JPH05251202A - 薄膜抵抗器 - Google Patents
薄膜抵抗器Info
- Publication number
- JPH05251202A JPH05251202A JP4050516A JP5051692A JPH05251202A JP H05251202 A JPH05251202 A JP H05251202A JP 4050516 A JP4050516 A JP 4050516A JP 5051692 A JP5051692 A JP 5051692A JP H05251202 A JPH05251202 A JP H05251202A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- thin film
- resistance value
- resistor
- film resistor
- resistance
- Prior art date
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- Pending
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- Apparatuses And Processes For Manufacturing Resistors (AREA)
- Non-Adjustable Resistors (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 トリミングによる抵抗値の微調整が容易であ
る薄膜抵抗器を提供すること。 【構成】 導体部３と、導体部３と電極部１-2の間に形
成され、抵抗値Ｒ1 がこの薄膜抵抗器の完成抵抗値ＲK
にほぼ等しい第１の抵抗部２-1と、導体部３と電極部１
-1との間に形成される薄膜抵抗体のうち抵抗値Ｒ2 が相
対的に小さい第２の抵抗部２-2と、第２の抵抗部２-2と
並列接続の関係にあり抵抗値Ｒ3 が相対的に大きい第３
の抵抗部２-3と、第３の抵抗部２-3の適宜な箇所に設け
られ薄膜抵抗体を切条する為のトリミング部５とを備え
る。
る薄膜抵抗器を提供すること。 【構成】 導体部３と、導体部３と電極部１-2の間に形
成され、抵抗値Ｒ1 がこの薄膜抵抗器の完成抵抗値ＲK
にほぼ等しい第１の抵抗部２-1と、導体部３と電極部１
-1との間に形成される薄膜抵抗体のうち抵抗値Ｒ2 が相
対的に小さい第２の抵抗部２-2と、第２の抵抗部２-2と
並列接続の関係にあり抵抗値Ｒ3 が相対的に大きい第３
の抵抗部２-3と、第３の抵抗部２-3の適宜な箇所に設け
られ薄膜抵抗体を切条する為のトリミング部５とを備え
る。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は、薄膜抵抗器に関し、
特に抵抗値を精密に微調整することのできる薄膜抵抗器
に関する。
特に抵抗値を精密に微調整することのできる薄膜抵抗器
に関する。
【０００２】
【従来の技術】薄膜抵抗器は、２つの電極部と、この電
極部間に形成されている薄膜抵抗体とで構成されている
が、抵抗値を目的の値に微調整するためにトリミング処
理を行うのが一般的である。図３と図４は、トリミング
箇所も含めて図示した一般的な薄膜抵抗器である。すな
わち、この薄膜抵抗器は、左右に設けられた電極部２１
-1，２１-2と、電極部間に形成された薄膜抵抗体２２
と、この抵抗体を切条する為のトリミング部２３-1，２
３-2，２３-3とで構成されている。
極部間に形成されている薄膜抵抗体とで構成されている
が、抵抗値を目的の値に微調整するためにトリミング処
理を行うのが一般的である。図３と図４は、トリミング
箇所も含めて図示した一般的な薄膜抵抗器である。すな
わち、この薄膜抵抗器は、左右に設けられた電極部２１
-1，２１-2と、電極部間に形成された薄膜抵抗体２２
と、この抵抗体を切条する為のトリミング部２３-1，２
３-2，２３-3とで構成されている。
【０００３】薄膜抵抗体の形成が終われば、上記トリミ
ング部２３-1，２３-2，２３-3をこの順番に切条するこ
とにより抵抗値の調整を行っており、トリミング部２３
-3は、最終の微調整の位置である。
ング部２３-1，２３-2，２３-3をこの順番に切条するこ
とにより抵抗値の調整を行っており、トリミング部２３
-3は、最終の微調整の位置である。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】上記した如く、従来
は、トリミング部２３-3の位置で抵抗値の最終微調整を
行っていた。しかし、トリミングする切条位置によって
は、微調整とはならず粗調整となってしまう恐れもあ
り、従って、従来の薄膜抵抗器では、切条位置を厳しく
管理しなければならないという問題点があった。
は、トリミング部２３-3の位置で抵抗値の最終微調整を
行っていた。しかし、トリミングする切条位置によって
は、微調整とはならず粗調整となってしまう恐れもあ
り、従って、従来の薄膜抵抗器では、切条位置を厳しく
管理しなければならないという問題点があった。
【０００５】また、同じ切条位置であっても、抵抗値変
化率が一定とはならず、急に抵抗値が変化したりして抵
抗値の微調整が困難な場合もあった。この発明は、この
問題点に着目してなされたものであって、トリミングに
よる抵抗値の微調整が容易である薄膜抵抗器を提供する
ことを目的とする。
化率が一定とはならず、急に抵抗値が変化したりして抵
抗値の微調整が困難な場合もあった。この発明は、この
問題点に着目してなされたものであって、トリミングに
よる抵抗値の微調整が容易である薄膜抵抗器を提供する
ことを目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】上記の目的を達成する
為、この発明に係る薄膜抵抗器は、２つの電極部と、こ
の電極部間に形成されている薄膜抵抗体とを備える薄膜
抵抗器において、前記薄膜抵抗体の途中部分に設けら
れる導体部と、この導体部と前記電極部の一方側電極
との間に形成され、抵抗値がこの薄膜抵抗器の完成抵抗
値にほぼ等しい第１の抵抗部と、前記導体部と前記電
極部の他方側電極との間に形成される薄膜抵抗体のう
ち、抵抗値が相対的に小さい第２の抵抗部と、この第
２の抵抗部と並列接続の関係にあり、抵抗値が相対的に
大きい第３の抵抗部と、この第３の抵抗部の適宜な箇
所に設けられ、薄膜抵抗体を切条する為のトリミング部
とを特徴的に備えている。
為、この発明に係る薄膜抵抗器は、２つの電極部と、こ
の電極部間に形成されている薄膜抵抗体とを備える薄膜
抵抗器において、前記薄膜抵抗体の途中部分に設けら
れる導体部と、この導体部と前記電極部の一方側電極
との間に形成され、抵抗値がこの薄膜抵抗器の完成抵抗
値にほぼ等しい第１の抵抗部と、前記導体部と前記電
極部の他方側電極との間に形成される薄膜抵抗体のう
ち、抵抗値が相対的に小さい第２の抵抗部と、この第
２の抵抗部と並列接続の関係にあり、抵抗値が相対的に
大きい第３の抵抗部と、この第３の抵抗部の適宜な箇
所に設けられ、薄膜抵抗体を切条する為のトリミング部
とを特徴的に備えている。
【０００７】
【作用】 導体部は、電極部間に形成されている薄膜抵抗体の途
中部分に設けられる。つまり、薄膜抵抗体は、この導体
部によって２つの部分に大別されている。 第１の抵抗部は、この導体部と電極部の一方側電極と
の間に形成されており、その抵抗値Ｒ1 は、この薄膜抵
抗器が完成された時の合成抵抗値ＲK とほぼ等しい値に
設定されている。
中部分に設けられる。つまり、薄膜抵抗体は、この導体
部によって２つの部分に大別されている。 第１の抵抗部は、この導体部と電極部の一方側電極と
の間に形成されており、その抵抗値Ｒ1 は、この薄膜抵
抗器が完成された時の合成抵抗値ＲK とほぼ等しい値に
設定されている。
【０００８】第２の抵抗部は、前記導体部と電極部の
他方側電極との間に形成される薄膜抵抗体のうち、抵抗
値が相対的に小さい部分である。尚、この抵抗値をＲ2
とする。 第３の抵抗部は、第２の抵抗部とは並列接続の関係に
あり、抵抗値が第２の抵抗部の抵抗値Ｒ2 より相対的に
大きい値である。尚、この抵抗値をＲ3 とする。このよ
うに、他方側の電極部と導体部間には抵抗値Ｒ2 と抵抗
値Ｒ3 が並列接続されており、従って、他方側電極部と
導体部間の合成抵抗値は、Ｒ2 ×Ｒ3 ／（Ｒ2 ＋Ｒ3 ）
である。
他方側電極との間に形成される薄膜抵抗体のうち、抵抗
値が相対的に小さい部分である。尚、この抵抗値をＲ2
とする。 第３の抵抗部は、第２の抵抗部とは並列接続の関係に
あり、抵抗値が第２の抵抗部の抵抗値Ｒ2 より相対的に
大きい値である。尚、この抵抗値をＲ3 とする。このよ
うに、他方側の電極部と導体部間には抵抗値Ｒ2 と抵抗
値Ｒ3 が並列接続されており、従って、他方側電極部と
導体部間の合成抵抗値は、Ｒ2 ×Ｒ3 ／（Ｒ2 ＋Ｒ3 ）
である。
【０００９】前述の通り、一方側電極部と導体部間の抵
抗値はＲ1 であるので、結局、この薄膜抵抗器の全体の
合成抵抗値Ｒは、Ｒ1 ＋（Ｒ2 ×Ｒ3 ）／（Ｒ2 ＋
Ｒ3 ）である。 トリミング部は、第３の抵抗部の適宜な箇所に設けら
れ、薄膜抵抗体を切条する為の部分である。第３の抵抗
部の抵抗値Ｒ3 には、Ｒ3 ＞Ｒ2 ，Ｒ3 ≪Ｒ1の関係が
あるので、第３の抵抗部を切条してもＲ2 ×Ｒ3 ／（Ｒ
2 ＋Ｒ3 ）に与える影響は大きくなく、従って、Ｒ3 の
値の微調整により、合成抵抗値Ｒ＝Ｒ1＋Ｒ2 ×Ｒ3 ／
（Ｒ2 ＋Ｒ3 ）の値を容易に目的の抵抗値ＲK に一致さ
せることができる。
抗値はＲ1 であるので、結局、この薄膜抵抗器の全体の
合成抵抗値Ｒは、Ｒ1 ＋（Ｒ2 ×Ｒ3 ）／（Ｒ2 ＋
Ｒ3 ）である。 トリミング部は、第３の抵抗部の適宜な箇所に設けら
れ、薄膜抵抗体を切条する為の部分である。第３の抵抗
部の抵抗値Ｒ3 には、Ｒ3 ＞Ｒ2 ，Ｒ3 ≪Ｒ1の関係が
あるので、第３の抵抗部を切条してもＲ2 ×Ｒ3 ／（Ｒ
2 ＋Ｒ3 ）に与える影響は大きくなく、従って、Ｒ3 の
値の微調整により、合成抵抗値Ｒ＝Ｒ1＋Ｒ2 ×Ｒ3 ／
（Ｒ2 ＋Ｒ3 ）の値を容易に目的の抵抗値ＲK に一致さ
せることができる。
【００１０】
【実施例】以下、実施例に基づいて、この発明を更に詳
細に説明する。図１は、この発明の一実施例である薄膜
抵抗器の概略図を図示したものである。この薄膜抵抗器
は、左右に設けられた電極部１-1，１-2と、第１の抵抗
体２-1と、第２の抵抗体２-2と、第３の抵抗体２-3と、
第１の抵抗体２-1と第２及び第３の抵抗体２-2，２-3と
の間に設けられた導体部３とで構成されている。尚、第
２の抵抗体２-2と第３の抵抗体２-3とは、直接的には接
続されておらず絶縁物４を介して隔てられている。第３
の抵抗体２-3は、切条により抵抗値を微調整する部分で
あり、図１には、トリミング位置５も含めて図示してい
る。
細に説明する。図１は、この発明の一実施例である薄膜
抵抗器の概略図を図示したものである。この薄膜抵抗器
は、左右に設けられた電極部１-1，１-2と、第１の抵抗
体２-1と、第２の抵抗体２-2と、第３の抵抗体２-3と、
第１の抵抗体２-1と第２及び第３の抵抗体２-2，２-3と
の間に設けられた導体部３とで構成されている。尚、第
２の抵抗体２-2と第３の抵抗体２-3とは、直接的には接
続されておらず絶縁物４を介して隔てられている。第３
の抵抗体２-3は、切条により抵抗値を微調整する部分で
あり、図１には、トリミング位置５も含めて図示してい
る。
【００１１】図１からも明らかなように、第２の抵抗体
２-2と第３の抵抗体２-3とは並列に接続されており、こ
れに第１の抵抗体２-1が直列に接続されている。ここ
で、第１の抵抗体から第３の抵抗体までの抵抗値を
Ｒ1 ，Ｒ2 ，Ｒ3 とすると、この薄膜抵抗器の全体は、
図２のような接続関係となる。また、この薄膜抵抗器の
完成時の合成抵抗値（目標値）をＲK とすると、各抵抗
体の大きさは、Ｒ1 ≒ＲK ，Ｒ2 ＜Ｒ3 の関係にある。
２-2と第３の抵抗体２-3とは並列に接続されており、こ
れに第１の抵抗体２-1が直列に接続されている。ここ
で、第１の抵抗体から第３の抵抗体までの抵抗値を
Ｒ1 ，Ｒ2 ，Ｒ3 とすると、この薄膜抵抗器の全体は、
図２のような接続関係となる。また、この薄膜抵抗器の
完成時の合成抵抗値（目標値）をＲK とすると、各抵抗
体の大きさは、Ｒ1 ≒ＲK ，Ｒ2 ＜Ｒ3 の関係にある。
【００１２】図１に示す抵抗体パターン及び電極（導
体）パターンの形成を終えた後、第３の抵抗体２-3のト
リミング位置５において最終トリミングを行う。ところ
で、抵抗値Ｒ3 の狭い範囲の変化であれば、抵抗値Ｒ3
の変化に対して合成抵抗値Ｒ1 ＋Ｒ2 ×Ｒ3 ／（Ｒ2 ＋
Ｒ3 ）はほぼ一定に変化するのでトリミングによる抵抗
値変化率もほぼ一定にすることができる。
体）パターンの形成を終えた後、第３の抵抗体２-3のト
リミング位置５において最終トリミングを行う。ところ
で、抵抗値Ｒ3 の狭い範囲の変化であれば、抵抗値Ｒ3
の変化に対して合成抵抗値Ｒ1 ＋Ｒ2 ×Ｒ3 ／（Ｒ2 ＋
Ｒ3 ）はほぼ一定に変化するのでトリミングによる抵抗
値変化率もほぼ一定にすることができる。
【００１３】あとは、合成抵抗値Ｒ1 ＋Ｒ2 ×Ｒ3 ／
（Ｒ2 ＋Ｒ3 ）のうち、第３の抵抗体の抵抗値Ｒ3 の変
化量が微調整としてふさわしくなるように抵抗値Ｒ
1 と、Ｒ2とＲ3 の合成抵抗値との比、および抵抗値Ｒ
2 と抵抗値Ｒ3 との比を任意に設定すればよい。以下こ
の理由を説明する。抵抗値を微調整するには、一般的に
は、抵抗体を低抵抗領域と高抵抗領域に分けて低抵抗領
域の方をトリミングする。しかし、低抵抗値の場合、２
つの領域に分けるのが難しく（具体的には低抵抗領域の
確保が困難）、このため図３や図４の方法で対応せざる
を得なかった。
（Ｒ2 ＋Ｒ3 ）のうち、第３の抵抗体の抵抗値Ｒ3 の変
化量が微調整としてふさわしくなるように抵抗値Ｒ
1 と、Ｒ2とＲ3 の合成抵抗値との比、および抵抗値Ｒ
2 と抵抗値Ｒ3 との比を任意に設定すればよい。以下こ
の理由を説明する。抵抗値を微調整するには、一般的に
は、抵抗体を低抵抗領域と高抵抗領域に分けて低抵抗領
域の方をトリミングする。しかし、低抵抗値の場合、２
つの領域に分けるのが難しく（具体的には低抵抗領域の
確保が困難）、このため図３や図４の方法で対応せざる
を得なかった。
【００１４】図１に示す薄膜抵抗器の場合、上記の低抵
抗領域を確保するために、並列回路を形成している。こ
のときＲ2 を極小抵抗値にするとＲ2 ≒Ｒ2 ・Ｒ3 ／
（Ｒ2＋Ｒ3 ）となり、容易に低抵抗領域が形成でき
る。Ｒ2 はトリミングする領域でないため、抵抗体パタ
ーンを小さく（狭く）することができ容易に極小抵抗値
を得ることができる。
抗領域を確保するために、並列回路を形成している。こ
のときＲ2 を極小抵抗値にするとＲ2 ≒Ｒ2 ・Ｒ3 ／
（Ｒ2＋Ｒ3 ）となり、容易に低抵抗領域が形成でき
る。Ｒ2 はトリミングする領域でないため、抵抗体パタ
ーンを小さく（狭く）することができ容易に極小抵抗値
を得ることができる。
【００１５】また、Ｒ3 についてはトリミングする領域
のため、ある程度のエリアが必要であるが、Ｒ3 を適当
に大きくしてもＲ2 を極小にすることによりＲ3 による
合成抵抗Ｒ23＝Ｒ2 ・Ｒ3 ／（Ｒ2 ＋Ｒ3 ）への影響は
大きくならない。ただ、やみくもにＲ2 を小さく、Ｒ3
を大きくすることなく、抵抗値を微調整するのにふさわ
しくなるようＲ2 とＲ3 の比、及びＲ1 とＲ23との比を
任意に設定する必要がある。
のため、ある程度のエリアが必要であるが、Ｒ3 を適当
に大きくしてもＲ2 を極小にすることによりＲ3 による
合成抵抗Ｒ23＝Ｒ2 ・Ｒ3 ／（Ｒ2 ＋Ｒ3 ）への影響は
大きくならない。ただ、やみくもにＲ2 を小さく、Ｒ3
を大きくすることなく、抵抗値を微調整するのにふさわ
しくなるようＲ2 とＲ3 の比、及びＲ1 とＲ23との比を
任意に設定する必要がある。
【００１６】以上よりＲ3 の変化量は目標とする抵抗値
の精度に合わせて任意に設定が可能であり、またトリミ
ングによる抵抗値の変化は急な変化を起こすことなく、
常にほぼ一定にすることができる。なお、抵抗体パター
ンや電極パターンを変化すれば調整幅を任意に設定でき
るのは勿論である。
の精度に合わせて任意に設定が可能であり、またトリミ
ングによる抵抗値の変化は急な変化を起こすことなく、
常にほぼ一定にすることができる。なお、抵抗体パター
ンや電極パターンを変化すれば調整幅を任意に設定でき
るのは勿論である。
【００１７】
【発明の効果】以上説明したように、この発明に係る薄
膜抵抗器は、薄膜抵抗体を、完成抵抗値ＲK にほぼ等し
い抵抗値Ｒ1 の第１の抵抗部と、並列接続関係にある第
２と第３の抵抗部（両抵抗値はＲ2 ，Ｒ3 ）とに区分し
て、Ｒ2 ＜Ｒ3 の関係にある第３の抵抗部をトリミング
処理によって微調整している。
膜抵抗器は、薄膜抵抗体を、完成抵抗値ＲK にほぼ等し
い抵抗値Ｒ1 の第１の抵抗部と、並列接続関係にある第
２と第３の抵抗部（両抵抗値はＲ2 ，Ｒ3 ）とに区分し
て、Ｒ2 ＜Ｒ3 の関係にある第３の抵抗部をトリミング
処理によって微調整している。
【００１８】従って、一定且つ正確なトリミングを容易
に行うことが可能となる。また、トリミング位置などを
厳しく管理する必要もなくなるので、従来のように微調
整トリミングでスピードダウンするということがなくな
り、結果としてトリミング速度を上げることができる。
に行うことが可能となる。また、トリミング位置などを
厳しく管理する必要もなくなるので、従来のように微調
整トリミングでスピードダウンするということがなくな
り、結果としてトリミング速度を上げることができる。
【図１】この発明の一実施例である薄膜抵抗器を概略図
で図示したものである。
で図示したものである。
【図２】図１の薄膜抵抗器の等価回路を図示したもので
ある。
ある。
【図３】従来の薄膜抵抗器を概略図で示したものであ
る。
る。
【図４】従来の別の薄膜抵抗器を概略図で示したもので
ある。
ある。
１-1，１-2 電極部 ２-1 第１の抵抗体 ２-2 第２の抵抗体 ２-3 第３の抵抗体 ３ 導体部 ５ トリミング部
Claims (1)
- 【請求項１】２つの電極部と、この電極部間に形成され
ている薄膜抵抗体とを備える薄膜抵抗器において、 前記薄膜抵抗体の途中部分に設けられる導体部と、 この導体部と前記電極部の一方側電極との間に形成さ
れ、抵抗値がこの薄膜抵抗器の完成抵抗値にほぼ等しい
第１の抵抗部と、 前記導体部と前記電極部の他方側電極との間に形成され
る薄膜抵抗体のうち、抵抗値が相対的に小さい第２の抵
抗部と、 この第２の抵抗部と並列接続の関係にあり、抵抗値が相
対的に大きい第３の抵抗部と、 この第３の抵抗部の適宜な箇所に設けられ、薄膜抵抗体
を切条する為のトリミング部とを備えることを特徴とす
る薄膜抵抗器。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4050516A JPH05251202A (ja) | 1992-03-09 | 1992-03-09 | 薄膜抵抗器 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4050516A JPH05251202A (ja) | 1992-03-09 | 1992-03-09 | 薄膜抵抗器 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05251202A true JPH05251202A (ja) | 1993-09-28 |
Family
ID=12861141
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4050516A Pending JPH05251202A (ja) | 1992-03-09 | 1992-03-09 | 薄膜抵抗器 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH05251202A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US9668348B2 (en) | 2014-10-06 | 2017-05-30 | Samsung Electro-Mechanics Co., Ltd. | Multi-terminal electronic component, method of manufacturing the same, and board having the same |
| US9754705B2 (en) | 2014-11-04 | 2017-09-05 | Samsung Electro-Mechanics Co., Ltd. | Resistor, method of manufacturing the same, and board having the same |
-
1992
- 1992-03-09 JP JP4050516A patent/JPH05251202A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US9668348B2 (en) | 2014-10-06 | 2017-05-30 | Samsung Electro-Mechanics Co., Ltd. | Multi-terminal electronic component, method of manufacturing the same, and board having the same |
| US9754705B2 (en) | 2014-11-04 | 2017-09-05 | Samsung Electro-Mechanics Co., Ltd. | Resistor, method of manufacturing the same, and board having the same |
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