JP4406825B2 - 光学素子成形用金型の製造方法及び金型 - Google Patents
光学素子成形用金型の製造方法及び金型 Download PDFInfo
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2 治具
4 金型素材
5 裏打ち部材
7、7’ 脱型治具
P 樹脂層
R レジスト
Claims (4)
- 表面に光学面形状を有するシリコン製の母型の外周をなす側面に樹脂層を形成させるステップと、
前記母型に導電層を形成するステップと、
前記母型から電鋳を成長させるステップと、
成長した電鋳を、前記母型から脱型させるステップと、を有することを特徴とする光学素子成形用金型の製造方法。 - 前記母型と治具との間に、エポキシ樹脂製の接着剤を塗布した後、前記母型と前記治具とを密着することにより、はみでた接着剤が前記母型の外周をなす側面を覆うようになっていることを特徴とする請求項1に記載の光学素子成形用金型の製造方法。
- 前記成長した電鋳は、前記母型の軸線方向にのみ相対移動させられることで脱型されるようになっていることを特徴とする請求項1又は2に記載の光学素子成形用金型の製造方法。
- 請求項1乃至3のいずれかに記載の金型の製造方法によって製作されたことを特徴とする光学素子成形用金型。
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