JPH0526383Y2

JPH0526383Y2 -

Info

Publication number: JPH0526383Y2
Application number: JP1985180241U
Authority: JP
Priority date: 1985-11-21
Filing date: 1985-11-21
Publication date: 1993-07-02
Anticipated expiration: 2000-11-21
Also published as: JPS6287259U

Description

【考案の詳細な説明】 (イ) 産業上の利用分野この考案は、真空容器や高圧容器などにおける
開口を密封するシール材に関する。

(ロ) 従来の技術一般に、第６図に示すように、半導体製造にお
ける真空蒸着装置、スパツター装置などの各種容
器ａには、本体ｂに取出口等の開口ｃが形成され
ており、この本体ｂに蓋体ｄがボルトｅにて取付
けられて開口ｃが閉鎖されるように構成されてい
る。そして更に、本体ｂ内を所定圧等に保つため
に、本体ｂと蓋体ｄとの間にシール材ｆが介設さ
れている。

(ハ) 考案が解決しようとする課題このシール材ｆは、第５図に示すように、一般
にＯリングが用いられている。このＯリングのシ
ール材ｆは、従来よりゴムのみで形成され、１部
品より成る一体物であつた。

しかし、このシール材ｆでは、高圧又は真空等
の気密性、水等の水密性に対しては充分な密封性
を発揮するが、本体ｂ内が高温に加熱される場合
においては、ゴム成形品のみであるため、熱によ
つて変形、変質することになる。従つて小隙が生
起し、真空が破れたり、本体ｂ内のガスが放出す
る場合などがあり、密封性を保つことができなか
つた。

更に、このシール材ｆは、高圧力に対しても軟
弱であり、しかも薬品等の混入ガスの際、腐食さ
れ易く、密封性が悪かつた。

この考案は、斯かる点に鑑み、弾性リングを金
属リングで覆うことにより、耐熱・耐薬・耐圧性
を向上せしめるシール材を提供することを目的と
するものである。

(ニ) 課題を解決するための手段及び作用この考案のシール材は、開口部と、この開口部
を閉塞するための蓋体とを有する容器の前記開口
部と前記蓋体との間に密封状に装着されるシール
材であつて、可撓性材で形成された弾性リング
と、弾性金属材で形成された金属リングとより成
り、この金属リングが断面略Ｃ字状に外側に湾曲
して形成され、この金属リングに前記弾性リング
が内側より嵌合されて、この弾性リングが金属リ
ングで囲繞されて構成されている。

従つて、弾性リングが金属リングで少なくとも
部分的に囲繞されるため、従来のゴムのみからな
るシール材に比べて、熱や薬品に晒される弾性リ
ング部分が少なくなり、耐熱性・耐薬性が向上す
る。

又、金属リングの内側に弾性リングが存在する
ため、金属リングが圧力によつて変形しようとし
ても、弾性リングの弾性力（復元力）によつて金
属リングの過度の変形が防止され、結果的にシー
ル材の耐圧性が向上する。

更には、特に高圧容器に適用した場合、容器内
の高圧によつてＣ字状の金属リングが内側に圧力
を受けて拡開し、蓋体と容器の開口部との間に一
層強固に密着するので、シール効果が高まつて密
封度が一層良くなる。

(ホ) 実施例以下、実施例により、この考案をさらに詳細に
説明する。

第１図，第２図は、この考案の一実施例を示
し、１はシール材であつて、各種容器２の開口３
を密封するものである。

この容器２は、例えば半導体チツプの作製工程
における蒸着装置、スパツター装置などの真空容
器、或いは高圧容器などに該当し、本体４に各種
導入部等の開口３が形成され、この本体４に蓋体
５が取付けられて構成されている。この蓋体５は
ボルト６が本体４に固定されて、開口３を閉鎖し
ている。本体４の開口３周縁には、Ｌ字状に切欠
かれて段差部４ａが形成される一方、蓋体５は内
側中央部が突出して圧肉部５ａが形成されると共
に、周辺が薄肉フランジ部５ｂに形成されてい
る。このフランジ部５ｂが本体４外面に密接さ
れ、フランジ部５ｂと段差部４ａとの空間にシー
ル材１が介設されている。

このシール材１は、ほぼ真円形リングに形成さ
れ、弾性リング７と金属リング９とより構成され
ている。この弾性リング７はゴム等の可撓性材で
形成され、従来のＯリングと同様に形成されてい
る。

金属リング９は鉄又は非鉄金属などの各種金属
材・合金属材で形成され、リング状に形成される
と共に、断面略Ｃ字状の外側に湾曲成形されてい
る。つまり、この金属リング９は、筒状板材をプ
レス成形し、上辺部９ａより外側に凸状の湾曲部
９ｂを介して下辺部９ｃを連続形成したもので、
弾性リング７が金属リング９の内側より嵌合さ
れ、金属リング９によつて弾性リング７の外側が
覆われることになる。そして、弾性リング７の内
側面のみが開放されている。

従つて、このシール材１は、弾性リング７が金
属リング９で半分程度囲繞された状態で、本体４
と蓋体５との間に介在することになる。そして、
弾性リング７の弾性力により、金属リング９の上
辺部９ａと下辺部９ｃとが蓋体５と本体４とに圧
接され、本体４と蓋体５との間を密封する。ま
た、特に容器２が高圧容器である場合、開口３側
からの内圧で金属リング９が拡開し、つまり上辺
部９ａと下辺部９ｃが外側に拡がり、それぞれ蓋
体５と本体４に一層強く密着し、本体４と蓋体５
との間はより強固に密封される。

また、上記実施例では、シール材１を真円リン
グ状にしているが、これに代えて、第３図，第４
図に示すように、楕円リング又は矩形リングにし
たシール材１ａ，１ｂを用いてもよい。また、も
ちろん、シール材の形状は、その他、開口形状に
合わせて種々の特殊形状にしてもよい。弾性リン
グは断面丸形に限らず、金属リングに囲繞される
形態のものでよく、囲繞面に沿わせてテフロンや
他の樹脂材を充填して形成してもよい。

また、金属リング９の上辺部９ａと下辺部９ｃ
とを弾性リング７に倣つて湾曲成形してもよい。
この上辺部９ａと下辺部９ｃとは弾性リング７を
嵌合した後に湾曲され、これにより、前述したよ
うに弾性リング７の弾性力によつて金属リング９
の過度の変形が防止され、その結果として金属リ
ング９の強度が向上することになる。

(ヘ) 考案の効果以上のように、この考案のシール材によれば、
金属リングが断面略Ｃ字状に外側に湾曲して形成
され、且つ金属リングに弾性リングが内側より嵌
合されて、弾性リングが金属リングで少なくとも
部分的に囲繞されるので、従来のゴムのみからな
るシール材に比べて、弾性リングの露出面が少な
くなり、耐熱性及び耐薬性が向上する。

又、金属リングの内側に弾性リングが在るた
め、圧力によつて金属リングが大きく変形しよう
としても、弾性リングの弾性力により金属リング
の変形が抑制されて、金属リングの過度の変形が
防止されるばかりか、金属リングの形状回復作用
も得られる。この結果、耐圧性が高まるという利
点が得られる。

更に、金属リングだけをＣ字状に湾曲させ、こ
の金属リングの内側に弾性リングを嵌合させない
シール材の場合には、特に湾曲部に応力が集中的
に作用するが、金属リングの内側に弾性リングを
介在させることで、その応力が弾性リングによつ
て分散し、応力緩和が促されるという利点も得ら
れる。

これに加えて、特に高圧容器に適用した場合、
容器内の圧力によつて金属リングが拡開して、蓋
体と容器の開口部との間に一層強固に密着し、シ
ール効果が一段と高まることになる。

【図面の簡単な説明】

第１図は、この考案の一実施例を示すシール材
の断面図、第２図は、同シール材の取付状態を示
す容器の断面図、第３図，第４図は、シール材の
他の形状を示す平面図、第５図は、従来のシール
材の断面図、第６図は、同シール材の取付状態を
示す容器の断面図である。１，１ａ，１ｂ……シール材、２……容器、３
……開口、４……本体、５……蓋体、７……弾性
リング、９……金属リング。

Claims

【実用新案登録請求の範囲】開口部と、この開口部を閉塞するための蓋体と
を有する容器の前記開口部と前記蓋体との間に密
封状に装着されるシール材であつて、可撓性材で形成された弾性リングと、弾性金属
材で形成された金属リングとより成り、この金属
リングが断面略Ｃ字状に外側に湾曲して形成さ
れ、この金属リングに前記弾性リングが内側より
嵌合されて、この弾性リングが金属リングで囲繞
されていることを特徴とするシール材。