JPH05279857A - マイクロ波式繊維加熱装置 - Google Patents
マイクロ波式繊維加熱装置Info
- Publication number
- JPH05279857A JPH05279857A JP5021604A JP2160493A JPH05279857A JP H05279857 A JPH05279857 A JP H05279857A JP 5021604 A JP5021604 A JP 5021604A JP 2160493 A JP2160493 A JP 2160493A JP H05279857 A JPH05279857 A JP H05279857A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- coating
- heating device
- fiber
- applicator
- fiber heating
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Withdrawn
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05B—ELECTRIC HEATING; ELECTRIC LIGHT SOURCES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; CIRCUIT ARRANGEMENTS FOR ELECTRIC LIGHT SOURCES, IN GENERAL
- H05B6/00—Heating by electric, magnetic or electromagnetic fields
- H05B6/64—Heating using microwaves
- H05B6/78—Arrangements for continuous movement of material
- H05B6/788—Arrangements for continuous movement of material wherein an elongated material is moved by applying a mechanical tension to it
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
- C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
- C04B35/00—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products
- C04B35/622—Forming processes; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products
- C04B35/626—Preparing or treating the powders individually or as batches ; preparing or treating macroscopic reinforcing agents for ceramic products, e.g. fibres; mechanical aspects section B
- C04B35/628—Coating the powders or the macroscopic reinforcing agents
- C04B35/62844—Coating fibres
- C04B35/62857—Coating fibres with non-oxide ceramics
- C04B35/62865—Nitrides
- C04B35/62868—Boron nitride
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
- C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
- C04B35/00—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products
- C04B35/622—Forming processes; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products
- C04B35/626—Preparing or treating the powders individually or as batches ; preparing or treating macroscopic reinforcing agents for ceramic products, e.g. fibres; mechanical aspects section B
- C04B35/628—Coating the powders or the macroscopic reinforcing agents
- C04B35/62844—Coating fibres
- C04B35/62857—Coating fibres with non-oxide ceramics
- C04B35/62865—Nitrides
- C04B35/62871—Silicon nitride
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
- C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
- C04B35/00—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products
- C04B35/622—Forming processes; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products
- C04B35/626—Preparing or treating the powders individually or as batches ; preparing or treating macroscopic reinforcing agents for ceramic products, e.g. fibres; mechanical aspects section B
- C04B35/628—Coating the powders or the macroscopic reinforcing agents
- C04B35/62884—Coating the powders or the macroscopic reinforcing agents by gas phase techniques
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
- C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
- C04B35/00—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products
- C04B35/622—Forming processes; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products
- C04B35/626—Preparing or treating the powders individually or as batches ; preparing or treating macroscopic reinforcing agents for ceramic products, e.g. fibres; mechanical aspects section B
- C04B35/628—Coating the powders or the macroscopic reinforcing agents
- C04B35/62897—Coatings characterised by their thickness
-
- D—TEXTILES; PAPER
- D06—TREATMENT OF TEXTILES OR THE LIKE; LAUNDERING; FLEXIBLE MATERIALS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- D06M—TREATMENT, NOT PROVIDED FOR ELSEWHERE IN CLASS D06, OF FIBRES, THREADS, YARNS, FABRICS, FEATHERS OR FIBROUS GOODS MADE FROM SUCH MATERIALS
- D06M10/00—Physical treatment of fibres, threads, yarns, fabrics, or fibrous goods made from such materials, e.g. ultrasonic, corona discharge, irradiation, electric currents, or magnetic fields; Physical treatment combined with treatment with chemical compounds or elements
- D06M10/003—Treatment with radio-waves or microwaves
-
- D—TEXTILES; PAPER
- D06—TREATMENT OF TEXTILES OR THE LIKE; LAUNDERING; FLEXIBLE MATERIALS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- D06M—TREATMENT, NOT PROVIDED FOR ELSEWHERE IN CLASS D06, OF FIBRES, THREADS, YARNS, FABRICS, FEATHERS OR FIBROUS GOODS MADE FROM SUCH MATERIALS
- D06M10/00—Physical treatment of fibres, threads, yarns, fabrics, or fibrous goods made from such materials, e.g. ultrasonic, corona discharge, irradiation, electric currents, or magnetic fields; Physical treatment combined with treatment with chemical compounds or elements
- D06M10/04—Physical treatment combined with treatment with chemical compounds or elements
- D06M10/06—Inorganic compounds or elements
-
- D—TEXTILES; PAPER
- D06—TREATMENT OF TEXTILES OR THE LIKE; LAUNDERING; FLEXIBLE MATERIALS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- D06M—TREATMENT, NOT PROVIDED FOR ELSEWHERE IN CLASS D06, OF FIBRES, THREADS, YARNS, FABRICS, FEATHERS OR FIBROUS GOODS MADE FROM SUCH MATERIALS
- D06M11/00—Treating fibres, threads, yarns, fabrics or fibrous goods made from such materials, with inorganic substances or complexes thereof; Such treatment combined with mechanical treatment, e.g. mercerising
- D06M11/58—Treating fibres, threads, yarns, fabrics or fibrous goods made from such materials, with inorganic substances or complexes thereof; Such treatment combined with mechanical treatment, e.g. mercerising with nitrogen or compounds thereof, e.g. with nitrides
-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05B—ELECTRIC HEATING; ELECTRIC LIGHT SOURCES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; CIRCUIT ARRANGEMENTS FOR ELECTRIC LIGHT SOURCES, IN GENERAL
- H05B11/00—Heating by combined application of processes covered by two or more of groups H05B3/00 - H05B7/00
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
- C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
- C04B2235/00—Aspects relating to ceramic starting mixtures or sintered ceramic products
- C04B2235/02—Composition of constituents of the starting material or of secondary phases of the final product
- C04B2235/50—Constituents or additives of the starting mixture chosen for their shape or used because of their shape or their physical appearance
- C04B2235/52—Constituents or additives characterised by their shapes
- C04B2235/5208—Fibers
- C04B2235/5216—Inorganic
- C04B2235/522—Oxidic
- C04B2235/5224—Alumina or aluminates
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
- C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
- C04B2235/00—Aspects relating to ceramic starting mixtures or sintered ceramic products
- C04B2235/02—Composition of constituents of the starting material or of secondary phases of the final product
- C04B2235/50—Constituents or additives of the starting mixture chosen for their shape or used because of their shape or their physical appearance
- C04B2235/52—Constituents or additives characterised by their shapes
- C04B2235/5208—Fibers
- C04B2235/5216—Inorganic
- C04B2235/524—Non-oxidic, e.g. borides, carbides, silicides or nitrides
- C04B2235/5244—Silicon carbide
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
- C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
- C04B2235/00—Aspects relating to ceramic starting mixtures or sintered ceramic products
- C04B2235/02—Composition of constituents of the starting material or of secondary phases of the final product
- C04B2235/50—Constituents or additives of the starting mixture chosen for their shape or used because of their shape or their physical appearance
- C04B2235/52—Constituents or additives characterised by their shapes
- C04B2235/5208—Fibers
- C04B2235/5216—Inorganic
- C04B2235/524—Non-oxidic, e.g. borides, carbides, silicides or nitrides
- C04B2235/5248—Carbon, e.g. graphite
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
- C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
- C04B2235/00—Aspects relating to ceramic starting mixtures or sintered ceramic products
- C04B2235/02—Composition of constituents of the starting material or of secondary phases of the final product
- C04B2235/50—Constituents or additives of the starting mixture chosen for their shape or used because of their shape or their physical appearance
- C04B2235/52—Constituents or additives characterised by their shapes
- C04B2235/5208—Fibers
- C04B2235/5264—Fibers characterised by the diameter of the fibers
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
- C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
- C04B2235/00—Aspects relating to ceramic starting mixtures or sintered ceramic products
- C04B2235/65—Aspects relating to heat treatments of ceramic bodies such as green ceramics or pre-sintered ceramics, e.g. burning, sintering or melting processes
- C04B2235/66—Specific sintering techniques, e.g. centrifugal sintering
- C04B2235/667—Sintering using wave energy, e.g. microwave sintering
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Ceramic Engineering (AREA)
- Textile Engineering (AREA)
- Inorganic Chemistry (AREA)
- Structural Engineering (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Constitution Of High-Frequency Heating (AREA)
- Treatment Of Fiber Materials (AREA)
- Chemical Vapour Deposition (AREA)
- Yarns And Mechanical Finishing Of Yarns Or Ropes (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】化学的蒸着により繊維にコーチングを被着する
ために常温壁の反応器内でマイクロ波を用いて繊維を加
熱するための方法及び装置を提供すること。 【構成】電界を発生するマイクロ波エネルギー源と、マ
イクロ波エネルギー源に接続されており、繊維を通すた
めのキャビティを有するアプリケータとから成り、前記
キャビティは、電界を集中させるために該キャビティ内
へ突出した導電素子を有していることを特徴とする、マ
イクロ波を用いて繊維を加熱するための装置。
ために常温壁の反応器内でマイクロ波を用いて繊維を加
熱するための方法及び装置を提供すること。 【構成】電界を発生するマイクロ波エネルギー源と、マ
イクロ波エネルギー源に接続されており、繊維を通すた
めのキャビティを有するアプリケータとから成り、前記
キャビティは、電界を集中させるために該キャビティ内
へ突出した導電素子を有していることを特徴とする、マ
イクロ波を用いて繊維を加熱するための装置。
Description
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、一般に、繊維の製造に
関し、特に、連続フィラメントに化学的蒸着(「CV
D」と略称される)によりコーチングを被着するために
常温壁の反応器内でマイクロ波を用いてフィラメントを
加熱することに関する。
関し、特に、連続フィラメントに化学的蒸着(「CV
D」と略称される)によりコーチングを被着するために
常温壁の反応器内でマイクロ波を用いてフィラメントを
加熱することに関する。
【0002】
【従来の技術】繊維は、強度を高め、重量を軽くするた
めの目的で多くの応用例に用いられている。そのような
繊維は、例えばヤーンや連続フィラメント等のいろいろ
な形態とすることができる。例えば、ある種の飛行機部
品には繊維、特に連続フィラメントが用いられる。繊維
の一般的な使用方法の一例は、金属又はセラミックのマ
トリックス内に補強のために繊維を編入することであ
る。そのような繊維は、金属又はセラミックのマトリッ
クスに強度、剛性又は強靭さを付与する。従って、金属
又はセラミックと繊維との複合体は、金属又はセラミッ
クのマトリックスだけのものより有用性の高い物理的、
機械的特性を有する。
めの目的で多くの応用例に用いられている。そのような
繊維は、例えばヤーンや連続フィラメント等のいろいろ
な形態とすることができる。例えば、ある種の飛行機部
品には繊維、特に連続フィラメントが用いられる。繊維
の一般的な使用方法の一例は、金属又はセラミックのマ
トリックス内に補強のために繊維を編入することであ
る。そのような繊維は、金属又はセラミックのマトリッ
クスに強度、剛性又は強靭さを付与する。従って、金属
又はセラミックと繊維との複合体は、金属又はセラミッ
クのマトリックスだけのものより有用性の高い物理的、
機械的特性を有する。
【0003】このような補強フィラメントは、多くの場
合、マトリックス又はコア(心材)に強度や剛性等の望
ましい特性を付与する材料を被覆することによって製造
される。場合によっては、繊維を特定のマトリックス材
によりよく適合させるために更に追加のコーチングが被
覆される。厳密にいえば、コアにコーチングを被覆する
ことによって製造される繊維は、コーチングが被覆され
るまでは完成した繊維とはいえないが、ここでは便宜
上、コーチングが被覆される前のものも、コーチングが
被覆された後のものも総称して「繊維」と称することと
する。
合、マトリックス又はコア(心材)に強度や剛性等の望
ましい特性を付与する材料を被覆することによって製造
される。場合によっては、繊維を特定のマトリックス材
によりよく適合させるために更に追加のコーチングが被
覆される。厳密にいえば、コアにコーチングを被覆する
ことによって製造される繊維は、コーチングが被覆され
るまでは完成した繊維とはいえないが、ここでは便宜
上、コーチングが被覆される前のものも、コーチングが
被覆された後のものも総称して「繊維」と称することと
する。
【0004】コーチングを被覆する一般的な方法の1つ
は、化学的蒸着(CVD)と称される方法である。CV
Dプロセスにおいては、繊維を石英管等のチャンバーを
通して加熱する。チャンバーには、繊維の加熱された表
面上で反応してその化学反応の結果としてコーチングを
形成する反応剤ガスが満たされている。高温壁システム
の場合は、チャンバーの壁自体を加熱することによって
繊維を加熱する。しかし、高温壁システムには、繊維に
だけではなく、チャンバーの壁にもコーチングが付着す
るという欠点がある。その結果、チャンバーが付着物で
詰まるので、しばしば清掃しなければならない。
は、化学的蒸着(CVD)と称される方法である。CV
Dプロセスにおいては、繊維を石英管等のチャンバーを
通して加熱する。チャンバーには、繊維の加熱された表
面上で反応してその化学反応の結果としてコーチングを
形成する反応剤ガスが満たされている。高温壁システム
の場合は、チャンバーの壁自体を加熱することによって
繊維を加熱する。しかし、高温壁システムには、繊維に
だけではなく、チャンバーの壁にもコーチングが付着す
るという欠点がある。その結果、チャンバーが付着物で
詰まるので、しばしば清掃しなければならない。
【0005】一方、常温壁システムの場合は、チャンバ
ーの壁ではなく、繊維自体を加熱する。従って、材料の
付着は、チャンバーの壁によりも繊維の表面に多く生じ
る。この方式では、一般に、繊維に電流を通し、抵抗熱
を発生させることによって繊維を加熱する。繊維に電流
を通すために、チャンバーの両端において繊維に電気的
接触を設定する。通常、凹所の底壁に形成した小さな穴
を通して繊維を移送する。その凹所には、チャンバーの
内部を密封するとともに、繊維に対して電気的接触を設
定するための水銀を充填する。
ーの壁ではなく、繊維自体を加熱する。従って、材料の
付着は、チャンバーの壁によりも繊維の表面に多く生じ
る。この方式では、一般に、繊維に電流を通し、抵抗熱
を発生させることによって繊維を加熱する。繊維に電流
を通すために、チャンバーの両端において繊維に電気的
接触を設定する。通常、凹所の底壁に形成した小さな穴
を通して繊維を移送する。その凹所には、チャンバーの
内部を密封するとともに、繊維に対して電気的接触を設
定するための水銀を充填する。
【0006】現行では商業規模で製造される繊維、特に
連続フィラメントは、常温壁システムでコーチングを被
覆されているが、常温壁システムには幾つかの欠点があ
る。その1つは、絶縁性の繊維には、電流を誘導するこ
とができないのでコーチングを被着することができない
ことである。同様の理由から、絶縁性のコーチングを繊
維に被着することもできない。なぜなら、繊維の表面に
コーチングが形成され始めると、繊維を通しての導電経
路が断たれるからである。もう1つの欠点は、高い導電
性のコーチングを繊維に被着することもできないことで
ある。なぜなら、繊維の表面にコーチングが形成され始
めると、繊維の電気抵抗が低下し、効果的な抵抗加熱が
得られなくなるからである。弱い導電性のコーチングで
あっても、それを厚い層として被覆する場合には、コー
チング層が厚くなるにつれてやはり繊維の電気抵抗が低
下し、効果的な抵抗加熱が得られなくなる。又、水銀は
繊維のコーチング内に不純物を混入することがるので、
水銀の使用にも不都合が随伴する。
連続フィラメントは、常温壁システムでコーチングを被
覆されているが、常温壁システムには幾つかの欠点があ
る。その1つは、絶縁性の繊維には、電流を誘導するこ
とができないのでコーチングを被着することができない
ことである。同様の理由から、絶縁性のコーチングを繊
維に被着することもできない。なぜなら、繊維の表面に
コーチングが形成され始めると、繊維を通しての導電経
路が断たれるからである。もう1つの欠点は、高い導電
性のコーチングを繊維に被着することもできないことで
ある。なぜなら、繊維の表面にコーチングが形成され始
めると、繊維の電気抵抗が低下し、効果的な抵抗加熱が
得られなくなるからである。弱い導電性のコーチングで
あっても、それを厚い層として被覆する場合には、コー
チング層が厚くなるにつれてやはり繊維の電気抵抗が低
下し、効果的な抵抗加熱が得られなくなる。又、水銀は
繊維のコーチング内に不純物を混入することがるので、
水銀の使用にも不都合が随伴する。
【0007】米国特許第3,754,112号は、抵抗
加熱の上述した欠点の幾つかを回避するための1つの方
法を開示している。その方法は、繊維のいろいろな箇所
に電流を誘導するためにRFエネルギーを使用するもの
である。この方法は、慣用の抵抗加熱による繊維加熱を
補充するので、弱い導電性の厚いコーチングを被覆する
場合に抵抗熱を僅かに増大させるのに有用である。しか
しながら、この方法は、やはり抵抗熱を用いるので、上
述した欠点の多くを有している。更に、この方法は比較
的高いレベルのRF放射線を用いるので、その放射線自
体が、通信装置を妨害したりする問題があり、又、CV
Dシステムに使用する場合、RF放射線を確実に遮蔽す
るのが面倒である。
加熱の上述した欠点の幾つかを回避するための1つの方
法を開示している。その方法は、繊維のいろいろな箇所
に電流を誘導するためにRFエネルギーを使用するもの
である。この方法は、慣用の抵抗加熱による繊維加熱を
補充するので、弱い導電性の厚いコーチングを被覆する
場合に抵抗熱を僅かに増大させるのに有用である。しか
しながら、この方法は、やはり抵抗熱を用いるので、上
述した欠点の多くを有している。更に、この方法は比較
的高いレベルのRF放射線を用いるので、その放射線自
体が、通信装置を妨害したりする問題があり、又、CV
Dシステムに使用する場合、RF放射線を確実に遮蔽す
るのが面倒である。
【0008】
【発明が解決しようとする課題】本発明は、従来技術の
上述した欠点を克服するために、繊維を抵抗加熱によら
ない方法で加熱するための改良された装置を提供するこ
とを目的とする。本発明の他の目的は、絶縁性の繊維を
加熱するための装置を提供することである。本発明の更
に他の目的は、繊維にコーチングを被着するための装置
を提供することである。本発明の更に他の目的は、繊維
に絶縁性のコーチングを被着するための装置を提供する
ことである。
上述した欠点を克服するために、繊維を抵抗加熱によら
ない方法で加熱するための改良された装置を提供するこ
とを目的とする。本発明の他の目的は、絶縁性の繊維を
加熱するための装置を提供することである。本発明の更
に他の目的は、繊維にコーチングを被着するための装置
を提供することである。本発明の更に他の目的は、繊維
に絶縁性のコーチングを被着するための装置を提供する
ことである。
【0009】
【課題を解決するための手段】本発明の上記目的は、繊
維をマイクロ波によって加熱するようにした化学的蒸着
(CVD)反応器に実現される。この反応器は、例え
ば、加工すべき繊維を通すガス充満チャンバー(反応剤
ガスを充満させたチャンバー)を画定する石英管から成
る。このチャンバーをマイクロ波アプリケータ内に部分
的に配置する。一実施例においては、マイクロ波アプリ
ケータ(以下、単に「アプリケータ」とも称する)は、
マイクロ波の伝播を支持する長い、断面長方形のボック
ス即ち導波管で構成し、上記チャンバーの周りに電界を
集中させるための手段を備えたものとする。別の実施例
においては、上記アプリケータは、断面三角形の領域を
画定する構成とし、その三角形の頂点の前に上記チャン
バーを配置する。この三角形の領域内に複数のキャビテ
ィを開口させ、各キャビティ内には、マイクロ波エネル
ギーをキャビティ内へ導くためのアンテナを配設する。
各キャビティと三角形の領域との間に回転じゃま板を配
置する。
維をマイクロ波によって加熱するようにした化学的蒸着
(CVD)反応器に実現される。この反応器は、例え
ば、加工すべき繊維を通すガス充満チャンバー(反応剤
ガスを充満させたチャンバー)を画定する石英管から成
る。このチャンバーをマイクロ波アプリケータ内に部分
的に配置する。一実施例においては、マイクロ波アプリ
ケータ(以下、単に「アプリケータ」とも称する)は、
マイクロ波の伝播を支持する長い、断面長方形のボック
ス即ち導波管で構成し、上記チャンバーの周りに電界を
集中させるための手段を備えたものとする。別の実施例
においては、上記アプリケータは、断面三角形の領域を
画定する構成とし、その三角形の頂点の前に上記チャン
バーを配置する。この三角形の領域内に複数のキャビテ
ィを開口させ、各キャビティ内には、マイクロ波エネル
ギーをキャビティ内へ導くためのアンテナを配設する。
各キャビティと三角形の領域との間に回転じゃま板を配
置する。
【0010】
【作用】本発明の装置によれば、反応剤ガスを前記チャ
ンバーに導入し、繊維をマイクロ波によって加熱し、そ
の結果、反応剤ガスが反応して固形物を形成し、その固
形物が繊維の表面にコーチングとして付着する。
ンバーに導入し、繊維をマイクロ波によって加熱し、そ
の結果、反応剤ガスが反応して固形物を形成し、その固
形物が繊維の表面にコーチングとして付着する。
【0011】
【実施例】図1は、繊維102にコーチングを被着する
ための本発明の装置10のブロック図である。未被覆繊
維は、スプール104から供給され、被覆済み繊維は、
スプール106に巻取られる。繊維102は、図示の実
施例では石英管112から成る化学的蒸着(CVD)反
応器のチャンバーを通して移送される。石英管(以下、
単に「管」とも称する)112は、繊維にCVDコーチ
ングを施すのに一般に用いられているタイプのものであ
る。慣用のシステムの場合と同様に、ガス供給源114
から管112内へ反応剤ガス(以下、単に「ガス」とも
称する)を導入する。それらのガスは、以下に詳述する
ようにCVDプロセスに使用される。CVDプロセスに
使用されなかった残留ガスは、ガス再循還器116へ流
れ、そこで再使用に供されるか、あるいは処分される。
ための本発明の装置10のブロック図である。未被覆繊
維は、スプール104から供給され、被覆済み繊維は、
スプール106に巻取られる。繊維102は、図示の実
施例では石英管112から成る化学的蒸着(CVD)反
応器のチャンバーを通して移送される。石英管(以下、
単に「管」とも称する)112は、繊維にCVDコーチ
ングを施すのに一般に用いられているタイプのものであ
る。慣用のシステムの場合と同様に、ガス供給源114
から管112内へ反応剤ガス(以下、単に「ガス」とも
称する)を導入する。それらのガスは、以下に詳述する
ようにCVDプロセスに使用される。CVDプロセスに
使用されなかった残留ガスは、ガス再循還器116へ流
れ、そこで再使用に供されるか、あるいは処分される。
【0012】ガスは、管112の両端に設けられたシー
ル120によって管112内に保持される。シール11
2は、繊維が管112を通って移動するのを許すが、ガ
スが漏出するのを実質的に防止する。シール120は、
当該技術分野において周知の軸受石付シールであってよ
く、あるいは、後述するようなタイプのガスシールであ
ってもよい。いずれにしても、本発明によれば、繊維1
02に対して電気的接触を設定する必要がないので、水
銀やその他の液体金属を必要としないシールを用いるこ
とが好ましい。後述するように、繊維102の表面に液
体金属が残留すると、マイクロ波加熱を阻害するからで
ある。
ル120によって管112内に保持される。シール11
2は、繊維が管112を通って移動するのを許すが、ガ
スが漏出するのを実質的に防止する。シール120は、
当該技術分野において周知の軸受石付シールであってよ
く、あるいは、後述するようなタイプのガスシールであ
ってもよい。いずれにしても、本発明によれば、繊維1
02に対して電気的接触を設定する必要がないので、水
銀やその他の液体金属を必要としないシールを用いるこ
とが好ましい。後述するように、繊維102の表面に液
体金属が残留すると、マイクロ波加熱を阻害するからで
ある。
【0013】管112は、マイクロ波アプリケータ(以
下、単に「アプリケータ」とも称する)108を貫通し
て延長させる。マイクロ波エネルギーは、マイクロ波発
生器即ちマイクロ波エネルギー源110からアプリケー
タ108内へ供給される。このマイクロ波エネルギーが
繊維102を加熱し、繊維の表面にコーチングを被着さ
せる。アプリケータ108内で吸収されなかったマイク
ロ波エネルギーは、慣用のタイプの負荷118によって
散逸される。
下、単に「アプリケータ」とも称する)108を貫通し
て延長させる。マイクロ波エネルギーは、マイクロ波発
生器即ちマイクロ波エネルギー源110からアプリケー
タ108内へ供給される。このマイクロ波エネルギーが
繊維102を加熱し、繊維の表面にコーチングを被着さ
せる。アプリケータ108内で吸収されなかったマイク
ロ波エネルギーは、慣用のタイプの負荷118によって
散逸される。
【0014】マイクロ波発生器110によって供給する
周波数及び電力レベルは、いろいろな要素に鑑みて決め
られるが、実験的に決めればよい場合もある。この実施
例では、最大限約6kWにまで調節するできる電力レベ
ルで2.45GHzの周波数でマイクロ波エネルギーを
発生することができるマイクロ波発生器が用いられた
が、最大限約3kWのレベルの電力を発生するようなマ
イクロ波発生器を用いてもよい。
周波数及び電力レベルは、いろいろな要素に鑑みて決め
られるが、実験的に決めればよい場合もある。この実施
例では、最大限約6kWにまで調節するできる電力レベ
ルで2.45GHzの周波数でマイクロ波エネルギーを
発生することができるマイクロ波発生器が用いられた
が、最大限約3kWのレベルの電力を発生するようなマ
イクロ波発生器を用いてもよい。
【0015】マイクロ波発生器110とアプリケータ1
08とは、マイラーシート122によって分離されてい
るが、マイクロ波は、マイラーシート122を透過して
アプリケータ108内へ侵入することができる。マイク
ロ波発生器110が冷却ファン(図示せず)を装備して
いる場合は、マイラーシート122は、アプリケータ1
08内の繊維102が冷却ファンによって冷却されるの
を防止する。
08とは、マイラーシート122によって分離されてい
るが、マイクロ波は、マイラーシート122を透過して
アプリケータ108内へ侵入することができる。マイク
ロ波発生器110が冷却ファン(図示せず)を装備して
いる場合は、マイラーシート122は、アプリケータ1
08内の繊維102が冷却ファンによって冷却されるの
を防止する。
【0016】図2を説明すると、アプリケータ108の
詳細が示されている。アプリケータ108は、後述する
ように処理すべき繊維102を通すとともに、マイクロ
波を案内するためのキャビティを画定する比較的長い、
断面長方形の導電性ボックス202を備えている。導電
性ボックス202は、基本的には慣用の導波管から成っ
ている。(導電性ボックス202は、ここでは、「導波
管」又は単に「ボックス」とも称する。)導波管202
は、この実施例ではほぼ1.5mの長さを有している
が、長さは、臨界的な重要性をもつものではない。導波
管202の側壁は、3:1の比率の長さを有している。
そのような導波管は、マイクロ波の伝播をTE10モード
で支持する。
詳細が示されている。アプリケータ108は、後述する
ように処理すべき繊維102を通すとともに、マイクロ
波を案内するためのキャビティを画定する比較的長い、
断面長方形の導電性ボックス202を備えている。導電
性ボックス202は、基本的には慣用の導波管から成っ
ている。(導電性ボックス202は、ここでは、「導波
管」又は単に「ボックス」とも称する。)導波管202
は、この実施例ではほぼ1.5mの長さを有している
が、長さは、臨界的な重要性をもつものではない。導波
管202の側壁は、3:1の比率の長さを有している。
そのような導波管は、マイクロ波の伝播をTE10モード
で支持する。
【0017】ただし、この導波管202は、本発明の原
理に従って改変されている。即ち、導波管202の一側
壁にスロット204を切設し、その側壁に対置する反対
側の側壁に第2のスロット308(図3参照)を切設す
る。スロット204は、管112内の繊維102(図1
参照)を視検する覗窓の役割を果たす。スロット308
は、導電材から成る導電素子214(図3参照)をボッ
クス202内へ突出させるためのスロットである。導電
素子214は、ここでは、単に「突起」とも称する。
理に従って改変されている。即ち、導波管202の一側
壁にスロット204を切設し、その側壁に対置する反対
側の側壁に第2のスロット308(図3参照)を切設す
る。スロット204は、管112内の繊維102(図1
参照)を視検する覗窓の役割を果たす。スロット308
は、導電材から成る導電素子214(図3参照)をボッ
クス202内へ突出させるためのスロットである。導電
素子214は、ここでは、単に「突起」とも称する。
【0018】突起214は、繊維102を通す管112
内の電界密度を増大させるための手段であり、管実際上
可能な限り繊維102に近接させる。電界密度を増大さ
せることにより、繊維102によるマイクロ波エネルギ
ーの吸収量を増大し、繊維102の加熱を促進する。
内の電界密度を増大させるための手段であり、管実際上
可能な限り繊維102に近接させる。電界密度を増大さ
せることにより、繊維102によるマイクロ波エネルギ
ーの吸収量を増大し、繊維102の加熱を促進する。
【0019】ボックス20の形状を維持するために支持
構造部材(図示の実施例ではブレース222)を用い
る。そのようなブレース222は、ボックス202の長
手に間隔を置いて複数個設けることが望ましいが、図示
を簡略にするために図2には1つのブレース222だけ
が示されている。図3は、ブレース222を通して切っ
たボックス202の横断面を示す。図に示されるよう
に、ブレース222は、コの字形のブラケット302と
バー304から成り、ブラケット302とバー304は
ねじ306によって結合されている。ねじ306を締付
ければ、ブラケット302とバー304とが互いに引き
つけられるので、ボックス202の形状を僅かに変える
ことができる。従って、ねじ306は、ボックス202
のマイクロ波の伝播態様を調整するために1つの手段を
構成する。図3に明示されているように、突起214
は、スロット308を通してボックス即ち導波管202
内へ突出した断面T字形の部材であり、ねじ306を締
付ければ、突起214を管112に近づく方向に引寄せ
ることにもなる。
構造部材(図示の実施例ではブレース222)を用い
る。そのようなブレース222は、ボックス202の長
手に間隔を置いて複数個設けることが望ましいが、図示
を簡略にするために図2には1つのブレース222だけ
が示されている。図3は、ブレース222を通して切っ
たボックス202の横断面を示す。図に示されるよう
に、ブレース222は、コの字形のブラケット302と
バー304から成り、ブラケット302とバー304は
ねじ306によって結合されている。ねじ306を締付
ければ、ブラケット302とバー304とが互いに引き
つけられるので、ボックス202の形状を僅かに変える
ことができる。従って、ねじ306は、ボックス202
のマイクロ波の伝播態様を調整するために1つの手段を
構成する。図3に明示されているように、突起214
は、スロット308を通してボックス即ち導波管202
内へ突出した断面T字形の部材であり、ねじ306を締
付ければ、突起214を管112に近づく方向に引寄せ
ることにもなる。
【0020】再び図2を参照して説明すると、ボックス
202の両端にはそれぞれ湾曲セクション206,20
8が連結されている。湾曲セクション206,208
は、市販されているような導波管の湾曲部材で構成され
ている。これらの湾曲セクション206,208は、や
はりマイクロ波装置において慣用されているフランジ2
10,212を介してボックス202に結合される。た
だし、この湾曲セクション206,208は、管112
を通すための穴(図示せず)を有するように改変されて
いる。湾曲セクション206,208の穴にスリーブ2
24を嵌め、そのスリーブを通して管112を挿設す
る。かくして、管112の、湾曲セクション206,2
08の穴を貫通する部分は、スリーブ224によって囲
繞される。スリーブ224の長さは、マイクロ波エネル
ギーの波長の約4分の1の長さとする。従って、各穴の
インピーダンスは、非常に大きく、該穴を透過するマイ
クロ波エネルギーは極めて少ない。
202の両端にはそれぞれ湾曲セクション206,20
8が連結されている。湾曲セクション206,208
は、市販されているような導波管の湾曲部材で構成され
ている。これらの湾曲セクション206,208は、や
はりマイクロ波装置において慣用されているフランジ2
10,212を介してボックス202に結合される。た
だし、この湾曲セクション206,208は、管112
を通すための穴(図示せず)を有するように改変されて
いる。湾曲セクション206,208の穴にスリーブ2
24を嵌め、そのスリーブを通して管112を挿設す
る。かくして、管112の、湾曲セクション206,2
08の穴を貫通する部分は、スリーブ224によって囲
繞される。スリーブ224の長さは、マイクロ波エネル
ギーの波長の約4分の1の長さとする。従って、各穴の
インピーダンスは、非常に大きく、該穴を透過するマイ
クロ波エネルギーは極めて少ない。
【0021】この湾曲セクション206,208には、
更に、アプリケータ108を調整するためのスロット2
20a,220bを切設し、各スロットにピン226
a,226bを挿入する。アプリケータ108は、マイ
クロ波発生器110(図1参照)に対して反射パワーを
最少限にするようなインピーダンスを示すように調整す
ることが望ましい。このインピーダンスを所望のレベル
に調整するためにピン226a,226bをそれぞれス
ロット220a,220bに沿って移動させることがで
きる。インピーダンスの所望のレベルは、マイクロ波発
生器110に設けられた反射パワー計(図示せず)によ
って反射パワーを観察しながらピン226a,226b
を移動させることによって実験的に決定することができ
る。ピン226a,226bは、スロット220a,2
20bに沿っての位置とともに、導波管内への突出長さ
をも調節することができる単純な導電性ねじである。
更に、アプリケータ108を調整するためのスロット2
20a,220bを切設し、各スロットにピン226
a,226bを挿入する。アプリケータ108は、マイ
クロ波発生器110(図1参照)に対して反射パワーを
最少限にするようなインピーダンスを示すように調整す
ることが望ましい。このインピーダンスを所望のレベル
に調整するためにピン226a,226bをそれぞれス
ロット220a,220bに沿って移動させることがで
きる。インピーダンスの所望のレベルは、マイクロ波発
生器110に設けられた反射パワー計(図示せず)によ
って反射パワーを観察しながらピン226a,226b
を移動させることによって実験的に決定することができ
る。ピン226a,226bは、スロット220a,2
20bに沿っての位置とともに、導波管内への突出長さ
をも調節することができる単純な導電性ねじである。
【0022】湾曲セクション206の後壁には、突起2
14と整列するようにして突起216がはんだ付けされ
ている。突起216も、突起214と同様の目的のため
のものであり、導電性部材で形成されている。突起21
6は、電界を集中させる領域が管112に沿ってできる
だけ長くなるようにするためのものである。突起216
は、テーパ縁218を有している。テーパ縁218は、
湾曲セクション206の後壁に対してほぼ15°の角度
でテーパしており、突起214からのマイクロ波エネル
ギーの反射を少なくする。突起214と整列する、突起
216と同様のテーパ縁付突起(図示せず)は、湾曲セ
クション208の後壁にも付設されている。
14と整列するようにして突起216がはんだ付けされ
ている。突起216も、突起214と同様の目的のため
のものであり、導電性部材で形成されている。突起21
6は、電界を集中させる領域が管112に沿ってできる
だけ長くなるようにするためのものである。突起216
は、テーパ縁218を有している。テーパ縁218は、
湾曲セクション206の後壁に対してほぼ15°の角度
でテーパしており、突起214からのマイクロ波エネル
ギーの反射を少なくする。突起214と整列する、突起
216と同様のテーパ縁付突起(図示せず)は、湾曲セ
クション208の後壁にも付設されている。
【0023】アプリケータ108は、マイクロ波製造分
野において周知の技術を用いて製造することができる。
以下の具体例は、繊維にコーチングを被着するために本
発明のマイクロ波式繊維加熱装置(図1)を使用する態
様の幾つかを示す。
野において周知の技術を用いて製造することができる。
以下の具体例は、繊維にコーチングを被着するために本
発明のマイクロ波式繊維加熱装置(図1)を使用する態
様の幾つかを示す。
【0024】例 I 米国特許第4,340,636号に記載されているよう
な142μ径の炭化珪素のモノフィラメントに窒化硼素
(BN)を4.3μの厚さにまで被着させた。これに使
用した導波管202の長さは約63.5cmであった。
ガス供給源114からは、窒素(1800cc/分)
と、三塩化硼素(200cc/分)と、アンモニア(3
00cc/分)と、水素(200cc/分)との混合物
を供給した。(()内の流量は、いずれも標準状態、即
ち常圧、常温での流量。以下の各例においても同じ。)
マイクロ波発生器110は、約1800Wで作動させ、
繊維を1450℃〜1650℃の間の温度にまで加熱し
た。繊維の移動速度は1.22m/分とした。繊維を最
高12.m/分の速度で移動させることによって、より
薄いコーチングが得られた。
な142μ径の炭化珪素のモノフィラメントに窒化硼素
(BN)を4.3μの厚さにまで被着させた。これに使
用した導波管202の長さは約63.5cmであった。
ガス供給源114からは、窒素(1800cc/分)
と、三塩化硼素(200cc/分)と、アンモニア(3
00cc/分)と、水素(200cc/分)との混合物
を供給した。(()内の流量は、いずれも標準状態、即
ち常圧、常温での流量。以下の各例においても同じ。)
マイクロ波発生器110は、約1800Wで作動させ、
繊維を1450℃〜1650℃の間の温度にまで加熱し
た。繊維の移動速度は1.22m/分とした。繊維を最
高12.m/分の速度で移動させることによって、より
薄いコーチングが得られた。
【0025】例 II 三塩化硼素を22cc/分の流量で供給し、アンモニア
を50cc/分の流量で供給し、窒素を250cc/分
の流量で供給した点を除いては、例 Iと同様にして窒化
硼素を被覆した。繊維の移動速度を4.6〜5.18m
/分とし、1.5μの厚さの窒化硼素コーチングを被着
した。
を50cc/分の流量で供給し、窒素を250cc/分
の流量で供給した点を除いては、例 Iと同様にして窒化
硼素を被覆した。繊維の移動速度を4.6〜5.18m
/分とし、1.5μの厚さの窒化硼素コーチングを被着
した。
【0026】例 I及び例 II で選択した反応剤ガスを使
用した場合、管112の壁に、数時間ごとに清掃しなけ
ればならないような付着物が付着した。このような付着
物の付着を回避するために、反応剤ガスをジボランとア
ンモニアの混合物に変えてもよい。あるいは、別法とし
て、トリメチル硼素とアンモニアの混合物を用いてもよ
く、あるいは、硼酸トリメチルとアンモニアの混合物を
用いてもよい。これらの物質のあるものは、常温では液
体であり、適当な蒸気圧とするためにガス供給源114
を加熱する必要がある。
用した場合、管112の壁に、数時間ごとに清掃しなけ
ればならないような付着物が付着した。このような付着
物の付着を回避するために、反応剤ガスをジボランとア
ンモニアの混合物に変えてもよい。あるいは、別法とし
て、トリメチル硼素とアンモニアの混合物を用いてもよ
く、あるいは、硼酸トリメチルとアンモニアの混合物を
用いてもよい。これらの物質のあるものは、常温では液
体であり、適当な蒸気圧とするためにガス供給源114
を加熱する必要がある。
【0027】例 III 例 Iで使用したのと同じガスを使用して、33μ径の炭
素のモノフィラメントに0.0508〜0.0762m
m厚の窒化硼素を被覆した。
素のモノフィラメントに0.0508〜0.0762m
m厚の窒化硼素を被覆した。
【0028】例 IV 四塩化珪素とアンモニアの混合物を使用して、炭化珪素
のモノフィラメントに窒化硼素を被覆した。
のモノフィラメントに窒化硼素を被覆した。
【0029】例 V ガス供給源114からヘキサメチルジシラザンを沸騰さ
せて窒素を供給することによって、炭化珪素のモノフィ
ラメントにオキシ炭化窒化硼素を被覆することができ
る。
せて窒素を供給することによって、炭化珪素のモノフィ
ラメントにオキシ炭化窒化硼素を被覆することができ
る。
【0030】例 VI 例 Iの工程条件に従って、鉄添加アルミナのモノフィラ
メントから成るコアに窒化硼素のコーチングを被覆する
ことができる。
メントから成るコアに窒化硼素のコーチングを被覆する
ことができる。
【0031】図4は、本発明の変型実施例を示す。アプ
リケータ408は、スプール104からスプール106
へ繊維102を通す管112を備えている。ガス供給源
114、ガス再循還器116及びシール120は、アプ
リケータ408を通る繊維にコーチングを被覆するため
の反応剤ガスを供給するために先の実施例の場合と同様
に機能する。
リケータ408は、スプール104からスプール106
へ繊維102を通す管112を備えている。ガス供給源
114、ガス再循還器116及びシール120は、アプ
リケータ408を通る繊維にコーチングを被覆するため
の反応剤ガスを供給するために先の実施例の場合と同様
に機能する。
【0032】アプリケータ408は、複数のキャビティ
402A・・・402Dを画定し、キャビティ402A
・・・402Dの床には、各キャビティにマイクロ波エ
ネルギーを結合するアンテナ404A・・・404Dが
配設されている。アンテナ404A・・・404Dは、
マイクロ波エネルギーをそれぞれのキャビティ内に均一
に分配するための最適位置へ回動することができる。そ
の最適位置は、実験的に見極めることができる。
402A・・・402Dを画定し、キャビティ402A
・・・402Dの床には、各キャビティにマイクロ波エ
ネルギーを結合するアンテナ404A・・・404Dが
配設されている。アンテナ404A・・・404Dは、
マイクロ波エネルギーをそれぞれのキャビティ内に均一
に分配するための最適位置へ回動することができる。そ
の最適位置は、実験的に見極めることができる。
【0033】各マイクロ波ユニット即ちマイクロ波発生
器406A・・・406Dは、例えばマグネトロン(図
示せず)によってマイクロ波を発生し、それをアンテナ
404A・・・404Dに結合する。各マイクロ波ユニ
ット406A・・・406Dは、又、それぞれの対応す
るアンテナ404A・・・404Dを回動するための外
部から制御することができるモータを備えている。
器406A・・・406Dは、例えばマグネトロン(図
示せず)によってマイクロ波を発生し、それをアンテナ
404A・・・404Dに結合する。各マイクロ波ユニ
ット406A・・・406Dは、又、それぞれの対応す
るアンテナ404A・・・404Dを回動するための外
部から制御することができるモータを備えている。
【0034】この実施例では、キャビティ402A・・
・402D、アンテナ404A・・・404D及びマイ
クロ波ユニット406A・・・406Dは、市販されて
いる4つの家庭用電子レンジを上下に重ねることによっ
て構成した。ただし、これらの要素は、ここに開示した
制御目的のために改変した。電子制御器418は、マイ
クロ波ユニット406A・・・406Dによるマイクロ
波放射線の発生を制御する。慣用の電子レンジの場合と
同様に、電子制御器418は、各マイクロ波ユニット4
06A・・・406Dのマグネトロン(図示せず)をオ
ン・オフすることができる。更に、電子制御器418
は、各マグネトロンの出力レベルを調節することができ
る。この調節は、例えばマグネトロンへの加熱器電流及
び極板電圧を調節することなどにより周知の技法を用い
て行われる。
・402D、アンテナ404A・・・404D及びマイ
クロ波ユニット406A・・・406Dは、市販されて
いる4つの家庭用電子レンジを上下に重ねることによっ
て構成した。ただし、これらの要素は、ここに開示した
制御目的のために改変した。電子制御器418は、マイ
クロ波ユニット406A・・・406Dによるマイクロ
波放射線の発生を制御する。慣用の電子レンジの場合と
同様に、電子制御器418は、各マイクロ波ユニット4
06A・・・406Dのマグネトロン(図示せず)をオ
ン・オフすることができる。更に、電子制御器418
は、各マグネトロンの出力レベルを調節することができ
る。この調節は、例えばマグネトロンへの加熱器電流及
び極板電圧を調節することなどにより周知の技法を用い
て行われる。
【0035】キャビティ402A・・・402Dの任意
の1つにマイクロ波エネルギーを供給すると、そのマイ
クロ波エネルギーは他の3つのキャビティにも結合す
る。この結合は、キャビティにマイクロ波エネルギーを
供給しているマグネトロンを損傷するほどの大きなエネ
ルギーを該キャビティ内に生じることがある。このよう
な損傷を防止するために、電子制御器418は、どの時
点においても1つのマグネトロンだけしか付勢されない
ようにマイクロ波ユニット406A・・・406Dのマ
グネトロンを制御する。
の1つにマイクロ波エネルギーを供給すると、そのマイ
クロ波エネルギーは他の3つのキャビティにも結合す
る。この結合は、キャビティにマイクロ波エネルギーを
供給しているマグネトロンを損傷するほどの大きなエネ
ルギーを該キャビティ内に生じることがある。このよう
な損傷を防止するために、電子制御器418は、どの時
点においても1つのマグネトロンだけしか付勢されない
ようにマイクロ波ユニット406A・・・406Dのマ
グネトロンを制御する。
【0036】キャビティ402A・・・402Dの開口
部のところに、それぞれ1つの櫂状のじゃま板410A
・・・410Bが軸414に固定されている。軸414
派モータ412によって回転される。作動において、じ
ゃま板410A・・・410Bは、対応するキャビティ
402A・・・402Dから放出されるマイクロ波エネ
ルギーを分散させる。
部のところに、それぞれ1つの櫂状のじゃま板410A
・・・410Bが軸414に固定されている。軸414
派モータ412によって回転される。作動において、じ
ゃま板410A・・・410Bは、対応するキャビティ
402A・・・402Dから放出されるマイクロ波エネ
ルギーを分散させる。
【0037】図4の実施例では、更に、管112に近接
してそれぞれ導電素子から成る複数の調整羽根4161
・・・416n が配置されている。各調整羽根4161
・・・416n は、管112に対して離する方向に調節
することができる。調整羽根4161 ・・・416n
は、金属製であり、電界をその近傍に集中させる働きを
する。作動において、管102が平均温度より低い温度
に加熱されている領域では、対応する調整羽根4161
・・・416n の幾つかを管112に接近させるように
調節し、管102が平均温度より高い温度に加熱されて
いる領域では、対応する調整羽根4161 ・・・416
n の幾つかを管112から離隔させるように調節する。
かくして、管102全体の温度をより均一にする。
してそれぞれ導電素子から成る複数の調整羽根4161
・・・416n が配置されている。各調整羽根4161
・・・416n は、管112に対して離する方向に調節
することができる。調整羽根4161 ・・・416n
は、金属製であり、電界をその近傍に集中させる働きを
する。作動において、管102が平均温度より低い温度
に加熱されている領域では、対応する調整羽根4161
・・・416n の幾つかを管112に接近させるように
調節し、管102が平均温度より高い温度に加熱されて
いる領域では、対応する調整羽根4161 ・・・416
n の幾つかを管112から離隔させるように調節する。
かくして、管102全体の温度をより均一にする。
【0038】図5を参照すると、アプリケータ408の
透視図が示されている。キャビティ402A・・・40
2Dは、ハウジング即ちボックス502内に画定されて
いる。ハウジング502内へのアクセスは、ヒンジ50
6によって該ハウジングに蝶着されたドア504を通し
て行われる。ドア504は、三角形部分508を有して
おり、この三角形部分508の三角形の一辺の壁に調整
羽根4161 ・・・416n が止めねじ5101 ・・・
510n によって上述のように調節自在に取付けられて
いる。三角形部分508の三角形の他辺の壁には、繊維
102を観察するための複数の覗穴512が穿設されて
いる。各覗穴512は、マイクロ波放射線を通さないよ
うにマイクロ波の波長より小さい直径とされている。
透視図が示されている。キャビティ402A・・・40
2Dは、ハウジング即ちボックス502内に画定されて
いる。ハウジング502内へのアクセスは、ヒンジ50
6によって該ハウジングに蝶着されたドア504を通し
て行われる。ドア504は、三角形部分508を有して
おり、この三角形部分508の三角形の一辺の壁に調整
羽根4161 ・・・416n が止めねじ5101 ・・・
510n によって上述のように調節自在に取付けられて
いる。三角形部分508の三角形の他辺の壁には、繊維
102を観察するための複数の覗穴512が穿設されて
いる。各覗穴512は、マイクロ波放射線を通さないよ
うにマイクロ波の波長より小さい直径とされている。
【0039】管112は、三角形部分508に近接し
て、かつ、その三角形の頂点に最も近接するように配置
されている。この配置は、マイクロ波エネルギーを管1
12に向けて焦点合わせするのを容易にする。管112
は、ハウジング508から突出している両端部分におい
て、図2の実施例の場合と同様に、マイクロ波エネルギ
ーの波長の約4分の1の長さのスリーブ224によって
囲繞されている。このスリーブは、ハウジングからマイ
クロ波放射線が漏出するのを防止する。
て、かつ、その三角形の頂点に最も近接するように配置
されている。この配置は、マイクロ波エネルギーを管1
12に向けて焦点合わせするのを容易にする。管112
は、ハウジング508から突出している両端部分におい
て、図2の実施例の場合と同様に、マイクロ波エネルギ
ーの波長の約4分の1の長さのスリーブ224によって
囲繞されている。このスリーブは、ハウジングからマイ
クロ波放射線が漏出するのを防止する。
【0040】図5に示されるように、各じゃま板410
A・・・410Dは、軸414に対して約30°の角度
をなす複数のブレード514を有する。ブレード514
のこの配向は、管112の長手に沿ってのマイクロ波エ
ネルギーの分散を良好にする。
A・・・410Dは、軸414に対して約30°の角度
をなす複数のブレード514を有する。ブレード514
のこの配向は、管112の長手に沿ってのマイクロ波エ
ネルギーの分散を良好にする。
【0041】図6は、本発明の更に別の特徴を具備した
実施例を示す。即ち、この実施例では、管112の周り
に3つの電気抵抗加熱素子602が配設されている。加
熱素子602は、断熱シート604によって囲繞されて
いる。断熱シート604は、加熱素子602からの熱を
管112の近傍に保持する働きをする。断熱シート60
4は、チューブの形に注型した注型可能なシリカセラミ
ック材である。この断熱チューブ604を、管112及
び加熱素子602を包むことができるようにその長手に
沿って裂開する。このシリカセラミック材は、マイクロ
はに対して透過性であり、繊維102を加熱するマイク
ロ波に何らの影響をも及ぼさない。加熱素子602は、
慣用のロッド型金属鞘付加熱素子である。その金属鞘
は、ボックス502への接続線を介して接地される。従
って、加熱素子502は接地電位に維持されるので、や
はり、繊維102を加熱するマイクロ波に影響を及ぼす
ことはない。
実施例を示す。即ち、この実施例では、管112の周り
に3つの電気抵抗加熱素子602が配設されている。加
熱素子602は、断熱シート604によって囲繞されて
いる。断熱シート604は、加熱素子602からの熱を
管112の近傍に保持する働きをする。断熱シート60
4は、チューブの形に注型した注型可能なシリカセラミ
ック材である。この断熱チューブ604を、管112及
び加熱素子602を包むことができるようにその長手に
沿って裂開する。このシリカセラミック材は、マイクロ
はに対して透過性であり、繊維102を加熱するマイク
ロ波に何らの影響をも及ぼさない。加熱素子602は、
慣用のロッド型金属鞘付加熱素子である。その金属鞘
は、ボックス502への接続線を介して接地される。従
って、加熱素子502は接地電位に維持されるので、や
はり、繊維102を加熱するマイクロ波に影響を及ぼす
ことはない。
【0042】加熱素子602及び断熱チューブ604
は、マイクロ波によって創生される熱とは別途に、繊維
案内管112を加熱することができる。加熱素子602
は、管112を加熱するのに用いることができ、それに
よって、反応剤ガス又は副生物が管112の表面で凝縮
するのを防止することができる。
は、マイクロ波によって創生される熱とは別途に、繊維
案内管112を加熱することができる。加熱素子602
は、管112を加熱するのに用いることができ、それに
よって、反応剤ガス又は副生物が管112の表面で凝縮
するのを防止することができる。
【0043】図7を参照すると、管112内に反応剤ガ
スを密封するために先に述べたように管112の上下に
設けられるシール120の詳細図が示されている。この
シールは、従来技術におけるように水銀を用いないの
で、ここでは「ガスシール」(ガスを用いたシール)と
称する。各シール120は、管112内に形成された2
つの小さな開口702によって構成されている。これら
の2つの開口は、管112内に密封用チャンバー704
を画定する。密封用ガスは、密封用ガス供給源710か
ら密封用チャンバー704へ供給される。この実施例で
は、密封用ガスは、窒素であるが、他の任意の不活性の
無毒ガスを用いることができる。密封用ガス供給源71
0は、密封用チャンバー704内の密封用ガスを大気圧
より僅かに高く、管112の反応チャンバー706内の
反応剤ガスの圧力よりも高い圧力に保持する。
スを密封するために先に述べたように管112の上下に
設けられるシール120の詳細図が示されている。この
シールは、従来技術におけるように水銀を用いないの
で、ここでは「ガスシール」(ガスを用いたシール)と
称する。各シール120は、管112内に形成された2
つの小さな開口702によって構成されている。これら
の2つの開口は、管112内に密封用チャンバー704
を画定する。密封用ガスは、密封用ガス供給源710か
ら密封用チャンバー704へ供給される。この実施例で
は、密封用ガスは、窒素であるが、他の任意の不活性の
無毒ガスを用いることができる。密封用ガス供給源71
0は、密封用チャンバー704内の密封用ガスを大気圧
より僅かに高く、管112の反応チャンバー706内の
反応剤ガスの圧力よりも高い圧力に保持する。
【0044】反応剤ガスのためのガス再循還器116
(図1参照)は、管112の反応チャンバー706内の
反応剤ガスの圧力を大気圧より僅かに低い圧力に保持す
る。作動において、反応剤ガス供給源114からの反応
剤ガスは、チャンバー704と706との圧力差により
反応チャンバー706内に保持される。シール702か
ら漏出する密封用ガスは、無毒な不活性である。又、チ
ャンバー704から706へ漏入する密封用ガスは、不
活性であるから、アプリケータの作動に何らの影響をも
及ぼさない。
(図1参照)は、管112の反応チャンバー706内の
反応剤ガスの圧力を大気圧より僅かに低い圧力に保持す
る。作動において、反応剤ガス供給源114からの反応
剤ガスは、チャンバー704と706との圧力差により
反応チャンバー706内に保持される。シール702か
ら漏出する密封用ガスは、無毒な不活性である。又、チ
ャンバー704から706へ漏入する密封用ガスは、不
活性であるから、アプリケータの作動に何らの影響をも
及ぼさない。
【0045】以上、本発明を実施例に関連して説明した
が、本発明は、ここに例示した実施例の構造及び形態に
限定されるものではなく、本発明の精神及び範囲から逸
脱することなく、いろいろな実施形態が可能であり、い
ろいろな変更及び改変を加えることができることを理解
されたい。
が、本発明は、ここに例示した実施例の構造及び形態に
限定されるものではなく、本発明の精神及び範囲から逸
脱することなく、いろいろな実施形態が可能であり、い
ろいろな変更及び改変を加えることができることを理解
されたい。
【0046】例えば、図1に示されように、アプリケー
タ108の近傍に二色高温計124を配置することがで
きる。この二色高温計124は、スロット204(図
2)又は穴512を通して繊維102の温度を測定する
ことができる。電子制御器126が、この測定位置に基
づいてマイクロ波発生器110の出力を変更することが
できる。かくして、繊維102の温度を一定レベルに維
持することができる。マイクロ波発生器110の出力を
制御するための電子制御器及び方法は、周知である。
タ108の近傍に二色高温計124を配置することがで
きる。この二色高温計124は、スロット204(図
2)又は穴512を通して繊維102の温度を測定する
ことができる。電子制御器126が、この測定位置に基
づいてマイクロ波発生器110の出力を変更することが
できる。かくして、繊維102の温度を一定レベルに維
持することができる。マイクロ波発生器110の出力を
制御するための電子制御器及び方法は、周知である。
【0047】その他の変型例として、じゃま板410の
個数を変更することができる。又、別個の突起216
は、必ずしも設ける必要がない。突起216を設けない
場合は、単に突起214の両端を延長させ、その端縁を
テーパさせればよい。更に、この装置の使用を容易にす
るためのいろいろな改変も可能である。例えば、アプリ
ケータ108(図2)への管112の挿入を容易にする
ために、アプリケータ108の前壁全体をヒンジ式のド
アとすることができる。又、調整羽根416は、温度分
布を均一にするために調節されるものとして説明した
が、場合によっては不均一な温度分布を設定するために
調節することもできる。又、モノフィラメントにコーチ
ングを被覆する場合の幾つかの具体例を説明したが、本
発明は、ヤーン、トウ、マルチフィラメント、又はその
他のいろいろなタイプの繊維材にも適用することができ
る。
個数を変更することができる。又、別個の突起216
は、必ずしも設ける必要がない。突起216を設けない
場合は、単に突起214の両端を延長させ、その端縁を
テーパさせればよい。更に、この装置の使用を容易にす
るためのいろいろな改変も可能である。例えば、アプリ
ケータ108(図2)への管112の挿入を容易にする
ために、アプリケータ108の前壁全体をヒンジ式のド
アとすることができる。又、調整羽根416は、温度分
布を均一にするために調節されるものとして説明した
が、場合によっては不均一な温度分布を設定するために
調節することもできる。又、モノフィラメントにコーチ
ングを被覆する場合の幾つかの具体例を説明したが、本
発明は、ヤーン、トウ、マルチフィラメント、又はその
他のいろいろなタイプの繊維材にも適用することができ
る。
【図1】図1は、本発明の一実施例による装置のブロッ
ク図である。
ク図である。
【図2】図2は、図1の導波管から成るマイクロ波アプ
リケータの一部切除された透視図である。
リケータの一部切除された透視図である。
【図3】図3は、図2の線3−3に沿ってみた導波管ア
プリケータの断面図である。
プリケータの断面図である。
【図4】図4は、本発明の別の実施例による装置のブロ
ック図である。
ック図である。
【図5】図5は、図4のアプリケータの一部切除された
透視図である。
透視図である。
【図6】図6は、図4のアプリケータの一部切除された
透視図であり、本発明の追加の特徴を示す。
透視図であり、本発明の追加の特徴を示す。
【図7】図7は、本発明によるガスシールの概略図であ
る。
る。
108:マイクロ波アプリケータ 110:マイクロ波発生器(マイクロ波エネルギー源) 112:管(化学的蒸着チャンバー即ち反応器) 114:ガス供給源 116:ガス再循還器 120:シール 202:導電性ボックス(導波管) 214:突出導電素子(突起) 216:突出導電素子(突起) 218:テーパ縁 220:スロット 224:導電性スリーブ 226:導電性ねじ(ピン) 306:ねじ 402:キャビティ 404:アンテナ 406:マイクロ波ユニット(マイクロ波エネルギー
源) 408:マイクロ波アプリケータ 410:じゃ巻板 416:調整羽根(導電素子) 418:電子制御器
源) 408:マイクロ波アプリケータ 410:じゃ巻板 416:調整羽根(導電素子) 418:電子制御器
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 ハロルド・ディー・キムレイ・ジュニア アメリカ合衆国テネシー州ノクスビル、グ レンシアー・ドライブ1025 (72)発明者 ウィリアム・ビー・スナイダー・ジュニア アメリカ合衆国テネシー州ノクスビル、ハ ーパー・プレイス・1227 (72)発明者 リチャード・シー・クルーテナット アメリカ合衆国マサチューセッツ州ベルモ ント、パインハースト・ロード9
Claims (17)
- 【請求項1】繊維加熱装置であって、 電界を発生するマイクロ波エネルギー源(110)と、 該マイクロ波エネルギー源に接続されており、繊維を通
すためのキャビティを有するアプリケータ(108;4
08)とから成り、 前記キャビティは、前記電界を集中させるために該キャ
ビティ内へ突出した導電素子(214,416)を有し
ていることを特徴とする繊維加熱装置。 - 【請求項2】前記アプリケータ(108)は、前記キャ
ビティを画定する4つの側壁を備えた断面長方形の導波
管(202)から成り、前記突出導電素子(214)
は、該導波管の一側壁から該キャビティ内へ突出してお
り、前記繊維(102)は、該突出導電素子(214)
と導波管の別の側壁との間を通されるようになされてい
ることを特徴とする請求項1に記載の繊維加熱装置。 - 【請求項3】前記アプリケータ内を通るマイクロ波に対
して透過性の素材で形成された管(112)が設けられ
ており、該管は、前記キャビティ内を貫通して延長して
おり、前記繊維(102)を通すようになされているこ
とを特徴とする請求項1に記載の繊維加熱装置。 - 【請求項4】前記管(112)の、前記アプリケータ内
へ突入している部分は、前記マイクロ波エネルギーの波
長の4分の1の長さの導電性スリーブ(224)によっ
て囲包されていることを特徴とする請求項3に記載の繊
維加熱装置。 - 【請求項5】前記管(112)内へガスを供給するため
のガス供給手段(114)が設けられており、該管の一
端にガスシール(120)が設けられていることを特徴
とする請求項4に記載の繊維加熱装置。 - 【請求項6】前記アプリケータのインピーダンスを調整
するための手段(220,226)が設けられているこ
とを特徴とする請求項1に記載の繊維加熱装置。 - 【請求項7】前記突出導電素子の前記該キャビティ内へ
の突出度合を選択的に調節するための手段が設けられて
いることを特徴とする請求項1に記載の繊維加熱装置。 - 【請求項8】前記マイクロ波エネルギー源は、各々前記
アプリケータのキャビティ内へ開口した複数のキャビテ
ィ(402)を含み、マイクロ波エネルギー源の各キャ
ビティ内にマイクロ波アンテナ(404)が配設されて
いることを特徴とする請求項1に記載の繊維加熱装置。 - 【請求項9】前記マイクロ波エネルギー源の各キャビテ
ィ(402)の前記開口部にじゃま板(410)が配置
されていることを特徴とする請求項8に記載の繊維加熱
装置。 - 【請求項10】前記各マイクロ波アンテナは、それぞれ
の対応するマグネトロン(406)によってマイクロ波
エネルギーを供給されるようになされており、1時点に
おいて1つのマグネトロンだけが付勢されるようにそれ
らのマグネトロン(406)を選択的にオン・オフさせ
るための電子制御器(418)が設けられていることを
特徴とする請求項9に記載の繊維加熱装置。 - 【請求項11】前記アプリケータ内に前記管(112)
に近接して加熱素子(602)が設けられていることを
特徴とする請求項5に記載の繊維加熱装置。 - 【請求項12】繊維(102)にコーチングを被着する
ためのコーチング被着装置であって、 (a)請求項1〜11のいずれかに記載の繊維加熱装置
と、 (b)該繊維加熱装置に接続されたガス供給源(11
4)と、から成るコーチング被着装置。 - 【請求項13】フィラメントにコーチングを被着するた
めのコーチング被着方法であって、 (a)非導電性フィラメントをマイクロ波電界内に置い
て加熱し、 (b)該フィラメントを反応剤ガスに露呈させて化学的
蒸着により該フィラメントにコーチングを被着すること
から成るコーチング被着方法。 - 【請求項14】フィラメントに非導電性コーチングを被
着するためのコーチング被着方法であって、 (a)フィラメントをマイクロ波電界内に置いて加熱
し、 (b)該フィラメントを反応剤ガスに露呈させて化学的
蒸着により該フィラメントに非導電性コーチングを被着
することから成るコーチング被着方法。 - 【請求項15】前記フィラメントは、アルミナであるこ
とを特徴とする請求項13に記載のコーチング被着方
法。 - 【請求項16】前記コーチングは、窒化硼素、窒化珪素
又はオキシ炭化窒化珪素であることを特徴とする請求項
14に記載のコーチング被着方法。 - 【請求項17】請求項13〜16のいずれかに記載の方
法によって製造された繊維。
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US824254 | 1992-01-22 | ||
US07/824,254 US5442160A (en) | 1992-01-22 | 1992-01-22 | Microwave fiber coating apparatus |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH05279857A true JPH05279857A (ja) | 1993-10-26 |
Family
ID=25240958
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP5021604A Withdrawn JPH05279857A (ja) | 1992-01-22 | 1993-01-18 | マイクロ波式繊維加熱装置 |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US5442160A (ja) |
EP (1) | EP0552951A1 (ja) |
JP (1) | JPH05279857A (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2009299164A (ja) * | 2008-06-16 | 2009-12-24 | Furukawa Electric Co Ltd:The | 連続薄膜の形成方法、形成装置、薄膜付きガラス基板及び半導体装置素子 |
JP2011140716A (ja) * | 2010-01-08 | 2011-07-21 | General Electric Co <Ge> | 繊維状物質の連続コーティングのための方法及び装置 |
KR20200028806A (ko) * | 2018-09-06 | 2020-03-17 | 유에이치티 유니테크 컴퍼니 리미티드 | 고온 탄화로 |
Families Citing this family (19)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
FR2723499B1 (fr) * | 1994-08-05 | 1996-10-31 | Sa Microondes Energie Systemes | Dispositif applicateur de micro-ondes pour le traitement thermique en continu de produits allonges |
US5543605A (en) * | 1995-04-13 | 1996-08-06 | Avco Corporation | Microwave fiber coating apparatus |
US6152072A (en) * | 1998-05-26 | 2000-11-28 | California Institute Of Technology | Chemical vapor deposition coating of fibers using microwave application |
US7470876B2 (en) * | 2005-12-14 | 2008-12-30 | Industrial Microwave Systems, L.L.C. | Waveguide exposure chamber for heating and drying material |
US20080063806A1 (en) * | 2006-09-08 | 2008-03-13 | Kimberly-Clark Worldwide, Inc. | Processes for curing a polymeric coating composition using microwave irradiation |
US7674300B2 (en) | 2006-12-28 | 2010-03-09 | Kimberly-Clark Worldwide, Inc. | Process for dyeing a textile web |
US7740666B2 (en) | 2006-12-28 | 2010-06-22 | Kimberly-Clark Worldwide, Inc. | Process for dyeing a textile web |
US7568251B2 (en) * | 2006-12-28 | 2009-08-04 | Kimberly-Clark Worldwide, Inc. | Process for dyeing a textile web |
US20080156157A1 (en) * | 2006-12-28 | 2008-07-03 | Kimberly-Clark Worldwide, Inc. | Process For Cutting Textile Webs With Improved Microwave Absorbing Compositions |
US8182552B2 (en) * | 2006-12-28 | 2012-05-22 | Kimberly-Clark Worldwide, Inc. | Process for dyeing a textile web |
US8632613B2 (en) | 2007-12-27 | 2014-01-21 | Kimberly-Clark Worldwide, Inc. | Process for applying one or more treatment agents to a textile web |
GB2462843B (en) | 2008-08-22 | 2013-03-20 | Tisics Ltd | Coated filaments and their manufacture |
RU2471885C1 (ru) * | 2011-12-27 | 2013-01-10 | Российская Федерация, от имени которой выступает Министерство промышленности и торговли Российской Федерации (МИНПРОМТОРГ РОССИИ ) | Устройство для получения карбидокремниевых волокон |
RU2477338C1 (ru) * | 2011-12-28 | 2013-03-10 | Федеральное государственное унитарное предприятие "Государственный ордена Трудового Красного Знамени научно-исследовательский институт химии и технологии элементоорганических соединений" (ФГУП ГНИИХТЭОС) | Устройство для получения борных волокон |
US9603203B2 (en) * | 2013-11-26 | 2017-03-21 | Industrial Microwave Systems, L.L.C. | Tubular waveguide applicator |
WO2016006249A1 (ja) * | 2014-07-10 | 2016-01-14 | パナソニックIpマネジメント株式会社 | マイクロ波加熱装置 |
CN107988585A (zh) * | 2017-12-01 | 2018-05-04 | 中国科学院过程工程研究所 | 一种金属基复合线材及其制备方法和用途 |
DE102019006639A1 (de) * | 2019-09-20 | 2021-03-25 | Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. | Kontinuierliches Verfahren zum Erhitzen von Medien mittels Mikrowellenstrahlung und dafür geeignete Mikrowellenanlage |
US12000049B2 (en) * | 2021-12-22 | 2024-06-04 | Rtx Corporation | Alternating and continuous microwave fiber tow coating thermo-chemical reactor furnace |
Family Cites Families (32)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US2771666A (en) * | 1950-03-18 | 1956-11-27 | Fansteel Metallurgical Corp | Refractory bodies |
US2877138A (en) * | 1956-05-18 | 1959-03-10 | Ind Rayon Corp | Method of heating a filament to produce a metal coating in a decomposable gas plating process |
US3572286A (en) * | 1967-10-09 | 1971-03-23 | Texaco Inc | Controlled heating of filaments |
US3551199A (en) * | 1967-11-20 | 1970-12-29 | Exxon Research Engineering Co | Wire coating composition and microwave heating curing process |
US3555232A (en) * | 1968-10-21 | 1971-01-12 | Canadian Patents Dev | Waveguides |
US3692577A (en) * | 1969-12-02 | 1972-09-19 | Heathcoat & Co Ltd | Carbon filaments |
US3762941A (en) * | 1971-05-12 | 1973-10-02 | Celanese Corp | Modification of carbon fiber surface characteristics |
US4142008A (en) * | 1972-03-01 | 1979-02-27 | Avco Corporation | Carbon filament coated with boron and method of making same |
US3754112A (en) * | 1972-06-14 | 1973-08-21 | Avco Corp | Localized heating filaments by induced currents |
FR2225907B1 (ja) * | 1973-04-13 | 1976-05-21 | Thomson Csf | |
US3851131A (en) * | 1973-06-28 | 1974-11-26 | Canadian Patents Dev | Multimode microwave cavities for microwave heating systems |
US3887722A (en) * | 1973-08-31 | 1975-06-03 | United Aircraft Corp | Method for producing a plurality of filaments in a radio frequency reactor |
SE378057B (ja) * | 1974-02-22 | 1975-08-11 | Stiftelsen Inst Mikrovags | |
DE2716592C3 (de) * | 1976-04-15 | 1979-11-08 | Hitachi, Ltd., Tokio | Plasma-Ätzvorrichtung |
FR2392143A1 (fr) * | 1977-05-25 | 1978-12-22 | British Petroleum Co | Procede de fabrication de fibres de carbone ou de graphite a partir de fibres de matieres organiques naturelles par utilisation d'hyperfrequences |
FR2410803A1 (fr) * | 1979-03-16 | 1979-06-29 | Cim Lambda | Dispositif pour le traitement thermique ou thermochimique, en continu, d'objets, par emission de micro-ondes |
US4234622A (en) * | 1979-04-11 | 1980-11-18 | The United States Of American As Represented By The Secretary Of The Army | Vacuum deposition method |
FR2455091A1 (fr) * | 1979-04-24 | 1980-11-21 | Poudres & Explosifs Ste Nale | Procede et appareillage pour fabriquer des filaments en matiere refractaire par chauffage haute frequence |
US4274209A (en) * | 1979-12-28 | 1981-06-23 | The Ichikin, Ltd. | Apparatus for improved aftertreatment of textile material by application of microwaves |
US4306897A (en) * | 1980-04-16 | 1981-12-22 | International Telephone And Telegraph Corporation | Method of fabricating fatigue resistant optical fibers |
JPS587161A (ja) * | 1981-07-06 | 1983-01-14 | Toshiba Corp | 露光装置 |
JPS59159167A (ja) * | 1983-03-01 | 1984-09-08 | Zenko Hirose | アモルフアスシリコン膜の形成方法 |
JPS59187622A (ja) * | 1983-04-05 | 1984-10-24 | Agency Of Ind Science & Technol | 高導電性グラフアイト長繊維及びその製造方法 |
DE3316693A1 (de) * | 1983-05-06 | 1984-11-08 | Leybold-Heraeus GmbH, 5000 Köln | Verfahren zum herstellen von amorphen kohlenstoffschichten auf substraten und durch das verfahren beschichtete substrate |
ATE49023T1 (de) * | 1984-03-03 | 1990-01-15 | Stc Plc | Pulsierendes plasmaverfahren. |
JPS6289873A (ja) * | 1985-10-14 | 1987-04-24 | Semiconductor Energy Lab Co Ltd | 透明導電膜形成方法 |
US4950319A (en) * | 1986-01-30 | 1990-08-21 | Corning Incorporated | Heating oven for preparing optical waveguide fibers |
US4777090A (en) * | 1986-11-03 | 1988-10-11 | Ovonic Synthetic Materials Company | Coated article and method of manufacturing the article |
US4863760A (en) * | 1987-12-04 | 1989-09-05 | Hewlett-Packard Company | High speed chemical vapor deposition process utilizing a reactor having a fiber coating liquid seal and a gas sea; |
JPH0214505A (ja) * | 1988-07-01 | 1990-01-18 | Nippon Oil & Fats Co Ltd | コンデンサアレイ |
US4880578A (en) * | 1988-08-08 | 1989-11-14 | The United States Of America As Represented By The United States Department Of Energy | Method for heat treating and sintering metal oxides with microwave radiation |
US5013130A (en) * | 1989-07-31 | 1991-05-07 | At&T Bell Laboratories | Method of making a carbon coated optical fiber |
-
1992
- 1992-01-22 US US07/824,254 patent/US5442160A/en not_active Expired - Fee Related
-
1993
- 1993-01-18 JP JP5021604A patent/JPH05279857A/ja not_active Withdrawn
- 1993-01-21 EP EP93300417A patent/EP0552951A1/en not_active Ceased
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2009299164A (ja) * | 2008-06-16 | 2009-12-24 | Furukawa Electric Co Ltd:The | 連続薄膜の形成方法、形成装置、薄膜付きガラス基板及び半導体装置素子 |
JP2011140716A (ja) * | 2010-01-08 | 2011-07-21 | General Electric Co <Ge> | 繊維状物質の連続コーティングのための方法及び装置 |
KR20200028806A (ko) * | 2018-09-06 | 2020-03-17 | 유에이치티 유니테크 컴퍼니 리미티드 | 고온 탄화로 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US5442160A (en) | 1995-08-15 |
EP0552951A1 (en) | 1993-07-28 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JPH05279857A (ja) | マイクロ波式繊維加熱装置 | |
CN100588305C (zh) | 一种形成等离子体的方法 | |
US5543605A (en) | Microwave fiber coating apparatus | |
EP0874386B1 (en) | Apparatus and process for remote microwave plasma generation | |
EP0710054B1 (en) | Microwave plasma torch and method for generating plasma | |
US7445817B2 (en) | Plasma-assisted formation of carbon structures | |
DE69524671T2 (de) | Mikrowellenplasma-Bearbeitungssystem | |
EP0796355B1 (en) | Apparatus for generating plasma by plasma-guided microwave power | |
US20050233091A1 (en) | Plasma-assisted coating | |
US7498066B2 (en) | Plasma-assisted enhanced coating | |
EP0284436B1 (en) | Substrate-treating apparatus | |
US7156046B2 (en) | Plasma CVD apparatus | |
US4958590A (en) | Microwave traveling-wave diamond production device and method | |
US5023109A (en) | Deposition of synthetic diamonds | |
US7494904B2 (en) | Plasma-assisted doping | |
US6391396B1 (en) | Chemical vapor deposition coating of fibers using microwave application | |
US5360485A (en) | Apparatus for diamond deposition by microwave plasma-assisted CVPD | |
JPH08274067A (ja) | プラズマ発生装置 | |
CN101076221B (zh) | 多个辐射源的等离子体产生和处理 | |
JPH04274199A (ja) | マイクロ波放射器 | |
JP2570170B2 (ja) | マイクロ波プラズマ発生装置 | |
JPH06196407A (ja) | 堆積膜形成方法および堆積膜形成装置 | |
Kawai et al. | Production of large diameter ECR plasma | |
JPH03122271A (ja) | 薄膜形成装置及び形成方法 | |
JPH0510427B2 (ja) |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A300 | Application deemed to be withdrawn because no request for examination was validly filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20000404 |