JP2841809B2 - 微粉体噴射装置における微粉体供給タンク - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 本発明微粉体噴射装置における微粉体供給タンクを以
下の項目に従って詳細に説明する。

A.産業上の利用分野 B.発明の概要 C.従来技術［第４図］ D.発明が解決しようとする課題［第４図］ E.課題を解決するための手段 F.実施例［第１図乃至第３図］ a.微粉体噴射装置の概要［第１図、第２図］ b.微粉体供給タンク［第１図乃至第３図］ ｂ−1.外殻、フィルタ［第１図乃至第３図］ ｂ−2.吸引ノズル、空間形成部材［第１図、第３
図］ ｂ−3.振動板、撹拌部材、駆動部 ｂ−4.作用 G.発明の効果 （A.産業上の利用分野） 本発明は新規な微粉体噴射装置における微粉体供給タ
ンクに関する。詳しくは、微粉体供給タンクに貯留され
た微粉体を吸引ノズルにより取り出して処理対象物に高
圧で噴射することで当該処理対象物に研磨あるいは穿孔
等の処理（以下、「ブラスト処理」と言う。）を行なう
微粉体噴射装置における微粉体供給タンク、特に、吸引
ノズルの吸引口と対向した壁を備え、吸引ノズルの上方
に配設されて吸引口との間に空間を形成する空間形成部
材を備えた微粉体供給タンクに関するものであり、空間
形成部材周辺の微粉体を良好に撹拌することができて、
吸引ノズルによる微粉体の吸引をムラ無く安定に行なう
ことができる新規な微粉体噴射装置における微粉体供給
タンクを提供しようとするものである。

（B.発明の概要） 本発明微粉体噴射装置における微粉体供給タンクは、
空間形成部材を垂直方向に延びる軸を回転軸としてその
軸回り方向へ回転させると共に該空間形成部材と一体的
に回転する撹拌部材を設けることにより、微粉体供給タ
ンク内の微粉体、特に、空間形成部材の周囲にある微粉
体を良好に撹拌することができて、微粉体の凝集を防止
しあるいは凝集した塊を粉砕することができ、それによ
って、比較的簡単な構造でありながら、吸引ノズルによ
る微粉体の吸引をムラ無く安定に行なうことができるよ
うにしたものである。

（C.従来技術）［第４図］ 処理対象物（以下、「ワーク」と言う。）に金属や無
機物等から成る微粉体を高圧空気の圧力で噴射すること
によりブラスト処理を行なう装置として微粉体分鎖装置
があり、例えば、半導体ウェハの表面パターンの形成や
回路基板の微小なブラインドホール又はスルーホールの
形成等に使用されている。

第４図はそのような微粉体噴射装置の一例ａを示すも
のであり、これは特開昭64−34670号公報に記載された
ものである。

同図において、ｂは微粉体ｃ、ｃ、・・・を貯留する
貯留室ｄを有する微粉体供給タンクである。

ｅは上記貯留室ｄの円錐状斜面を為す底面ｆの下部中
央に形成されたエアー流入凹部であり、ｇは該エアー流
入凹部ｅの上方開口部を閉塞するように配置されたフィ
ルターである。

ｈはエアー流入凹部ｅの下方に位置された微粉体取出
路であり、ｉはその上端部が上記フィルターｇの中心部
を貫通して貯留室ｄの底部に突出され、また、下端が微
粉体取出路ｈと接続された吸引ノズルである。

ｊは貯留室ｄの上記吸引ノズルｉの上方に配置され、
吸引ノズルｉの吸引口ｋに対向する底壁ｌを有し、吸引
口ｋとの間に空間ｍを形成する空間形成部材である。該
空間形成部材ｊは上下両端面が閉塞された略円筒状を
し、その底壁ｌは比較的浅い凹部状に形成されている。
そして、空間形成部材ｊはその底壁ｌが吸引ノズルｉの
吸引口ｋに近接対向した状態で図示しないブラケットに
より微粉体供給タンクｂ内に固定されいる。

ｎは微粉体供給タンクｂの上方に配置された微粉体補
給ホッパであり、その下端は貯留室ｄに開口され、か
つ、該開口部を開閉する栓体ｏを備え、該栓体ｏを制御
することにより、随時、微粉体ｃ、ｃ、・・・を貯留室
ｄに補給するようになっている。

ｐはエアーポンプであり、該エアーポンプｐから吐出
される高圧空気は上記エアー流入凹部ｅと微粉体取出路
ｈとに供給され、エアー流入凹部ｅに供給された高圧空
気はフィルターｇを通して貯留室ｄ内に流入され、ま
た、微粉体取出路ｈに供給された高圧空気は吸引ノズル
ｉに負圧が生ずるように機能する。

ｑは微粉体取出路ｈの他端に接続された噴射ノズル、
ｒは該噴射ノズルｑが配置された処理室、ｓは回収路ｔ
を介して処理室ｒと接続された微粉体回収部である。

しかして、貯留室ｄに堆積貯留されている微粉体ｃ、
ｃ、・・・はフィルターｇを通して流入される高圧空気
によるエアーバイブレーション作用によって撹拌される
と共にその一部が空間形成部材ｊの底壁ｌと吸引ノズル
ｉとの間の空間ｍに流入し、そこから吸引ノズルｉに吸
引されて微粉体取出路ｈに取り出されて行き、ここで高
圧空気に乗って噴射ノズルｑへ送られる。そして、該噴
射ノズルｑからワークｕに向って噴射されて、それによ
り、該ワークｕに対する所要の処理が為される。また、
処理室ｒ内に飛散された微粉体ｃ、ｃ、・・・は回収路
ｔを通って微粉体回収部ｓへ送られる。

（D.発明が解決しようとする課題）［第４図］ ところで、この種の微粉体噴射装置ａによる所要の処
理を安定に行なうにするためには噴射ノズルｑから噴出
される微粉体ｃ、ｃ、・・・に量的なムラがあってはな
らない。そのために、吸引ノズルｉによる微粉体ｃ、
ｃ、・・・の吸引がより安定に為される必要があり、更
にそのためには、空間形成部材ｊと吸引ノズルｉの吸引
口ｋとの間の空間ｍに流入される微粉体の量が常に一定
に保たれることが必要となる。

ところが、この種の微粉体噴射装置ａに使用される微
粉体ｃ、ｃ、・・・の大きさは数10ミクロン乃至数ミク
ロン、場合によっては１ミクロンといった極めて微小な
大きさであり、このような微小な粉体は、既知の通り、
吸湿性が高く、凝集性を有するので、貯留室ｄの内壁面
や空間形成部材ｊの周面に付着したり、また、堆積して
塊を形成したりする。そのため、貯留室ｄ内での微粉体
ｃ、ｃ、・・・の自重による下方へ移動が阻害され、そ
の結果、空間形成部材ｊの底壁ｌと吸引ノズルｉとの間
の空間ｍに微粉体ｃ、ｃ、・・・が塊のまま流入した
り、その流入量が一定しなかったりして、吸引ノズルｉ
による微粉体ｃ、ｃ、・・・の吸引量が一定しないとい
う問題があった。

勿論、フィルターｇを通して貯留室ｄ内に流入される
高圧空気によるエアーバイブレーション効果によって微
粉体ｃ、ｃ、・・・の撹拌がある程度行なわれるが、こ
のエアーバイブレーション効果による撹拌は主として空
間形成部材ｊと吸引ノズルｉとの間の空間ｍに微粉体
ｃ、ｃ、・・・を流入させるという作用にとどまるた
め、貯留室ｄの内壁面や空間形成部材ｊの周面に付着し
た微粉体ｃ、ｃ、・・・を自重により下方へ移動させた
り、一度凝集して塊になった微粉体ｃ、ｃ、・・・を粉
砕したりすることはできない。

（E.課題を解決するための手段） そこで、本発明微粉体噴射装置における微粉体供給タ
ンクは、上記課題を解決するために、吸引ノズルの吸引
口と対向した壁を備え吸引ノズルの上方に配設されて吸
引口との間に空間を形成する空間形成部材を垂直方向に
延びる軸を回転軸として回転自在に支持すると共に、該
空間形成部材を回転させるための回転駆動手段と、空間
形成部材と一体的に回転され微粉体供給タンク内の微粉
体を撹拌する撹拌部材とを設けたものである。

従って、本発明微粉体噴射装置における微粉体供給タ
ンクにあっては、空間形成部材の回転と撹拌部材の回転
の２つの回転による相乗効果によって空間形成部材周辺
の微粉体が満遍なく撹拌されるので、貯留室内の微粉体
を常に移動させて、貯留室の内面又は空間形成部材の周
面に付着することを防ぎ、また、微粉体が凝集して塊と
なってしまってもこれを粉砕することができ、空間形成
部材と吸引ノズルとの間の空間へ微粉体をスムーズに流
入させることができ、これらによって、吸引ノズルによ
る微粉体の取出を極めて安定したものすることができ、
しかも、空間形成部材の回転と撹拌部材の回転は１つの
回転駆動手段によって行なわれるので、装置が大型化さ
れる惧れも無く、更には、空間形成部材自体も撹拌機能
を備えているため、その形状を選ぶことによって撹拌効
果を更に高めることができ、あるいは撹拌状態を変える
ことができる等、撹拌条件設定の自由度を拡げることが
できる。

（F.実施例）［第１図乃至第３図］ 以下に、本発明微粉体噴射装置における微粉体供給タ
ンクの詳細を図示した実施例に従って説明する。

（a.微粉体噴射装置の概要）［第１図、第２図］ １は微粉体噴射装置であり、微粉体供給タンク２と、
該微粉体供給タンク２へ微粉体３、３、・・・を随時補
給する微粉体補給部４と、微粉体供給タンク２等へ高圧
空気供給するエアーコンプレッサ５と、微粉体供給タン
ク２から取り出した微粉体３、３、・・・をワーク６に
向けて噴射して当該ワーク６に所要のプラスト処理を行
なう処理室７と、該処理室７内の微粉体３、３、・・・
を回収する図示しない微粉体回収部等から成る。

微粉体補給部４は微粉体３、３、・・・が収納された
ホッパ８と弁体９等から成り、ホッパ８の下端は微粉体
供給タンク２の内部空間10（以下、「貯留室」と言
う。）の上端部に形成された補給口10aに開口され、該
補給口10aは弁体９が上下方向へ移動することにより開
閉され、開放されると、ホッパ８内の微粉体３、３、・
・・が貯留室10に落下補給される。

微粉体供給タンク２は、その底部を為す通風ブロック
11に支持され、上端部が貯留室10の底部内に突出された
吸引のノズル12と、該吸引ノズル12の吸引口12aと対向
した位置に回転自在なるように配置された空間形成部材
13と、撹拌部材14及び15と、空間形成部材13の軸回りに
環状を為すように配列された多数の振動板16、16、・・
・と、上記通風ブロック11の上面の中央部に形成された
エアー流入凹部17の上面部を閉塞するように配置された
フィルター18と、空間形成部材13及び撹拌部材14、15を
回転させるための駆動部19等から成り、空間形成部材13
の底面には凹部20が形成されていて、上記吸引ノズル12
の吸引口12aは上記凹部20内に該凹部20の上面20aとの間
に所要の空間21を有するように位置されている。

処理室７内には噴射ノズル22が配置されると共に底部
には略濾斗状をした収集部材23が配置されており、該収
集部材23の底頂部から延びた回収パイプ24の先端は排風
及び除塵機能を備えた図示しない微粉体回収部に接続さ
れている。

そして、エアーコンプレッサ５から延びた送風パイプ
25は途中で２つに分岐されて、送風パイプ26及び27に分
かれ、一方の分岐送風パイプ26の先端は微粉体供給タン
ク２のエアー流入凹部17に連通されたエアー流入路17a
に接続され、他方の分岐送風パイプ27の先端は混合器28
の負圧発生用ノズル29に接続されている。また、一端が
噴射ノズル22と接続された給送パイプ30の他端は上記混
合器28の上記負圧発生用ノズル29と同軸上で連通され、
更に、一端が吸引ノズル12と接続された取出パイプ31の
他端は混合器28の負圧発生用ノズル29から噴出される高
圧空気の流れる方向と略直交する方向に延びる内部空間
28aに接続されている。

エアーコンプレッサー５から吐出された高圧空気の一
部は分岐送風パイプ26を通してエアー流入凹部17及びフ
ィルター18を経て貯留室10内にその底面から流入され、
残りの高圧空気は、分岐送風パイプ27を通って混合器28
の負圧発生用ノズル29から給送パイプ30へ流入されて、
噴射ノズル22から噴射される。また、分岐送風パイプ27
に流入した高圧空気は混合器28を通る際に負圧を発生さ
せ、これにより、混合器28の内部空間28a及びそれと連
通されている吸引ノズル12に負圧が生じて貯留室10内の
微粉体３、３、・・・を混合器28内に吸引する。そし
て、混合器28内で上記高圧空気と微粉体３、３、・・・
とが混合されて混合気となって噴射ノズル22から噴射さ
れる。

そして、貯留室10内の微粉体３、３、・・・は、駆動
部19により行なわれる空間形成部材13及び撹拌部材14、
15の回転と振動板16、16、・・・の振動フィルター18か
ら噴出される高圧空気によるエアーバイブレーション効
果等によって撹拌されながら貯留室10内を常に移動せし
められる。そして、その一部が空気形成部材13と吸引ノ
ズル12との間の空気21に流入され、そこに流入された微
粉体３、３、・・・は負圧が生じている吸引ノズル12の
吸引口12aから吸引されて混合器28へ取り出されて行
き、ここで、高圧空気と混合されて給送パイプ30内を移
送されて噴射ノズル22からワーク６に向けて噴射され
る。

それにより、当該ワーク６に対する所要の処理が為さ
れる。

尚、微粉体３、３、・・・としては、当該ワーク６の
硬度に応じて高い硬度を有するものを使用することが望
ましく、例えば、ワーク６が回路基板等である場合はア
ルミナやガラス、二酸化ケイ素、炭化ケイ素、炭化ボロ
ン等のセラミックス材料から成る微粉体や、鉄、ニッケ
ル、クロムあるいは銅等の金属材料から成る微粉体を使
用する。

また、微粉体の粒子の大きさは、当該プラスト処理の
内容や目的に応じて選ぶことになるが、平均粒径が数ミ
クロン乃至それ以下の大きさのものも使用可能である。

そして、ワーク６には、微粉体３、３、・・・を噴射
させるべき領域を除いて適当なマスキング、例えば、ウ
レタン系の弾力性のある材料から成るマスキングをその
表面に施しておくのが良く、そのようにしておくこと
で、上記領域の輪郭を精度良く保ちながら所要のブラス
ト処理を行なうことができる。

（b.微粉体供給タンク）［第１図乃至第３図］ （ｂ−1.外殻、フィルタ）［第１図乃至第３図］ 32は微粉体供給タンク２の外殻である。該外殻32は、
直径の大きさの割には軸方向に短い略円筒状をした主部
33と、該主部33にその上方開口面を閉塞するように固定
された天板34と、主部33の底面に固定された通風ブロッ
ク11等から成り、主部33の内部空間はその下端側略３分
の１は下方へ行くに従って径が小さくなる略テーパ状を
し、主部33の下端の中央部に円形をした開口33aが形成
されている。

天板34は比較的厚い円板状をし、その中心部には挿通
孔35が形成されている。また、その中心部から偏心した
位置には円形をした補給口10aが形成されており、挿通
孔35の上端部35aはその余の部分より大径に形成されて
いる。

通風ブロック11は主部33の底面より稍小さい直径を有
する厚い円板状をしており、その上面の中央部、即ち、
主部33の上記開口33aと一致した位置に上方から見て円
形をした流入凹部17が形成され、また、一端が該エアー
流入凹部17と連通した他端が通風ブロック11の外周面に
開口したエアー流入路17aが形成されていて、該エアー
流入路17aの外周面側の端部に分岐送風パイプ26が接続
される。

また、エアー流入凹部17の上端部はその余の部分より
稍大径に形成され、この上端部に円板状をしたフィルタ
18、例えば、サーメット、即ち、金属粉を焼結して形成
される無数の微細孔を有する多硬質板から成るフィルタ
が内嵌状に配置されており、それにより、該フィルタ18
の上面を底面とした貯留室10が形成される。

36は通風ブロック11の中心部を垂直方向へ貫通するよ
うに形成されたノズル取付孔である。

（ｂ−2.吸引ノズル、空間形成部材）［第１図、第３
図］ 吸引ノズル12はその中間部がフィルタ18の中心部に形
成された挿通孔18aに挿通されると共にその下端部が上
記ノズル取付孔36の上端部に内嵌されて、その上端部は
貯留室10の底部に突出するように位置され、その吸引口
12aは真上に向って開口されている。また、取出パイプ3
1の一端部はノズル取付孔36の下端部に内嵌されてお
り、これにより吸引ノズル12は取出パイプ31の一端部と
連結されている。

空間形成部材13はその下部が略円柱状をし、上部が上
端へ行くに従って径が小さくなる細身の円錐状を為すこ
とで略砲弾状を形成されており、その軸心部には上端が
開口された挿入穴37が作成され、該挿入穴37の中間部と
空間形成部材13の外周面との間を連通する螺孔38が形成
され、また、その底面には縦断面形状が横長な等脚台形
状をした凹部20が形成されている。

39は略円筒状をした軸受けハウジングであり、天板34
の上面の中心部に上記挿通孔35を覆うように配設され、
その内部の上端部にはボールベアリング40が、また、天
板34に形成された挿通孔35の上端部35aの下端部には別
のボールベアリング40′がそれぞれ内嵌されている。

41は駆動部19によって回転される回転軸であり、その
上端寄りの部分が挿通孔35に挿通され、かつ、ボールベ
アリング40、40′に回転自在に支持されている。また、
回転軸41の下半部分は貯留室10内に突出されていて、そ
の下端部41aは空間形成部材13に形成された挿入穴37内
に挿入され、空間形成部材13に形成された螺孔38に螺合
された止めネジ42が回転軸41の外周面に圧接されて空間
形成部材13は回転軸41に吊り下げ状に一体的に支持され
る。

そして、空間形成部材13はその凹部20内において吸引
ノズル12の吸引口12aと凹部20の上面20aとの間に空間21
が形成された状態で該吸引ノズル12と同軸上の位置に回
転自在に配置される。

尚、空間形成部材13の軸方向における位置はその凹部
20の上面20aと吸引ノズル12の吸引口12aとの間が所定の
間隔ｗになるように調整自在にされており、そのような
調整は上記止めネジ42による締付を弛めた状態で空間形
成部材13を上下方向へ移動させることによって行なう。

（ｂ−3.振動板、撹拌部材、駆動部） 振動板16、16、・・・は一対の圧電素子等から成るバ
イモルフ型振動板であり、各振動板16は縦長な台形の板
状をしており、その幅広な一端部16aが貯留室10のテー
パ状内周面43の中間部に支持されて、該テーパ内周面43
に略平行な状態で、かつ、下方へ延びるように配設され
ている。そして、このような振動板16、16、・・・が隣
り合うもの同士が近接するように配列され、全体として
上方に向かって拡径する濾斗状をしており、振動板16、
16、・・・の下端縁16b、16b、・・・が空間形成部材13
の凹部20の下方であって吸引ノズル12を囲むように位置
されている。

44は回転アームであり、円筒状をしたボス44aとその
外周面から水平な方向へ突出した腕44bとが一体に形成
され、ボス44aが回転軸41の空間形成部材13寄りの位置
に外嵌され、かつ、止めネジ42′により固定されてい
る。

２つの撹拌部材14及び15のうち第１の撹拌部材14は一
端部が上記回転アーム44の腕44bに固定された水平な上
端部14aと、該上端部14aの他端から下方へ向けて略クラ
ンク状に折り曲げられた中間部14bと、該中間部14bの下
端から空間形成部材13の下端部へ向って斜めに延びる下
部14cと該下部14cの一側縁の略全体から立ち上げられた
背の低い羽根14dとが板金材料より一体に形成されてお
り、第１の撹拌部材14の下部14cは空間形成部材13と振
動板16との間のうち振動板16寄り位置で、かつ、これに
略平行に位置され、また、羽根14dの下端は空間形成部
材13の下端縁に近接するように位置されている。

また、第２の撹拌部材15は上下方向に長い略クランク
状をしており、その上部15aが空間形成部材13の下部外
周面に図示しないネジにより固定され、その比較的短い
下部15b（以下、「脚部」と言う。）は凹部20の開口縁
より稍内側の位置から下方へ突出するように位置され、
該脚部15bの下端はフィルター18近くまで延びている。

45は天板34の上面に固定されたモータベースであり、
その上端部にモータ46が固定されている。

該モータ46の出力軸46aと前記回転軸41の上端部には
プーリ47、47が各別に固定され、これら２つのプーリ4
7、47間に無端状のベルト48が架け渡されている。

そして、モータ46を回転すると、回転軸41が回転され
て、これにより、空間形成部材13と撹拌部材14及び15が
一体的に回転される。

（ｂ−4.作用） 上記したように、モータ46が回転すると空間形成部材
13と撹拌部材14及び15が回転されるので、貯留室10内に
貯留されている微粉体３、３、・・・はその全体が略満
遍なく撹拌されて、貯留室10内を移動する。即ち、空間
形成部材13の外周面近くにある微粉体３、３、・・・は
該空間形成部材13と第１の撹拌部材14の羽根14dの回転
により機械的な撹拌作用により撹拌され、特に、空間形
成部材13の外周面にはこれが回転するため微粉体３、
３、・・・が付着せず、これに沿って下方に移動するよ
うになる。また、空間形成部材13から比較的遠い位置に
ある微粉体は第１の撹拌部材14の中間部14bの回転によ
る撹拌作用により撹拌され、更に、空間形成部材13の下
方にある微粉体３、３、・・・は第２の撹拌部材15の脚
部15bの回転による撹拌作用によって撹拌されるので、
微粉体３、３、・・・が凝集することが防止され、ある
いは凝集して塊になったとしてもその塊は粉砕される。
従って、これらにより、貯留室10内の微粉体３、３、・
・・は略満偏なく撹拌されるので、微粉体３、３、・・
・の自重による下方への移動がスムーズに為されること
となる。

また、貯留室10の底部にある微分体３、３、・・・は
振動板16、16・・・の振動によって機械的に分散される
と共に、第２の撹拌部材15の脚15bの回転作用のフィル
ター18を通して流入される高圧空気によるエアーバイブ
レーション作用によって撹拌されるため、特にこの位置
においては充分な撹拌が為され、従って、空間形成部材
13と吸引ノズル12との間の空間21の周辺には塊のない微
粉体３、３、・・・のみが位置し、このような微粉体
３、３、・・・の一部が主として振動板16、16、・・・
の振動及び高圧空気によるエアーバイブレーション作用
によって上記空間21に侵入せしめられ、そこから吸引ノ
ズル12によって吸引されることになる。

しかして、吸引ノズル12による微粉体３、３、・・・
の取出は微粉体３、３、・・・に塊がないのでより定量
的に為され、従って、噴射ノズル22から噴射される微粉
体は量的にムラが無く、それにより、ワーク６に対する
所要の処理が安定に行なわれる。

（G.発明の効果） 以上に記載したところから明らかなように、本発明微
粉体噴射装置における微粉体供給タンクは、微粉体が貯
留され底部に吸引ノズルが配設された微粉体噴射装置に
おける微粉体供給タンクであって、上記吸引ノズルの吸
引口に対向した壁を備え、吸引ノズルの上方に配設らて
吸引口との間に空間を形成し、垂直方向に延びる軸を回
転軸として回転自在に支持された空間形成部材と、該空
間形成部材を回転させるための回転駆動手段と、空間形
成部材と一体的に回転され微粉体供給タンク内の微粉体
を撹拌する撹拌部材とを設けたことを特徴とする。

従って、本発明微粉体噴射装置における微粉体供給タ
ンクにあっては、空間形成部材の回転と撹拌部材の回転
の２つの回転による相乗効果によって空間形成部材周辺
の微粉体が満偏なく撹拌されるので、貯留室内の微粉体
を常に移動させて、貯留室の内面又は空間形成部材の周
面に付着することを防ぎ、また、微粉体が凝集して塊と
なってしまってもこれを粉砕することができ、空間形成
部材と吸引ノズルとの間の空間へ微粉体をスムーズに流
入させることができ、これらによって、吸引ノズルによ
る微粉体の取出を極めて安定したものにするこができ、
しかも、空間形成部材の回転と撹拌部材の回転は１つの
回転駆動手段によって行なわれるので、装置が大型化さ
れる惧れも無く、更には、空間形成部材自体も撹拌機能
を備えているため、その形状を選ぶことによって撹拌効
果を更に高めることができ、あるいは撹拌状態を変える
ことができる等、撹拌条件設定の自由度を拡げることが
できる。

尚、前記実施例においては、空間形成部材と一体的に
回転する撹拌部材を２種類設け、その１つは空間形成部
材の側方において回転するように配置し、他の１つは空
間形成部材の下部付近であって吸引ノズルの近傍におい
て回転するように配置したが、このようにすることによ
って、空間形成部材と吸引ノズルとの間の空間周辺にあ
る微粉体が残らず撹拌されるので上記空間に流入される
微粉体に塊がないように均一にすることができる。

そして、上記実施例では、空間形成部材をその軸方向
へ位置調整自在なるようにしたが、このようにすること
により、空間形成部材の凹部の上面と吸引ノズルの吸引
口との間の間隔を調整することができるため、使用する
微粉体の大きさや処理目的等に応じて微粉体の取出量を
最適なものに設定することが容易になる。

尚、実施例に示した空間形成部材や撹拌部材の形状あ
るいは撹拌部材の位置や数並びにその他具体的な形状な
いし構造は本発明に実施するに際しての具体化のほんの
一例を示したものに過ぎず、これらによって本発明の技
術的範囲が限定的に解釈されるもので無いことは勿論で
ある。

【図面の簡単な説明】

第１図乃至第３図は本発明微粉体噴射装置における微粉
体供給タンクの実施の一例を示すものであり、第１図は
微粉体供給タンクを拡大して示す中央垂直断面図、第２
図は微粉体噴射装置全体の概略を示す正面図、第３図は
微粉体供給タンクを一部切欠いて示す拡大斜視図、第４
図は従来の微粉体噴射装置の一例の概略を示す一部切欠
正面図である。 符号の説明 １……微粉体噴射装置、 ２……微粉体供給タンク、 ３……微粉体、 11……微粉体供給タンクの底部、 12……吸引ノズル、 12a……吸引口、 13……空間形成部材、 14……撹拌部材、15……撹拌部材、 19……回転駆動手段、20a……壁、 21……空間、41……回転軸

フロントページの続き (56)参考文献 特開 平２−131871（ＪＰ，Ａ) 特開 昭64−34671（ＪＰ，Ａ) 特開 昭64−40277（ＪＰ，Ａ) 特開 昭62−193799（ＪＰ，Ａ) (58)調査した分野(Int.Cl.⁶，ＤＢ名) B24C 7/00

Claims (1)

(57)【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】微粉体が貯留され底部に吸引ノズルが配設
   された微粉体噴射装置における微粉体供給タンクであっ
   て、 上記吸引ノズルの吸引口に対向した壁を備え、吸引ノズ
   ルの上方に配設されて吸引口との間に空間を形成し、垂
   直方向に延びる軸を回転軸として回転自在に支持された
   空間形成部材と、 該空間形成部材を回転させるための回転駆動手段と、 空間形成部材と一体的に回転され微粉体供給タンク内の
   微粉体を撹拌する撹拌部材とを設けた ことを特徴とする微粉体噴射装置における微粉体供給タ
   ンク