JPH05285840A

JPH05285840A - 粉体供給方法及び装置

Info

Publication number: JPH05285840A
Application number: JP11692492A
Authority: JP
Inventors: Takashi Yoshikawa; 隆吉川; Akio Mishima; 彰生三島; Takashi Tsuchiya; 隆土屋
Original assignee: Sony Corp
Current assignee: Sony Corp
Priority date: 1992-04-09
Filing date: 1992-04-09
Publication date: 1993-11-02
Anticipated expiration: 2016-08-06
Also published as: JP3196312B2

Abstract

(57)【要約】【目的】粉体供給装置において、排風機により加工室
から吸引回収した粉体を除湿して混合室内へ送給でき、
排風機による負圧が混合室へ影響することなく電気はか
りによる混合室内の粉体を精度よく計測する。【構成】圧縮空気を供給するエアーコンプレッサー１
と、エアーコンプレッサー１から送出された圧縮空気と
混合される粉体が収容され電気はかり２２上に載せられ
ている混合室２と、混合室２へ供給する粉体をサイクロ
ン２９を介して収容するリザーブ室４と、圧縮空気と共
に混合室２内の粉体を噴射して被加工物を加工する加工
室３と、加工室３より粉体を排風機の排風作用によりサ
イクロン３９を介して回収する粉体回収室６と、粉体回
収室６内の粉体をリザーブ室４へ送給する粉体供給路４
４と、排風作用による混合室２への負圧の影響を遮断す
る第２の開閉バルブ４３と第３の開閉バルブ４５とから
構成した。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、例えば、ガラス基板や
半導体基板等の被加工物に対し粉体状の微粒子を噴射し
てエッチング加工あるいはコーティング加工（いわゆる
デポジション）を行うための粉体供給方法及びその装置
に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】従来、半導体集積回路やプリント配線回
路、さらには磁気ヘッド等の各種機能素子等の製造に際
しては、様々な微細加工が必要で、高度なエッチング技
術や薄膜形成技術が必要となっている。

【０００３】このような状況から、各方面で加工技術に
関する研究が進められており、例えば半導体ウエハの表
面をレジストマスクを使って加工するエッチング技術と
してアルゴンイオンを電気的に加速して被加工面に衝突
させ、物理的な破壊によってエッチングするイオンエッ
チング法（ＩＢＥ）や、フッ素や塩素等の活性ガスイオ
ンを同様に被加工面に衝突させ、物理的、化か句的な作
用でエッチングするリアクティブイオンエッチング法
（ＲＩＥ）等が開発されている。

【０００４】一方、薄膜形成技術としては、真空中でタ
ーゲットに不活性ガスのイオンを加速して衝突させ、タ
ーゲットをたたき出してこれを基板上に体積させて薄膜
を形成するスパッタ法や、成膜する材料例えば、セラミ
ックスの粉体を大気中もしくは減圧中でプラズマやバー
ナー等の熱により溶解し、これを吹きつけて薄膜を形成
する溶射法や、プラズマ等の熱を利用してガスを反応さ
せ、基板上に反応生成物を体積させて成膜する気相成長
法（ＣＶＤ）等が知られている。

【０００５】しかしながら、前述したエッチング法は、
いずれも加工速度が遅く、さらに装置の価格が高いこ
と、保守や維持管理が煩雑であること等の問題を抱えて
いる。また、薄膜形成技術についても、これまでの方法
では加工速度等の点で不十分であり、また成膜の際の基
板に対する制約も大きいことから抜本的な改善が望まれ
る。

【０００６】そこで、上述したエッチング法や薄膜形成
技術に代わる加工方法として、粉体を圧縮空気に混合し
て噴射するいわゆるサンドブラスト加工法が例えば特開
昭６４−３４６７０号公報等において提案され注目を集
めている。

【０００７】次に、上述したサンドブラスト加工装置の
一例を図２について説明する。本例で使用されるサンド
プラスト加工装置は、大別して圧縮空気を供給するエア
ーコンプレッサー１と、このエアーコンプレッサー１か
ら送出された圧縮空気と混合される粉体を収容する混合
室２と、圧縮空気と共に一定量の粉体を噴射して被加工
物の表面を加工する加工室３と、この加工室３内の粉体
を上記混合室２へ送給するために一旦収容するリザーブ
室４と、加工室３からリザーブ室４へ粉体を吸引回収す
る排風機５と、粉体を貯蔵する粉体貯蔵室６とより構成
されている。

【０００８】以下、サンドブラスト加工装置を詳しく説
明すると、エアーコンプレッサー１から引き出された空
気供給パイプ７は、第１の供給パイプ８と第２の供給パ
イプ９とに分岐され、それぞれ混合室２へ接続されてい
る。第１の供給パイプ８には、混合室２へ供給される圧
力空気の圧力を調整する調整弁１０と電気空気弁からな
る粗調整部弁１１が設けられ、第２の供給パイプ９に
は、加工室３へ混合室２内の粉体と共に供給される圧力
空気を調整する調整弁１２と電気空気弁からなる微調弁
１３を設けている。

【０００９】混合室２は、円筒状の容器からなり、その
内部に微粒子からなる粉体１４が収容されている。混合
室２の底部は円錐形状で、底面にサーメット（金属粉を
小欠して形成される無数の微細孔を有する多孔質）など
よりなる円板状のフイルタ１５が設けられ、エアーコン
プレッサー１の第１の供給パイプ８がフイルタ１５の背
面側に接続されている。従って第１の供給パイプ８に供
給される圧縮空気は、フイルタ１５を通って混合室２内
へ導入され、混合室２上部の開口部２ａから排気され
る。

【００１０】また、フイルタ１５の周囲の斜面には、バ
イモルフ振動子１６が設けられている。このバイモルフ
振動子１６は、上下一対の圧電素子と電極とから構成さ
れ、その自由端がフイルタ１５の情報に臨むように円環
状に配置され、基端部が混合室２の円錐状の斜面に固定
されている。

【００１１】バイモルフ振動子１６は、例えば所定の交
流電圧を印加することによりその自由端を上下方向に振
動させることができ、粉体１４を機械的に分散させなが
らフイルタ１５からの圧縮空気と攪拌混合するエアーバ
イブレータ効果を付与することができる。

【００１２】また、フイルタ１５の中央部には、混合室
２の底部を貫通する送り出しパイプ１７と、この送り出
しパイプ１７の周囲に空気吹き出し口１８とがそれぞれ
の一端を混合室２内に開口するように設けられており、
送り出しパイプ１７から混合室２で圧縮空気により攪拌
分散された粉体１４を送り出すようになっている。送り
出しパイプ１７の下端には、第２の供給パイプ９の先端
部９ａが配置されており、この第２の供給パイプ９より
供給される圧縮空気の空気流によって生じる負圧によっ
て、送り出しパイプ１７内に粉体１４が吸い込まれ、圧
縮空気と混合して送り出される。そして、上述した送り
出しパイプ１７と空気吹き出し口１８との上部に集粉器
１９が混合室２の容器に図示しない手段によって支持さ
れている。また送り出しパイプ１７には、送出パイプ２
０が接続されて加工室３まで延び、その先端部にノズル
２１が設けられている。

【００１３】上述のように構成した混合室２は、電気は
かり２２の上に搭載されて混合室２の粉体１４を含めた
総重量を計測している。すなわち、電気はかり２２は混
合室２から送り出されノズル２１より一定量の粉体１４
の噴出、つまり混合室２内の総重量が一定に減少できる
ことを監視することを目的とするものであり、電気はか
り２２によって計測している混合室２の総重量の減少量
を、制御ユニット２３に入力し、この減少量に基づいて
第１の供給パイプ８及び第２の供給パイプ９内の圧力空
気量またはバイモルフ振動子１６への電圧値を制御ユニ
ット２３によって制御している。

【００１４】一方、加工室３には、混合室２から送出パ
イプ２０の先端部に設けられたノズル２１が配置され、
これと対向して被加工物２４が図示しない手段によって
支持されている。加工室３の下部には、テーブル２５上
を回転するスクレーパ２６と、このスクレーパ２６と共
に図示しない駆動装置によって回転するスクリュー２７
が配設されている。すなわち、ノズル２１から被加工物
２４へ噴射され、テーブル２５上に落下した粉体１４
は、スクレーパ２６によりかき集められてテーブル２５
の下に落下し、ここでスクリュー２７によって加工室３
の底部に集積される。

【００１５】加工室３の底部に接続された粉体回収ホー
スは、高く立ち上がりリザーブ室４のサイクロン２９に
接続されている。リザーブ室４内には、水平状態にスク
リューコンベア３０が配置されて図示しないモータによ
って回転可能であり、そして、リザーブ室４の端部に垂
設した送給路３１ａにジャバラ３２を介して送給路３１
ｂが接続され、この送給路３１ｂの下端が混合室２の上
部に接続されている。そして、これら両送給路３１ａ，
３１ｂには、上述した制御ユニット２３によって制御さ
れる開閉自在の三角弁３３ａ，３３ｂが設けられてい
る。

【００１６】上述した加工室３内の底部に集積した粉体
１４のリザーブ室４への回収は排風機５によって行われ
る。すなわち、排風機５の排気作用によって粉体回収ホ
ース２８内が負圧になることによって、加工室３内の粉
体は粉体回収ホース２８内を通って引き上げられ、リザ
ーブ室４のサイクロン２９へ導かれる。ここで、排気流
は外部へ排気され、粉体のみサイクロン２９内を通って
リザーブ室４内へ収容される。

【００１７】粉体貯蔵室６は、モータ３４ａで駆動され
る攪拌装置３４によって貯蔵室６内の粉体１４を攪拌し
ながらヒータ３４によって温められ、粉体１４を乾燥状
態にしている。この粉体貯蔵室６は、その底部に接続し
た粉体供給ホース３６が粉体回収ホース２８に接続され
ている。また、粉体供給ホース３６に開閉弁３７が設け
られている。

【００１８】次に、サンドブラスト加工装置の動作と、
２つの三角弁３３ａ，３３ｂの開閉動作との関係につい
て説明する。

【００１９】粉体貯蔵室６からリザーブ室４への粉体の
供給時は、三角弁３３ａを閉止した状態において送給口
３６ａから粉体供給ホース３６へ乾燥空気を圧送するこ
とで粉体供給室６内の粉体が圧縮空気と共にサイクロン
２９を経てリザーブ室４内へ供給される。リザーブ室４
内に粉体が一定量収容されると、ロードセル３８によっ
て検知され開閉弁３７は閉止し、粉体貯蔵室６からの粉
体の供給は停止する。

【００２０】次に、混合室２への粉体の供給指令によっ
てリザーブ室４から混合室２内への粉体の供給時は、２
つの三角弁３３ａ，３３ｂを開放すると共に、スクリュ
ーコンベア３０の駆動により粉体は送給路３１ａ、ジャ
バラ３２、送給路３１ｂを通って混合室２内へ供給され
る。混合室２内へ粉体が所定量収容されると、電気はか
り２２によって検知され三角弁３３ａ，３３ｂは閉止
し、これと同時にスクリューコンベア３０が停止し粉体
の供給が停止する。

【００２１】一方、加工室３内において粉体の噴射によ
る被加工物２４の加工時には、三角弁３３ｂは閉止さ
れ、また、被加工物２４の加工中において加工室３から
粉体を排風機５の排風吸引作用によりリザーブ室４へ回
収するときは、三角弁３３ａは閉止されている。これ
ら、混合室２、加工室３、リザーブ室４、排風機５及び
粉体貯蔵室６の一連の動作と三角弁３３ａ，３３ｂの開
閉動作は制御ユニット２３によってコントロールされ
る。

【００２２】

【発明が解決しようとする課題】このように構成した従
来のサンドブラスト加工装置は、次のような問題点があ
った。 (1) 加工室３から粉体をリザーブ室４のサイクロン２
９へ吸引回収する場合、高く立ち上げた粉体回収ホース
２８を利用しているため、該回収ホース２８内に粉体が
停滞しやすく、従って、サイクロン２９へ粉体の回収が
効果的に行えず粉体回収の信頼性に欠ける。 (2) 加工室３からの粉体の吸引回収時、加工室３から
湿った空気を含む外気も吸引されるため粉体中に湿気を
含むことになり、このため、混合室２内に湿った粉体が
入ると送り出しパイプ１７からの粉体の送給が不十分と
なり、ノズル２１からの粉体の安定した噴射を阻害す
る。 (3) 被加工物への粉体の噴射による加工中、排風機５
による加工室３からの粉体の吸引回収を同時に行っても
該排風機５による負圧が混合室２へ影響しないように三
角弁３３ａを閉止するが、負圧力によってジャバラ３２
が振動し、これが混合室２に伝わり電気はかり２２の計
測が不安定となって、粉体の噴射制御に悪影響を及ぼし
装置として信頼性に欠ける。

【００２３】本発明は、上述したような問題点を解消す
るためになされたもので、加工室からの粉体の吸引回収
及び加工室から回収した粉体を乾燥状態にして混合室内
へ送給でき、かつ排風機による負圧が混合室へ影響する
ことなく電気はかりによる計測を信頼性よく安定して行
えるようにした粉体供給方法及びその装置を得ることを
目的とする。

【００２４】

【課題を解決するための手段】上述の目的を達成するた
め、本発明による粉体供給方法は、圧縮空気を供給する
エアーコンプレッサーと、このエアーコンプレッサーか
ら送出された圧縮空気により振動され該圧縮空気と混合
される粉体を収容し電気はかり上に載せられている混合
室と、混合室へ供給する粉体を収容するリザーブ室と、
圧縮空気と共に混合室内の一定量の粉体を噴射して被加
工物の表面を加工する加工室と、この加工室より粉体を
排風機の排風作用によりサイクロンを介して吸引回収し
貯蔵する粉体回収室と、この粉体回収室内の粉体を混合
室へ送給する粉体供給路と、排風機の排風作用により粉
体回収室からリザーブ室への粉体の吸引送給時、リザー
ブ室への排風の負圧を遮断するバルブとからなる装置に
おいて、排風機の排風作用により加工室から吸引される
粉体をサイクロン内において吸引空気は排風機側へ吸引
し、除湿された粉体のみリザーブ室内へ送給し、また排
風機による加工室からの粉体の吸引回収時、バルブの閉
止により混合室への負圧の影響をなくすようにしたもの
である。

【００２５】上述の目的を達成するため、本発明による
粉体供給装置は、圧縮空気を供給するエアーコンプレッ
サーと、このエアーコンプレッサーから送出された圧縮
空気と混合される粉体を収容し電気はかり上に載せられ
ている混合室と、混合室へ供給する粉体を第１のサイク
ロンを介して収容するリザーブ室と、圧縮空気と共に混
合室内の一定量の粉体を噴射して被加工物を加工する加
工室と、加工室より粉体を排風機の排風作用により第２
のサイクロンを介して吸引回収し貯蔵する粉体回収室
と、粉体回収室内の粉体をリザーブ室へ送給する粉体供
給路と、この排風機の排風作用により加工室から粉体回
収室への粉体の吸引回収時、リザーブ室への排風の負圧
の影響を遮断するバルブとから構成したものである。

【００２６】

【作用】上述した本発明による粉体供給方法及び装置
は、加工室からの粉体の回収を回収ホースの急な立ち上
げなしで粉体回収室内へ回収できるので、回収ホース内
への粉体の停滞が解消でき、また、加工室からの粉体の
回収をサイクロンを通して粉体回収室内へ回収すること
ができるため、乾燥した粉体の回収が可能であり、これ
により混合室内へ湿った粉体の供給が解消でき、粉体に
よる噴射加工の信頼性が向上する。

【００２７】また、排風機の排風作用による加工室から
粉体回収室への粉体の送給時に、バルブを閉止してリザ
ーブ室への負圧の影響を遮断するようにしたので、混合
室は負圧による影響も全くなく、これによって電気はか
りによる計測も正確に行え加工室への粉体の噴射量制御
に影響を与えることもない。

【００２８】以下、本発明の実施例を図面を参照して説
明する。図１は本例による粉体供給装置の全体の構成を
示し、図２で説明した従来例装置の構成部分と同一部分
には同一符号を付して重複する説明は省略する。

【００２９】図２で説明した粉体貯蔵室６は、本例では
粉体の回収室を兼ねることになるのでここでは粉体回収
室６として説明し、この粉体回収室６に第２のサイクロ
ン３９が設けられている。また、リザーブ室４のサイク
ロン２９は、第１のサイクロン２９として説明する。

【００３０】さて、加工室３の底部に接続された粉体回
収ホース２８は、従来例装置の場合と異なり高く立ち上
がることなく粉体回収室６の第２のサイクロン３９に接
続されている。また、排風機５には、第１の吸引ホース
４０と、第２の吸引ホース４１とが分岐されて接続され
ている。第１の吸引ホース４０は第２のサイクロン３９
に接続され、この吸引ホース４０の途中に第１の開閉バ
ルブ４２が設けられている。一方、第２の吸引ホース４
１は第１のサイクロン２９に接続され、この吸引ホース
４１の途中に第２の開閉バルブ４３が接続されている。

【００３１】また、粉体回収室６の底部と第１のサイク
ロン２９とが粉体供給ホース４４にて接続され、この第
１のサイクロン２９の開口端に第３の開閉バルブ４５が
接続されている。そして、本例では、リザーブ室４の下
部の送給路３１ａに設けられた三角弁３３ａが省略され
ている。

【００３２】上述のように構成された粉体供給装置は、
加工室３の底部に堆積した粉体の回収は、第１の吸引ホ
ース４０の第１の開閉バルブ４２を開放し、第２の吸引
ホース４１の第２の開閉バルブ４３を閉止し、そして第
３の開閉バルブ４５を閉止した状態において、排風機５
による排風作用により、加工室３内の粉体が粉体回収ホ
ース２８内を吸引され第２のサイクロン３９に導かれ
る。ここで、排風は第１の吸引ホース４０を経て排風機
５から外部に排出され、粉体のみサイクロン３９内を通
って粉体回収室６内に回収される。粉体回収ホース２８
内を吸引される粉体は、加工室３内の湿った空気を伴っ
ているが、サイクロン３９によって湿った空気と分離さ
れることになり、しかも粉体回収室６内において攪拌装
置３４及びヒータ３５により乾燥された状態で収容され
る。

【００３３】上述した加工室３から粉体回収室６への粉
体の回収時、第２の開閉バルブ４３は閉止されているの
で、排風機５による負圧がリザーブ室４を通じて混合室
２に及ぶこともなく、従って混合室２は負圧の影響を受
けることもないため、電気ははかり２２による混合室２
の正確な計測が可能となり、よって粉体の噴射量制御の
信頼性が向上できる。

【００３４】一方、混合室２内への粉体の補給指令があ
ると、第１の吸引ホース４０の第１の開閉バルブ４２は
閉止し、第２の吸引ホース４１の第２の開閉バルブ４３
と第３の開閉バルブ４５を開放し、また三角弁３３ｂを
開放した状態において、粉体供給ホース４４の供給口４
４ａから乾燥空気を圧送させる。これによって、粉体回
収室６内の粉体は、乾燥空気と共に粉体送給ホース４４
内を通ってリザーブ室４の第２のサイクロン２９へ供給
され、ここで、乾燥空気は第２の吸引ホース４１を経て
外部へ排気され、粉体のみ第２のサイクロン２９からリ
ザーブ室２９内へ収容される。そしてリザーブ室４内の
粉体は、スクリューコンベア３０によって送給路３１
ａ、ジャバラ３２、送給路３１ｂを通って混合室２内へ
供給される。

【００３５】以上のように本発明による粉体供給方法及
び装置は、加工室３の底部から回収される粉体が粉体回
収ホース２８を高く立ち上げることなく粉体回収室６の
第２のサイクロン３９に回収できるようにしたので、加
工室３からの粉体の回収時、粉体回収ホース２８内に粉
体が滞留して詰まることもなく粉体回収室６への粉体の
回収を確実に行うことができる。

【００３６】また、粉体回収ホース２８からの粉体は、
第２のサイクロン３９を介して粉体回収室６へ回収でき
るようにしたので、たとえ、加工室３からの湿った空気
が粉体に混入されたとしても第２のサイクロン３９によ
って、湿った空気は第１の吸引ホース４０を通って排風
機５から外部へ排気され、乾燥状態の粉体のみ粉体回収
室６内へ回収するとこができる。

【００３７】また、粉体回収室６内の粉体は、攪拌装置
３４によって攪拌され、かつヒーター３５によって温め
られているので常に乾燥状態にあり、従って、粉体回収
室６から第１のサイクロン２９及びリザーブ室４を経て
混合室２内へ供給される粉体は、乾燥状態の粉体として
供給することができるため、混合室２内の粉体は乾燥状
態を維持でき、よって混合室２の送り出しパイプ１７に
粉体が目詰まりすることもない。

【００３８】また、加工室３から粉体回収室６への粉体
の回収時、リザーブ室４と排風機５とを接続した第２の
吸引ホース４１の開閉バルブ４３を閉止するようにした
ので、排風機５による負圧がリザーブ室４を通じて混合
室２に及ぶこともなく、このため、混合室２は負圧の影
響を受けることもないため、電気はかり２２による混合
室２の正確な計測が可能となる。

【００３９】さらに、リザーブ室４の送給路３１ａから
三角弁が不用となるため、その分、送給路３１ａを短く
でき、よって装置全体の高さを低くできるので、風等の
影響で装置の揺れを少なくでき、電子はかり２２の信頼
性を向上することができる。

【００４０】尚、本発明は、上述し且つ図面に示した実
施例に限定されるものでなく、その要旨を逸脱しない範
囲内で種々の変形実施が可能である。例えば、本発明に
よる粉体供給装置は、ガラス基板や半導体基板等の被加
工物に対し粉体状の微粒子を噴射してエッチング加工す
るサンドブラスト装置や、被加工物に対し粉体状の微粒
子を噴射して堆積（いわゆるデポジション）させるコー
ティング加工装置として適用することができる。

【００４１】

【発明の効果】以上説明したように本発明による粉体供
給方法及び装置は、加工室から粉体供給室へ粉体を停滞
なく安定して回収することができ、しかも、加工室から
の粉体を第２のサイクロンを通して粉体回収室へ回収す
るようにしたので、加工室からの粉体に湿気が伴うこと
があっても第２のサイクロンにおいて除湿し、乾燥した
粉体のみ粉体回収室へ回収することができる。この結
果、リザーブ室及び混合室内へ常に乾燥状態の粉体を供
給できるため、混合室からの粉体の噴射量制御を精度良
く行うことができる。

【００４２】また、加工室から粉体回収室への粉体の回
収時、開閉バルブを閉止するようにしたので、排風機に
よる負圧が混合室に影響するもなく、これによって、電
気はかりによる計測の信頼性が向上し、粉体の噴射量制
御の信頼性も向上できる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本実施例における粉体供給装置の全体の構成図
である。

【図２】従来のサンドブラスト装置の構成図である。

【符号の説明】

１エアーコンプレッサー２混合室３加工室４リザーブ室５排風機６粉体回収室８第１の供給パイプ９第２の供給パイプ１４粉体１６バイモルフ振動子１７送り出しパイプ２０送出パイプ２１ノズル２２電子はかり２３制御ユニット２４被加工物２８粉体回収ホース２９第１のサイクロン３０スクリューコンベア３１ａ，３１ｂ送給路３２ジャバラ３３ｂ三角弁３９第２のサイクロン４０第１の送給ホース４１第２の送給ホース４２第１の開閉バルブ４３第２の開閉バルブ４４粉体供給ホース

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【手続補正書】

【提出日】平成４年１２月１０日

【手続補正１】

【補正対象書類名】明細書

【補正対象項目名】００３１

【補正方法】変更

【補正内容】

【００３１】また、粉体回収室６の底部と第１のサイク
ロン２９とが粉体供給ホース４４にて接続され、この粉
体供給ホース４４の途中に第３の開閉バルブ４５が接続
されている。そして、本例では、リザーブ室４の下部の
送給路３１ａに設けられた三角弁３３ａが省略されてい
る。

【手続補正２】

【補正対象書類名】明細書

【補正対象項目名】００３３

【補正方法】変更

【補正内容】

【００３３】上述した加工室３から粉体回収室６への粉
体の回収時、第２の開閉バルブ４３及び第３の開閉バル
ブ４５は閉止されているので、排風機５による負圧がリ
ザーブ室４を通じて混合室２に及ぶこともなく、従って
混合室２は負圧の影響を受けることもないため、電気は
かり２２による混合室２の正確な計測が可能となり、よ
って粉体の噴射量制御の信頼性が向上できる。

【手続補正３】

【補正対象書類名】明細書

【補正対象項目名】００３８

【補正方法】変更

【補正内容】

【００３８】また、加工室３から粉体回収室６への粉体
の回収時、リザーブ室４と排風機５とを接続した第２の
吸引ホース４１の開閉バルブ４３と第３の開閉バルブ４
５を閉止するようにしたので、排風機５による負圧がリ
ザーブ室４を通じて混合室２に及ぶこともなく、このた
め、混合室２は負圧の影響を受けることもないため、電
気はかり２２による混合室２の正確な計測が可能とな
る。

【手続補正４】

【補正対象書類名】明細書

【補正対象項目名】符号の説明

【補正方法】変更

【補正内容】

【符号の説明】１エアーコンプレッサー２混合室３加工室４リザーブ室５排風機６粉体回収室８第１の供給パイプ９第２の供給パイプ１４粉体１６バイモルフ振動子１７送り出しパイプ２０送出パイプ２１ノズル２２電気はかり２３制御ユニット２４被加工物２８粉体回収ホース２９第１のサイクロン３０スクリューコンベア３１ａ，３１ｂ送給路３２ジャバラ３３ｂ三角弁３９第２のサイクロン４０第１の送給ホース４１第２の送給ホース４２第１の開閉バルブ４３第２の開閉バルブ４４粉体供給ホース４５第３の開閉バルブ

【手続補正５】

【補正対象書類名】図面

【補正対象項目名】図１

【補正方法】変更

【補正内容】

【図１】

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】圧縮空気を供給するエアーコンプレッサ
ーと、このエアーコンプレッサーから送出された圧縮空
気と混合される粉体を収容し電気はかり上に載せられて
いる混合室と、上記混合室へ供給する粉体を収容するリ
ザーブ室と、上記圧縮空気と共に上記混合室内の一定量
の上記粉体をノズルから噴射して被加工物の表面を加工
する加工室と、この加工室より粉体を排風機の排風作用
によりサイクロンを介して吸引回収し貯蔵する粉体回収
室と、この粉体回収室内の粉体を上記リザーブ室へ送給
する粉体供給路と、上記排風機の排風作用により上記粉
体回収室から上記リザーブ室への粉体の吸引送給時、上
記リザーブ室への排風の負圧を遮断するバルブとからな
る装置において、上記排風機の排風作用により上記加工
室から吸引される粉体を上記サイクロン内において吸引
空気は上記排風機側へ吸引し、除湿された粉体のみ上記
粉体回収室内へ回収し、また上記排風機による上記加工
室からの粉体の吸引回収時、バルブの閉止により上記混
合室への負圧の影響をなくすようにしたことを特徴とす
る粉体供給方法。
【請求項２】圧縮空気を供給するエアーコンプレッサ
ーと、このエアーコンプレッサーから送出された圧縮空気によ
り振動され、上記圧縮空気と混合される粉体を収容し電
気はかり上に載せられている混合室と、上記混合室へ供給する粉体を第１のサイクロンを介して
収容するリザーブ室と、上記圧縮空気と共に上記混合室内の一定量の上記粉体を
ノズルから噴射して被加工物を加工する加工室と、上記加工室より粉体を排風機の排風作用により第２のサ
イクロンを介して吸引回収し貯蔵する粉体回収室と、上記粉体回収室内の粉体を上記リザーブ室へ送給する粉
体供給路と、上記排風機の排風作用により上記加工室から上記粉体回
収室への粉体の吸引回収時、上記リザーブ室への排風の
負圧の影響を遮断するバルブとから構成したことを特徴
とする粉体供給装置。