JPH05228322A - 気体分離装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 本発明は弁の異常を判別して異常のあった弁
を特定するよう構成した気体分離装置を提供することを
目的とする。 【構成】 気体分離装置１はコンプレッサ３により圧縮
された空気が吸着槽１，２に供給されると、ここで酸素
分子を吸着し、窒素ガスを製品タンク２０に供給する。
吸着槽１，２、製品タンク２０には圧力スイッチ２４〜
２６が設けられ、弁監視装置２７は各圧力スイッチ２４
〜２６からの検出信号の組み合により空気供給用弁８，
９、排気用弁１３，１４、取出用弁１８，１９、均圧用
弁２２の異常を判別し、異常のある弁を特定する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は気体分離装置に係り、特
に吸着、取出、再生工程に応じて選択的に開弁する弁が
正常に開弁していることを監視するよう構成した気体分
離装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】一般に、ＰＳＡ（Pressure Swing Adsor
ption)式気体分離装置は、分子ふるいカーボンからなる
吸着剤を用いて、空気を窒素と酸素に分離し、いずれか
一方を製品ガスとして取出し、使用するものである。

【０００３】このため、例えばＰＳＡ式の窒素発生装置
にあっては、吸着剤が充填された吸着槽に圧縮空気を供
給して吸着槽内を加圧する吸着工程と、吸着工程により
分離された製品ガスを取出す取出工程と、吸着槽内の残
留ガスを排気して吸着剤を再生する再生工程と、を繰返
すことにより製品ガスとしての窒素を生成している。即
ち、吸着工程では空気供給用弁を開弁させて圧縮空気を
吸着槽に供給して吸着剤に酸素分子を吸着させている。
次の取出工程では取出用弁の開弁により吸着槽内の窒素
を製品タンクに取出す。そして、次の再生工程では排気
用弁の開弁により吸着槽内の残存ガスを排気して吸着さ
れた酸素分子を脱着して吸着剤の再生を行い次の吸着工
程に備えるようになっている。

【０００４】この種の窒素発生装置では、例えば一対の
吸着槽が設けられており、一方の吸着槽が吸着工程のと
き他方の吸着槽では再生工程が行なわれ、一方の吸着槽
で再生工程のとき他方の吸着槽では吸着工程が行なわれ
るようになっている。そして再生工程の後吸着槽内の残
存ガスは、吸着剤により酸素分子が吸着されているので
通常の空気よりも窒素濃度の高い圧縮気体である。その
ため、複数の吸着槽を有する装置では吸着工程後の残存
ガスをそのまま排気せずに一方の吸着槽で吸着工程が行
なわれた後両方の吸着槽を連通する均圧用弁を開弁し
て、吸着工程後の残存ガスを他方の吸着槽に供給するこ
とにより両方の吸着槽を均圧化して収率を高めるいわゆ
る均圧工程が行なわれている。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】上記構成の気体分離装
置においては、各工程（吸着、取出、均圧、再生工程）
ごとに開弁する弁が複数配設され、さらに複数の吸着槽
が配設されていると弁の数が倍増することになる。各弁
は電磁弁よりなり、制御回路からの開弁信号があるとソ
レノイドが励磁されて開弁動作する構成であるところ
が、上記弁はソレノイド等が故障すると開弁信号が入力
されても開弁しなかったり、あるいは異物が弁体に付着
していると閉弁時にも開弁した状態となってしまう。こ
のような弁の異常が発生した場合、例えば吸着工程で吸
着槽内が昇圧せず吸着剤に酸素分子が吸着されなかった
り、あるいは取出工程で製品ガスが取出せなかったり、
均圧工程で両方の吸着槽の均圧化ができなかったり、再
生工程で吸着槽内の残存ガスを排気できないことにな
る。

【０００６】しかし、各工程用の弁の一つに異常があっ
た場合、複数ある弁を１個ずつ検査しなければならず、
どの弁が異常であるのかを調べるのにかなりの時間と手
間を要することになる。しかも、気体分離装置の構造、
動作等に精通した者でないと、異常のある弁を特定する
ことが難しかった。さらに、弁の異常の発見が遅れた場
合、製品ガスの生成が不可能になるばかりか、弁のソレ
ノイドに過電流が流れるため制御回路の電子部品あるい
はプリント基板が焼損するおそれがある。

【０００７】そこで、本発明は上記課題を解決した気体
分離装置を提供することを目的とする。

【０００８】

【課題を解決するための手段】本発明は、吸着工程時吸
着槽に圧縮空気を供給するよう開弁する空気供給用弁
と、該吸着工程後の取出工程時該吸着槽内の気体を製品
タンクへ取出するよう開弁する取出用弁と、該取出工程
後の再生工程時に該吸着剤に吸着された気体を脱着する
ように開弁する排気用弁と、を有してなる気体分離装置
において、前記吸着槽及び製品タンクに圧力を検知する
圧力検知手段を設け、前記各工程時に前記各弁が正常に
開弁しているか否かを前記圧力検知手段からの出力信号
に基づいて判断する弁監視手段を設けてなる。

【０００９】

【作用】圧力検知手段により吸着槽及び製品タンクの圧
力変化を検知し、この出力信号に基づいて各工程での弁
の開閉動作が正常に行なわれているか否かを判断するこ
とができるので、どの弁が異常であるのか容易に判別で
きる。

【００１０】

【実施例】図１及び図２に本発明になる気体分離装置の
一実施例を示す。

【００１１】両図中、１，２は第１，第２の吸着槽で、
各吸着槽１，２内にはそれぞれ吸着剤としての分子ふる
いカーボン１Ａ，２Ａが充填されている。

【００１２】３は圧縮空気供給源となるコンプレッサ
で、コンプレッサ３からの圧縮空気はエアドライヤ４、
配管６，７を介して吸着槽１，２にそれぞれ交互に供給
されるようになっており、このため該配管６，７の途中
にはそれぞれ電磁弁からなる空気供給用弁８，９が設け
られている。

【００１３】１０，１１は脱着を行なう再生工程時に吸
着槽１，２からの気体を排出する配管で、共通排出配管
１２に接続されており、排出配管１２は脱着された排ガ
スを排出するようになっている。そして、前記配管１
０，１１の途中にはそれぞれ吸着槽１，２内の脱着排ガ
スを半サイクル毎に交互に排出する電磁弁からなる排気
用弁１３，１４が設けられている。

【００１４】１５，１６は吸着槽１，２の出口側に接続
され吸着槽１，２内で生成された窒素をそれぞれ取出す
取出配管、１７は各配管１５，１６と連結した取出配管
で、配管１５，１６の途中には半サイクルの間だけ後述
の制御の下に交互に開弁する電磁弁からなる取出用弁１
８，１９がそれぞれ設けられている。また前記取出配管
１７は製品タンク２０と接続されている。

【００１５】２１は吸着槽１，２の出口側を連通する均
圧用配管である。２２は配管２１の途中に設けられた均
圧用弁で、均圧用弁２２は吸着槽１，２により半サイク
ルの終了時に所定時間だけ開弁し、各吸着槽１，２間を
均圧にする。

【００１６】２３はプログラマブルコントローラで、予
め入力されたプログラムに従い、例えば図３，図４に示
す吸着、再生（，）、取出、再生（，）、均圧
（、）の各工程に応じて、空気供給用弁８，９、排
気用弁１３，１４、取出用弁１８，１９、均圧用弁２２
を開閉制御する。

【００１７】尚、上記均圧用弁２２を除く各電磁弁は、
開弁信号の供給により励磁されたとき開弁し、励磁され
ないときにはバネ力で閉弁するようになっている。

【００１８】吸着槽１，２及び製品タンク２０には圧力
スイッチ（圧力検知手段）２４〜２６が配設されてい
る。吸着槽１，２に設けられた圧力スイッチ２４，２５
は吸着工程時の圧力Ｐ₁ と再生工程時の圧力Ｐ₂ とを検
出したとき、その検出信号を出力するように設定されて
いる。又、製品タンク２０に設けられた圧力スイッチ２
６は取出工程時に昇圧した圧力Ｐ₃ と、取出工程直前の
減圧した圧力Ｐ₄ とを検出したとき、その検出信号を出
力するように設定されている。

【００１９】２７は弁監視装置（弁監視手段）で、上記
各圧力スイッチ２４〜２６からの検出信号に基づいて空
気供給用弁８，９、排気用弁１３，１４、取出用弁１
８，１９、均圧用弁２２が正常に開閉動作しているか否
かを監視しており、後述するように各工程時に対応して
正確に開閉制御されていない弁があったときは、その異
常のある弁を判別して指定するとともに気体分離装置を
停止させる。

【００２０】この弁監視装置２７の前面には図２に示す
ような表示部２７Ａが設けられている表示部２７Ａは弁
異常時に警報を発するブザー２８と、各弁が正常である
とき点灯する緑色ランプ２９ａ〜２９ｇと、各弁で異常
（開又は閉で動作不能）が発生したとき点灯する赤色ラ
ンプ３０ａ〜３０ｇと、異常箇所及び異常内容を文字で
表示する液晶表示器３１とが配設されている。

【００２１】尚、表示部２７Ａには気体分離装置の構成
に対応した図が描かれており、各ランプ２９ａ〜２９
ｇ，３０ａ〜３０ｇは空気供給用弁８，９、排気用弁１
３，１４、取出用弁１８，１９、均圧用弁２２に対応す
る位置に配設されている。従って、各ランプ２９ａ〜２
９ｇ，３０ａ〜３０ｇの点灯状態を見れば異常発生した
弁がどの弁であるのか一目で分かり、経験の少ない者で
も容易に判別できる。

【００２２】又、各弁が正常に開閉動作しているときは
すべての緑色ランプ２９ａ〜２９ｇが点灯し、赤色ラン
プ３０ａ〜３０ｇは消灯している。しかし、後述するよ
うに弁に異常が発生して開弁しなくなったりあるいは閉
弁しなくなったときには、当該弁に対応する緑ランプが
消灯して赤色ランプが点灯する。さらに、液晶表示器３
１により異常のあった弁を指定し、且つその弁が開ある
いは閉状態であることが表示される。よって、表示部２
７Ａで点灯するランプの色により液晶表示器３１により
直ちに弁ち異常発生したことが分かり、しかも異常のあ
る弁及びその異常内容（開又閉で動作不能）を特定でき
る。

【００２３】そのため、弁に異常があったときは速やか
に弁の修理、点検を行うことができるので異常発生から
短時間で正常運転に戻すことが可能となり、製品タンク
２０における窒素濃度が低下したり、窒素ガス不足とな
ることを防止できる。

【００２４】ここで、上記窒素発生装置の一般的な窒素
発生サイクルの動作につき説明する。

【００２５】まず、窒素発生装置としての基本動作につ
いて、図３，図４を参照しながら述べる。

【００２６】いま、窒素発生装置を起動すると、プログ
ラマブルコントローラ２３の制御の下に、窒素発生が行
なわれる。

【００２７】まず、図３に示すように，，の動作
が実行される。図３中のは、空気供給用弁９と気体排
出用弁１３が開弁し、第２の吸着槽２に原料気体として
の圧縮空気が供給されて第２の吸着槽２は加圧状態にあ
り、分子ふるいカーボン２Ａに酸素が吸着される吸着工
程である。一方、第１の吸着槽１は減圧状態にあり、吸
着していた酸素が脱着して排出されている再生工程であ
る。

【００２８】次に、図３中のは空気供給用弁９と気体
排出用弁１３の他に、新たに取出用弁１９を開弁し、第
２の吸着槽２内の窒素ガスを取出している取出工程を示
している。このとき、第１の吸着槽１は減圧状態（再生
工程）のままである。

【００２９】次に、図３中のは均圧工程で、各取出用
弁１８，１９及び空気供給用弁９、排気用弁１３を閉弁
するとともに均圧用弁２２を開弁する。これにより、第
２の吸着槽２内に残存する窒素富化ガスは第１の吸着槽
１に回収され、各吸着槽１，２は均圧となる。なお、前
記均圧工程は通常１〜３秒である。

【００３０】これにより、１サイクルのうちの前半の半
サイクルが終了したことになり、空気供給用弁８、排気
用弁１４を開弁することによって、図４（Ｂ）に示すよ
うに図３中の〜に示す後半の半サイクルを繰返す。
かくして、吸着槽１，２からは各半サイクルの後半で窒
素ガスを取出し、製品タンク２０に供給することができ
る。そして、起動後しばらくすると、発生する窒素ガス
の純度は安定する。

【００３１】図５は上記空気供給用弁８，９、排気用弁
１３，１４、取出用弁１８，１９、均圧用弁２２の各弁
が正常に開閉動作して吸着、取出、均圧、再生工程にお
ける圧力変化を示す線図である。同図中、１点鎖線は吸
着槽１の圧力変化を示し、２点鎖線は吸着槽２の圧力変
化を示し、実線は製品タンク２０の圧力変化を示してい
る。

【００３２】又、図５の線図より吸着槽１，２の圧力は
取出工程で圧力Ｐ₁ まで昇圧し、再生工程で圧力Ｐ₂ ま
で減圧する（Ｐ₁ ＞Ｐ₂ ）。製品タンク２０の圧力は取
出工程時圧力Ｐ₃ まで昇圧し、吸着工程時圧力Ｐ₄ まで
減圧する（Ｐ₃ ＞Ｐ₄ ）。従って、吸着槽１，２及び製
品タンク２０の圧力をチェックすることにより、各工程
が正常に行われているかどうかがわかり、即ち弁監視装
置２７は後述するように圧力スイッチ２４〜２６から出
力された検出信号により各空気供給用弁８，９、排気用
弁１３，１４、取出用弁１８，１９、均圧用弁２２が正
常に開閉動作しているのかどうかを判別することができ
る。

【００３３】図６は吸着槽１側の各弁（空気供給用弁
８、排気用弁１３、取出用弁１８、均圧用弁２２）が開
又は閉状態で動作不能となった場合の吸着槽１，２、製
品タンク２０の各圧力変化の組み合せを示しており、弁
監視装置２７は図６に示す各圧力変化の組み合せに基づ
いて、つまり各圧力スイッチ２４〜２６からの検出信号
の有無によりどの弁に異常があるのか判別してその弁を
特定できるとともに異常内容（開又は閉で動作不能）も
判別することができる。

【００３４】同図中、例えば空気供給用弁８が開のまま
動作不能となった場合について説明する。この場合、コ
ンプレッサ３からの空気が吸着槽１側に供給され続ける
ため、吸着槽２の圧力は下限圧力Ｐ₂ に達し且つ製品タ
ンク２０の圧力が下限圧力Ｐ ₄ に達している。即ち、圧
力スイッチ２４が上，下限値の間でオフとなり、圧力ス
イッチ２５，２６が下限値でオンになっている。

【００３５】これは、吸着槽１内の圧力がＰ₁ とＰ₂ と
の間にあり、上限値Ｐ₁ あるいは下限値Ｐ₂ に達してい
ないことを示している。このような場合に考えられる弁
の異常としては空気供給用弁８が開弁したまま動作不
能になった、均圧用弁２２が開弁したまま動作不能に
なった、取出用弁１８が開弁したまま動作不能になっ
た、排気用弁１３が開弁したまま動作不能になった。

【００３６】しかし、上記のケースは吸着槽２の圧力
が下限値Ｐ₂ に達しているのでありえない。又、上記
のケースは製品タンク２０の圧力が下限値Ｐ₄ に達して
いるのでありえない。又、上記のケースは吸着槽１の
圧力が下限値Ｐ₁ に達していないのでこれもありえな
い。

【００３７】従って、弁監視装置２７はセンサ２５，２
６から下限値の検出信号が出力されているときは、空気
供給用弁８が開弁状態のまま動作不能になったと判断
し、表示部２７Ａの緑色ランプ２９ａを消灯して赤色ラ
ンプ３０ａを点灯させるとともに液晶表示器３１に図２
に示すようなメッセージを表示する。さらに、プログラ
マブルコントローラ２３は弁監視装置２７からの異常検
出信号によりコンプレッサ３を停止させて気体分離装置
を停止状態にする。

【００３８】そのため、作業者は表示部２７Ａの上記表
示により異常のあった弁がどれで、その異常内容まで容
易に知ることができる。従って、作業者は直ちに異常の
あった弁の点検、修理を行うことができ、異常発生から
短時間で復旧することができる。復旧後スタート釦（図
示せず）が操作されると再び窒素生成動作が実行され
る。

【００３９】尚、図６において、他の場合も上記と同様
に異常箇所及び異常内容が特定されるため、ここでは他
の場合の説明は省略する。又、本実施例では複数の弁が
同時に異常となる確率が極めて小さいので、複数ある弁
のうち１個の弁で異常が発生するものとして考えてい
る。

【００４０】さらに、図６では吸着槽１側の各弁の異常
について示してあるが、吸着槽２側の各弁については図
６中吸着槽１と吸着槽２との表示を入れ換えて考えれば
良い。

【００４１】又、上記弁監視動作をマイクロコンピュー
タを使用して実行することもできる。その場合に実行さ
れる処理は図７に示すフローチャートのようになる。

【００４２】ここで、図７の弁監視処理動作について説
明する。

【００４３】図７において、弁監視装置２７は、まずス
テップＳ１（以下ステップを省略する）で圧力スイッチ
２４により吸着槽１の上限値Ｐ₁ 、下限値Ｐ₂ が検出さ
れているかどうかをチェックしており、次のＳ３では圧
力スイッチ２６により製品タンク２０の上限値Ｐ₃ 、下
限値Ｐ₄ が検出されているかどうかをチェックしてい
る。

【００４４】上記構成になる窒素発生装置においては、
各弁が正常に動作しているときは各吸着、取出、均圧、
再生工程により吸着槽１，２の圧力はＰ₁ 又はＰ₂ に変
化し、製品タンク２０の圧力はＰ₃ 又はＰ₄ に変化す
る。そのため、上記ステップＳ１，Ｓ３で上限値、下限
値ともに検出されているときは、Ｓ４で異常なしと判断
し、表示部２７Ａの緑色ランプ２９ａ〜２９ｇを点灯さ
せＳ１に戻る。

【００４５】Ｓ１において圧力スイッチ２４が上限値Ｐ
₁ 、下限値Ｐ₂ を両方検出していないときはＳ５に移
り、圧力スイッチ２４の上限値、下限値両方とも未達
（圧力Ｐ ₁ ，Ｐ₂ に達していない）の場合、吸着槽２の
圧力スイッチ２５が上限値、下限値両方とも未達である
かどうかをチェックする。

【００４６】Ｓ５で、圧力スイッチ２５による上限値、
下限値が両方とも未達である場合は、吸着槽１，２がと
もに上限値に達しないためＳ７に移り均圧用弁２２が開
弁した状態で動作不能であると判断し、Ｓ８で表示部２
７Ａに異常を表示する。即ち、表示部２７Ａの緑色ラン
プ２９ｇを消灯して赤色ランプ３０ｇを点灯させるとと
もに、警報器２８より警報を発しさらに液晶表示部３１
に異常内容「均圧弁→開弁異常」と表示して作業者に知
らせる。続いて、Ｓ９ではコンプレッサ３を停止させて
装置全体を停止させる。

【００４７】又、Ｓ６において、圧力スイッチ２５によ
り上限値、下限値両方ともに未達でないときは、Ｓ１０
に移り吸着槽１側の空気供給用弁８が開弁状態で動作不
能となったと判断する。続いて、前述したＳ８で緑色ラ
ンプ２９ａを消灯して赤色ランプ３０ａを点灯させると
ともに図２に示すようなメッセージを表示させ、Ｓ９で
装置を停止させる。

【００４８】又、Ｓ３において圧力スイッチ２６により
上限値Ｐ₃ 、下限値Ｐ₄ が両方とも検出されなかったと
きは、Ｓ１１に移り吸着槽１の取出し用弁１８が閉弁状
態で動作不能であると判断し、前述したＳ８で異常表示
を行い、Ｓ９で装置を停止させる。

【００４９】さらに、Ｓ５において圧力スイッチ２４の
上限値、下限値が両方とも未達でないときは、Ｓ１２に
移り圧力スイッチ２４の上限値Ｐ₁ のみ検出されたかど
うかをチェックする。

【００５０】このＳ１２で圧力スイッチ２４が上限値を
検出しているときは、Ｓ１３に移り圧力スイッチ２５の
上限値、下限値の両方とも検出されているかどうかをチ
ェックする。

【００５１】Ｓ１３において、圧力スイッチ２５が上限
値、下限値の両方とも検出しているときは、Ｓ１４に移
り吸着槽１側の排気用弁１３が閉弁状態で動作不能にな
ったと判断し、続いて前述したＳ８で異常表示を行うと
ともに、Ｓ９で装置を停止させる。

【００５２】又、Ｓ１３において、圧力スイッチ２５が
上限値、下限値の両方とも検出していないときはＳ１５
に移り、吸着槽１側の取出用弁１８が開弁状態で動作不
能になったと判断し、続いてＳ８，Ｓ９の処理を実行す
る。

【００５３】前述したＳ１２において圧力スイッチ２４
が上限値のみを検出していないときは、Ｓ１６に移り吸
着槽２側の圧力スイッチ２５が上限値、下限値の両方と
も検出しているかどうかをチェックする。

【００５４】Ｓ１６で圧力スイッチ２５が上限値、下限
値の両方とも検出しているときは、Ｓ１７で吸着槽１側
の空気供給用弁８が閉弁状態で動作不能であると判断
し、続いてＳ８，Ｓ９の処理を実行する。

【００５５】又、Ｓ１６において、圧力スイッチ２５が
上限値、下限値の両方とも検出していないときは、Ｓ１
８に移り製品タンク２０の圧力が圧力スイッチ２６の上
限値、下限値に両方とも未達であるかをチェックする。

【００５６】そして、Ｓ１８で圧力スイッチ２６の上限
値、下限値両方とも未達であるときは、Ｓ１９に移り吸
着槽１側の排気用弁１３が開弁状態のまま動作不能にな
ったと判断し、続いてＳ８，Ｓ９の処理を実行する。

【００５７】又、Ｓ１８において、圧力スイッチ２６が
上限値、下限値両方とも未達でないときは、Ｓ２０に移
り均圧用弁２２が閉弁状態のまま動作不能であると判断
し、さらに前述したＳ８，Ｓ９の処理を実行する。

【００５８】このように、マイクロコンピュータにより
各圧力スイッチ２４〜２６からの検出信号の組合わせを
チェックすることにより複数ある弁のうちどの弁がどの
ような状態で異常であるのかを自動的に判別することが
できる。

【００５９】尚、上記実施例では窒素発生装置を例に挙
げて説明したが、これに限らず、他の気体分離装置、例
えば酸素発生装置等にも適用できるのは勿論である。

【００６０】尚、上記実施例では圧力スイッチを用いた
が、圧力検知手段としては、例えば圧力センサ等を用い
ても良い。

【００６１】

【発明の効果】上述の如く、本発明になる気体分離装置
は、圧力検知手段により吸着槽及び製品タンクの圧力変
化を検知し、この出力信号に基づいて各工程での弁の開
閉動作が正常に行われているか否かを判別することがで
き、いずれかの弁で異常があった場合には、どの弁で異
常があったのかを特定できるので、点検、修理を速やか
に行え、しかも経験の少ない作業者でも能率良く復旧作
業を行える等の特長を有する。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明になる気体分離装置の一実施例の概略構
成図である。

【図２】弁監視装置に設けられた表示部の正面図であ
る。

【図３】窒素生成の各工程を説明するための工程図であ
る。

【図４】各工程の１サイクルを示す工程図である。

【図５】吸着槽及び製品タンクの各工程における圧力変
化を示す線図である。

【図６】各弁が異常であるとき各圧力スイッチの圧力検
出を示す図である。

【図７】マイクロコンピュータによる弁監視処理動作を
説明するためのフローチャートである。

【符号の説明】

１，２ 吸着槽 １Ａ，２Ａ 吸着剤 ３ コンプレッサ ８，９ 空気供給用弁 １３，１４ 排気用弁 １８，１９ 取出用弁 ２０ 製品タンク ２２ 均圧用弁 ２３ プログラマブルコントローラ ２４〜２６ 圧力スイッチ ２７ 弁監視装置 ２７Ａ 表示部 ２９ａ〜２９ｇ 緑色ランプ ３０ａ〜３０ｇ 赤色ランプ ３１ 液晶表示器

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 吸着工程時吸着槽に圧縮空気を供給する
   よう開弁する空気供給用弁と、該吸着工程後の取出工程
   時該吸着槽内の気体を製品タンクへ取出すよう開弁する
   取出用弁と、該取出工程後の再生工程時に該吸着剤に吸
   着された気体を脱着するように開弁する排気用弁と、を
   有してなる気体分離装置において、 前記吸着槽及び製品タンクに圧力を検知する圧力検知手
   段を設け、 前記各工程時に前記各弁が正常に開弁しているか否かを
   前記圧力検知手段からの出力信号に基づいて判断する弁
   監視手段を設けてなることを特徴とする気体分離装置。