JPH05232025A - Icp発光分光分析装置 - Google Patents

Icp発光分光分析装置

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Publication number
JPH05232025A
JPH05232025A JP3317692A JP3317692A JPH05232025A JP H05232025 A JPH05232025 A JP H05232025A JP 3317692 A JP3317692 A JP 3317692A JP 3317692 A JP3317692 A JP 3317692A JP H05232025 A JPH05232025 A JP H05232025A
Authority
JP
Japan
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sample
vibrator
sample aerosol
carrier gas
ultrasonic
Prior art date
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Pending
Application number
JP3317692A
Other languages
English (en)
Inventor
Hitoshi Hiromichi
仁 広道
Kensuke Daiho
健介 大穂
Koji Okada
幸治 岡田
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Shimadzu Corp
Original Assignee
Shimadzu Corp
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Filing date
Publication date
Application filed by Shimadzu Corp filed Critical Shimadzu Corp
Priority to JP3317692A priority Critical patent/JPH05232025A/ja
Publication of JPH05232025A publication Critical patent/JPH05232025A/ja
Pending legal-status Critical Current

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Abstract

(57)【要約】 【目的】 ICP発光分光分析装置において、超音波ネ
ブライザでの試料エアロゾルの発生量を増やして、検出
感度を高める。 【構成】 超音波ネブライザ1を有するICP発光分光
分析装置において、超音波ネブライザ1の霧化室5での
キャリアガス流入方向が超音波振動子6に向かう方向に
設定されている構成とした。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、ICP(高周波誘導結
合プラズマ)発光分光分析装置に係り、詳しくは、液体
試料をエアロゾル化する超音波ネブライザの構造に関す
る。
【0002】
【従来の技術】ICP発光分光分析装置には、超音波ネ
ブライザにより液体試料をエアロゾル化して、プラズマ
トーチに導入するようにしたものがある。
【0003】図2に、従来のこの種のICP発光分光分
析装置の要部の構成を示す。同図において、符号1は超
音波ネブライザ、2はプラズマトーチである。超音波ネ
ブライザ1は、超音波振動により液体試料を霧化するネ
ブライザ本体3と、脱溶媒部4とからなる。ネブライザ
本体3は、霧化室5内に超音波振動子6を設けたもの
で、試料容器7からポンプ8の駆動により供給管9を通
じて送り込まれた液体試料Sが超音波振動子6の表面で
霧化する。10は、超音波振動子6を冷却するための冷
却ブロックである。脱溶媒部4は、ネブライザ本体3か
ら流入する試料エアロゾルを加熱と冷却とにより細粒子
化するとともに、試料エアロゾルから溶媒を取り除く。
脱溶媒部4を通過した試料エアロゾルは、搬送管を通じ
てプラズマトーチ2に搬送される。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】ところで、超音波ネブ
ライザ1は、霧吹き方式のネブライザに比べると、粒径
の細かい試料エアロゾルができ、また、キャリアガスの
供給量に関係なく試料エアロゾルの量を調整できる、等
の利点があるが、これに対しては、さらに試料エアロゾ
ルを高密度に発生させてプラズマトーチ2での検出感度
を高めたい、という要請がある。
【0005】そこで、従来の超音波ネブライザ1の構造
を検討してみると、従来のものでは、キャリアガスの流
入口5aが霧化室5の出口5b側に向けて開口してお
り、キャリアガスが試料エアロゾルの流出すべき方向に
沿って流入するようになっている。このような構造は、
霧化室5からプラズマトーチ2に至る試料エアロゾルの
流れを円滑にするが、試料エアロゾルの発生量を増やす
には充分に役立っておらず、超音波振動子6の近傍で
は、試料エアロゾルが飽和状態になりやすい。そのた
め、試料エアロゾルの密度を高めるには限度がある。
【0006】本発明は、上記の問題点に鑑みてなされた
ものであって、超音波ネブライザでの試料エアロゾルの
発生量を増やして、検出感度を高めることを課題とす
る。
【0007】
【課題を解決するための手段】本発明のICP発光分光
分析装置は、上記の課題を達成するために、超音波ネブ
ライザを備え、この超音波ネブライザは、その霧化室内
に振動体が配備され、この振動体の表面に液体試料を供
給するとともに、供給された液体試料を該振動体の振動
によって霧化する構造を有しており、かつ、この振動体
の表面に向けてキャリアガスが吹き付けられる構造とし
た。
【0008】
【作用】上記の構造によれば、振動体の表面で発生した
試料エアロゾルは、それに向けて吹き付けられるキャリ
アガスにより、直ちにその振動体から離れた個所に運び
出されることになる。したがって、振動体表面では、試
料エアロゾルが飽和することがなくなり、多量の試料が
効率よくエアロゾル化される。
【0009】
【実施例】図1は本発明の一実施例に係るICP発光分
光分析装置の要部の構成を示す構成図である。
【0010】図1に示すように、この実施例のICP発
光分光分析装置が、超音波ネブライザ1と、プラズマト
ーチ2とを備え、超音波ネブライザ1が、ネブライザ本
体3と、脱溶媒部4とからなる点は、前記した従来例と
同じである。また、ネブライザ本体3が、霧化室5と、
表面に耐薬品性のガラス等が固定された振動体としての
超音波振動子6と、冷却ブロック10とを備え、試料容
器7からポンプ8の駆動により供給管9を通じて送り込
まれる液体試料Sを超音波振動子6の振動により霧化す
るものであり、また、脱溶媒部4が、試料エアロゾルを
加熱と冷却とにより細粒子化するとともに、試料エアロ
ゾルから溶媒を取り除くものである点も、従来例と同じ
である。
【0011】この実施例のICP発光分光分析装置が従
来例と異なる点は、ネブライザ本体3でのキャリアガス
流入口5aが超音波振動子6に向かう方向に設定され、
霧化室5内に流入するキャリアガスが直接的に超音波振
動子6の表面に吹き付けるようになっていることであ
る。
【0012】上記の構成において、液体試料Sが超音波
振動子6の表面に供給されることで、その液体試料Sは
超音波振動子6の表面で超音波振動によりエアロゾル化
されるが、超音波振動子6の表面には、流入口5aから
キャリアガスが吹き付けている。そのため、超音波振動
子6の表面で発生した試料エアロゾルは、キャリアガス
の吹き付けにより、超音波振動子6の表面から離れた個
所に運び出され、超音波振動子6の表面では、常に試料
エアロゾルの密度が低い値に維持される。したがって、
超音波振動子6の表面で、試料エアロゾルは飽和するこ
とがなく、供給される液体試料のほとんどすべてが効率
よくエアロゾル化されることになり、多量の試料エアロ
ゾルが発生する。
【0013】このように多量に発生した試料エアロゾル
は、キャリアガスとともに出口5bから流出して脱溶媒
部4に流入し、この脱溶媒部4を経てプラズマトーチ2
に搬送されるが、試料エアロゾルの密度が高いので、プ
ラズマトーチ2での検出感度が向上する。
【0014】
【発明の効果】本発明によれば、超音波ネブライザの霧
化室内で多量の試料エアロゾルを発生させることがで
き、この多量の試料エアロゾルをプラズマトーチに供給
することで、検出感度を高めることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の一実施例に係るICP発光分光分析装
置の要部の構成図である。
【図2】従来のICP発光分光分析装置の要部の構成図
である。
【符号の説明】
1 超音波ネブライザ 2 プラズマトーチ 3 ネブライザ本体 5 霧化室 5a キャリアガス流入口 6 超音波振動子

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 超音波ネブライザを備え、この超音波ネ
    ブライザは、その霧化室内に振動体が配備され、この振
    動体の表面に液体試料を供給するとともに、供給された
    液体試料を該振動体の振動によって霧化する構造を有し
    ており、かつ、この振動体の表面に向けてキャリアガス
    が吹き付けられる構造を有していることを特徴とするI
    CP発光分光分析装置。
JP3317692A 1992-02-20 1992-02-20 Icp発光分光分析装置 Pending JPH05232025A (ja)

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Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS6171340A (ja) * 1984-09-12 1986-04-12 バリアン・アソシエイツ・インコーポレイテツド 分析用噴霧器
JPS6421340A (en) * 1987-07-16 1989-01-24 Koshin Rikagaku Seisakusho Kk Atomizer for flame spectrophotometry
JPH03147241A (ja) * 1989-10-31 1991-06-24 Yokogawa Electric Corp スプレーチャンバー

Patent Citations (3)

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