JPH05263956A - フローバルブ - Google Patents
フローバルブInfo
- Publication number
- JPH05263956A JPH05263956A JP10812192A JP10812192A JPH05263956A JP H05263956 A JPH05263956 A JP H05263956A JP 10812192 A JP10812192 A JP 10812192A JP 10812192 A JP10812192 A JP 10812192A JP H05263956 A JPH05263956 A JP H05263956A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- valve
- magnetostrictive material
- control
- giant magnetostrictive
- control over
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Electrically Driven Valve-Operating Means (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 バルブの開閉の応答性を高め、安定した正確
な開閉制御、流量の精密制御ができるようにする。 【構成】 フローバルブにおいて、作動弁３の制御に超
磁歪材４を設け、磁界コイル６をスイッチ８のオン、オ
フ制御によって電源７により励磁し、発生する磁界によ
り磁歪を発生して作動弁３の開閉制御をし、又、超磁歪
材４のインピーダンス変化を検出回路１０により検出し
てトルク検出をし、該検出信号により前記励磁電源７を
制御し作動弁による流量制御する。
な開閉制御、流量の精密制御ができるようにする。 【構成】 フローバルブにおいて、作動弁３の制御に超
磁歪材４を設け、磁界コイル６をスイッチ８のオン、オ
フ制御によって電源７により励磁し、発生する磁界によ
り磁歪を発生して作動弁３の開閉制御をし、又、超磁歪
材４のインピーダンス変化を検出回路１０により検出し
てトルク検出をし、該検出信号により前記励磁電源７を
制御し作動弁による流量制御する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明はフローバルブに関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、ポンプ流量を制御した流路の切換
えをするフローバルブに電磁石を利用した電磁バルブが
あるが、慣性が大きく開閉制御の応答が低く、又流量の
制御性も悪い欠点があった。
えをするフローバルブに電磁石を利用した電磁バルブが
あるが、慣性が大きく開閉制御の応答が低く、又流量の
制御性も悪い欠点があった。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】本発明は前記の点に鑑
み、バルブ開閉の応答性を高く、流量制御が安定に正確
にできるよう改良しようとするものである。
み、バルブ開閉の応答性を高く、流量制御が安定に正確
にできるよう改良しようとするものである。
【０００４】
【課題を解決するための手段】バルブの制御に超磁歪材
を設け、該超磁歪材のインピーダンス変化からトルクを
検出する回路を設けたことを特徴とする。
を設け、該超磁歪材のインピーダンス変化からトルクを
検出する回路を設けたことを特徴とする。
【０００５】
【作用】本発明は前記のようにバルブの制御に超磁歪材
を設け、このコイル励磁制御によって伸縮する変位を直
接もしくは拡大増幅してバルブに加え開閉制御するよう
にしたから、応答が速く、力が強くて正確な開閉制御が
できる。
を設け、このコイル励磁制御によって伸縮する変位を直
接もしくは拡大増幅してバルブに加え開閉制御するよう
にしたから、応答が速く、力が強くて正確な開閉制御が
できる。
【０００６】
【実施例】以下図面の一実施例により本発明を説明す
る。図１において１はフロー流路を形成する部材で、流
体は流入口１ａから流出口１ｂに流れ、或はその逆に流
れる。２は流路の中間に形成したバルブ制御の弁座で、
ここに作動弁３が開閉するよう嵌合する。４は弁３を作
動する超磁歪材、５はバイアスを加える永久磁石、６は
励磁コイルである。７はコイル６の励磁電源、８が電源
スイッチ、９は超磁歪材４のインピーダンス変化を検出
する交流電源、１０が検出回路である。前記超磁歪材４
は、例えばＴｂ０．３Ｄｙ０．７Ｆｅ１．９５の４ｍｍ
φ、５ｃｍのロッドに２６Ｗのパワーを加えて、磁歪は
約５０μｍ、５０ｋｇの変位出力を得ることができる。
応答は４００〜１０００Ｈｚで高速に制御できる。この
超磁歪材ロッド４の変位出力は必要なストロークに拡大
増幅して弁３の制御をすることによって、所要の開閉制
御及び流量制御をすることができる。弁３の隙間ｄと流
量Ｑの関係は次式で表される。
る。図１において１はフロー流路を形成する部材で、流
体は流入口１ａから流出口１ｂに流れ、或はその逆に流
れる。２は流路の中間に形成したバルブ制御の弁座で、
ここに作動弁３が開閉するよう嵌合する。４は弁３を作
動する超磁歪材、５はバイアスを加える永久磁石、６は
励磁コイルである。７はコイル６の励磁電源、８が電源
スイッチ、９は超磁歪材４のインピーダンス変化を検出
する交流電源、１０が検出回路である。前記超磁歪材４
は、例えばＴｂ０．３Ｄｙ０．７Ｆｅ１．９５の４ｍｍ
φ、５ｃｍのロッドに２６Ｗのパワーを加えて、磁歪は
約５０μｍ、５０ｋｇの変位出力を得ることができる。
応答は４００〜１０００Ｈｚで高速に制御できる。この
超磁歪材ロッド４の変位出力は必要なストロークに拡大
増幅して弁３の制御をすることによって、所要の開閉制
御及び流量制御をすることができる。弁３の隙間ｄと流
量Ｑの関係は次式で表される。
【０００７】
【数１】
【０００８】前記超磁歪材４の応答周振動周波数範囲で
パルス駆動して振動制御することにより、極めて正確に
流量制御することができる。しかして超磁歪材４に流体
圧の反作用が加わると磁気特性が変化し、コイル６のイ
ンピーダンスが変化するから、これを検出することによ
り弁３の作動トルクを検出することができる。即ち、コ
イル６にはインピーダン検出用の交流電源９が接続して
あり、これによって流れる電流を検出回路１０で測定す
ることによりインピーダンス変化を検出する。検出信号
を励磁電源７にフィードバックして電力制御、パルス周
波数制御等を行えば、弁３の開閉を流体圧によって変化
させられることなく一定状態に制御でき、制御流量を所
定の値に安定して正確に制御することができる。尚、超
磁歪材のトルク検出には励磁コイルとは別の検出コイル
を設けることができ、又、検出回路を励磁電源の回路に
挿入して検出することができる。又、検出信号による励
磁電源の制御も任意の回路を用いることができる。又、
超磁歪材の磁歪変化に対して反作用のバネを設け、振動
制御の応答を上げることができる。
パルス駆動して振動制御することにより、極めて正確に
流量制御することができる。しかして超磁歪材４に流体
圧の反作用が加わると磁気特性が変化し、コイル６のイ
ンピーダンスが変化するから、これを検出することによ
り弁３の作動トルクを検出することができる。即ち、コ
イル６にはインピーダン検出用の交流電源９が接続して
あり、これによって流れる電流を検出回路１０で測定す
ることによりインピーダンス変化を検出する。検出信号
を励磁電源７にフィードバックして電力制御、パルス周
波数制御等を行えば、弁３の開閉を流体圧によって変化
させられることなく一定状態に制御でき、制御流量を所
定の値に安定して正確に制御することができる。尚、超
磁歪材のトルク検出には励磁コイルとは別の検出コイル
を設けることができ、又、検出回路を励磁電源の回路に
挿入して検出することができる。又、検出信号による励
磁電源の制御も任意の回路を用いることができる。又、
超磁歪材の磁歪変化に対して反作用のバネを設け、振動
制御の応答を上げることができる。
【０００９】図２は超磁歪材４の変位を拡大レバーを用
いて拡大増幅して弁３に作用制御するようにしたもの
で、図１と同符号は同一部分を示す。１１は超磁歪材５
の変位を拡大するレバーで、１２が本体部材に振動可動
に結台する支点、１３が変位作用点でここに超磁歪材４
を結合する。１４は拡大した変位出力点で、ここに前記
作動弁３を結合する。超磁歪材４の超歪出力は、前記の
ように４ｍｍφ、５ｃｍのＴｂ０．３Ｄｙ０．７Ｆｅ
１．９５ロッドで、２６Ｗのパワーを加えて約５０μ
ｍ、５０ｋｇの出力が得られるから、これを拡大レバー
１１で２０倍に拡大したとすれば１ｍｍの変位出力が得
られ、弁３の開閉制御が安定して精密に制御できる。
尚、出力スイロークを更に拡大するときは拡大レバーを
二重に設けることによって所要の大きさに拡大すること
ができる。又、超磁歪材４のロッドを２本以上並列して
設け、各々の磁歪をリンク機構によって重量させること
によっても変位出力の拡大をすることができる。
いて拡大増幅して弁３に作用制御するようにしたもの
で、図１と同符号は同一部分を示す。１１は超磁歪材５
の変位を拡大するレバーで、１２が本体部材に振動可動
に結台する支点、１３が変位作用点でここに超磁歪材４
を結合する。１４は拡大した変位出力点で、ここに前記
作動弁３を結合する。超磁歪材４の超歪出力は、前記の
ように４ｍｍφ、５ｃｍのＴｂ０．３Ｄｙ０．７Ｆｅ
１．９５ロッドで、２６Ｗのパワーを加えて約５０μ
ｍ、５０ｋｇの出力が得られるから、これを拡大レバー
１１で２０倍に拡大したとすれば１ｍｍの変位出力が得
られ、弁３の開閉制御が安定して精密に制御できる。
尚、出力スイロークを更に拡大するときは拡大レバーを
二重に設けることによって所要の大きさに拡大すること
ができる。又、超磁歪材４のロッドを２本以上並列して
設け、各々の磁歪をリンク機構によって重量させること
によっても変位出力の拡大をすることができる。
【００１０】
【発明の効果】以上のように本発明は、バルブの制御に
超磁歪材を設け、このコイル励磁によって伸縮する変位
を直接もしくは拡大増幅してバルブに加え開閉制御する
ようにしたから応答が速く力が強くて正確な開閉、精密
な流量制御ができる。
超磁歪材を設け、このコイル励磁によって伸縮する変位
を直接もしくは拡大増幅してバルブに加え開閉制御する
ようにしたから応答が速く力が強くて正確な開閉、精密
な流量制御ができる。
【図１】本発明の一実施例構成図。
【図２】本発明の他の実施例図。
１ 流路形成部材 ２ 弁座 ３ 作動弁 ４ 超磁歪材 ５ 磁石 ６ 励磁コイル ７ 励磁電源 ８ スイッチ ９ 交流電源 １０ インピーダンス検出回路
Claims (2)
- 【請求項１】 フローバルブにおいて、バルブの制御に
超磁歪材を設け、該超磁歪材のインピーダンス変化から
トルクを検出する回路を設けたことを特徴とするフロー
バルブ。 - 【請求項２】 フローバルブにおいて、バルブの制御に
超磁歪材を設け、該超磁歪材のインピーダンス変化から
トルクを検出する回路を設け、該検出回路の信号により
前記超磁歪材の励磁電源を制御する制御回路を設けたこ
とを特徴とするフローバルブ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10812192A JPH05263956A (ja) | 1992-03-13 | 1992-03-13 | フローバルブ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10812192A JPH05263956A (ja) | 1992-03-13 | 1992-03-13 | フローバルブ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05263956A true JPH05263956A (ja) | 1993-10-12 |
Family
ID=14476462
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10812192A Pending JPH05263956A (ja) | 1992-03-13 | 1992-03-13 | フローバルブ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH05263956A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008232359A (ja) * | 2007-03-22 | 2008-10-02 | Namiki Precision Jewel Co Ltd | 磁歪式ガスバルブ |
-
1992
- 1992-03-13 JP JP10812192A patent/JPH05263956A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008232359A (ja) * | 2007-03-22 | 2008-10-02 | Namiki Precision Jewel Co Ltd | 磁歪式ガスバルブ |
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