JPH05232139A - プローブユニット - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】本発明はプローブユニットに関し、構造を簡単
にし、かつ、プロービング時における測定対象の破壊を
防止することを目的とする。 【構成】保持ブロック１内に先端を突出させて保持され
る可動子２と複数のプローブ３、３・・とを有し、前記
可動子２はプローブ３の突出方向に進退自在で、かつ、
突出方向に付勢されるとともに、前記保持ブロック１と
可動子２には、可動子２がプローブ３の許容移動量に達
した際に互いに接触する接点部１ａ、２ａが設けられ、
前記接点部１ａ、２ａ同士の接触を各接点部１ａ、２ａ
に接続された信号線１ｂ、２ｂにより検知するように構
成する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明はプローブユニットに関す
るものである。プローブユニットは、保持ブロックによ
り複数のプローブを保持し、各プローブの探触部を例え
ばプリント基板に実装された素子のリード部、あるいは
探触用パッドに圧接させて各部の信号を測定するのに使
用される。

【０００２】ここで、探触部から正しい信号を取り出す
には、探触部と測定対象間が確実に接触し、さらには両
者の接触抵抗が可及的に低くすることが必要であり、探
触部により測定対象を所定の加圧力で押圧する必要があ
る。かかる加圧力は、１ピン当りでは微小なものである
が、数百本のプローブが埋設されたプローブユニットに
おける加圧力の合計は相当圧に達し、加圧力が大きすぎ
る場合には、プリント基板等の破損、パッドへの受傷等
を惹起する。

【０００３】かかる事情の下測定対象への加圧力を適正
に管理することのできるプローブユニットが求められて
いる。

【０００４】

【従来の技術】従来、プローブユニットの加圧力の管理
は、機械的なストッパを昇降装置に設けたり、あるい
は、昇降装置の降下量を管理することにより行われてい
た。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】しかし、前者のもの
は、ストッパの設定にズレが生じやすく、後者のものに
おいては、各プローブユニットにおけるバラツキを個別
に管理をすることが困難である上に、構造が複雑になる
という欠点を有するものであった。

【０００６】本発明は、以上の欠点を解消すべくなされ
たものであって、構造が簡単で、かつ、プロービング時
に測定対象を破壊することのないプローブユニットを提
供することを目的とする。

【０００７】

【課題を解決するための手段】本発明によれば上記目的
は、実施例に対応する図１に示すように、保持ブロック
１内に先端を突出させて保持される可動子２と複数のプ
ローブ３、３・・とを有し、前記可動子２はプローブ３
の突出方向に進退自在で、かつ、突出方向に付勢される
とともに、前記保持ブロック１と可動子２には、可動子
２がプローブ３の許容移動量に達した際に互いに接触す
る接点部１ａ、２ａが設けられ、前記接点部１ａ、２ａ
同士の接触を各接点部１ａ、２ａに接続された信号線１
ｂ、２ｂにより検知するプローブユニットを提供するこ
とにより達成される。

【０００８】

【作用】プローブユニットは保持ブロック１内に進退自
在に保持される可動子２を有する。可動子２は、プロー
ブ３の後退に伴って後退し、該プローブ３の適正押し込
み量に合致する位置で保持ブロック１側の接点部１ａに
接触する。

【０００９】可動子２と保持ブロック１とに設けられた
接点部１ａ、２ａ同士の接触により、信号線１ｂ、２ｂ
を含む回路には電気的な変化を生じ、これを停止信号と
して検出してプローブユニットの駆動を停止すると、プ
ローブユニットの押し込み量を常に一定に管理すること
が可能となる。

【００１０】

【実施例】以下、本発明の望ましい実施例を添付図面に
基づいて詳細に説明する。図４に本発明に係るプローブ
ユニットが搭載された測定装置の全体を示す。測定装置
は、アップダウンシリンダ４により上下駆動されるベー
ス体５と、該ベース体５に装着されるアップダウンモー
タ６と、該アップダウンモータ６によりベース体５を上
下駆動されるユニット保持部７とを有し、プローブユニ
ットＡはユニット保持部７に固定される。

【００１１】なお、図４において８はベース体５をアッ
プダウンシリンダ４に固定するためのナット、９はベー
ス体５に連結され、該ベース体５の落下を防止するため
の吊下スプリング、１０はユニット保持部７の上端に装
着されるショックアブソーバ、１１はショックアブソー
バ用ストッパ、１２はストッパ用ブロックを示す。

【００１２】図１以下にプローブユニットの詳細を示
す。プローブユニットは、保持ブロック１により複数の
プローブ３、３・・を保持して形成され、各プローブ３
は先端の探触部３ａを表面から所定長さ突出させて装着
される。

【００１３】保持ブロック１は、可動子保持ブロック１
Ａと、固定子保持ブロック１Ｂと、ベースブロック１Ｃ
とを有し、各ブロック１Ａ、１Ｂ、１Ｃはガイドピン１
３により正規位置にガイドされて組み立てられ、プロー
ブ３はこれらブロック１Ａ、１Ｂ、１Ｃを貫通するよう
に装着される。

【００１４】可動子保持ブロック１Ａは多数のプローブ
挿通孔が穿孔された正面視正方形状のヘッド部１４を有
し、その中心に穿孔された可動子挿通孔１５に可動子２
が挿通される。可動子２は、先端部を可動子保持ブロッ
ク１Ａから突出させた状態で進退自在に装着され、その
後端面と後述する固定子との間に縮設されるスプリング
１６により前方に付勢される。

【００１５】この結果、プローブユニットが駆動されて
プローブ３がプリント基板等の測定対象に当接すると略
同時に先端が測定対象に当接し、プローブ３の後退に伴
って後方に摺動する。また、可動子２は後端部に接点部
２ａを有し、該接点部２ａに信号線２ｂが接続される。

【００１６】一方、固定子保持ブロック１Ｂはベースブ
ロック１Ｃの貫通孔１７ｃに連通する貫通孔１７ｂを有
し、これら両ブロック１Ｂ、１Ｃの貫通孔１７ｂ、１７
ｃに固定子１８が挿通される。固定子１８は中空パイプ
状に形成され、その中空部内に上記可動子２からの信号
線２ｂが挿通され、ベースブロック１Ｃの後方に引き出
される。

【００１７】上記固定子１８は、先端に接点部１ａを有
するとともに、後端に信号線１ｂが接続され、上述した
可動子２がプローブ３の後退に伴って後退した際に該可
動子２の接点部２ａと接触する。接点部１ａ、２ａ間の
距離、すなわち、接点部１ａ、２ａ同士の接触のタイミ
ングは、プローブ３を前方へ付勢している図示しないス
プリングの反力、あるいは、プローブ３の撓みにより測
定対象に負荷される荷重が許容量以下の適正な値を取る
ように決定される。

【００１８】次に、上記プローブユニットの動作を説明
する。先ず、測定装置を駆動してプローブユニットをプ
リント基板等の測定対象に向けて降下させると、プロー
ブ３の先端が測定対象に当接し、その後、該プローブ３
は後方に後退しつつ測定対象を押圧する。

【００１９】プローブ３の測定対象への接触と略同時に
可動子２の先端が測定対象に当接し、プローブ３の後退
に従って後方に摺動し、やがてプローブ３の撓みが設定
値に達すると、可動子２と固定子１８の接点部１ａ、２
ａ同士が接触して信号線１ｂ、２ｂを含むネットには例
えば抵抗値の変化等が生じ、これを停止信号として検出
してプローブユニットの駆動が停止される。

【００２０】

【発明の効果】以上の説明から明らかなように、本発明
によれば、プローブユニットの限界押し込み量を信号線
から取り出すことができるので、プロービングに伴う測
定対象の破壊等を防止するすることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の実施例を示す図である。

【図２】本発明の要部を示す図である。

【図３】図１のＡ方向矢視図である。

【図４】測定装置を示す全体図である。

【符号の説明】

１ 保持ブロック ２ 可動子 １ａ，２ａ 接点部 １ｂ、２ｂ 信号線 ３ プローブ

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】保持ブロック(１)内に先端を突出させて保
   持される可動子(２)と複数のプローブ(３、３・・)とを
   有し、 前記可動子(２)はプローブ(３)の突出方向に進退自在
   で、かつ、突出方向に付勢されるとともに、 前記保持ブロック(１)と可動子(２)には、可動子(２)が
   プローブ(３)の許容移動量に達した際に互いに接触する
   接点部(１ａ、２ａ)が設けられ、 前記接点部(１ａ、２ａ)同士の接触を各接点部(１ａ、
   ２ａ)に接続された信号線(１ｂ、２ｂ)により検知する
   プローブユニット。