JPH05267969A - 圧電振動部品の製造方法 - Google Patents
圧電振動部品の製造方法Info
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- JPH05267969A JPH05267969A JP6536992A JP6536992A JPH05267969A JP H05267969 A JPH05267969 A JP H05267969A JP 6536992 A JP6536992 A JP 6536992A JP 6536992 A JP6536992 A JP 6536992A JP H05267969 A JPH05267969 A JP H05267969A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 小型化が図れ、しかも製造が容易で、安定し
た特性を発揮し得る圧電品の製造方法を提供する。 【構成】 本部品は、振動板の振動部分の両側に、中空
部が形成されるように絶縁部材により覆ったものであ
る。圧電材料をペースト化し（ａ）、シートを成形し
（ｂ）、パンチングにより焼成前の圧電セラミックスシ
ートを得る（ｃ）。工程ｃで得られたシートを所定枚数
積層して一対の絶縁部材用の積層体を得る（ｄ）。工程
ｃで得られたシートの表面に電極を印刷し（ｅ）、その
上にカーボンペースト（加熱除去可能膜）を印刷する
（ｆ）。そのシートの裏面に電極を印刷し（ｇ）、その
上にカーボンペーストを印刷する（ｈ）。工程ｄで得ら
れた一対の積層体を、工程ｈで得られた振動板用シート
の上下面にそれぞれ積層する（ｉ）。加熱プレス後
（ｊ）、焼成してカーボンペーストを焼き飛ばして中空
部を形成する（ｋ）。
た特性を発揮し得る圧電品の製造方法を提供する。 【構成】 本部品は、振動板の振動部分の両側に、中空
部が形成されるように絶縁部材により覆ったものであ
る。圧電材料をペースト化し（ａ）、シートを成形し
（ｂ）、パンチングにより焼成前の圧電セラミックスシ
ートを得る（ｃ）。工程ｃで得られたシートを所定枚数
積層して一対の絶縁部材用の積層体を得る（ｄ）。工程
ｃで得られたシートの表面に電極を印刷し（ｅ）、その
上にカーボンペースト（加熱除去可能膜）を印刷する
（ｆ）。そのシートの裏面に電極を印刷し（ｇ）、その
上にカーボンペーストを印刷する（ｈ）。工程ｄで得ら
れた一対の積層体を、工程ｈで得られた振動板用シート
の上下面にそれぞれ積層する（ｉ）。加熱プレス後
（ｊ）、焼成してカーボンペーストを焼き飛ばして中空
部を形成する（ｋ）。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、テレビジョン，ラジ
オ，センサー等に用いられる圧電セラミックスを応用し
た圧電フィルターや振動センサーに適用される圧電振動
部品の製造方法に関する。
オ，センサー等に用いられる圧電セラミックスを応用し
た圧電フィルターや振動センサーに適用される圧電振動
部品の製造方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来のこの種の圧電振動部品の一例を図
８に示す。
８に示す。
【０００３】同図に示す圧電振動部品１０は、両面に電
極が形成された圧電セラミック素体１１を振動板として
外部から入力される電圧のある周波数に共振させること
で、特定の周波数を選択する圧電フィルターであるが、
圧電セラミック素体１１を振動させるために必ず中空部
（空隙部）が必要となる。
極が形成された圧電セラミック素体１１を振動板として
外部から入力される電圧のある周波数に共振させること
で、特定の周波数を選択する圧電フィルターであるが、
圧電セラミック素体１１を振動させるために必ず中空部
（空隙部）が必要となる。
【０００４】特に、リードタイプの部品では、圧電セラ
ミック素体を樹脂ケースに封じ込めたタイプや一般的な
樹脂をコーティングしたディップアキシャルタイプで
は、その中空部をいかに形成するかは、部品全体の大き
さを決める一要因となる。
ミック素体を樹脂ケースに封じ込めたタイプや一般的な
樹脂をコーティングしたディップアキシャルタイプで
は、その中空部をいかに形成するかは、部品全体の大き
さを決める一要因となる。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら従来の圧
電振動部品は、エレクトロニクスのマイクロ化に伴う軽
薄短小のチップ化が困難であり、また、チップ化を実現
しても、製造が容易でないか、又は中空部の形成が不安
定であるために特性のばらつきが生ずるという問題があ
った。
電振動部品は、エレクトロニクスのマイクロ化に伴う軽
薄短小のチップ化が困難であり、また、チップ化を実現
しても、製造が容易でないか、又は中空部の形成が不安
定であるために特性のばらつきが生ずるという問題があ
った。
【０００６】そこで、本発明は、上記事情に鑑みてなさ
れたものであり、小型化が図れ、しかも製造が容易で、
安定した特性を発揮し得る圧電振動部品の製造方法を提
供することを目的とする。
れたものであり、小型化が図れ、しかも製造が容易で、
安定した特性を発揮し得る圧電振動部品の製造方法を提
供することを目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に本発明は、圧電セラミック素体の両面に電極が形成さ
れた振動板を有し、この振動板の振動部分の両側に中空
部が形成されるように絶縁部材により覆った圧電振動部
品の製造方法において、前記振動板の振動部分の両面に
加熱除去可能膜を形成し、その上から焼成前の圧電セラ
ミックスシートをそれぞれ所定枚数積層し、焼成により
前記加熱除去可能膜を除去して前記中空部及び絶縁部材
を形成することを特徴とするものである。
に本発明は、圧電セラミック素体の両面に電極が形成さ
れた振動板を有し、この振動板の振動部分の両側に中空
部が形成されるように絶縁部材により覆った圧電振動部
品の製造方法において、前記振動板の振動部分の両面に
加熱除去可能膜を形成し、その上から焼成前の圧電セラ
ミックスシートをそれぞれ所定枚数積層し、焼成により
前記加熱除去可能膜を除去して前記中空部及び絶縁部材
を形成することを特徴とするものである。
【０００８】
【作用】このように構成された本発明によれば、絶縁部
材を圧電セラミックスシートを積層して振動板と一体化
形成しているので、小型化が図れる。また、焼成により
加熱除去可能膜を除去して中空部及び絶縁部材を容易に
形成できるので、製造が容易となる。また、加熱除去可
能膜の膜厚を制御することにより、振動板の振動部分が
振動するための中空部は、所望の一定した空間となるの
で、特性のばらつきが少なくなり、安定した特性が得ら
れる。
材を圧電セラミックスシートを積層して振動板と一体化
形成しているので、小型化が図れる。また、焼成により
加熱除去可能膜を除去して中空部及び絶縁部材を容易に
形成できるので、製造が容易となる。また、加熱除去可
能膜の膜厚を制御することにより、振動板の振動部分が
振動するための中空部は、所望の一定した空間となるの
で、特性のばらつきが少なくなり、安定した特性が得ら
れる。
【０００９】
【実施例】以下、本発明の実施例を図面を参照して詳述
する。
する。
【００１０】図７は本発明の一実施例の製造方法により
製造される圧電振動部品１の一例を示す断面図である。
製造される圧電振動部品１の一例を示す断面図である。
【００１１】本部品１は、振動板２の振動部分２ａの両
側に、中空部３が形成されるように絶縁部材４により覆
って全体としてチップ型とし、その絶縁部材４の両端部
にそれぞれ外部電極５を被着形成したものである。
側に、中空部３が形成されるように絶縁部材４により覆
って全体としてチップ型とし、その絶縁部材４の両端部
にそれぞれ外部電極５を被着形成したものである。
【００１２】前記振動板２は、圧電セラミック素体２０
の両面に電極２１を形成したものである。
の両面に電極２１を形成したものである。
【００１３】次に、本発明の圧電振動部品の製造方法の
一実施例を、図１の工程図に従い、図２乃至図６をも参
照して説明する。
一実施例を、図１の工程図に従い、図２乃至図６をも参
照して説明する。
【００１４】まず、所定量の圧電材料（ＰｂＴｉＯ3 −
ＰｂＺｒＯ3 系）をペースト化する（工程ａ）。この工
程ａでペースト化した材料をフィルム（ルミラー）上に
シート状に塗布し、それを乾燥して厚さ１０乃至５０μ
ｍのシートを成形する（工程ｂ）。なお、シート成形法
は、押出し法，ドクターブレード法，多段ロール法等ど
の方法でもよい。そして、前記工程ｂで成形したシート
をフィルムから剥し、パンチングにより図２に示す矩形
状を有する焼成前の圧電セラミックスシート２０′を得
る（工程ｃ）。
ＰｂＺｒＯ3 系）をペースト化する（工程ａ）。この工
程ａでペースト化した材料をフィルム（ルミラー）上に
シート状に塗布し、それを乾燥して厚さ１０乃至５０μ
ｍのシートを成形する（工程ｂ）。なお、シート成形法
は、押出し法，ドクターブレード法，多段ロール法等ど
の方法でもよい。そして、前記工程ｂで成形したシート
をフィルムから剥し、パンチングにより図２に示す矩形
状を有する焼成前の圧電セラミックスシート２０′を得
る（工程ｃ）。
【００１５】ここで、前記工程ｃで得られたシート２
０′を上下層用、すなわち絶縁部材４用とする場合は
（Ｙｅｓ）、工程ｃで得られたシート２０′を所定枚数
積層して一対の上下層用の積層体４′（図５参照）を製
造する（工程ｄ）。
０′を上下層用、すなわち絶縁部材４用とする場合は
（Ｙｅｓ）、工程ｃで得られたシート２０′を所定枚数
積層して一対の上下層用の積層体４′（図５参照）を製
造する（工程ｄ）。
【００１６】次の工程ｅ乃至ｈを図３及び図４を参照し
て説明する。図３は次の工程ｅ乃至ｈにより得られる振
動板用シート２′を示す斜視図、図４は図３に示すシー
ト′における振動部分２ａの要部断面図である。
て説明する。図３は次の工程ｅ乃至ｈにより得られる振
動板用シート２′を示す斜視図、図４は図３に示すシー
ト′における振動部分２ａの要部断面図である。
【００１７】前記工程ｃで得られたシート２０′を上下
層用としない場合、すなわち圧電セラミック素体２０用
とする場合は（Ｎｏ）、図３，図４に示すように、その
シート２０′の表面の所定の複数箇所に例えば焼成温度
に合わせた銀・パラジウムペーストの電極２１を印刷す
る（工程ｅ）。電極２１は、円形部分２１ａと矩形部分
２１ｂとからなり、円形部分２１ａが印刷された圧電セ
ラミックスシート２０′の部分が振動板２における振動
部分２ａに相当する。また、各電極２１は、例えば、
縦，横にそれぞれ一定の間隔を設け、矩形部分２１ｂの
向きを一方向Ａに揃えて印刷する。
層用としない場合、すなわち圧電セラミック素体２０用
とする場合は（Ｎｏ）、図３，図４に示すように、その
シート２０′の表面の所定の複数箇所に例えば焼成温度
に合わせた銀・パラジウムペーストの電極２１を印刷す
る（工程ｅ）。電極２１は、円形部分２１ａと矩形部分
２１ｂとからなり、円形部分２１ａが印刷された圧電セ
ラミックスシート２０′の部分が振動板２における振動
部分２ａに相当する。また、各電極２１は、例えば、
縦，横にそれぞれ一定の間隔を設け、矩形部分２１ｂの
向きを一方向Ａに揃えて印刷する。
【００１８】次に、図３，図４に示すように、前記工程
ｅでシート２０′の表面に印刷された電極２１の円形部
分２１ａを覆うように、上から加熱除去可能膜としての
カーボンペースト２２を印刷する（工程ｆ）。なお、加
熱除去可能膜は、カーボンペースト２２に限定されず、
高分子からなる一種又は二種以上のペーストでもよい。
ｅでシート２０′の表面に印刷された電極２１の円形部
分２１ａを覆うように、上から加熱除去可能膜としての
カーボンペースト２２を印刷する（工程ｆ）。なお、加
熱除去可能膜は、カーボンペースト２２に限定されず、
高分子からなる一種又は二種以上のペーストでもよい。
【００１９】そして、シート２０′の裏面の複数箇所に
工程ｅと同様にして電極２１を印刷する（工程ｇ）。こ
の場合、電極２１は、工程ｅで表面に印刷した位置に対
応する裏面の位置に印刷する。また、矩形部分２１ｂの
向きは工程ｅとは逆方向Ｂに揃えて印刷する。
工程ｅと同様にして電極２１を印刷する（工程ｇ）。こ
の場合、電極２１は、工程ｅで表面に印刷した位置に対
応する裏面の位置に印刷する。また、矩形部分２１ｂの
向きは工程ｅとは逆方向Ｂに揃えて印刷する。
【００２０】前記工程ｆと同様にして、前記工程ｇでシ
ート２０′の裏面に印刷された電極２１の円形部分２１
ａを覆うように、上からカーボンペースト２２を印刷す
る（工程ｈ）。このようにして振動部分２ａが多数形成
された振動板用シート２′が得られる。
ート２０′の裏面に印刷された電極２１の円形部分２１
ａを覆うように、上からカーボンペースト２２を印刷す
る（工程ｈ）。このようにして振動部分２ａが多数形成
された振動板用シート２′が得られる。
【００２１】次に、工程ｄで得られた一対の積層体４′
を、図５に示すように、前記工程ｈで得られた振動板用
シート２′の上下面にそれぞれ積層する（工程ｉ）。
を、図５に示すように、前記工程ｈで得られた振動板用
シート２′の上下面にそれぞれ積層する（工程ｉ）。
【００２２】この工程ｉで積層されたものを、図６に示
すように、加熱プレスして矩形状を有する積層体１′を
得る（工程ｊ）。
すように、加熱プレスして矩形状を有する積層体１′を
得る（工程ｊ）。
【００２３】そして、工程ｊで得られた積層体１′を所
定寸法に切断して板状のチップ部品を得る（工程ｋ）。
定寸法に切断して板状のチップ部品を得る（工程ｋ）。
【００２４】次に、脱バインターによりカーボンペース
ト２２を焼き飛ばして中空部３を形成する（工程ｌ）。
ト２２を焼き飛ばして中空部３を形成する（工程ｌ）。
【００２５】次に、工程ｌで得られたチップ部品を焼成
し（工程ｍ）、そのチップ部品の外側に、図７に示すよ
うに、外部電極５を被着形成し、電極２１の矩形部分２
１ｂと接続させる。このようにして図７に示す圧電振動
部品１が製造される。
し（工程ｍ）、そのチップ部品の外側に、図７に示すよ
うに、外部電極５を被着形成し、電極２１の矩形部分２
１ｂと接続させる。このようにして図７に示す圧電振動
部品１が製造される。
【００２６】このような上記実施例によれば、振動板２
の圧電セラミック素体２０及び絶縁部材４を圧電セラミ
ックスシート２０′を積層して一体化形成しているの
で、小型化が図れる。
の圧電セラミック素体２０及び絶縁部材４を圧電セラミ
ックスシート２０′を積層して一体化形成しているの
で、小型化が図れる。
【００２７】また、焼成により加熱除去可能膜であるカ
ーボンペースト２２を除去して中空部３及び絶縁部材４
を容易に形成できるので、当該圧電振動部品１を容易に
製造できる。
ーボンペースト２２を除去して中空部３及び絶縁部材４
を容易に形成できるので、当該圧電振動部品１を容易に
製造できる。
【００２８】また、カーボンペースト２２の膜厚を制御
することにより、振動板２の振動部分２ａが振動するた
めの中空部３は、所望の一定した空間となるので、特性
のばらつきが少なくなり、安定した特性が得られる。
することにより、振動板２の振動部分２ａが振動するた
めの中空部３は、所望の一定した空間となるので、特性
のばらつきが少なくなり、安定した特性が得られる。
【００２９】なお、本発明は上記実施例に限定されず、
その要旨を変更しない範囲内で種々に変形実施できる。
その要旨を変更しない範囲内で種々に変形実施できる。
【００３０】
【発明の効果】以上詳述した本発明によれば、絶縁部材
を圧電セラミックスシートを積層して振動板と一体化形
成し、焼成により加熱除去可能膜を除去して中空部及び
絶縁部材を容易に形成でき、また、加熱除去可能膜の膜
厚を制御することにより、中空部は所望の一定した空間
となるので、小型化が図れ、しかも製造が容易で、安定
した特性を発揮し得る圧電振動部品の製造方法を提供す
ることができる。
を圧電セラミックスシートを積層して振動板と一体化形
成し、焼成により加熱除去可能膜を除去して中空部及び
絶縁部材を容易に形成でき、また、加熱除去可能膜の膜
厚を制御することにより、中空部は所望の一定した空間
となるので、小型化が図れ、しかも製造が容易で、安定
した特性を発揮し得る圧電振動部品の製造方法を提供す
ることができる。
【図１】本発明の圧電振動部品の製造方法の一実施例を
示す工程図である。
示す工程図である。
【図２】本実施例の工程を説明するための斜視図であ
る。
る。
【図３】本実施例の工程を説明するための斜視図であ
る。
る。
【図４】本実施例の工程を説明するための要部断面図で
ある。
ある。
【図５】本実施例の工程を説明するための斜視図であ
る。
る。
【図６】本実施例の工程を説明するための斜視図であ
る。
る。
【図７】本発明の一実施例の製造方法により製造される
圧電振動部品の一例を示す断面図である。
圧電振動部品の一例を示す断面図である。
【図８】従来の圧電振動部品の斜視図である。
１ 圧電振動部品 ２ 振動板 ２ａ 振動部分 ３ 中空部 ４ 絶縁部材 ２０ 圧電セラミック素体 ２０′ 圧電セラミックスシート ２１ 電極 ２２ カーボンペースト（加熱除去可能膜）
Claims (1)
- 【請求項１】 圧電セラミック素体の両面に電極が形成
された振動板を有し、この振動板の振動部分の両側に中
空部が形成されるように絶縁部材により覆った圧電振動
部品の製造方法において、前記振動板の振動部分の両面
に加熱除去可能膜を形成し、その上から焼成前の圧電セ
ラミックスシートをそれぞれ所定枚数積層し、焼成によ
り前記加熱除去可能膜を除去して前記中空部及び絶縁部
材を形成することを特徴とする圧電振動部品の製造方
法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6536992A JPH05267969A (ja) | 1992-03-23 | 1992-03-23 | 圧電振動部品の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6536992A JPH05267969A (ja) | 1992-03-23 | 1992-03-23 | 圧電振動部品の製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05267969A true JPH05267969A (ja) | 1993-10-15 |
Family
ID=13284986
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6536992A Withdrawn JPH05267969A (ja) | 1992-03-23 | 1992-03-23 | 圧電振動部品の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH05267969A (ja) |
-
1992
- 1992-03-23 JP JP6536992A patent/JPH05267969A/ja not_active Withdrawn
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 19990608 |