JPH05264800A - 電子線照射装置 - Google Patents
電子線照射装置Info
- Publication number
- JPH05264800A JPH05264800A JP4108354A JP10835492A JPH05264800A JP H05264800 A JPH05264800 A JP H05264800A JP 4108354 A JP4108354 A JP 4108354A JP 10835492 A JP10835492 A JP 10835492A JP H05264800 A JPH05264800 A JP H05264800A
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- JP
- Japan
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- cooling
- bar
- electron beam
- electrons
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- Prior art date
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- Granted
Links
- 238000010894 electron beam technology Methods 0.000 title claims description 15
- 238000001816 cooling Methods 0.000 claims abstract description 42
- 239000011888 foil Substances 0.000 claims abstract description 18
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 claims description 2
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
Abstract
(57)【要約】
【目的】 窓箔の冷却に冷却桟を設けるが、その冷却桟
により電子の利用効率が低下するのを回避することを目
的とする。 【構成】 冷却桟の長さ方向に沿う中央部の高さが最小
となるように、冷却桟の高さを設定する。冷却桟に垂直
に放射される電子に対して角度をもって照射される電子
のうち、冷却桟に衝突する電子の量が少なくなり、これ
によって電子の利用効率が高くなる。
により電子の利用効率が低下するのを回避することを目
的とする。 【構成】 冷却桟の長さ方向に沿う中央部の高さが最小
となるように、冷却桟の高さを設定する。冷却桟に垂直
に放射される電子に対して角度をもって照射される電子
のうち、冷却桟に衝突する電子の量が少なくなり、これ
によって電子の利用効率が高くなる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は電子線照射装置に関す
る。
る。
【０００２】
【従来の技術】周知のように電子線照射装置は、真空チ
ャンバー内にフィラメントを配置し、これから放出され
る電子を、窓箔を通して大気中に取り出すように構成さ
れている。その際窓箔で発生する熱を除却するために冷
却桟を設けている。
ャンバー内にフィラメントを配置し、これから放出され
る電子を、窓箔を通して大気中に取り出すように構成さ
れている。その際窓箔で発生する熱を除却するために冷
却桟を設けている。
【０００３】その構成を図１によって説明すると、１は
真空チャンバー、２はその内部に設置されているフィラ
メント、３はその周囲を囲むシールド電極、４は窓枠
で、方形状に構成されてあり、その向かう合う長縁部５
にまたがって複数の冷却桟６が設けられてある。長縁部
５にはその長手方向に沿って水冷ダクト７が形成されて
ある。８は窓箔、９は窓箔８を窓枠４の周縁に対して抑
えつけてこれを支持する抑え枠である。図では各部分を
離して示してあるが、実際は互いに気密に取り付けられ
てある。
真空チャンバー、２はその内部に設置されているフィラ
メント、３はその周囲を囲むシールド電極、４は窓枠
で、方形状に構成されてあり、その向かう合う長縁部５
にまたがって複数の冷却桟６が設けられてある。長縁部
５にはその長手方向に沿って水冷ダクト７が形成されて
ある。８は窓箔、９は窓箔８を窓枠４の周縁に対して抑
えつけてこれを支持する抑え枠である。図では各部分を
離して示してあるが、実際は互いに気密に取り付けられ
てある。
【０００４】フィラメント２から放出された電子１０
は、窓箔８を透過して大気中に放出され、その際窓箔８
に発生した熱は、冷却桟６から水冷ダクト７によって冷
却されている長縁部５に伝導され、ここで除却される。
真空チャンバー１内は真空に引かれているので、窓箔８
の中間は、図３に示すように冷却桟６に押しつけられて
支持され、かつ隣合う冷却桟６間の窓箔部分は、真空チ
ャンバー１内に引き込まれるようになる。
は、窓箔８を透過して大気中に放出され、その際窓箔８
に発生した熱は、冷却桟６から水冷ダクト７によって冷
却されている長縁部５に伝導され、ここで除却される。
真空チャンバー１内は真空に引かれているので、窓箔８
の中間は、図３に示すように冷却桟６に押しつけられて
支持され、かつ隣合う冷却桟６間の窓箔部分は、真空チ
ャンバー１内に引き込まれるようになる。
【０００５】従来では冷却桟６の上縁（真空チャンバー
１内に向かい合う縁）１１は、図４に示すように平坦と
されていた。そしてこの冷却桟６の高さＨは、窓箔８が
冷却桟６を押しつける力と、冷却桟６が水冷ダクト７に
伝える熱量により決定されるようにしてあり、現状の設
計ではその両方の量が最大となる高さに設定されてい
る。
１内に向かい合う縁）１１は、図４に示すように平坦と
されていた。そしてこの冷却桟６の高さＨは、窓箔８が
冷却桟６を押しつける力と、冷却桟６が水冷ダクト７に
伝える熱量により決定されるようにしてあり、現状の設
計ではその両方の量が最大となる高さに設定されてい
る。
【０００６】ところでフィラメント２から放出される電
子１０は、図１に示すように全てが冷却桟６に対して垂
直に加速されて放出されるわけではなく、図３に示すよ
うにその垂直方向に対してある角度をもって加速されて
くる電子１２もある。このような電子１１は冷却桟６が
ある高さをもっているため、冷却桟６に衝突することが
あり、このように衝突した電子は大気中には取り出され
ない。
子１０は、図１に示すように全てが冷却桟６に対して垂
直に加速されて放出されるわけではなく、図３に示すよ
うにその垂直方向に対してある角度をもって加速されて
くる電子１２もある。このような電子１１は冷却桟６が
ある高さをもっているため、冷却桟６に衝突することが
あり、このように衝突した電子は大気中には取り出され
ない。
【０００７】これを図３によって説明すると、冷却桟６
の影になる領域Ｍに向かう電子は大気中に取り出される
ことはないし、その影にならない領域Ｎに向かう電子は
大気中に取り出される。このように大気中に取り出され
ない電子が存在することは、電子の利用効率が低下する
ことになり、好ましいものではない。
の影になる領域Ｍに向かう電子は大気中に取り出される
ことはないし、その影にならない領域Ｎに向かう電子は
大気中に取り出される。このように大気中に取り出され
ない電子が存在することは、電子の利用効率が低下する
ことになり、好ましいものではない。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】本発明は、窓箔を支持
し、かつこれを冷却するのに使用される冷却桟を設けた
場合、その冷却桟の存在による電子の利用効率の低下を
可及的に回避することを目的とする。
し、かつこれを冷却するのに使用される冷却桟を設けた
場合、その冷却桟の存在による電子の利用効率の低下を
可及的に回避することを目的とする。
【０００９】
【課題を解決するための手段】本発明は、窓枠の長縁部
間にまたがって設けられる冷却桟の高さを、その長さ方
向に沿う中央部で最小となるように形成したことを特徴
とする。
間にまたがって設けられる冷却桟の高さを、その長さ方
向に沿う中央部で最小となるように形成したことを特徴
とする。
【００１０】
【作用】冷却桟の長さ方向に沿う電子ビームの分布密度
は、その中央付近で最大となることが知られている。こ
のことはその中央部では冷却桟に衝突する電子ビームの
量が少ないことを意味する。したがってこの中央部での
冷却桟による窓箔の冷却量は少なくてよいことになるの
で、この中央部における冷却桟の高さは低くてもよいこ
とになる。
は、その中央付近で最大となることが知られている。こ
のことはその中央部では冷却桟に衝突する電子ビームの
量が少ないことを意味する。したがってこの中央部での
冷却桟による窓箔の冷却量は少なくてよいことになるの
で、この中央部における冷却桟の高さは低くてもよいこ
とになる。
【００１１】そしてこのように冷却桟の中央部を低くす
ることにより、電子ビームがある角度をもって照射され
た場合でも、冷却桟に衝突する電子ビームの量は減少
し、その利用効率は高くなる。
ることにより、電子ビームがある角度をもって照射され
た場合でも、冷却桟に衝突する電子ビームの量は減少
し、その利用効率は高くなる。
【００１２】
【実施例】本発明の実施例を図１、図２によって説明す
る。本発明にしたがい、冷却桟６の長さ方向に沿う中央
部が最小の高さとなるように構成する。その最小の高さ
はその長手方向に沿う中央部における電子ビームの分布
密度に応じ、その電子ビームによる窓箔８からの熱の伝
導に足る最小限度の高さに、および窓箔８から受ける力
に耐える最小の強度が維持できるに足る高さに設定すれ
ばよい。
る。本発明にしたがい、冷却桟６の長さ方向に沿う中央
部が最小の高さとなるように構成する。その最小の高さ
はその長手方向に沿う中央部における電子ビームの分布
密度に応じ、その電子ビームによる窓箔８からの熱の伝
導に足る最小限度の高さに、および窓箔８から受ける力
に耐える最小の強度が維持できるに足る高さに設定すれ
ばよい。
【００１３】このように冷却桟６の高さを低くすると、
図３の右側半分に示すように、冷却桟６の影になる領域
Ｍ′は、領域Ｍに比較して狭くなり、影にならない領域
Ｎ′は、領域Ｎに比較して広くなる。これによって大気
中に取り出される電子ビームの量は多くなり、それだけ
電子の利用効率は高くなる。
図３の右側半分に示すように、冷却桟６の影になる領域
Ｍ′は、領域Ｍに比較して狭くなり、影にならない領域
Ｎ′は、領域Ｎに比較して広くなる。これによって大気
中に取り出される電子ビームの量は多くなり、それだけ
電子の利用効率は高くなる。
【００１４】しかも冷却桟６の中央部分での電子ビーム
の密度は高いので、その部分における領域Ｍ′が広くな
ることにより、電子の利用効率は更に高くなるようにな
る。
の密度は高いので、その部分における領域Ｍ′が広くな
ることにより、電子の利用効率は更に高くなるようにな
る。
【００１５】
【発明の効果】以上詳述したように本発明によれば、冷
却桟の長さ方向に沿う中央部が最小の高さとなるように
形成したことによって、冷却桟による窓箔の冷却効果を
あまり損なうことなく、電子ビームの利用効率を高める
ことができる効果を奏する。
却桟の長さ方向に沿う中央部が最小の高さとなるように
形成したことによって、冷却桟による窓箔の冷却効果を
あまり損なうことなく、電子ビームの利用効率を高める
ことができる効果を奏する。
【図１】本発明の実施例を示す断面図である。
【図２】図１に示す窓枠の部分斜視図である。
【図３】本発明の動作説明を説明するためのもので、冷
却桟と電子ビームとの関係を示す側面図である。
却桟と電子ビームとの関係を示す側面図である。
【図４】従来例の窓枠の正面図である。
１ 真空チャンバー ２ フィラメント ４ 窓枠 ５ 長縁部 ６ 冷却桟 ７ 冷却ダクト ８ 窓箔
Claims (1)
- 【請求項１】 真空チャンバー内に配置されたフィラメ
ントから放射される電子を、窓枠に周縁が支持されてい
る窓箔を介して大気中に取り出すようにした電子線照射
装置において、前記窓枠の長縁部間にまたがって、前記
窓箔の中間を支持しかつ冷却するための冷却桟を設ける
とともに、前記冷却桟の高さを、その長さ方向に沿う中
央部で最小となるように形成してなる電子線照射装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4108354A JP2836366B2 (ja) | 1992-03-16 | 1992-03-16 | 電子線照射装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4108354A JP2836366B2 (ja) | 1992-03-16 | 1992-03-16 | 電子線照射装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05264800A true JPH05264800A (ja) | 1993-10-12 |
| JP2836366B2 JP2836366B2 (ja) | 1998-12-14 |
Family
ID=14482596
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4108354A Expired - Lifetime JP2836366B2 (ja) | 1992-03-16 | 1992-03-16 | 電子線照射装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2836366B2 (ja) |
-
1992
- 1992-03-16 JP JP4108354A patent/JP2836366B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2836366B2 (ja) | 1998-12-14 |
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