JPH05267368A - 樹脂封止型半導体装置のスライドキャリア - Google Patents
樹脂封止型半導体装置のスライドキャリアInfo
- Publication number
- JPH05267368A JPH05267368A JP4093284A JP9328492A JPH05267368A JP H05267368 A JPH05267368 A JP H05267368A JP 4093284 A JP4093284 A JP 4093284A JP 9328492 A JP9328492 A JP 9328492A JP H05267368 A JPH05267368 A JP H05267368A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- resin
- semiconductor device
- slide carrier
- carrier
- type semiconductor
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Withdrawn
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- Encapsulation Of And Coatings For Semiconductor Or Solid State Devices (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 本発明は、残留封止樹脂除去時のリードの曲
げ等の不良発生を防止することができ、信頼性の高い樹
脂封止型半導体装置のスライドキャリアを提供すること
を目的とする。 【構成】 本発明は、外部接続用のリードを備え、封止
樹脂の注入経路領域に残留封止樹脂が付着した状態で帯
状搬送体上に配置された樹脂封止型半導体装置を、上蓋
3と下蓋2間に挟持する樹脂封止型半導体装置のスライ
ドキャリアにおいて、樹脂封止型半導体装置を挟持した
際に、残留封止樹脂を露出させる切り欠き部4を下蓋2
に形成したものである。この構成により、残留封止樹脂
をスライドキャリア1から容易に離脱することができ、
かつ、リードの変形を防止することができる。
げ等の不良発生を防止することができ、信頼性の高い樹
脂封止型半導体装置のスライドキャリアを提供すること
を目的とする。 【構成】 本発明は、外部接続用のリードを備え、封止
樹脂の注入経路領域に残留封止樹脂が付着した状態で帯
状搬送体上に配置された樹脂封止型半導体装置を、上蓋
3と下蓋2間に挟持する樹脂封止型半導体装置のスライ
ドキャリアにおいて、樹脂封止型半導体装置を挟持した
際に、残留封止樹脂を露出させる切り欠き部4を下蓋2
に形成したものである。この構成により、残留封止樹脂
をスライドキャリア1から容易に離脱することができ、
かつ、リードの変形を防止することができる。
Description
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、樹脂封止型半導体装置
の製造工程で、帯状搬送体(テープキャリア)を用いた
いわゆるTAB(Tape Automated Bonding)方式で樹脂封
止型半導体装置を搬送する場合に使用されるスライドキ
ャリアに関するものである。
の製造工程で、帯状搬送体(テープキャリア)を用いた
いわゆるTAB(Tape Automated Bonding)方式で樹脂封
止型半導体装置を搬送する場合に使用されるスライドキ
ャリアに関するものである。
【0002】
【従来の技術】従来のTAB方式によって搬送する場合
に使用されるスライドキャリア20は、図4に示すよう
に構成される。即ち、このスライドキャリア20は、直
方体状でパッケージ穴21及び収納部22を有する下蓋
2と、この下蓋2の収納部22に開閉自在に装着され
る、パッケージ穴23を有する上蓋3と、下蓋2の収納
部22に形成された合計4個の位置決めピン25と、そ
の各位置決めピン25に対応する上蓋3の位置に設けた
合計4個の位置決め穴26とを具備している。
に使用されるスライドキャリア20は、図4に示すよう
に構成される。即ち、このスライドキャリア20は、直
方体状でパッケージ穴21及び収納部22を有する下蓋
2と、この下蓋2の収納部22に開閉自在に装着され
る、パッケージ穴23を有する上蓋3と、下蓋2の収納
部22に形成された合計4個の位置決めピン25と、そ
の各位置決めピン25に対応する上蓋3の位置に設けた
合計4個の位置決め穴26とを具備している。
【0003】また、スライドキャリア20に装着する樹
脂封止型半導体装置5は、図3に示すように、樹脂封止
され、樹脂の注入経路領域に残留封止樹脂11が付着し
た状態で帯状搬送体6上に配置されるとともに、外部接
続用のリード9を備えたICパッケージ10を具備して
いる。また、帯状搬送体6には、長さ方向両端縁に沿っ
て、スプロケットホール7を設けている。尚、図3中、
8は、リード穴である。
脂封止型半導体装置5は、図3に示すように、樹脂封止
され、樹脂の注入経路領域に残留封止樹脂11が付着し
た状態で帯状搬送体6上に配置されるとともに、外部接
続用のリード9を備えたICパッケージ10を具備して
いる。また、帯状搬送体6には、長さ方向両端縁に沿っ
て、スプロケットホール7を設けている。尚、図3中、
8は、リード穴である。
【0004】樹脂封止型半導体装置5は、帯状搬送体6
に半導体素子をボンディングした後、エポキシ樹脂等の
熱硬化性樹脂を用いて、低圧トランスファ成形法によっ
て金型内で外部接続用のリード9以外を樹脂封止するこ
とによって形成される。そして、ICパッケージ10を
1フレーム毎に切り出す(封止前に1フレームごとに予
め切っておく場合もある)。
に半導体素子をボンディングした後、エポキシ樹脂等の
熱硬化性樹脂を用いて、低圧トランスファ成形法によっ
て金型内で外部接続用のリード9以外を樹脂封止するこ
とによって形成される。そして、ICパッケージ10を
1フレーム毎に切り出す(封止前に1フレームごとに予
め切っておく場合もある)。
【0005】このとき、低圧トランスファ成形法の場
合、金型内に樹脂を低圧で押し込んで成形するため、硬
化した残留封止樹脂11が金型内の流路、いわゆるラン
ナーゲート部に残り、帯状搬送体6のスプロケットホー
ル7を含む外周部に付着したままの状態となる。これ
を、ピンセット等で剥し、スライドキャリア20の位置
決めピン25にスプロケットホール7を合わせて、この
スライドキャリア20の下蓋2に設けた収納部22に装
着し、上蓋3を閉めて位置決めピン25と位置決め穴2
6とを嵌め合わす。そして、後工程への搬送用のキャリ
ア、あるいは動作試験等の試験用キャリアとして使用さ
れる。
合、金型内に樹脂を低圧で押し込んで成形するため、硬
化した残留封止樹脂11が金型内の流路、いわゆるラン
ナーゲート部に残り、帯状搬送体6のスプロケットホー
ル7を含む外周部に付着したままの状態となる。これ
を、ピンセット等で剥し、スライドキャリア20の位置
決めピン25にスプロケットホール7を合わせて、この
スライドキャリア20の下蓋2に設けた収納部22に装
着し、上蓋3を閉めて位置決めピン25と位置決め穴2
6とを嵌め合わす。そして、後工程への搬送用のキャリ
ア、あるいは動作試験等の試験用キャリアとして使用さ
れる。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
スライドキャリア20を使用する場合、ICパッケージ
10をスライドキャリア20にセットする前に、ランナ
ーゲート部の残留封止樹脂11を除去しなければならな
い。この場合、特公平3−054046号に開示されて
いるようなリードフレーム用のランナーゲート除去装置
は、帯状搬送体6自体が可撓性を持ったフィルム状部材
であるため使用できない。
スライドキャリア20を使用する場合、ICパッケージ
10をスライドキャリア20にセットする前に、ランナ
ーゲート部の残留封止樹脂11を除去しなければならな
い。この場合、特公平3−054046号に開示されて
いるようなリードフレーム用のランナーゲート除去装置
は、帯状搬送体6自体が可撓性を持ったフィルム状部材
であるため使用できない。
【0007】このため、従来においては、ピンセット等
の治具を用いて帯状搬送体6から残留封止樹脂11を取
っていたが、この時にリード9の曲がり等の不良状態が
発生し、歩留りを落とすという問題があった。
の治具を用いて帯状搬送体6から残留封止樹脂11を取
っていたが、この時にリード9の曲がり等の不良状態が
発生し、歩留りを落とすという問題があった。
【0008】本発明は上記の事情に基づいてなされたも
のであり、残留封止樹脂除去時のリードの曲げ等の不良
発生を防止することができ、信頼性の高い樹脂封止型半
導体装置のスライドキャリアを提供することを目的とす
る。
のであり、残留封止樹脂除去時のリードの曲げ等の不良
発生を防止することができ、信頼性の高い樹脂封止型半
導体装置のスライドキャリアを提供することを目的とす
る。
【0009】
【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
めに本発明の樹脂封止型半導体装置のスライドキャリア
は、外部接続用のリードを備え、封止樹脂の注入経路領
域に残留封止樹脂が付着した状態で帯状搬送体上に配置
された樹脂封止型半導体装置を、上蓋と下蓋間に挟持す
る樹脂封止型半導体装置のスライドキャリアにおいて、
前記樹脂封止型半導体装置を挟持した際に、前記残留封
止樹脂を露出させる切り欠き部を前記上蓋及び前記下蓋
のいずれかに形成したことを特徴とするものである。
めに本発明の樹脂封止型半導体装置のスライドキャリア
は、外部接続用のリードを備え、封止樹脂の注入経路領
域に残留封止樹脂が付着した状態で帯状搬送体上に配置
された樹脂封止型半導体装置を、上蓋と下蓋間に挟持す
る樹脂封止型半導体装置のスライドキャリアにおいて、
前記樹脂封止型半導体装置を挟持した際に、前記残留封
止樹脂を露出させる切り欠き部を前記上蓋及び前記下蓋
のいずれかに形成したことを特徴とするものである。
【0010】
【作用】上記のように構成された本発明の樹脂封止型半
導体装置のスライドキャリアによって、樹脂封止型半導
体装置を上蓋と下蓋間に挟持することにより、樹脂の注
入経路領域に付着した残留封止樹脂が切り欠き部から露
出するので、この残留封止樹脂をスライドキャリアから
容易に離脱することができ、しかも、このとき樹脂封止
型半導体装置の外部接続用のリードは上蓋、下蓋間で規
制されているので、リードの曲りを防止できる。
導体装置のスライドキャリアによって、樹脂封止型半導
体装置を上蓋と下蓋間に挟持することにより、樹脂の注
入経路領域に付着した残留封止樹脂が切り欠き部から露
出するので、この残留封止樹脂をスライドキャリアから
容易に離脱することができ、しかも、このとき樹脂封止
型半導体装置の外部接続用のリードは上蓋、下蓋間で規
制されているので、リードの曲りを防止できる。
【0011】
【実施例】以下、本発明の一実施例である樹脂封止型半
導体装置のスライドキャリアについて図面を参照して詳
細に説明する。図1は本発明の一実施例である樹脂封止
型半導体装置のスライドキャリアの概略斜視図である。
尚、図1に示す樹脂封止型半導体装置のスライドキャリ
ア(以下、単にスライドキャリアとも称する。)1にお
いて、図4に示す従来のスライドキャリア20と同一の
機能を有するものには同一の符号を付することにより、
その詳細な説明を省略する。
導体装置のスライドキャリアについて図面を参照して詳
細に説明する。図1は本発明の一実施例である樹脂封止
型半導体装置のスライドキャリアの概略斜視図である。
尚、図1に示す樹脂封止型半導体装置のスライドキャリ
ア(以下、単にスライドキャリアとも称する。)1にお
いて、図4に示す従来のスライドキャリア20と同一の
機能を有するものには同一の符号を付することにより、
その詳細な説明を省略する。
【0012】図1に示すスライドキャリア1が図4に示
す従来のスライドキャリア20と異なる点は、下蓋2の
パッケージ穴21からこの下蓋2の外側に連通する状態
の切り欠き部4を設けたことである。この切り欠き部4
の切り欠き寸法は、残留封止樹脂11の一部が通過可能
な程度に設定され、これにより樹脂封止型半導体装置5
を上蓋3、下蓋2間に挟持したときに、樹脂の注入経路
領域に付着した残留封止樹脂11の一部が切り欠き部4
から露出する。
す従来のスライドキャリア20と異なる点は、下蓋2の
パッケージ穴21からこの下蓋2の外側に連通する状態
の切り欠き部4を設けたことである。この切り欠き部4
の切り欠き寸法は、残留封止樹脂11の一部が通過可能
な程度に設定され、これにより樹脂封止型半導体装置5
を上蓋3、下蓋2間に挟持したときに、樹脂の注入経路
領域に付着した残留封止樹脂11の一部が切り欠き部4
から露出する。
【0013】スライドキャリア1に対して、図2に示す
ように、樹脂封止型半導体装置5のリード9が上蓋3と
下蓋2間に挟まれる状態でこの樹脂封止型半導体装置5
のICパッケージ10及び帯状搬送体6を装着すると、
樹脂の注入経路領域に付着した残留封止樹脂11の一部
が切り欠き部4から露出する。
ように、樹脂封止型半導体装置5のリード9が上蓋3と
下蓋2間に挟まれる状態でこの樹脂封止型半導体装置5
のICパッケージ10及び帯状搬送体6を装着すると、
樹脂の注入経路領域に付着した残留封止樹脂11の一部
が切り欠き部4から露出する。
【0014】この状態では、樹脂封止型半導体装置5の
四方の各リード9は、収納部22上において上蓋3の下
面により押え込まれている。また、帯状搬送体6の中央
に位置するICパッケージ10は、各リード9によって
支持されている。
四方の各リード9は、収納部22上において上蓋3の下
面により押え込まれている。また、帯状搬送体6の中央
に位置するICパッケージ10は、各リード9によって
支持されている。
【0015】そこで、スライドキャリア1の下蓋2と、
ICパッケージ10のみを押さえつつ残留封止樹脂11
の一部を上蓋3に当接する部分を支点として、下蓋3側
から上蓋2側に力を加えるだけで残留封止樹脂11を容
易に帯状搬送体6から離脱することができ、かつ、他の
部分すべてを固定しているから各リード9を曲げる不具
合を回避できる。
ICパッケージ10のみを押さえつつ残留封止樹脂11
の一部を上蓋3に当接する部分を支点として、下蓋3側
から上蓋2側に力を加えるだけで残留封止樹脂11を容
易に帯状搬送体6から離脱することができ、かつ、他の
部分すべてを固定しているから各リード9を曲げる不具
合を回避できる。
【0016】尚、本発明は上記の実施例に限定されるも
のではなく、その要旨の範囲内において種々の変形が可
能である。たとえば本実施例においては、切り欠き部4
を下蓋2側に設けたが、切り欠き部4は上蓋3側に設け
てもよい。また、本実施例において、スライドキャリア
1にパッケージ穴21,23を設けているが、スライド
キャリア1の厚みが十分あって、収納部22の厚さを十
分取れるのであれば、パッケージ穴21,23を省略す
ることも可能である。
のではなく、その要旨の範囲内において種々の変形が可
能である。たとえば本実施例においては、切り欠き部4
を下蓋2側に設けたが、切り欠き部4は上蓋3側に設け
てもよい。また、本実施例において、スライドキャリア
1にパッケージ穴21,23を設けているが、スライド
キャリア1の厚みが十分あって、収納部22の厚さを十
分取れるのであれば、パッケージ穴21,23を省略す
ることも可能である。
【0017】さらにまた、本実施例では、1フレームの
みの構成を示したが、複数のフレームを連結したスライ
ドキャリアを構成できることもいうまでもない。
みの構成を示したが、複数のフレームを連結したスライ
ドキャリアを構成できることもいうまでもない。
【0018】
【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、樹
脂封止型半導体装置を挟持した際に、残留封止樹脂を露
出させる切り欠き部を上蓋及び下蓋のいずれかに形成し
たことにより、樹脂封止型半導体装置の外部接続用のリ
ードを上蓋と下蓋間で固定しつつ付着した残留封止樹脂
を切り欠き部から露出できるので、残留封止樹脂を帯状
搬送体から剥離する場合の剥離状態が良好になり、リー
ドの変形を防止して信頼性の高い樹脂封止型半導体装置
のスライドキャリアを提供することができる。
脂封止型半導体装置を挟持した際に、残留封止樹脂を露
出させる切り欠き部を上蓋及び下蓋のいずれかに形成し
たことにより、樹脂封止型半導体装置の外部接続用のリ
ードを上蓋と下蓋間で固定しつつ付着した残留封止樹脂
を切り欠き部から露出できるので、残留封止樹脂を帯状
搬送体から剥離する場合の剥離状態が良好になり、リー
ドの変形を防止して信頼性の高い樹脂封止型半導体装置
のスライドキャリアを提供することができる。
【図1】本発明の一実施例である樹脂封止型半導体装置
のスライドキャリアを示す概略斜視図である。
のスライドキャリアを示す概略斜視図である。
【図2】本実施例のスライドキャリアの使用状態を示す
斜視図である。
斜視図である。
【図3】樹脂封止型半導体装置を示す平面図である。
【図4】従来のスライドキャリアを示す斜視図である。
1 スライドキャリア 2 下蓋 3 上蓋 4 切り欠き部 5 樹脂封止型半導体装置 6 帯状搬送体 10 ICパッケージ 11 残留封止樹脂
Claims (1)
- 【請求項1】 外部接続用のリードを備え、封止樹脂の
注入経路領域に残留封止樹脂が付着した状態で帯状搬送
体上に配置された樹脂封止型半導体装置を、上蓋と下蓋
間に挟持する樹脂封止型半導体装置のスライドキャリア
において、前記樹脂封止型半導体装置を挟持した際に、
前記残留封止樹脂を露出させる切り欠き部を前記上蓋及
び前記下蓋のいずれかに形成したことを特徴とする樹脂
封止型半導体装置のスライドキャリア。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP4093284A JPH05267368A (ja) | 1992-03-19 | 1992-03-19 | 樹脂封止型半導体装置のスライドキャリア |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP4093284A JPH05267368A (ja) | 1992-03-19 | 1992-03-19 | 樹脂封止型半導体装置のスライドキャリア |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH05267368A true JPH05267368A (ja) | 1993-10-15 |
Family
ID=14078122
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP4093284A Withdrawn JPH05267368A (ja) | 1992-03-19 | 1992-03-19 | 樹脂封止型半導体装置のスライドキャリア |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH05267368A (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO1990012291A1 (en) * | 1989-03-31 | 1990-10-18 | Anritsu Corporation | Electronic measuring apparatus having general-purpose processing unit |
US6378623B2 (en) | 2000-01-28 | 2002-04-30 | Nitto Kohki Co., Ltd. | Torque control type impact wrench |
-
1992
- 1992-03-19 JP JP4093284A patent/JPH05267368A/ja not_active Withdrawn
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO1990012291A1 (en) * | 1989-03-31 | 1990-10-18 | Anritsu Corporation | Electronic measuring apparatus having general-purpose processing unit |
US6378623B2 (en) | 2000-01-28 | 2002-04-30 | Nitto Kohki Co., Ltd. | Torque control type impact wrench |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 19990608 |