JPH05251984A - 弾性表面波共振子 - Google Patents
弾性表面波共振子Info
- Publication number
- JPH05251984A JPH05251984A JP8031292A JP8031292A JPH05251984A JP H05251984 A JPH05251984 A JP H05251984A JP 8031292 A JP8031292 A JP 8031292A JP 8031292 A JP8031292 A JP 8031292A JP H05251984 A JPH05251984 A JP H05251984A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- electrode
- acoustic wave
- surface acoustic
- wave resonator
- comb
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
- H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
- H03H9/46—Filters
- H03H9/64—Filters using surface acoustic waves
- H03H9/6423—Means for obtaining a particular transfer characteristic
- H03H9/643—Means for obtaining a particular transfer characteristic the transfer characteristic being determined by reflective or coupling array characteristics
Landscapes
- Surface Acoustic Wave Elements And Circuit Networks Thereof (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 圧電基板上にすだれ状変換器が形成された弾
性表面波共振子のスプリアス応答を抑圧する。 【構成】 圧電基板１の表面に設けられたすだれ状変換
器２または２’の両側に、三角状の面電極またはそれを
所定の形で２つ以上に分割した三角状電極５を配置した
ことを特徴とする。
性表面波共振子のスプリアス応答を抑圧する。 【構成】 圧電基板１の表面に設けられたすだれ状変換
器２または２’の両側に、三角状の面電極またはそれを
所定の形で２つ以上に分割した三角状電極５を配置した
ことを特徴とする。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、圧電基板上にすだれ状
電極変換器が形成された弾性表面波共振子に関するもの
である。
電極変換器が形成された弾性表面波共振子に関するもの
である。
【０００２】
【従来の技術】代表例として電気機械結合係数（ｋ2 ）
がレイリー（Ｒａｙｌｅｉｇｈ）波型の弾性表面波（Ｐ
＋ＳＶ波）に比べて格段に大きいラブ波（ＳＨ波）型弾
性表面波共振子について述べる。
がレイリー（Ｒａｙｌｅｉｇｈ）波型の弾性表面波（Ｐ
＋ＳＶ波）に比べて格段に大きいラブ波（ＳＨ波）型弾
性表面波共振子について述べる。
【０００３】図９はラブ波型弾性表面波共振子の従来の
構成例を示す平面図である。図において、１は圧電基
板、２はすだれ状電極変換器（Ｉｎｔｅｒ ｄｉｇｉｔ
ａｌＴｒａｎｓｄｕｃｅｒ，以下ＩＤＴと略記する）。
３，４は接続用端子を示し、ｄ１は電極指の交差幅を示
す。ラブ波型弾性表面波共振子は、ＬｉＮｂＯ3 （ニオ
ブ酸リチウム）回転Ｙ板の圧電基板１の表面上に、金
（Ａｕ），銀（Ａｇ），白金（Ｐｔ）等の重金属のＩＤ
Ｔ電極を設けることにより伝搬減衰の大きな擬似弾性表
面波を減衰のないラブ波型表面波とし、かつＩＤＴのみ
で構成される。
構成例を示す平面図である。図において、１は圧電基
板、２はすだれ状電極変換器（Ｉｎｔｅｒ ｄｉｇｉｔ
ａｌＴｒａｎｓｄｕｃｅｒ，以下ＩＤＴと略記する）。
３，４は接続用端子を示し、ｄ１は電極指の交差幅を示
す。ラブ波型弾性表面波共振子は、ＬｉＮｂＯ3 （ニオ
ブ酸リチウム）回転Ｙ板の圧電基板１の表面上に、金
（Ａｕ），銀（Ａｇ），白金（Ｐｔ）等の重金属のＩＤ
Ｔ電極を設けることにより伝搬減衰の大きな擬似弾性表
面波を減衰のないラブ波型表面波とし、かつＩＤＴのみ
で構成される。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】図９に示した構成の共
振子は、表面波導波路を形成しているため表面波伝搬方
向（縦方向，図９の矢印方向）及び表面波伝搬方向と直
角な方向に、それぞれ縦モードおよび横モードの非調和
高次モードの振動が存在しスプリアス応答となる欠点が
ある。図１０は図９に示した従来の１端子対ラブ波型弾
性表面波共振子のインピーダンス周波数特性例図であ
り、（Ｂ）は（Ａ）の共振周波数付近の拡大図である。
図１０（Ｂ）から分かるように、Ｓの点にスプリアスが
存在する。一般に、弾性表面波共振子を用いて電圧制御
発振器（ＶＣＯ）を構成する場合に、このような縦モー
ド及び横モードのスプリアス応答がないことが要求され
る。ごく小さなスプリアス応答が存在しても発振周波数
が跳躍する原因になるためである。
振子は、表面波導波路を形成しているため表面波伝搬方
向（縦方向，図９の矢印方向）及び表面波伝搬方向と直
角な方向に、それぞれ縦モードおよび横モードの非調和
高次モードの振動が存在しスプリアス応答となる欠点が
ある。図１０は図９に示した従来の１端子対ラブ波型弾
性表面波共振子のインピーダンス周波数特性例図であ
り、（Ｂ）は（Ａ）の共振周波数付近の拡大図である。
図１０（Ｂ）から分かるように、Ｓの点にスプリアスが
存在する。一般に、弾性表面波共振子を用いて電圧制御
発振器（ＶＣＯ）を構成する場合に、このような縦モー
ド及び横モードのスプリアス応答がないことが要求され
る。ごく小さなスプリアス応答が存在しても発振周波数
が跳躍する原因になるためである。
【０００５】本発明の目的は、以上の問題点を解決し、
非調和高次の縦モード及び横モードスプリアス応答を抑
圧した弾性表面波共振子を提供することにある。
非調和高次の縦モード及び横モードスプリアス応答を抑
圧した弾性表面波共振子を提供することにある。
【０００６】
【課題を解決するための手段】本発明の弾性表面波共振
子は、圧電基板上に、すだれ状電極変換器または菱形の
重み付けが施されたすだれ状電極変換器が形成された弾
性表面波共振子において、前記すだれ状電極変換器の両
側に、該すだれ状電極変換器の両側電極指に平行する一
辺の長さが該すだれ状電極変換器の交差幅以上で該一辺
の対角が表面波伝搬方向の中心線上に位置するような三
角状電極または該三角状電極が表面波伝搬方向の中心線
に対して対称になるように２つ以上に分割されたことを
特徴とするものであり、または、前記すだれ状電極変換
器の両側に、該すだれ状電極変換器の両側電極指に平行
する一辺の長さが該すだれ状電極変換器の交差幅以上で
該一辺の対角が表面波伝搬方向の中心線上に位置するよ
うな三角状の輪郭を有し前記すだれ状電極変換器の電極
指ピッチと異なるピッチの２つ以上に分割された短絡グ
レーティング電極が設けられたことを特徴とするもので
ある。
子は、圧電基板上に、すだれ状電極変換器または菱形の
重み付けが施されたすだれ状電極変換器が形成された弾
性表面波共振子において、前記すだれ状電極変換器の両
側に、該すだれ状電極変換器の両側電極指に平行する一
辺の長さが該すだれ状電極変換器の交差幅以上で該一辺
の対角が表面波伝搬方向の中心線上に位置するような三
角状電極または該三角状電極が表面波伝搬方向の中心線
に対して対称になるように２つ以上に分割されたことを
特徴とするものであり、または、前記すだれ状電極変換
器の両側に、該すだれ状電極変換器の両側電極指に平行
する一辺の長さが該すだれ状電極変換器の交差幅以上で
該一辺の対角が表面波伝搬方向の中心線上に位置するよ
うな三角状の輪郭を有し前記すだれ状電極変換器の電極
指ピッチと異なるピッチの２つ以上に分割された短絡グ
レーティング電極が設けられたことを特徴とするもので
ある。
【０００７】
【実施例】以下図面により本発明を詳細に説明する。代
表例として、ラブ波型弾性表面波共振子について述べ
る。
表例として、ラブ波型弾性表面波共振子について述べ
る。
【０００８】図１は、本発明の一実施例による菱形重み
付けを施してあるラブ波型弾性表面波共振子の電極構造
を示す平面図である。図１において、１は圧電基板、
２’は菱形重み付けを施したＩＤＴ、３，４は接続用端
子、ｄ１’はＩＤＴ２’の最大交差幅である。５はＩＤ
Ｔ２’の電極指に平行な一辺の長さｄ２’がｄ１’≦ｄ
２’となる三角状電極であり、表面波伝搬方向の中心線
を中心として２分割したものである。三角状電極５はＩ
ＤＴ２’の両側に左右対称に配置されている。
付けを施してあるラブ波型弾性表面波共振子の電極構造
を示す平面図である。図１において、１は圧電基板、
２’は菱形重み付けを施したＩＤＴ、３，４は接続用端
子、ｄ１’はＩＤＴ２’の最大交差幅である。５はＩＤ
Ｔ２’の電極指に平行な一辺の長さｄ２’がｄ１’≦ｄ
２’となる三角状電極であり、表面波伝搬方向の中心線
を中心として２分割したものである。三角状電極５はＩ
ＤＴ２’の両側に左右対称に配置されている。
【０００９】図２〜図７は本発明の他の実施例である。
図２は、ＩＤＴ２の両側電極指に平行な一辺の長さｄ２
がｄ１≦ｄ２となる三角状電極６を図１の三角状電極５
と同様に配置した場合である。図３〜図７は、図２の三
角状電極６を２つ以上に分割して構成した場合であり、
いずれも表面波伝搬方向の中心線に対して対称となるよ
うに分割されている。図３〜図７及び次の図８では圧電
基板１の図示を省略した。
図２は、ＩＤＴ２の両側電極指に平行な一辺の長さｄ２
がｄ１≦ｄ２となる三角状電極６を図１の三角状電極５
と同様に配置した場合である。図３〜図７は、図２の三
角状電極６を２つ以上に分割して構成した場合であり、
いずれも表面波伝搬方向の中心線に対して対称となるよ
うに分割されている。図３〜図７及び次の図８では圧電
基板１の図示を省略した。
【００１０】図８は本発明のさらに他の実施例である。
図８は本発明の図３の実施例においてＩＤＴの両側に配
置され２分割されたベタ（面）電極で構成された三角状
電極５を、ＩＤＴと異なるピッチの短絡グレーティング
電極１６に置き換えたものである。図８の場合、短絡グ
レーティング三角状電極１６の短絡部を表面波伝搬方向
の中心線部分に設けてあるが、必ずしも中心線部分であ
る必要はない。図１１は図１に示した本発明の実施例の
１端子付弾性表面波共振子のインピーダンス周波数特性
例であり、図１０（Ｂ）にみられた２つのスプリアス応
答が抑圧されて小さくなっていると同時に低域側にシフ
トしている。
図８は本発明の図３の実施例においてＩＤＴの両側に配
置され２分割されたベタ（面）電極で構成された三角状
電極５を、ＩＤＴと異なるピッチの短絡グレーティング
電極１６に置き換えたものである。図８の場合、短絡グ
レーティング三角状電極１６の短絡部を表面波伝搬方向
の中心線部分に設けてあるが、必ずしも中心線部分であ
る必要はない。図１１は図１に示した本発明の実施例の
１端子付弾性表面波共振子のインピーダンス周波数特性
例であり、図１０（Ｂ）にみられた２つのスプリアス応
答が抑圧されて小さくなっていると同時に低域側にシフ
トしている。
【００１１】
【発明の効果】本発明では、図１１（Ａ），（Ｂ）に示
すように従来の図１０に比べてスプリアスが抑圧されか
つスプリアスの出る位置が低域側に移るため、ＶＣＯに
用いた場合安定した発振周波数が得られると同時に周波
数範囲を広く利用することができる。
すように従来の図１０に比べてスプリアスが抑圧されか
つスプリアスの出る位置が低域側に移るため、ＶＣＯに
用いた場合安定した発振周波数が得られると同時に周波
数範囲を広く利用することができる。
【図１】本発明の実施例を示す構成例図である。
【図２】本発明の他の実施例を示す構成例図である。
【図３】本発明の他の実施例を示す構成例図である。
【図４】本発明の他の実施例を示す構成例図である。
【図５】本発明の他の実施例を示す構成例図である。
【図６】本発明の他の実施例を示す構成例図である。
【図７】本発明の他の実施例を示す構成例図である。
【図８】本発明の他の実施例を示す構成例図である。
【図９】従来の弾性表面波共振子の構成例図である。
【図１０】図９に示した従来の弾性表面波共振子のイン
ピーダンス周波数特性例図である。
ピーダンス周波数特性例図である。
【図１１】図１に示した本発明の弾性表面波共振子のイ
ンピーダンス周波数特性例図である。
ンピーダンス周波数特性例図である。
１ 圧電基板 ２，２’ ＩＤＴ ３，４ 端子部 ５，６，７，９，１０，１３，１５ 三角状電極 １６ 三角状グレーティング電極
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 鈴木 勇次 山梨県甲府市和田町2870
Claims (6)
- 【請求項１】 圧電基板上にすだれ状電極変換器が形成
された弾性表面波共振子において、 前記すだれ状電極変換器の両側に、該すだれ状電極変換
器の両側電極指に平行する一辺の長さが該すだれ状電極
変換器の交差幅以上で該一辺の対角が表面波伝搬方向の
中心線上に位置するような三角状電極が設けられたこと
を特徴とする弾性表面波共振子。 - 【請求項２】 請求項１の三角状電極が、表面波伝搬方
向の中心線に対して対称になるように２つ以上に分割さ
れたことを特徴とする請求項１の弾性表面波共振子。 - 【請求項３】 圧電基板上にすだれ状電極変換器が形成
され、該すだれ状電極変換器の交差幅が中央部で大きく
両側にいくに従って一様に小さくなるような菱形の重み
付けが施された弾性表面波共振子において、 前記すだれ状電極変換器の両側に、該すだれ状電極変換
器の両側電極指に平行する一辺の長さが該すだれ状電極
変換器の最大交差幅以上で該一辺の対角が表面波伝搬方
向の中心線上に位置するような三角状電極が設けられた
ことを特徴とする弾性表面波共振子。 - 【請求項４】 請求項３の三角状電極が、表面波伝搬方
向の中心線に対して対称になるように２つ以上に分割さ
れたことを特徴とする請求項３の弾性表面波共振子。 - 【請求項５】 圧電基板上にすだれ状電極変換器が形成
された弾性表面波共振子において、 前記すだれ状電極変換器の両側に、該すだれ状電極変換
器の両側電極指に平行する一辺の長さが該すだれ状電極
変換器の交差幅以上で該一辺の対角が表面波伝搬方向の
中心線上に位置するような三角状の輪郭を有し前記すだ
れ状電極変換器の電極指ピッチと異なるピッチの２つ以
上に分割された短絡グレーティング電極が設けられたこ
とを特徴とする弾性表面波共振子。 - 【請求項６】 圧電基板上にすだれ状電極変換器が形成
され、該すだれ状電極変換器の交差幅が中央部で大きく
両側にいくに従って一様に小さくなるような菱形の重み
付けが施された弾性表面波共振子において、 前記すだれ状電極変換器の両側に、該すだれ状電極変換
器の両側電極指に平行する一辺の長さが該すだれ状電極
変換器の交差幅以上で該一辺の対角が表面波伝搬方向の
中心線上に位置するような三角状の輪郭を有し前記すだ
れ状電極変換器の電極指ピッチと異なるピッチの２つ以
上に分割された短絡グレーティング電極が設けられたこ
とを特徴とする弾性表面波共振子。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP08031292A JP3245442B2 (ja) | 1992-03-03 | 1992-03-03 | 弾性表面波共振子 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP08031292A JP3245442B2 (ja) | 1992-03-03 | 1992-03-03 | 弾性表面波共振子 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05251984A true JPH05251984A (ja) | 1993-09-28 |
| JP3245442B2 JP3245442B2 (ja) | 2002-01-15 |
Family
ID=13714752
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP08031292A Expired - Lifetime JP3245442B2 (ja) | 1992-03-03 | 1992-03-03 | 弾性表面波共振子 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3245442B2 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2001082480A1 (fr) * | 2000-04-24 | 2001-11-01 | Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha | Filtre a ondes acoustiques de surface a couplage vertical |
| CN115001438A (zh) * | 2022-06-21 | 2022-09-02 | 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 | 一种纵向泄漏声表面波谐振器的结构及滤波器 |
-
1992
- 1992-03-03 JP JP08031292A patent/JP3245442B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2001082480A1 (fr) * | 2000-04-24 | 2001-11-01 | Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha | Filtre a ondes acoustiques de surface a couplage vertical |
| EP1195896A1 (en) * | 2000-04-24 | 2002-04-10 | Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha | Vertical coupling surface acoustic wave filter |
| US6650207B1 (en) | 2000-04-24 | 2003-11-18 | Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha | Longitudinally coupled surface acoustic wave filter with linearly weighted reflectors |
| EP1195896A4 (en) * | 2000-04-24 | 2005-06-01 | Mitsubishi Electric Corp | ACOUSTIC SURFACE WAVE FILTER WITH VERTICAL COUPLING |
| CN115001438A (zh) * | 2022-06-21 | 2022-09-02 | 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 | 一种纵向泄漏声表面波谐振器的结构及滤波器 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3245442B2 (ja) | 2002-01-15 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US5485052A (en) | Three electrode type saw longitudinal coupling filter | |
| US20080309192A1 (en) | Acoustic wave resonator | |
| JPH09167936A (ja) | 弾性表面波装置 | |
| JPH0730367A (ja) | 弾性表面波フィルタ | |
| JP3950611B2 (ja) | 弾性表面波共振器 | |
| JP2002084162A (ja) | 弾性表面波装置 | |
| JP3651291B2 (ja) | 弾性表面波装置 | |
| JP4601416B2 (ja) | 弾性表面波装置 | |
| JP3379383B2 (ja) | 弾性表面波装置 | |
| JP3113199B2 (ja) | 弾性表面波装置 | |
| JPH05251984A (ja) | 弾性表面波共振子 | |
| JPH1188112A (ja) | 弾性表面波素子 | |
| JPH05335881A (ja) | 縦型２重モード弾性表面波フィルタ | |
| JPH0685493B2 (ja) | 弾性表面波共振子 | |
| JPH06350383A (ja) | 弾性表面波共振子 | |
| JPS63285018A (ja) | 弾性表面波多重モ−ドフィルタ | |
| JPH03129915A (ja) | 弾性表面波共振子 | |
| JPH02250412A (ja) | 弾性表面波装置 | |
| JP3307284B2 (ja) | ２ポートｓａｗ共振子 | |
| JPH0767060B2 (ja) | 単一モード２端子対弾性表面波共振子および弾性表面波フィルタ | |
| JPH0452005B2 (ja) | ||
| JP3132109B2 (ja) | ２ポートｓａｗ共振子 | |
| JP3096815B2 (ja) | ラブ波型表面波共振子 | |
| JPH04265009A (ja) | 弾性表面波フィルタ | |
| JPH07336187A (ja) | 弾性表面波デバイス |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Year of fee payment: 6 Free format text: PAYMENT UNTIL: 20071026 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20081026 Year of fee payment: 7 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20091026 Year of fee payment: 8 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20091026 Year of fee payment: 8 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20101026 Year of fee payment: 9 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Year of fee payment: 10 Free format text: PAYMENT UNTIL: 20111026 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Year of fee payment: 10 Free format text: PAYMENT UNTIL: 20111026 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Year of fee payment: 10 Free format text: PAYMENT UNTIL: 20111026 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20121026 Year of fee payment: 11 |
|
| EXPY | Cancellation because of completion of term | ||
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20121026 Year of fee payment: 11 |