JPH0523542U - 基板の回転保持装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 簡単な構造により、確実に基板の把持状態を
確認できる基板の回転保持装置を提供する。 【構成】 ウエハＷの外縁を把持するために使用される
少なくとも３本のチャックピンのうち、可動チャックピ
ン３の回転の度合いに応じて前記基板の把持状態を判断
する検出手段を設けると共に、前記可動チャックピンの
基板導入部３ｃの、把持部３ｂの前記ウエハＷ外縁に当
接する部分に対応する部分に切欠３ｄを設けたことを特
徴とする。

Description

【考案の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】

本考案は、基板の回転保持装置、特に半導体基板や液晶用又はフォトマスク用 ガラス基板等の薄板状基板（以下「ウエハ」という。）を回転させながら該ウエ ハの表面に所要の表面処理液を供給して表面処理を行う装置などにおいて用いら れる基板の回転保持装置に関する。

【０００２】

【従来技術】

一般に基板の回転保持装置としては大別してウエハの片面を真空吸着する真空 チャック方式のもの、あるいは、ウエハの外縁を３本以上の把持爪で把持するグ リップチャック方式のものがある。

【０００３】 真空式のものは、ウエハの一面しか処理できないことから、ウエハの両面を処 理する場合には通常後者のグリップチャック方式のものが用いられる。

【０００４】 しかしながら、グリップチャック方式のものは、その把持機構が複雑になり、 基板処理装置に用いられる場合には、当該薬液の影響を受け、機構部分が腐食さ れるという問題点があった。

【０００５】 このような問題点を解消するため、本願出願人は、すでにグリップチャック方 式の回転保持装置の改良に関する特許出願（特願昭６１−２８５７５２号）を行 っており、次に示すような基板の回転保持装置を提案している。

【０００６】 図５は、当該回転保持装置の回転台部分の平面図、図６は、図５の回転台部分 のＩ−Ｉ線における一部縦断面図、図７は、可動チャックピンの動作を示す図、 また図８は、各チャックピンによりウエハが把持されている様子を模式的に示す 図である。

【０００７】 図５に示すように、回転台１は、放射状に延びた６本のアーム１ａを有してお り、各アーム１ａの先端には、固定チャックピン２および、可動チャックピン３ が交互に立設されている。

【０００８】 また、図６に示すように回転台１は、回転駆動軸４の上部のフランジ４ａにボ ルト４ｂでしっかりと固定されている。

【０００９】 この回転駆動軸４は筒状になっており、内部を後述のアーム駆動軸５が回転自 在に貫通している。

【００１０】 上記の各チャックピン２，３の中ほどには、ウエハＷを載置するための段部２ ａ，３ａとその上部に設けられたウエハ把持部２ｂ，３ｂがあり、固定チャック ピン２の把持部２ｂの内面は、その断面がウエハＷと同様な円弧になるよう形成 され、可動チャックピン３の把持部３ｂの内面は、その断面が、ほぼ八の字にな るよう形成されている。

【００１１】 また、それぞれのチャックピン２，３の把持部２ｂ，３ｂの上部には、ウエハ Ｗを把持部２ｂ，３ｂに導入しやすいように基板導入部としてテーパ部２ｃ，３ ｃが設けられている。

【００１２】 可動チャックピン３は回転可能に前記アーム１ａに軸支されており、下部に揺 動アーム６が付設されている。この揺動アーム６は、操作リンク７を介してアー ム駆動軸５の上部に付設された円盤５ａに連結されており、該アーム駆動軸５を 回転台１に対して相対的に矢印Ａ方向に回転すると（図５）、操作リンク７が２ 点鎖線の位置から実線に示すような位置に移動し、これにより揺動アーム６が回 転台１に対し外側に揺動され、各可動チャックピン３が矢印Ｂ方向に回転される 。

【００１３】 当該可動チャックピン３の把持部３ｂ内面の断面形状は、上述のようにほぼ八 の字に形成されているので、当該可動チャックピン３のＢ方向の回転により把持 部３ｂのＰ面（図７）がウエハＷの外縁Ｗａに当接してこれを回転台１の中心方 向に付勢し、ウエハＷが各チャックピン２，３によって回転台１にしっかりと固 定される（図８、なお、説明の便宜上各チャックピン２，３の把持部２ｂ，３ｂ は断面で示してある。）。

【００１４】 このようにして、ウエハＷを回転台１に固定した状態で、回転駆動軸を図示し ない駆動手段によって高速回転し、例えば基板処理装置においては、当該回転中 のウエハＷの表面に所要の処理液を注入することにより所定のウエハ処理を行う ことができる。

【００１５】

【考案が解決しようとする課題】

しかしながら、上述のような基板の回転保持装置において、各チャックピン２ ，３がウエハＷをしっかりと把持していないと、回転台１の高速回転により、該 ウエハＷが、回転台１の外に投げ出され、該ウエハＷが破損するだけでなく、装 置自体も破損され、場合によっては人身事故にもなりかねない事態が生じる。

【００１６】 特に、自動化された基板処理装置にあっては、該ウエハＷの回転台１への受け 渡しは、すべて機械による搬送装置により操作されるため、該ウエハＷが正しく 各チャックピンの段部２ａ，３ａに載置され、確実に各把持部２ｂ，３ｂによっ て把持されているかを確認してから操作する必要がある。

【００１７】 上述のようなウエハＷが各チャックピン２，３によって把持されないという事 態は、該搬送装置がウエハＷを各チャックピン２，３の所定位置よりずれたとこ ろに載置するため、ウエハＷがいずれかのチャックピン２，３の先端やテーパ部 ２ｃ，３ｃに引っ掛かって斜めの状態のまま把持されることにより生じるもので ある。

【００１８】 したがってこのような斜めつかみの状態を事前に検知できるようにすればよい が、そのための検知手段として光電装置を利用することが考えられる。例えば前 記回転台１の外部に一対の投光手段と受光手段からなる少なくとも２組の光電装 置を設置する。それらの検出光が前記回転台１に平行で、かつ、各チェックピン の段部２ａ，３ａの少し上（少なくともウエハＷの厚さ以上）の高さになるよう にすると共に、回転台１の停止位置は、常に一定になるように制御されているの で、そのチェックピンの合間をぬって前記複数の検出光が異なる方向から投光さ れるように前記光電装置を設置する。

【００１９】 もし、ウエハＷが斜めになってチャックピン２，３上に載置されておれば、前 記複数の検出光のうち少なくとも一本はウエハＷによって遮光されるため、これ によりチャック状態の異常を知ることができる。

【００２０】 しかしながら、このような検知方法によると、当該光電装置の位置によっては 、ウエハＷが傾いているにもかかわらず、検出光が遮光されない場合も皆無とは いえず、また、ウエハＷが３本以上のチャックピン２，３の頭部に水平に載置さ れているような最悪の場合には、全ての検出光が遮光されず、検知器は正常把持 と判断してしまう。さらに、本件回転保持装置が基板処理装置などに組み込まれ て使用される場合においては、装置内で腐食性の強い処理液が大量に使用される ので、当該光電装置のセンサ部が直ぐに腐食されてしまうという欠点がある。

【００２１】 そこで、上記従来技術における把持機構が、アーム駆動軸５を回転駆動軸４に 対して相対的に回転させることにより把持するように構成されている点に鑑み、 当該相対回転角を検知することにより、ウエハＷの斜めつかみを防止する方法を 本願出願人らは考案した。

【００２２】 すなわち、図９Ａの略図に示すように、ウエハＷが実線のように各チャックピ ン２、３の段部２ａ，３ａ上に確実に載置されて水平に保持されているときは、 可動チャックピン３の把持部３ｂの当接面Ｐ（図７）が当該ウエハＷの外縁Ｗａ に確実に当接するので、図８に示すように可動チャックピン３は、一定角α以上 に回転することができず、これによりアーム駆動軸５も回転台１に対し一定角β （図３参照）以上に相対回転することができない。

【００２３】 一方、図９Ａの２点鎖線に示すように、ウエハＷの一部がいずれかのチャック ピン２，３の上端に引っ掛かって、回転台１に対し斜めに載置されていると、各 可動チャックピン３が自由に回転でき、アーム駆動軸５も前記一定角β以上に回 転可能になる。従って、アーム駆動軸５の相対回転角がβ以上になったとき、異 常信号を発するように回転角検知器を設定しておけば、ウエハＷが正しい位置に 把持されていないことを知ることができ、事故を未然に防止することができる。

【００２４】 このような方法によると、当該回転角検知器を基板処理部内ではなく、これと は隔離されたアーム駆動軸５下方に設けることができるので、処理液などの影響 を全く受けないという優れた効果がある。

【００２５】 しかしながら、このような方法によっても、当該ウエハＷの把持が正常でない にもかかわらず前記回転角検知器により正常と判断される場合があり、そのまま 回転駆動をしたため事故を起こす可能性があることが発見された。

【００２６】 すなわち、ウエハＷの外縁Ｗａの一部が、図９Ｂに示すように可動チャックピ ン３のテーパ部３ｃに引っ掛かった状態であると、当該可動チャックピン３を回 転させたとき、該テーパ部３ｃのテーパ面がウエハＷの外縁Ｗａに当接してしま い、その位置で可動チャックピン３の回転が停止してしまうので、これによりア ーム駆動軸６の相対回転も回転角β以上にならず、従って当該回転角検知器が異 常信号を発しないという問題があることが判明した。

【００２７】 本考案は、上述のような問題点を解消し、簡単な構造により、確実にウエハの 把持状態を確認できる基板の回転保持装置を提供することを目的とする。

【００２８】

【課題を解決するための手段】 上記目的を達成するため、本考案に係る基板の回転保持装置は、 回転台と、この回転台を回転駆動する駆動手段と、前記回転台に付設され基板 の外縁を把持する少なくとも３本のチャックピンとからなり、それぞれのチャッ クピンは、前記基板の外縁に当接してこれを把持する把持部と、該把持部に前記 基板を導く基板導入部を備え、かつ、少なくとも１本のチャックピンは前記回転 台に回転可能に軸支された可動チャックピンであってその把持部の断面形状が当 該可動チャックピンの回転により前記基板外縁をその中心方向に付勢するように 形成され、該可動チャックピンの回転操作により前記基板の把持・解除の動作を 行うようにした基板の回転保持装置において、 前記可動チャックピンの回転の度合いに応じて前記基板の把持状態を判断する 検出手段を設けると共に、前記可動チャックピンの基板導入部において、前記基 板外縁に当接する部分に、切欠を設けたことを特徴とする。

【００２９】

【作用】

ウエハＷの外縁Ｗａの一部が、可動チャックピンの導入部に引っ掛かっても、 当該導入部のうち、可動チャックピンを回転することにより前記基板に当接する 部分に切欠を設けているので、当該可動チャックピンは、拘束を受けず自由に回 転でき、前記可動チャックピンの回転の度合いに応じて前記基板の把持状態を判 断する検出手段は、確実にウエハＷの各チャックピンによる把持が正常でないこ と検知することができる。

【００３０】

【実施例】

以下、図面を参照して本考案にかかる基板の回転保持装置の一実施例を詳細に 説明するが、本考案の技術的範囲がこれによって限定されるものではないことは もちろんである。

【００３１】 以下の図面において図５〜図９と同じ符号を付したものは、同じ内容を示すの で、説明は省略される。

【００３２】 図１は、本考案にかかる基板の回転保持装置の一実施例を組み込んだ基板処理 装置を示す一部縦断面図である。

【００３３】 回転駆動軸４は、基板処理装置１１の処理室を区画形成するカップ１２内へ突 設されており、上部に回転ヘッド１３を有し、この回転ヘッド１３の上面に回転 台１が固定されている。

【００３４】 当該回転駆動軸４は筒状に形成されており、内部をアーム駆動軸５が貫通され る。該アーム駆動軸５の上端には円盤５ａが付設され、この円盤５ａと、可動チ ャックピン３の下部に設けられた揺動アーム６が、操作リンク７によって連結さ れる。

【００３５】 図２に、前記回転台１のアーム１ａに軸支された可動チャックピン３の形状を 示す。

【００３６】 図２Ａは、可動チャックピン３の正面図であり、把持部３ｂのウエハＷと当接 する部分の上方のテーパ部３ｃ（図の斜線部）がカットされて切欠部３ｄが形成 されており、図２Ｂの斜視図に示すような外観をしている。

【００３７】 このように可動チャックピン３のテーパ部３ｃに切欠部３ｄを設けたので、図 ８Ｂに示すようにウエハＷの外縁Ｗａが、当該テーパ部３ｃにひっかって斜めに なっている状態において可動チャックピン３を回転させても、ウエハＷの外縁Ｗ ａは、切欠部３ｄに入り込み可動チャックピン３の回転が拘束されない（図２Ｃ ）。従って前記アーム駆動軸５の回転が規制されずに当該回転角がβ以上となり 、後述の回転角検知器２５により、チャック状態の異常が確実に検知される。

【００３８】 図１にもどり、回転駆動軸４は、軸受１４を介して、基台１５に回転可能に保 持されており、その下方に付設されたプーリ１６と駆動モータ１７の駆動プーリ １７ａに掛けられたベルト１８により回転駆動される。

【００３９】 同回転駆動軸４に付設された円盤状のフランジ１９の周囲の所定の位置には、 係合穴１９ａが設けられており、一方、基台１５の当該フランジ１９に対応する 位置には、クランプ装置２０が配設されている。このクランプ装置２０はアクチ ュエータ２０ａと、これにより左右に駆動されるロッド２０ｂからなり、このロ ッド２０ｂを右方に駆動することにより、その先端部２０ｃを、前記フランジ１ ９の係合穴１９ａに係合させ、所定位置で回転台１を固定できるようになってい る。

【００４０】 回転駆動軸４の最下端にはフランジ２１が形成され、このフランジ２１には下 方にピン２１ａが突設されている。一方アーム駆動軸５にも水平方向にピン２２ が設けられ、このピン２１ａとピン２２の間には、引っ張りバネ２３が介設され る（図３）。これにより、アーム駆動軸５が図５におけるＡ方向に付勢され、可 動チャックピン３は、ウエハＷを常にチャックする状態になる。

【００４１】 また、２４は、チャック解除装置であり、アクチュエータ２４ａとロッド２４ ｂとからなる。チャック状態の解除は、回転台１の回転を定位置で停止させた後 、クランプ装置２０により回転駆動軸４を固定し、チャック解除装置２４のアク チュエータ２４ａがロッド２４ｂを伸長させ、これにより上記ピン２２を引っ張 りバネ２３の引っ張り方向と反対の方向に付勢することによりなされる。

【００４２】 図３に図１のアーム駆動軸５のピン２２の部分を上から見た図を示す。

【００４３】 アーム駆動軸５が必要以上に回転し過ぎないようにストッパピン２２ａがアー ム駆動軸５に付設されており、一定角度γになるとこのストッパピン２２ａが、 前記ピン２１ａに係合してアーム駆動軸５の相対回転を停止させる（但し、γ≧ β）。

【００４４】 アーム駆動軸５の最下部には、該アーム駆動軸５の相対回転角を検知する回転 角検知器２５が設けられている。この回転角検知器２５は、図３に示すように遮 光円板２５ａと投光手段及び受光手段を持つ光電センサ２５ｂからなっており、 該アーム駆動軸５の相対回転角が、基準位置から一定角β以上になると遮光円板 ２５ａが、基台１５に固定された光電センサ２５ｂの光軸２５ｃを遮蔽し、光電 センサ２５ｂからその旨の信号が制御装置２６に送られる。制御装置２６ではそ の信号を受けて、警報を発し、ウエハＷが正常に把持されていないことをオペレ ータに知らせる。

【００４５】 上記において、回転台１は、制御装置２６およびクランプ装置２０により必ず 定位置に停止して固定されるように構成されているので、光電センサ２５ｂは本 実施例のように基台１５に付設されていても、アーム駆動軸６の相対回転角を正 確に検知することができる。

【００４６】 しかしながら、この場合、回転台１を回転している際には、チャック状態を検 知することができないので、回転の最中にも常にチャック状態を確認したい場合 には、当該遮光円板２５ａをフランジ１９の直ぐ下方のアーム駆動軸５に付設し 、光電センサ２５ｂを当該フランジ１９に固定し、この光電センサの信号を同じ くフランジ１９に設けられた小型送信機により、別途設けられた受信機に送信す るようにするようにしてもよい。

【００４７】 なお、遮光円板２５ａは、必要な部分のみ遮光する単なる遮光板でもよいが、 高速回転の際、軸回りのアンバランスによる軸ぶれがないように、開放部分２５ ｄはできるだけ小さくなるよう形成する方が望ましい。例えば、図４の如く、遮 光円盤２５ａの開放部分は第１開放部分２５ｅ，第２開放部分２５ｆのみ小さく 形成し、以下のように制御する。すなわち、図４（イ）のようにアクチュエータ ２４ａのロッド２４ｂが伸長し、さらに遮光円盤２５ａの第１開放部分２５ｅが 光電センサ２５ｂの光軸２５ｃを遮光しない位置にある時、換言すればロッド２ ４ｂが伸長状態であり、かつ、光電センサ２５ｂの受光手段が投光を受光してい る状態にある時は、本装置はウエハＷを供給，排出可能な状態である。次に図４ （ロ）のようにロッド２４ｂが縮短状態でかつ光電センサ２５ｂの受光手段が受 光してない状態にある時、ウエハＷをチャックしていて回転可能な状態である。 また、図４（ハ）のように、ロッド２４ｂが縮短状態でかつ、第２開放部分２５ ｆにより受光手段が受光状態である時は、把持異常状態である。

【００４８】 また、上述の一定角βの大きさは、前述のように可動チャックピン３が基準位 置から回転してその把持部３ｂの当接面ＰがウエハＷの外縁Ｗａに当接するまで の角度α（図８）によって一義的に決定されるものである。

【００４９】 なお、２７は、回転駆動軸４の回転速度や、停止位置を検出するための公知の エンコーダ装置であり、周囲に多数の切欠を有する円板２７ａとこの切欠の位置 に光軸を有する光電センサ２７ｂからなる。このエンコーダ装置２７からの信号 は制御装置２６でカウントされており、これにより当該回転速度を制御し、また 回転台１が常に一定位置に停止して、クランプ装置２０によりクランプされるよ うに制御する。

【００５０】 基台１５の下方に位置するアクチュエータ２９は、保持装置がウエハＷを図示 しないウエハ搬送装置から受けとるとき、回転台１を基台１５ごと上方に持ち上 げるためのものであり、３０、３０´は、そのためのガイド棒であり、基台１５ を摺動可能に貫通している。

【００５１】 また、３１、３２は、薬液や純水などをウエハＷの表面および裏面に供給する ための処理液供給ノズルであり、図示しない処理液供給装置に接続されている。

【００５２】 なお、基板処理装置１１の全ての動作は、制御装置２６によって制御されるよ うになっており、以下に当該動作を簡単に説明する。

【００５３】 まず、ウエハＷを図示しないウエハ搬送手段によって搬送し、回転台１の上方 に保持させる。次に、チャック解除装置２４で可動チャックピン３をチャック解 除の状態にし、アクチュエータ２９により回転台１を上方に移動させ、ウエハＷ を把持する（図の２点鎖線）。この際、可動チャックピン３の回転による把持動 作を２回するようにしており、回転角検知器２５による検知は、２回目の把持動 作の際に行うように設定されている。これにより、ウエハＷが最初に正しく回転 台１上に載置されていなくても、可動チャックピン３による一回目の把持動作で 、たいていの場合正しく載置することができ、それでも駄目な場合は２回目の把 持動作の際に回転角検知器２５によるエラーチェックが働き、把持状態の異常を 知らせるようになっている。なお、このような予備的な把持動作は一回に限らず 必要に応じ数回行ってもよい。

【００５４】 このとき、もし、把持状態の異常があれば、回転角検知器２５からの信号によ り制御装置２６は異常信号を発して、オペレータに警告すると共に、以後の基板 処理の動作を停止するようになっており、オペレータは、手で正しい位置にウエ ハＷを載置してから動作を再開させる。

【００５５】 回転角検知器２５で当該ウエハＷが正確に把持されたことが確認されると、回 転台１が下がって定位置に戻り、クランプ装置２０が解除されて、駆動モータ１ ７により回転駆動軸４が所定回転速度で回転する。エンコーダ装置２７の検知信 号は制御装置２６に送られ、回転駆動軸５の回転速度がフィードバック制御され る。

【００５６】 回転台１が回転駆動されているとき、処理液供給ノズル３１、３２から所要の 処理液が供給され、ウエハＷの表面処理が行われる。

【００５７】 処理後、上記フィードバック制御により、回転台１が定位置になるよう停止さ れ、クランプ装置２０により、回転駆動軸４をクランプした後、アクチュエータ ２９で回転台１を上昇させ、上述と反対の動作で、ウエハＷをウエハ搬送手段に 受け渡して、基板処理の動作が終了する。

【００５８】 なお、上述の実施例において、アクチュエータ２０、２４，２９は空気式のも のでも油圧式のものでもよく、特にアクチュエータ２０は電磁式のものでも使用 可能であり、また、アクチュエータ２９は、ボールネジによるネジ送り機構を使 用してもよい。

【００５９】 また、チャック動作のためアーム駆動軸５に設けられた付勢手段は、本実施例 のように引っ張りバネ２３を使用するのが一番簡易で確実な方法であるが、この ような方法に限らず、この部分に電磁石などを設けることも可能であり、さらに は、アーム駆動軸５にトルク負荷用の円盤を設け、回転駆動軸４の回転に抗して 該円盤にわずかな機械的抵抗を負荷することにより当該回転駆動軸４とアーム駆 動軸５を相対的に回転させてチャック動作をさせるようにすることも可能である 。

【００６０】 また、回転角検知器２５は、本実施例のように遮光円盤２５ａと光電センサ２ ５ｂの組み合わせに限られず、より簡便な方法としては、例えば上記ピン２１ａ にピン２２ａが当接したときに信号を発するようにリミットスイッチなどを付設 してもよい。

【００６１】 また、上述のように可動チャック３の回転の度合いを、アーム駆動軸５の回転 角によって間接的にチェックする方法ではなく、例えば、可動チャック３の回転 軸に非腐食性の反射鏡を付設し、この反射鏡に外部から光線を照射し、この反射 角度をセンサ部が非腐食性処理された光センサで検知することによって直接可動 チャック３の回転をチェックするように構成することも可能である。

【００６２】 また、可動チャックピン３の把持部３ｂの内面の断面形状は、上記のようにほ ぼ八の字の形状に限定されるものではなく、要するに可動チャックピン３の回転 軸に対して偏心していて、当該可動チャックピン３の一定方向の回転により、当 該把持部３ｂの当接面が回転台の中心方向に近くなるような形状のものであれば どのような形状でもよい。また、固定チャックピン２の把持部２ｂの断面形状も 上記のように円弧状でなく、可動チャックピン３と同様八の字類似の形状にして ウエハＷをより挿入しやすくすることも可能である。

【００６３】 また、本実施例における回転台１のチャックピン２，３の数は、ウエハＷの外 縁にオリエンテイション・フラットが形成されている場合でも、確実にウエハＷ を把持できるように計６本としたが、オリエンテイション・フラットによる位置 決めが可能なウエハ搬送装置により、回転台１への載置を行うものであれば、最 低３本（うち少なくとも１本は可動チャックピン）で所与の目的を達成できるも のである。

【００６４】 また、本考案は、上記実施例のような基板処理装置だけでなく、およそ基板を 保持して回転させる装置において適用可能である。

【００６５】

【考案の効果】

本考案に係る基板の回転保持装置は、上述のように、ウエハＷの外縁Ｗａの一 部が、可動チャックピンの基板導入部に引っ掛かっても、可動チャックピンを回 転することにより前記基板に当接する部分に切欠を設けているので、当該可動チ ャックピンは、拘束を受けず自由に回転でき、前記可動チャックピンの回転の度 合いに応じて前記基板の把持状態を判断する検出手段は、ウエハＷの把持が正常 でないことを確実に検知することができる。

【００６６】 これにより、基板の回転保持装置が高速回転したときに、ウエハＷが飛び出し て、ウエハＷ自身が破損したり、装置が破損される事故を未然に防ぐことが可能 になった。

【図面の簡単な説明】

【図１】本考案の一実施例に係る基板の回転保持装置を
基板処理装置に組み込んだ図である。

【図２】本実施例に係る可動チャックピンの形状を説明
する図である。

【図３】本実施例のおけるチャック解除装置および回転
角検知器の部分の構成を示す図である。

【図４】回転角検知器の動作を説明する図である。

【図５】従来の基板回転保持装置の回転台の部分を上方
から見た図である。

【図６】図５の基板回転保持装置の回転台部分の一部縦
断面図である。

【図７】従来の可動チャックピンの把持動作を説明する
図である。

【図８】従来のチャックピンによるウエハの把持状態を
示す図である

【図９】ウエハの回転台上への載置状態を示す図であ
る。

【符号の説明】

１ 回転台 ２ 固定チャックピン ３ 可動チャックピン ４ 回転駆動軸 ５ アーム駆動軸 ６ 揺動アーム ７ 操作リンク １１ 基板処理装置 １２ カップ ２０ クランプ装置 ２１ フランジ ２１ａ，２２ ピン ２３ 引っ張りバネ ２４ チャック解除装置 ２５ 回転角検知器 ２６ 制御装置 ２９ アクチュエータ

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 【請求項１】 回転台と、この回転台を回転駆動する駆
   動手段と、前記回転台に付設され基板の外縁を把持する
   少なくとも３本のチャックピンとからなり、それぞれの
   チャックピンは、前記基板の外縁に当接してこれを把持
   する把持部と、該把持部に前記基板を導く基板導入部と
   を備え、かつ、少なくとも１本のチャックピンは前記回
   転台に回転可能に軸支された可動チャックピンであって
   その把持部の断面形状が当該可動チャックピンの回転に
   より前記基板外縁をその中心方向に付勢するように形成
   され、該可動チャックピンの回転操作により前記基板の
   把持・解除の動作を行うようにした基板の回転保持装置
   において、 前記可動チャックピンの回転の度合いに応じて前記基板
   の把持状態を判断する検出手段を設けると共に、前記可
   動チャックピンの基板導入部において、前記基板外縁に
   当接する部分に、切欠を設けたことを特徴とする基板の
   回転保持装置。