジ15を通し、スリーブ7の下
面7bを押す事により行う(図15参照)。
【0020】従って、上記説明の本実施例にあっては、
電鋳部5に(電鋳部5をバイスで加えないので)より無
理な力を加える事無く、電鋳部5とスリーブ7を本体6
から分離できる効果がある。
【0021】
【発明の効果】以上の様に、本発明の電鋳型製造用基板
及び電鋳型の製造方法によれば、簡易な構成及び方法で
電鋳型にダメージを与える事なく品質の良い電鋳型を歩
留まりよく得られる効果がある。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の実施例1に係る電鋳型製造用基板の正
面図である。
【図2】本発明の実施例1に係る電鋳型製造用基板の平
面図である。
【図3】本発明の実施例1に係る電鋳型の製造工程(原
盤取付)図である。
【図4】本発明の実施例1に係る電鋳型の製造工程(成
膜)図である。
【図5】図4の要部拡大図である。
【図6】本発明の実施例1に係る電鋳型の製造工程(電
鋳)図である。
【図7】本発明の実施例1に係る電鋳型の製造工程(研
磨)図である。
【図8】本発明の実施例1に係る電鋳型の製造工程(分
離)図である。
【図9】本発明の実施例1に係る電鋳型の製造工程(ス
リーブ分離)図である。
【図10】本発明の実施例1に係る電鋳型の製造工程
(機械加工)図である。
【図11】本発明の実施例2に係る電鋳型製造用基板の
正面図である。
【図12】本発明の実施例3に係る電鋳型製造用基板の
正面図である。
【図13】本発明の実施例3に係る電鋳型の製造工程
(分離)図である。
【図14】本発明の実施例4に係る電鋳型製造用基板の
正面図である。
【図15】本発明の実施例4に係る電鋳型の製造工程
(分離)図である。
【図16】従来の電鋳型製造用基板と電鋳型の製造工程
図である。
【図17】従来の製造工程における機械加工状態図であ
る。
【符号の説明】
1 原盤 5 電鋳部 6 本体(電鋳型製造用基板の) 7 スリーブ

Claims (2)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 原盤を固定して原盤と一体的に電鋳をほ
    どこす電鋳型製造用基板において、電鋳型製造用基板と
    スリーブとを別の部材で構成したことを特徴とする電鋳
    型製造用基板。
  2. 【請求項2】 原盤を電鋳型製造用基板に固定して一体
    的に電鋳をほどこした後、電鋳型を得る電鋳型の製造方
    法において、電鋳型製造用基板とスリーブとを組立固定
    した状態とし、電鋳を原盤の表面と、原盤を固定した面
    と、スリーブとの面に対して析出させ、所望の電鋳厚さ
    に達した後、前記スリーブの電鋳型製造用基板への固定
    を解除し、スリーブと電鋳部とを一体に電鋳型製造用基
    板から分離し、その後電鋳部とスリーブとを分離して電
    鋳型を得ることを特徴とする電鋳型の製造方法。
JP4117991A 1992-04-10 1992-04-10 電鋳型製造用基板及び電鋳型の製造方法 Withdrawn JPH05287577A (ja)

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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2010230749A (ja) * 2009-03-26 2010-10-14 Seiko Epson Corp レンズアレイ製造用型の製造方法

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Effective date: 19990706