JPH05253817A - 超音波研削加工用カップ砥石 - Google Patents

超音波研削加工用カップ砥石

Info

Publication number
JPH05253817A
JPH05253817A JP5451292A JP5451292A JPH05253817A JP H05253817 A JPH05253817 A JP H05253817A JP 5451292 A JP5451292 A JP 5451292A JP 5451292 A JP5451292 A JP 5451292A JP H05253817 A JPH05253817 A JP H05253817A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
grindstone
grinding wheel
cup
grinding
ultrasonic
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP5451292A
Other languages
English (en)
Inventor
Hiroyuki Shimizu
弘幸 清水
Keiichi Kimura
景一 木村
Kenichi Kawaguchi
健一 川口
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Nikon Corp
Original Assignee
Nikon Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Nikon Corp filed Critical Nikon Corp
Priority to JP5451292A priority Critical patent/JPH05253817A/ja
Publication of JPH05253817A publication Critical patent/JPH05253817A/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Abstract

(57)【要約】 【目的】 超音波研削加工を高能率、高精度で行なう。 【構成】 ほぼ椀状の振動体からなる台金部2とこの先
端に設けられた砥石作業部3からなる超音波研削加工用
カップ砥石1において、砥石作業部の作業面の一部また
は全部を砥石の軸Tに対して傾斜させて傾斜面3aとし
た。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、超音波振動を付加する
ことで研削加工を行う超音波研削加工用カップ砥石に関
するものである。
【0002】
【従来の技術】ファイン・セラミックス(以下、セラミ
ックスと略す)のような硬くて脆い材料の加工には、砥
石に超音波振動を付加した超音波研削加工が有効であ
る。この超音波研削加工に用いられる砥石は、一般に振
動体とこの先端に設けられたダイヤモンド砥石とからな
る。研削加工は、超音波振動系によって砥石作業面(被
加工物に対し研削を行う面)と直交する振動をダイヤモ
ンド砥石に付加する。そして、このダイヤモンド砥石の
砥粒が振動して被加工物に衝撃を与える(これを衝撃破
砕効果という)ことで被加工物材料の除去(研削)が行
なわれる。このような超音波研削加工は、軸方向に振動
するコアドリルを用いたファインセラミックス等の穴あ
け加工において広く実施されている。
【0003】一方、超音波研削加工により大面積の平面
研削加工を高能率に行う方法として、比較的大きな直径
を持つほぼ椀状に形成されたダイヤモンド砥石を用いて
トラバース研削を行なうことが知られている。この方法
では、単位時間当たりの加工面積、加工体積を大きくす
ることができる利点がある。そして、この方法に用いる
超音波研削加工用カップ砥石が提案されている。(特開
昭63-267150 )
【0004】
【発明が解決しようとする課題】超音波研削は、砥石の
振動方向と被加工物の研削を行なう砥石作業面とが直交
する時に、前記衝撃破砕効果が最も良く現れて効率良く
研削が行われる。そのため、被加工物の研削される面
(加工面)と砥石の振動方向とを直交させた状態で超音
波研削加工を行うことが望ましい。そのためには、前記
トラバース研削の場合、砥石の振動方向にこの砥石の送
り方向の成分が含まれている必要がある。一方、超音波
振動系から与えられる振動方向は砥石の軸方向と平行な
方向であり、砥石の振動方向にこの砥石の送り方向の成
分が含まれるようにするには、該砥石自体で振動方向を
変換する必要があった。しかし、従来のカップ砥石では
それ自身で振動方向を変換させることはできなかったた
め、このカップ砥石の砥石作業面は超音波振動系によっ
て与えられた「カップ砥石の軸方向と平行な方向」に振
動せざるを得なかった。
【0005】図3は、従来のカップ砥石を用いて平面ト
ラバース研削を行った時の研削状態を示す概略図であ
る。図3に示すように、カップ砥石の振動方向Qは、カ
ップ砥石の軸方向と平行な方向である。従って、砥粒の
衝撃破砕効果が最も現れる、「振動方向と直交する面」
は、砥石作業部底面8であった。そのため、このような
トラバース研削では、主な材料除去(研削)作用はカッ
プ砥石の振動方向Qと平行な砥石作業部の外周側の側面
7と、砥石作業部底面8の砥石一回転当たりの送り量P
に対応した底面の外周部8aとで行なわれていた。その
結果、最も効率良く研削作業ができる振動方向Qと直交
する砥石作業面(砥石底面8)は、既に研削された被加
工物5の表面を通過するだけであった。
【0006】ところで、研削に際してカップ砥石が送り
方向Rに進むと、砥石作業部の側面7には最大の研削負
荷(抵抗)が作用する。しかし、砥石作業部の側面7に
おける超音波振動は、研削に際して設定された切り込み
量dに対応する被加工物5の加工面5aに対して平行に
作用するため、超音波振動による衝撃破砕効果は小さ
い。そのため、前記研削負荷に対応できるだけの衝撃破
砕効果が得られず、カップ砥石の送り量や切り込み深さ
を大きくすることができなかった。その結果、カップ砥
石の送り速度を速くすることができず、加工能率が制限
されていた。また、カップ砥石に対する負荷が、砥石作
業部の側面7と底面の外周部8aに集中するため砥石の
摩耗が大きくなるという問題もあった。
【0007】本発明は、上記問題を解決することを目的
とする。
【0008】
【課題を解決するための手段】上記目的のために、本発
明では、ほぼ椀状の振動体からなる台金部と該台金部の
先端に設けられた砥石作業部とからなる超音波研削加工
用カップ砥石において、前記砥石作業部の作業面の一部
または全部を、前記カップ砥石の軸方向に対して傾斜し
た傾斜面とした。
【0009】
【作用】本発明の超音波研削加工用カップ砥石は、有限
要素法による解析に基づいて振動体(砥石台金部)の形
状を設計してある。この有限要素法による解析によれ
ば、カップ砥石の振動体部分だけで超音波振動の振動方
向を所望の振動方向に変換させることができる。そのた
め、超音波振動系によって与えられた振動方向にカップ
砥石の送り方向の成分を含ませることが可能となる。
【0010】一方、カップ砥石は、その砥石作業部の作
業面の一部または全部が該カップ砥石の軸方向に対し傾
斜させてある。従って、前記振動体によりこの傾斜面と
ほぼ直交する振動を発生させることで、砥石作業面の砥
粒を被加工物の加工面に該加工面の垂直方向から衝突さ
せることができる。その結果、超音波研削加工の最大の
長所である衝撃破砕効果を十分に活用することが可能と
なり、砥石に作用する研削負荷(抵抗)が減少する。
【0011】
【実施例】図1は、本発明の一実施例を示す概略断面図
である。また、図2は、本実施例で用いたカップ砥石に
おける砥石作業部の研削状態を示す概略図である。以
下、図1および図2により本実施例を説明する。超音波
研削加工用カップ砥石1は、ほぼ椀状に形成された砥石
台金部2とその先端部にろう付けされたメタルボンドダ
イヤモンド砥石からなる砥石作業部3により構成されて
いる。砥石台金部2は振動体としても機能しており、そ
の形状は前述のように有限要素法による解析に基づいて
設計されている。
【0012】そして、研削加工を行う砥石作業部3の作
業面にはカップ砥石1の軸Tの方向に対し傾斜した傾斜
面3aが形成されている。この傾斜面3aの軸T方向の
寸法hは、加工時に設定されるカップ砥石1の切り込み
量dと同等、またはそれよりも大きくしておくことが望
ましい。なお、ダイヤモンド砥石に傾斜面を設ける代わ
りに台金部2に傾斜面を設け、この台金部の傾斜面にダ
イヤモンド砥石をろう付けしてもよい。
【0013】加工時は、図示していない超音波振動子に
よって発生した超音波振動を振幅拡大ホーン4を介して
砥石台金部2に入力する。そして、適当な切り込み量d
(図2参照)を設定するとともに、カップ砥石1全体に
回転運動Eを与えながらR方向に送りを与える。本実施
例では従来の超音波振動系を用いるように設定してある
ので、振幅拡大ホーン4がカップ砥石1と接続するホー
ン先端4aにおける超音波振動の方向はカップ砥石1の
軸Tと平行な方向Sである。しかし、振動体である砥石
台金部2を通過することで振動方向が変換され、砥石作
業部3の先端部における振動方向は軸方向振動Aと半径
方向振動Bとが合成された合成振動Cの方向となる。従
って、図2に示すように、材料除去を主に行なう砥石作
業部3の主作業部は、前記合成振動の振動方向Cと直交
する傾斜面3aとなる。その結果、超音波振動によって
砥石作業面上の砥粒は被加工物5の加工面に垂直方向か
ら衝突する。つまり、超音波振動の衝撃破砕効果を最大
限に発揮した状態で被加工物5を研削加工することがで
きる。
【0014】
【発明の効果】以上のように、本発明では超音波振動に
よる衝撃破砕作用を有効に利用して加工を行うことがで
きる。その結果、カップ砥石に作用する研削負荷(抵
抗)が減少するのでカップ砥石の送り速度を速くするが
でき、加工能率が向上する。また、工具摩耗が減少する
ため加工精度を向上させることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】は、本発明の一実施例を示す概略断面図であ
る.
【図2】は、本発明の砥石の作業部における研削状態を
示す概略図である.
【図3】は、従来の砥石の作業部における研削状態を示
す概略図である.
【主要部分の符号の説明】
1 カップ砥石 2 砥石台金部 3 砥石作業部 3a 砥石作業部の傾斜面 4 振幅拡大ホーン 5 被加工物 7 砥石作業部の側面 8 砥石作業部底面 S 振幅拡大ホーン先端の砥石軸に平行な振動 A 砥石作業部先端における砥石軸に平行な振動 B 砥石作業部先端における半径方向の振動 C 砥石作業部先端における合成振動 E 回転運動

Claims (2)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 ほぼ椀状の振動体からなる台金部と該台
    金部の先端に設けられた砥石作業部とからなる超音波研
    削加工用カップ砥石において、 前記砥石作業部の作業面の一部または全部を、前記カッ
    プ砥石の軸方向に対して傾斜した傾斜面としたことを特
    徴とする超音波研削加工用カップ砥石。
  2. 【請求項2】 前記傾斜面の砥石の軸方向の寸法が、設
    定切り込み深さと同等またはそれ以上に設定されている
    ことを特徴とする請求項1記載の超音波研削加工用カッ
    プ砥石。
JP5451292A 1992-03-13 1992-03-13 超音波研削加工用カップ砥石 Pending JPH05253817A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP5451292A JPH05253817A (ja) 1992-03-13 1992-03-13 超音波研削加工用カップ砥石

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP5451292A JPH05253817A (ja) 1992-03-13 1992-03-13 超音波研削加工用カップ砥石

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPH05253817A true JPH05253817A (ja) 1993-10-05

Family

ID=12972702

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP5451292A Pending JPH05253817A (ja) 1992-03-13 1992-03-13 超音波研削加工用カップ砥石

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPH05253817A (ja)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5540614A (en) * 1992-02-06 1996-07-30 Ppv - Verwaltungs-Ag Apparatus for grinding workpieces

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5540614A (en) * 1992-02-06 1996-07-30 Ppv - Verwaltungs-Ag Apparatus for grinding workpieces

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR0142075B1 (ko) 진동절삭방법 및 장치
Balamuth Ultrasonic assistance to conventional metal removal
US2939250A (en) Resonant honing
JPH05253817A (ja) 超音波研削加工用カップ砥石
JP3088537B2 (ja) 高硬度材の孔の仕上げ加工方法及び加工装置
JPH09290356A (ja) 超音波振動を用いた平面トラバース研削装置
JPH06339847A (ja) セラミックスにおける円周状の溝の加工方法
JPH03234451A (ja) ねじり振動を利用した研摩法
JPH0575560B2 (ja)
JPH0624692B2 (ja) 砥石の複合振動による精密溝研削加工方法
JPH07164288A (ja) 超音波振動研削方法、超音波振動研削工具、及び超音波振動研削加工装置
JP2007050471A (ja) ドレッシング方法及びロータリドレッシング装置
JP2831966B2 (ja) 窒化ケイ素セラミックスの加工方法
JPH06339865A (ja) 超音波研削用カップ砥石及びこれを用いた 超音波研削加工機
JPH07164287A (ja) 研磨方法及び研磨装置
JPS6362658A (ja) 複合振動砥石による精密仕上加工方法
JPH0780766A (ja) 回転非対称な円周状の溝の加工方法及び加工物の製法
RU2146599C1 (ru) Устройство для крепления шлифовального круга
JPH0451300B2 (ja)
JP2002239879A (ja) 超音波振動加工法
JPS6362657A (ja) 複合振動砥石による精密仕上加工方法
JP2682796B2 (ja) 研削砥石のドレッシング方法
JP2002066927A (ja) 硬脆材料加工用ダイヤモンド工具とこれを用いた加工方法
JP2023050722A (ja) 超砥粒研削ホイールのドレッシング方法および装置
JPS6362662A (ja) 超音波振動と低周波振動を重畳させた砥石車による精密仕上加工方法