JPH0524021A - 凹凸表面を有するセラミツク部材及びその製造方法 - Google Patents
凹凸表面を有するセラミツク部材及びその製造方法Info
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- JPH0524021A JPH0524021A JP3207592A JP20759291A JPH0524021A JP H0524021 A JPH0524021 A JP H0524021A JP 3207592 A JP3207592 A JP 3207592A JP 20759291 A JP20759291 A JP 20759291A JP H0524021 A JPH0524021 A JP H0524021A
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- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16C—SHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
- F16C17/00—Sliding-contact bearings for exclusively rotary movement
- F16C17/02—Sliding-contact bearings for exclusively rotary movement for radial load only
- F16C17/026—Sliding-contact bearings for exclusively rotary movement for radial load only with helical grooves in the bearing surface to generate hydrodynamic pressure, e.g. herringbone grooves
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16C—SHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
- F16C33/00—Parts of bearings; Special methods for making bearings or parts thereof
- F16C33/02—Parts of sliding-contact bearings
- F16C33/04—Brasses; Bushes; Linings
- F16C33/043—Sliding surface consisting mainly of ceramics, cermets or hard carbon, e.g. diamond like carbon [DLC]
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- Press-Shaping Or Shaping Using Conveyers (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 高精度且つ平滑で耐熱衝撃性等に優れた凹凸
表面のセラミック部材が容易に得られるようにする。 【構成】 表面に凹凸１ａを有するセラミック部材１
は、炭化珪素，タングステンカーバイド等の粉末材料を
加圧成形して得られたセラミック塑性体１´を、その表
面に凹凸成形型３を押付けることによって凹凸１´ａを
形成させた上で、焼成して得られる。
表面のセラミック部材が容易に得られるようにする。 【構成】 表面に凹凸１ａを有するセラミック部材１
は、炭化珪素，タングステンカーバイド等の粉末材料を
加圧成形して得られたセラミック塑性体１´を、その表
面に凹凸成形型３を押付けることによって凹凸１´ａを
形成させた上で、焼成して得られる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、動圧流体軸受のジャー
ナル等の如く凹凸表面を有するセラミック部材及びこれ
を製造するための方法に関するものである。
ナル等の如く凹凸表面を有するセラミック部材及びこれ
を製造するための方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】例えば、動圧流体軸受にあっては、表面
に動圧発生溝を形成したセラミック製のジャーナルが使
用されているが、このような凹凸表面を有するセラミッ
ク部材は、一般に、炭化珪素等の粉末材料を加圧成形し
たものを焼成した上、この焼結体の表面に凹溝等の凹凸
を形成することによって、得られる。
に動圧発生溝を形成したセラミック製のジャーナルが使
用されているが、このような凹凸表面を有するセラミッ
ク部材は、一般に、炭化珪素等の粉末材料を加圧成形し
たものを焼成した上、この焼結体の表面に凹溝等の凹凸
を形成することによって、得られる。
【０００３】ところで、焼成して得られる焼結体は極め
て硬質且つ脆いものであり、通常の切削加工によっては
凹溝等を形成し難いことから、従来にあっては、焼結体
の表面にサンドブラスト法，化学エッチング法，放電加
工法，レーザ加工法等の特殊な表面加工法により凹凸を
形成するようにしている。
て硬質且つ脆いものであり、通常の切削加工によっては
凹溝等を形成し難いことから、従来にあっては、焼結体
の表面にサンドブラスト法，化学エッチング法，放電加
工法，レーザ加工法等の特殊な表面加工法により凹凸を
形成するようにしている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかし、このような表
面加工法により焼結体の表面に凹凸を形成して得られる
従来のセラミック部材は、凹凸の表面粗度，形状精度，
強度において問題があり、その用途が大幅に制限されて
いるのが実情である。
面加工法により焼結体の表面に凹凸を形成して得られる
従来のセラミック部材は、凹凸の表面粗度，形状精度，
強度において問題があり、その用途が大幅に制限されて
いるのが実情である。
【０００５】すなわち、焼結後のセラミックについて
は、その構成要素である結晶粒と結晶間の粒界とで機械
的強度，化学的性質が全く異なるため、焼結体にサンド
ブラスト法又は化学エッチング法による表面加工を施し
た場合、サンドブラストによる破砕加工や化学エッチン
グによる腐食の進行度合が結晶粒と粒界とで異なること
になり、一般に、２μＲａ以下の面粗度を得ることは極
めて困難である。したがって、例えば、かかる表面加工
を施して得られるセラミック部材を回転ジャーナルとし
て使用した動圧流体軸受にあっては、動圧発生溝の表面
粗度が大きいために、１０4 r.p.m.を越える高速回転時
では空気の粘性による抵抗が大きくなって、動力損失や
発熱量が大きくなったり、ジャーナルと軸受部とのクリ
アランスが熱膨張により変動したりするといった好まし
くない現象が生じ易い。
は、その構成要素である結晶粒と結晶間の粒界とで機械
的強度，化学的性質が全く異なるため、焼結体にサンド
ブラスト法又は化学エッチング法による表面加工を施し
た場合、サンドブラストによる破砕加工や化学エッチン
グによる腐食の進行度合が結晶粒と粒界とで異なること
になり、一般に、２μＲａ以下の面粗度を得ることは極
めて困難である。したがって、例えば、かかる表面加工
を施して得られるセラミック部材を回転ジャーナルとし
て使用した動圧流体軸受にあっては、動圧発生溝の表面
粗度が大きいために、１０4 r.p.m.を越える高速回転時
では空気の粘性による抵抗が大きくなって、動力損失や
発熱量が大きくなったり、ジャーナルと軸受部とのクリ
アランスが熱膨張により変動したりするといった好まし
くない現象が生じ易い。
【０００６】また、セラミック部材が、焼結体に放電加
工，レーザ加工等による表面加工を施したものである場
合には、凹凸の加工精度（特に、動圧発生溝等の隅部の
加工精度）が低く、設計通りの精密な凹凸表面が要求さ
れる用途においては使用し難い。
工，レーザ加工等による表面加工を施したものである場
合には、凹凸の加工精度（特に、動圧発生溝等の隅部の
加工精度）が低く、設計通りの精密な凹凸表面が要求さ
れる用途においては使用し難い。
【０００７】さらに、サンドブラスト法やレーザ加工法
等によって表面加工を施したセラミック部材にあって
は、凹凸表面に加工変質層が残るため、熱衝撃等に対す
る耐力が低下して、クラック等を生じる虞れがある。
等によって表面加工を施したセラミック部材にあって
は、凹凸表面に加工変質層が残るため、熱衝撃等に対す
る耐力が低下して、クラック等を生じる虞れがある。
【０００８】また、上記の表面加工法は、何れも、複雑
な工程を必要とするものであり、多分に一品制作的な手
法であるため、凹凸表面を有するセラミック部材の製造
を容易に且つ経済的に行い得ない。しかも、加工できる
セラミック材質や形成できる表面形状には限度があるた
め、得られるセラミック部材の用途が大幅に制限され
る。
な工程を必要とするものであり、多分に一品制作的な手
法であるため、凹凸表面を有するセラミック部材の製造
を容易に且つ経済的に行い得ない。しかも、加工できる
セラミック材質や形成できる表面形状には限度があるた
め、得られるセラミック部材の用途が大幅に制限され
る。
【０００９】本発明は、かかる点に鑑みてなされたもの
で、表面粗度が小さく且つ耐熱衝撃性等に優れた製作誤
差の少ない凹凸表面を有するセラミック部材と提供する
と共に、これを容易に且つ経済的に製造しうる方法を提
供することを目的とするものである。
で、表面粗度が小さく且つ耐熱衝撃性等に優れた製作誤
差の少ない凹凸表面を有するセラミック部材と提供する
と共に、これを容易に且つ経済的に製造しうる方法を提
供することを目的とするものである。
【００１０】
【課題を解決するための手段】この課題を解決した本発
明のセラミック部材は、セラミック成形体を焼成してな
るものであって、特に、セラミック成形体が、粉末セラ
ミック材料を加圧成形してなる塑性体の表面に塑性変形
による凹凸が形成されたものであることを特徴とするも
のである。なお、セラミック部材には、狭義のセラミッ
ク部材の他、金属粉末を成形・焼成して得られる焼結金
属製部材も含まれる。また、セラミック材料としては、
ＳｉＣ，ＷＣ，ＴｉＣ，Ｂ4 Ｃ等の炭化物セラミックを
使用するのが好ましい。また、このセラミック部材を製
造するための本発明の方法は、粉末セラミック材料を加
圧成形して得られたセラミック塑性体を、その表面に凹
凸成形型を押付けることによって凹凸を形成させた上
で、焼成するようにするものである。なお、焼成には、
最終的な焼結処理の他、粉末セラミック材料の成形時に
添加される結合剤，可塑剤，分散剤等の成形助剤を除去
するために行う熱処理等が含まれる。
明のセラミック部材は、セラミック成形体を焼成してな
るものであって、特に、セラミック成形体が、粉末セラ
ミック材料を加圧成形してなる塑性体の表面に塑性変形
による凹凸が形成されたものであることを特徴とするも
のである。なお、セラミック部材には、狭義のセラミッ
ク部材の他、金属粉末を成形・焼成して得られる焼結金
属製部材も含まれる。また、セラミック材料としては、
ＳｉＣ，ＷＣ，ＴｉＣ，Ｂ4 Ｃ等の炭化物セラミックを
使用するのが好ましい。また、このセラミック部材を製
造するための本発明の方法は、粉末セラミック材料を加
圧成形して得られたセラミック塑性体を、その表面に凹
凸成形型を押付けることによって凹凸を形成させた上
で、焼成するようにするものである。なお、焼成には、
最終的な焼結処理の他、粉末セラミック材料の成形時に
添加される結合剤，可塑剤，分散剤等の成形助剤を除去
するために行う熱処理等が含まれる。
【００１１】
【作用】粉末セラミック材料を加圧成形して得られるセ
ラミックス塑性体は、或る程度の塑性を有するものであ
るから、その表面に凹凸成形型を押付けると、塑性変形
により成形型通りの凹凸形状が正確に形成され、成形型
の表面粗さに略一致する表面粗度の凹凸が形成されるこ
とになる。
ラミックス塑性体は、或る程度の塑性を有するものであ
るから、その表面に凹凸成形型を押付けると、塑性変形
により成形型通りの凹凸形状が正確に形成され、成形型
の表面粗さに略一致する表面粗度の凹凸が形成されるこ
とになる。
【００１２】したがって、このように塑性変形による凹
凸が形成されたセラミック成形体を焼成することによ
り、成形型の加工精度，表面粗さに応じた凹凸形状のセ
ラミック部材を得ることができる。而して、成形型（例
えば金型）を高精度で表面粗さの極めて小さいものに製
作しておくことは容易であるから、かかる成形型を使用
することによって、設計通りに正確な形状であり且つ極
めて緻密な表面粗度（例えば、０．５μＲａ以下）の凹
凸を表面に有するセラミック部材を得ることができる。
しかも、かかるセラミック部材を得る場合において、セ
ラミック材質や凹凸形状が冒頭で述べた如く制限される
ようなこともない。
凸が形成されたセラミック成形体を焼成することによ
り、成形型の加工精度，表面粗さに応じた凹凸形状のセ
ラミック部材を得ることができる。而して、成形型（例
えば金型）を高精度で表面粗さの極めて小さいものに製
作しておくことは容易であるから、かかる成形型を使用
することによって、設計通りに正確な形状であり且つ極
めて緻密な表面粗度（例えば、０．５μＲａ以下）の凹
凸を表面に有するセラミック部材を得ることができる。
しかも、かかるセラミック部材を得る場合において、セ
ラミック材質や凹凸形状が冒頭で述べた如く制限される
ようなこともない。
【００１３】また、上記セラミック部材は、焼結前の段
階で塑性加工により凹凸を形成させたものであるから、
凹凸を形成することにより発生する内部応力は焼成工程
において緩和され、クラック等の各種外力による破壊も
生じ難いものである。
階で塑性加工により凹凸を形成させたものであるから、
凹凸を形成することにより発生する内部応力は焼成工程
において緩和され、クラック等の各種外力による破壊も
生じ難いものである。
【００１４】
【実施例】以下、本発明を図１〜図７に示す各実施例に
基づいて具体的に説明する。
基づいて具体的に説明する。
【００１５】第１実施例は、本発明を図３に示す動圧流
体軸受のジャーナル１を製造する場合に適用したもので
ある。この動圧流体軸受は、ジャーナル１の外周面に形
成した動圧発生溝１ａにより、ジャーナル１とラジアル
軸受筒２との対向面間に動圧を発生させ、両者１，２を
高速且つ円滑に相対回転させるうるように構成されてい
る。
体軸受のジャーナル１を製造する場合に適用したもので
ある。この動圧流体軸受は、ジャーナル１の外周面に形
成した動圧発生溝１ａにより、ジャーナル１とラジアル
軸受筒２との対向面間に動圧を発生させ、両者１，２を
高速且つ円滑に相対回転させるうるように構成されてい
る。
【００１６】すなわち、第１実施例にあっては、まず、
炭化珪素やタングステンカーバイド等の粉末材料（適宜
の成形助剤を含む）を加圧成形して、ジャーナル１の形
状に対応する中実軸形状のセラミック塑性体１´を得
る。
炭化珪素やタングステンカーバイド等の粉末材料（適宜
の成形助剤を含む）を加圧成形して、ジャーナル１の形
状に対応する中実軸形状のセラミック塑性体１´を得
る。
【００１７】次に、図１及び図２に示す如く、セラミッ
ク塑性体１´の外周面に、動圧発生溝１ａに対応する形
状の凸条３ａを成形面に形成した回転体形状の成形型３
を押付け、成形型３をセラミック塑性体１´の外周面に
押付けながら相対的に転動させる。成形型３としては、
一般に、加工精度が高く且つ表面粗さを小さくできる金
型が使用される。
ク塑性体１´の外周面に、動圧発生溝１ａに対応する形
状の凸条３ａを成形面に形成した回転体形状の成形型３
を押付け、成形型３をセラミック塑性体１´の外周面に
押付けながら相対的に転動させる。成形型３としては、
一般に、加工精度が高く且つ表面粗さを小さくできる金
型が使用される。
【００１８】成形型３の相対転動に伴って、セラミック
塑性体１´の外周面には凸条３ａによる凹溝１´ａが形
成されていく。かかる凹溝１´ａの形成は、セラミック
塑性体１´が未焼成のもので或る程度の塑性を有するも
のであることから、容易に行われる。
塑性体１´の外周面には凸条３ａによる凹溝１´ａが形
成されていく。かかる凹溝１´ａの形成は、セラミック
塑性体１´が未焼成のもので或る程度の塑性を有するも
のであることから、容易に行われる。
【００１９】そして、成形型３が一回転すると、セラミ
ック塑性体１´の周方向全面に動圧発生溝１ａに相当す
る凹溝１´ａが形成されて、被焼成部材たるセラミック
成形体が得られる。
ック塑性体１´の周方向全面に動圧発生溝１ａに相当す
る凹溝１´ａが形成されて、被焼成部材たるセラミック
成形体が得られる。
【００２０】しかる後、このセラミック成形体を焼成す
る。すなわち、成形助剤の除去処理等のための低温焼成
及び焼結温度での本焼成を行うのである。
る。すなわち、成形助剤の除去処理等のための低温焼成
及び焼結温度での本焼成を行うのである。
【００２１】かくして、図３に示す如き外周面に動圧溝
１ａが形成されたセラミック部材たるジャーナル１が容
易に得られるのである。
１ａが形成されたセラミック部材たるジャーナル１が容
易に得られるのである。
【００２２】ところで、図３に示す如き動圧流体軸受に
あっては、ジャーナル１側に動圧発生溝１ａを形成せ
ず、ラジアル軸受筒２の内周面に動圧発生溝を形成して
おく場合があるが、本発明によれば、このように内周面
に凹凸を有する筒状のセラミック部材についても、上記
実施例同様に容易に製造することができる。
あっては、ジャーナル１側に動圧発生溝１ａを形成せ
ず、ラジアル軸受筒２の内周面に動圧発生溝を形成して
おく場合があるが、本発明によれば、このように内周面
に凹凸を有する筒状のセラミック部材についても、上記
実施例同様に容易に製造することができる。
【００２３】すなわち、第２実施例は、かかるラジアル
軸受筒２を製造する例に係り、粉末材料をラジアル軸受
筒２に対応する円筒形状に加圧成形し、得られたセラミ
ック塑性体２´の内周面に、図４に示す如く、動圧発生
溝に対応する形状の凸条４ａを形成した回転体形状の成
形型４を押付けながら相対的に転動させていくことによ
って、凸条４ａに対応する凹溝２´ａを全面的に形成さ
せ、しかる後、これを焼成するものである。
軸受筒２を製造する例に係り、粉末材料をラジアル軸受
筒２に対応する円筒形状に加圧成形し、得られたセラミ
ック塑性体２´の内周面に、図４に示す如く、動圧発生
溝に対応する形状の凸条４ａを形成した回転体形状の成
形型４を押付けながら相対的に転動させていくことによ
って、凸条４ａに対応する凹溝２´ａを全面的に形成さ
せ、しかる後、これを焼成するものである。
【００２４】また、動圧流体軸受にあっては、図６及び
図７に示す如く、ジャーナル１の下端面に対向するスラ
スト軸受板６に螺旋状の動圧発生溝６ａを形成して、ジ
ャーナル１のスラスト荷重を受けるようにすることがあ
るが、かかるスラスト軸受板６のような非回転体形状の
セラミック部材についても、容易に製造することができ
る。
図７に示す如く、ジャーナル１の下端面に対向するスラ
スト軸受板６に螺旋状の動圧発生溝６ａを形成して、ジ
ャーナル１のスラスト荷重を受けるようにすることがあ
るが、かかるスラスト軸受板６のような非回転体形状の
セラミック部材についても、容易に製造することができ
る。
【００２５】すなわち、第３実施例は、上記したスラス
ト軸受板６を製造する例に係り、粉末材料をスラスト軸
受板６に対応する円盤形状に加圧成形し、得られたセラ
ミック塑性体６´の上面に、図５に示す如く、動圧発生
溝６ａに対応する螺旋形状の凸条７ａを形成した成形型
７を押付けることによって、凸条７ａに対応する凹溝７
´ａを形成させ、しかる後、これを焼成するものであ
る。
ト軸受板６を製造する例に係り、粉末材料をスラスト軸
受板６に対応する円盤形状に加圧成形し、得られたセラ
ミック塑性体６´の上面に、図５に示す如く、動圧発生
溝６ａに対応する螺旋形状の凸条７ａを形成した成形型
７を押付けることによって、凸条７ａに対応する凹溝７
´ａを形成させ、しかる後、これを焼成するものであ
る。
【００２６】上記各実施例においては、溝深さの浅い凹
溝１ａ，６ａを有する動圧流体軸受の構成部材１，２，
６を製造する場合について説明したが、本発明では、セ
ラミック部材表面の凹凸を焼成前の段階で塑性加工する
ようにしているから、成形型の成形面形状やセラミック
塑性体への押付け形態を変更することによって、用途に
応じた表面形状，表面粗度のセラミック部材を容易に得
ることができるのである。勿論、本発明では、凹凸表面
を形成するに当たって、セラミック材質や溝深さ，溝幅
等の表面形状に特に制限はないが、凹溝の溝深さを１〜
２００μｍ（より好ましくは５０μｍ以下）としておく
場合には、本発明の効果が最大限発揮されることになる
であろう。
溝１ａ，６ａを有する動圧流体軸受の構成部材１，２，
６を製造する場合について説明したが、本発明では、セ
ラミック部材表面の凹凸を焼成前の段階で塑性加工する
ようにしているから、成形型の成形面形状やセラミック
塑性体への押付け形態を変更することによって、用途に
応じた表面形状，表面粗度のセラミック部材を容易に得
ることができるのである。勿論、本発明では、凹凸表面
を形成するに当たって、セラミック材質や溝深さ，溝幅
等の表面形状に特に制限はないが、凹溝の溝深さを１〜
２００μｍ（より好ましくは５０μｍ以下）としておく
場合には、本発明の効果が最大限発揮されることになる
であろう。
【００２７】
【発明の効果】以上の説明から明らかなように、本発明
によれば、耐熱衝撃性等に優れ、設計通りに正確で且つ
表面粗さの極めて緻密な凹凸表面を有するセラミック部
材を提供できる。また、塑性を有する焼成前の段階で凹
凸を形成するようにしたから、素材の材質に拘わらず、
凹凸表面を有するセラミック部材を容易に製造すること
ができ、大量生産により製造コストを大幅に低減するこ
とができる。しかも、成形型の形状，加工精度，表面粗
さによって部材表面の凹凸形状（溝深さ，溝幅等），加
工精度，表面粗度を自由に変更することができ、セラミ
ック部材の用途を大幅に拡大することができる。
によれば、耐熱衝撃性等に優れ、設計通りに正確で且つ
表面粗さの極めて緻密な凹凸表面を有するセラミック部
材を提供できる。また、塑性を有する焼成前の段階で凹
凸を形成するようにしたから、素材の材質に拘わらず、
凹凸表面を有するセラミック部材を容易に製造すること
ができ、大量生産により製造コストを大幅に低減するこ
とができる。しかも、成形型の形状，加工精度，表面粗
さによって部材表面の凹凸形状（溝深さ，溝幅等），加
工精度，表面粗度を自由に変更することができ、セラミ
ック部材の用途を大幅に拡大することができる。
【図１】本発明に係る方法の第１実施例における凹凸表
面の形成工程を示す平面図である。
面の形成工程を示す平面図である。
【図２】図１のII−II線に沿う断面図である。
【図３】同方法により得られたセラミック部材を使用し
た動圧流体軸受の断面図である。
た動圧流体軸受の断面図である。
【図４】第２実施例の方法における凹凸表面の形成工程
を示す斜視図である。
を示す斜視図である。
【図５】第３実施例の方法における凹凸表面の形成工程
を示す断面図である。
を示す断面図である。
【図６】同方法により得られたセラミック部材を使用し
た動圧流体軸受の断面図である。
た動圧流体軸受の断面図である。
【図７】図６のＶII−ＶII線断面図である。
１…ジャーナル（セラミック部材）、１ａ，２ａ，６ａ
……動圧発生溝（セラミック部材の凹凸表面）、１´，
２´，６´…セラミック塑性体、１´ａ，２´ａ，６´
ａ…凹溝（塑性体表面に形成された凹凸）、２…ラジア
ル軸受筒（セラミック部材）、３，４，７…成形型、６
…スラスト軸受板（セラミック部材）。
……動圧発生溝（セラミック部材の凹凸表面）、１´，
２´，６´…セラミック塑性体、１´ａ，２´ａ，６´
ａ…凹溝（塑性体表面に形成された凹凸）、２…ラジア
ル軸受筒（セラミック部材）、３，４，７…成形型、６
…スラスト軸受板（セラミック部材）。
Claims (2)
- 【請求項１】 セラミック成形体を焼成してなるセラミ
ック部材であって、セラミック成形体が、炭化珪素，タ
ングステンカーバイド等の粉末セラミック材料を加圧成
形してなるセラミック塑性体の表面に塑性変形による凹
凸が形成されたものであることを特徴とする、凹凸表面
を有するセラミック部材。 - 【請求項２】 炭化珪素，タングステンカーバイド等の
粉末セラミック材料を加圧成形して得られたセラミック
塑性体を、その表面に凹凸成形型を押付けることによっ
て凹凸を形成させた上で、焼成するようにしたことを特
徴とする、凹凸表面を有するセラミック部材の製造方
法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3207592A JPH07115947B2 (ja) | 1991-07-23 | 1991-07-23 | セラミック製の動圧流体軸受部材及びその製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3207592A JPH07115947B2 (ja) | 1991-07-23 | 1991-07-23 | セラミック製の動圧流体軸受部材及びその製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0524021A true JPH0524021A (ja) | 1993-02-02 |
| JPH07115947B2 JPH07115947B2 (ja) | 1995-12-13 |
Family
ID=16542326
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3207592A Expired - Lifetime JPH07115947B2 (ja) | 1991-07-23 | 1991-07-23 | セラミック製の動圧流体軸受部材及びその製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH07115947B2 (ja) |
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1991
- 1991-07-23 JP JP3207592A patent/JPH07115947B2/ja not_active Expired - Lifetime
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Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH07115947B2 (ja) | 1995-12-13 |
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