JPH05240712A - 温度測定用センサー及び半導体装置の製造装置 - Google Patents
温度測定用センサー及び半導体装置の製造装置Info
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- JPH05240712A JPH05240712A JP4040796A JP4079692A JPH05240712A JP H05240712 A JPH05240712 A JP H05240712A JP 4040796 A JP4040796 A JP 4040796A JP 4079692 A JP4079692 A JP 4079692A JP H05240712 A JPH05240712 A JP H05240712A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 半導体装置の製造装置に設けた温度測定用セ
ンサーの構造の改良に関し、熱電対の高温耐熱絶縁被覆
材及び補償導線の被覆材が障害を受けるのを防止するこ
とを目的とする。 【構成】 高温耐熱絶縁被覆材により被覆され、少なく
とも先端部が外気と遮断されるように石英管４内に封入
されている熱電対１と、電気的導通を得るように熱電対
１と接続されている外部被覆材7bで被覆されている補償
導線とから構成されている温度測定用センサーにおい
て、石英管４に熱電対１と補償導線の結節点を有し、石
英管４内から石英管４外にわたって補償導線を被覆する
外部被覆材7bを取り囲むように設けられる高柔軟性被覆
材３と、石英管４内の熱電対１の高温耐熱絶縁被覆材、
熱電対１と補償導線との結節点及び石英管４内の高柔軟
性被覆材３を石英管４内に固着するアルミナセメント５
とを具備するように構成する。
ンサーの構造の改良に関し、熱電対の高温耐熱絶縁被覆
材及び補償導線の被覆材が障害を受けるのを防止するこ
とを目的とする。 【構成】 高温耐熱絶縁被覆材により被覆され、少なく
とも先端部が外気と遮断されるように石英管４内に封入
されている熱電対１と、電気的導通を得るように熱電対
１と接続されている外部被覆材7bで被覆されている補償
導線とから構成されている温度測定用センサーにおい
て、石英管４に熱電対１と補償導線の結節点を有し、石
英管４内から石英管４外にわたって補償導線を被覆する
外部被覆材7bを取り囲むように設けられる高柔軟性被覆
材３と、石英管４内の熱電対１の高温耐熱絶縁被覆材、
熱電対１と補償導線との結節点及び石英管４内の高柔軟
性被覆材３を石英管４内に固着するアルミナセメント５
とを具備するように構成する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、半導体装置の製造装置
に設けた温度測定用センサーの構造の改良に関するもの
である。
に設けた温度測定用センサーの構造の改良に関するもの
である。
【０００２】化学気相成長装置などのように熱エネルギ
ーによって基板に膜を成長させる半導体装置の製造装置
においては、処理室内の被処理物の温度を制御するため
に設ける熱電対を、可能な限りこの被処理物に接近した
位置に配設して温度制御を行っている。
ーによって基板に膜を成長させる半導体装置の製造装置
においては、処理室内の被処理物の温度を制御するため
に設ける熱電対を、可能な限りこの被処理物に接近した
位置に配設して温度制御を行っている。
【０００３】特に化学気相成長装置においては処理室内
壁に多くの生成物が付着するので定期的に処理室内壁の
洗浄を屡々行わねばならない。このため分解を行う場合
に熱電対を半導体装置の製造装置から取り外したり、組
立を行う場合に熱電対を半導体装置の製造装置に取り付
けたりする際に熱電対の被覆が破損し易い。
壁に多くの生成物が付着するので定期的に処理室内壁の
洗浄を屡々行わねばならない。このため分解を行う場合
に熱電対を半導体装置の製造装置から取り外したり、組
立を行う場合に熱電対を半導体装置の製造装置に取り付
けたりする際に熱電対の被覆が破損し易い。
【０００４】以上のような状況から、被覆が破損しにく
いようにすることが可能な構造の温度測定用センサーを
具備する半導体装置の製造装置が要望されている。
いようにすることが可能な構造の温度測定用センサーを
具備する半導体装置の製造装置が要望されている。
【０００５】
【従来の技術】従来のアルミナセメントを用いた温度測
定用センサー及び半導体装置の製造装置について図３に
より詳細に説明する。
定用センサー及び半導体装置の製造装置について図３に
より詳細に説明する。
【０００６】図３は従来の温度測定用センサーを示す図
である。図３(a) に示すように、処理室８内の被処理物
９に近接して配設されている白金−白金ロジウムからな
る熱電対11は、図３(b) のＥ−Ｅ断面詳細図に示すよう
に、ネクステルと称する細線を編んだ構造の高温耐熱絶
縁被覆材12a 及び高温耐熱絶縁被覆材12b で被覆されて
石英管14内に封入されており、この高温耐熱絶縁被覆材
12b が熱収縮チューブからなる高柔軟性被覆材13で被覆
されてこの石英管14の開口部近傍でアルミナセメント15
により石英管14内に固着されている。
である。図３(a) に示すように、処理室８内の被処理物
９に近接して配設されている白金−白金ロジウムからな
る熱電対11は、図３(b) のＥ−Ｅ断面詳細図に示すよう
に、ネクステルと称する細線を編んだ構造の高温耐熱絶
縁被覆材12a 及び高温耐熱絶縁被覆材12b で被覆されて
石英管14内に封入されており、この高温耐熱絶縁被覆材
12b が熱収縮チューブからなる高柔軟性被覆材13で被覆
されてこの石英管14の開口部近傍でアルミナセメント15
により石英管14内に固着されている。
【０００７】石英管14外の高温耐熱絶縁被覆材2bで被覆
されている熱電対11は図３(c) のＦ−Ｆ断面詳細図に示
すように、アルミナセメント15で石英管14に固着されて
いない部分の高柔軟性被覆材13によって保護されてい
る。
されている熱電対11は図３(c) のＦ−Ｆ断面詳細図に示
すように、アルミナセメント15で石英管14に固着されて
いない部分の高柔軟性被覆材13によって保護されてい
る。
【０００８】図３(a) に示すように、この高柔軟性被覆
材13で被覆された熱電対11の端部と補償導線16の端部と
はこのアルミナセメント15で固定された部分の近傍にお
いて接続されている。
材13で被覆された熱電対11の端部と補償導線16の端部と
はこのアルミナセメント15で固定された部分の近傍にお
いて接続されている。
【０００９】この補償導線16は自由に動かすことが可能
であるため、外力が加わるとアルミナセメント15の表面
部のエッジによりこの高柔軟性被覆材13が破損する障害
が発生して絶縁不良が生じ易くなっている。
であるため、外力が加わるとアルミナセメント15の表面
部のエッジによりこの高柔軟性被覆材13が破損する障害
が発生して絶縁不良が生じ易くなっている。
【００１０】
【発明が解決しようとする課題】以上説明した従来の温
度測定用センサーにおいては、熱電対を被覆する高温耐
熱絶縁被覆材が細線を編んだ構造のために障害を受け易
いので、この高温耐熱絶縁被覆材の周囲に高柔軟性被覆
材を被覆しているが、この高柔軟性被覆材が周囲のアル
ミナセメントの端面部のエッジにより破損するという障
害が発生し、絶縁不良が生じ易くなり、長期間にわたり
反復使用できる回数が減少するという問題点があった。
度測定用センサーにおいては、熱電対を被覆する高温耐
熱絶縁被覆材が細線を編んだ構造のために障害を受け易
いので、この高温耐熱絶縁被覆材の周囲に高柔軟性被覆
材を被覆しているが、この高柔軟性被覆材が周囲のアル
ミナセメントの端面部のエッジにより破損するという障
害が発生し、絶縁不良が生じ易くなり、長期間にわたり
反復使用できる回数が減少するという問題点があった。
【００１１】本発明は以上のような状況から、熱電対を
被覆している高温耐熱絶縁被覆材、熱電対と補償導線と
の結節点及び高温耐熱絶縁被覆材の周囲を被覆する高柔
軟性被覆材をアルミナセメントで石英管に固着し、熱電
対の高温耐熱絶縁被覆材が障害を受けるのを防止するこ
とが可能となる温度測定用センサーを具備する半導体装
置の製造装置の提供を目的としたものである。
被覆している高温耐熱絶縁被覆材、熱電対と補償導線と
の結節点及び高温耐熱絶縁被覆材の周囲を被覆する高柔
軟性被覆材をアルミナセメントで石英管に固着し、熱電
対の高温耐熱絶縁被覆材が障害を受けるのを防止するこ
とが可能となる温度測定用センサーを具備する半導体装
置の製造装置の提供を目的としたものである。
【００１２】
【課題を解決するための手段】本発明の温度測定用セン
サーは、高温耐熱絶縁被覆材により被覆され、少なくと
も先端部が外気と遮断されるように管内に封入されてい
る熱電対と、電気的導通を得るようにこの熱電対と接続
されている内部被覆材と外部被覆材で被覆されている導
線とから構成されている温度測定用センサーにおいて、
この管内にこの熱電対とこの導線の結節点を有し、この
管内からこの管外にわたってこの導線を被覆する外部被
覆材を取り囲むように設けられる高柔軟性被覆材と、こ
の管内のこの高温耐熱絶縁被覆材、この熱電対とこの導
線との結節点及びこの管内のこの高柔軟性被覆材をこの
管内に固着する高温耐熱セメントとを具備するように構
成する。
サーは、高温耐熱絶縁被覆材により被覆され、少なくと
も先端部が外気と遮断されるように管内に封入されてい
る熱電対と、電気的導通を得るようにこの熱電対と接続
されている内部被覆材と外部被覆材で被覆されている導
線とから構成されている温度測定用センサーにおいて、
この管内にこの熱電対とこの導線の結節点を有し、この
管内からこの管外にわたってこの導線を被覆する外部被
覆材を取り囲むように設けられる高柔軟性被覆材と、こ
の管内のこの高温耐熱絶縁被覆材、この熱電対とこの導
線との結節点及びこの管内のこの高柔軟性被覆材をこの
管内に固着する高温耐熱セメントとを具備するように構
成する。
【００１３】本発明の半導体装置の製造装置は、被処理
物を配置して熱処理する処理室内に上記の温度測定用セ
ンサーを擁するように構成する。
物を配置して熱処理する処理室内に上記の温度測定用セ
ンサーを擁するように構成する。
【００１４】
【作用】即ち本発明においては、熱電対を被覆している
高温耐熱絶縁被覆材、熱電対と補償導線との結節点及び
補償導線の外部被覆材の周囲を被覆する高柔軟性被覆材
をアルミナセメントで石英管に固着し、更にこの高柔軟
性被覆材により石英管外の補償導線の周囲をも被覆して
いるので、熱電対及び補償導線の被覆材が障害を受ける
のを防止することが可能となる。
高温耐熱絶縁被覆材、熱電対と補償導線との結節点及び
補償導線の外部被覆材の周囲を被覆する高柔軟性被覆材
をアルミナセメントで石英管に固着し、更にこの高柔軟
性被覆材により石英管外の補償導線の周囲をも被覆して
いるので、熱電対及び補償導線の被覆材が障害を受ける
のを防止することが可能となる。
【００１５】
【実施例】以下図１〜図２により本発明のアルミナセメ
ントを用いた一実施例について詳細に説明する。
ントを用いた一実施例について詳細に説明する。
【００１６】図１は本発明による一実施例を示す図、図
２は図１の断面詳細図である。図１に示すように、処理
室８内の被処理物９に近接して配設されている、白金−
白金ロジウムからなる熱電対１は、図２(a) のＡ−Ａ断
面詳細図に示すようにネクステルと称する細線を編んだ
高温耐熱絶縁被覆材2a及び高温耐熱絶縁被覆材2bで被覆
されている。この熱電対１は石英管４内に封入されてお
り、この高温耐熱絶縁被覆材2bと石英管４との間はアル
ミナセメント５が充填されている。
２は図１の断面詳細図である。図１に示すように、処理
室８内の被処理物９に近接して配設されている、白金−
白金ロジウムからなる熱電対１は、図２(a) のＡ−Ａ断
面詳細図に示すようにネクステルと称する細線を編んだ
高温耐熱絶縁被覆材2a及び高温耐熱絶縁被覆材2bで被覆
されている。この熱電対１は石英管４内に封入されてお
り、この高温耐熱絶縁被覆材2bと石英管４との間はアル
ミナセメント５が充填されている。
【００１７】熱電対１と接続するために外部被覆材7bが
除去され内部被覆材7aのみで被覆されている補償導線６
は図２(b) のＢ−Ｂ断面詳細図に示すように、補償導線
６の内部被覆材7aと石英管４との間にはアルミナセメン
ト５が充填されている。この熱電対１と補償導線６との
結節点も図１に示すようにアルミナセメント５で固定さ
れている。
除去され内部被覆材7aのみで被覆されている補償導線６
は図２(b) のＢ−Ｂ断面詳細図に示すように、補償導線
６の内部被覆材7aと石英管４との間にはアルミナセメン
ト５が充填されている。この熱電対１と補償導線６との
結節点も図１に示すようにアルミナセメント５で固定さ
れている。
【００１８】この石英管４の開口部の直近の内部では図
２(c) のＣ−Ｃ断面詳細図に示すように、この外部被覆
材7bの周囲は高柔軟性被覆材３で被覆され、この高柔軟
性被覆材３と石英管４との間にはアルミナセメント５が
充填されている。
２(c) のＣ−Ｃ断面詳細図に示すように、この外部被覆
材7bの周囲は高柔軟性被覆材３で被覆され、この高柔軟
性被覆材３と石英管４との間にはアルミナセメント５が
充填されている。
【００１９】この石英管４の開口部の直近の外部におい
ては、図２(d) のＤ−Ｄ断面詳細図に示すように、この
外部被覆材7bの周囲は高柔軟性被覆材３で被覆されてい
る。このように熱電対１を被覆する高温耐熱絶縁被覆材
2b、熱電対１と補償導線６との結節点及び補償導線６の
外部被覆材7bの周囲を被覆している高柔軟性被覆材３が
アルミナセメント５で石英管４に固着されており、この
アルミナセメント５より外部の補償導線６は自由に動か
すことが可能であるが、内部被覆材7aと外部被覆材7bに
より被覆されている補償導線６は、高温耐熱絶縁被覆材
2aと高温耐熱絶縁被覆材2bにより被覆されている熱電対
１よりも可動範囲が狭く、アルミナセメント５の表面近
傍のこの補償導線６に外力が加えられることがあって
も、アルミナセメント５のエッジで補償導線６の外部被
覆材7bに損傷を与えることがなくなり、補償導線６の被
覆の損傷により絶縁不良が発生することがなくなる。
ては、図２(d) のＤ−Ｄ断面詳細図に示すように、この
外部被覆材7bの周囲は高柔軟性被覆材３で被覆されてい
る。このように熱電対１を被覆する高温耐熱絶縁被覆材
2b、熱電対１と補償導線６との結節点及び補償導線６の
外部被覆材7bの周囲を被覆している高柔軟性被覆材３が
アルミナセメント５で石英管４に固着されており、この
アルミナセメント５より外部の補償導線６は自由に動か
すことが可能であるが、内部被覆材7aと外部被覆材7bに
より被覆されている補償導線６は、高温耐熱絶縁被覆材
2aと高温耐熱絶縁被覆材2bにより被覆されている熱電対
１よりも可動範囲が狭く、アルミナセメント５の表面近
傍のこの補償導線６に外力が加えられることがあって
も、アルミナセメント５のエッジで補償導線６の外部被
覆材7bに損傷を与えることがなくなり、補償導線６の被
覆の損傷により絶縁不良が発生することがなくなる。
【００２０】
【発明の効果】以上の説明から明らかなように本発明に
よれば、極めて簡単な被覆構造の変更により熱電対の絶
縁不良を防止することが可能となる利点があり、著しい
経済的及び、信頼性向上の効果が期待できる温度測定用
センサー及び半導体装置の製造装置の提供が可能であ
る。
よれば、極めて簡単な被覆構造の変更により熱電対の絶
縁不良を防止することが可能となる利点があり、著しい
経済的及び、信頼性向上の効果が期待できる温度測定用
センサー及び半導体装置の製造装置の提供が可能であ
る。
【図１】 本発明による一実施例を示す図、
【図２】 図１の断面詳細図、
【図３】 従来の温度測定用センサーを示す図、
１は熱電対、 2aは高温耐熱絶縁被覆材、 2bは高温耐熱絶縁被覆材、 ３は高柔軟性被覆材、 ４は石英管、 ５はアルミナセメント、 ６は補償導線、 7aは内部被覆材、 7bは外部被覆材、 ８は処理室、 ９は被処理物、
Claims (2)
- 【請求項１】 高温耐熱絶縁被覆材(2a,2b) により被覆
され、少なくとも先端部が外気と遮断されるように管
(4)内に封入されている熱電対(1)と、電気的導通を得る
ように該熱電対(1) と接続されている内部被覆材(7a)と
外部被覆材(7b)で被覆されている導線(6) とから構成さ
れている温度測定用センサーにおいて、 前記管(4) 内に前記熱電対(1) と前記導線(6) の結節点
を有し、前記管(4) 内から前記管(4) 外にわたって前記
導線(6) を被覆する外部被覆材(7b)を取り囲むように設
けられる高柔軟性被覆材(3) と、 前記管(4) 内の前記高温耐熱絶縁被覆材(2a,2b) 、前記
熱電対(1) と前記導線(6) との結節点及び前記管(4) 内
の前記高柔軟性被覆材(3) を前記管(4) 内に固着する高
温耐熱セメント(5) と、 を具備することを特徴とする温度測定用センサー。 - 【請求項２】 被処理物(9) を配置して熱処理する処理
室(8) 内に、請求項１記載の温度測定用センサーを擁す
ることを特徴とする半導体装置の製造装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4040796A JPH05240712A (ja) | 1992-02-27 | 1992-02-27 | 温度測定用センサー及び半導体装置の製造装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4040796A JPH05240712A (ja) | 1992-02-27 | 1992-02-27 | 温度測定用センサー及び半導体装置の製造装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05240712A true JPH05240712A (ja) | 1993-09-17 |
Family
ID=12590589
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4040796A Withdrawn JPH05240712A (ja) | 1992-02-27 | 1992-02-27 | 温度測定用センサー及び半導体装置の製造装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH05240712A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN103698028A (zh) * | 2014-01-07 | 2014-04-02 | 上海华虹宏力半导体制造有限公司 | 适于保护热电偶的管套及测量反应腔内温度的方法 |
| EP3503326A1 (en) * | 2017-12-19 | 2019-06-26 | United Technologies Corporation | Hybrid electrical harness and method of making |
-
1992
- 1992-02-27 JP JP4040796A patent/JPH05240712A/ja not_active Withdrawn
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN103698028A (zh) * | 2014-01-07 | 2014-04-02 | 上海华虹宏力半导体制造有限公司 | 适于保护热电偶的管套及测量反应腔内温度的方法 |
| EP3503326A1 (en) * | 2017-12-19 | 2019-06-26 | United Technologies Corporation | Hybrid electrical harness and method of making |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Application deemed to be withdrawn because no request for examination was validly filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 19990518 |