JPH05225939A - ２次電子検出器 - Google Patents
２次電子検出器Info
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- JPH05225939A JPH05225939A JP9227992A JP2799292A JPH05225939A JP H05225939 A JPH05225939 A JP H05225939A JP 9227992 A JP9227992 A JP 9227992A JP 2799292 A JP2799292 A JP 2799292A JP H05225939 A JPH05225939 A JP H05225939A
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- Measurement Of Radiation (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 簡単な構成で、低加速電圧下での試料表面の
帯電を押さえると共に、検出性能を高めることができる
２次電子検出器を実現する。 【構成】 試料２から発生した２次電子は、静電レンズ
電極１６，１７，ＭＣＰ１０の前面の電極に所定の正の
電圧を印加することによって生じた電場により補集し集
束され、ＭＣＰ１０の前面に焦点が結ばされる。この
際、試料表面上が静電的に負に帯電するので、この帯電
を打ち消すため、静電レンズ電極１５に負の電圧が印加
される。ＭＣＰ１０に入射した２次電子は、１万倍以上
に増倍され、コロナリング８に印加された電圧によって
シンチレータ５に向け加速されて入射し、可視域の螢光
に変換される。シンチレータ５によって生じた螢光は、
ライトガイド６を通ってホトマルチプライヤ７に導かれ
光電変換される。
帯電を押さえると共に、検出性能を高めることができる
２次電子検出器を実現する。 【構成】 試料２から発生した２次電子は、静電レンズ
電極１６，１７，ＭＣＰ１０の前面の電極に所定の正の
電圧を印加することによって生じた電場により補集し集
束され、ＭＣＰ１０の前面に焦点が結ばされる。この
際、試料表面上が静電的に負に帯電するので、この帯電
を打ち消すため、静電レンズ電極１５に負の電圧が印加
される。ＭＣＰ１０に入射した２次電子は、１万倍以上
に増倍され、コロナリング８に印加された電圧によって
シンチレータ５に向け加速されて入射し、可視域の螢光
に変換される。シンチレータ５によって生じた螢光は、
ライトガイド６を通ってホトマルチプライヤ７に導かれ
光電変換される。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、走査電子顕微鏡を用い
て半導体試料などの観察を行う場合に使用して最適な二
次電子検出器に関する。
て半導体試料などの観察を行う場合に使用して最適な二
次電子検出器に関する。
【０００２】
【従来の技術】走査電子顕微鏡では、試料に電子ビーム
を照射すると共に試料上の電子ビームの照射位置を２次
元的に走査し、その試料への電子ビームの照射によって
発生した２次電子を検出するようにしている。この２次
電子を検出する検出器としては、通常、シンチレータと
このシンチレータの光を光電変換するホトマルチプライ
ヤより構成されている。ところで、半導体デバイスや生
物試料の表面を無蒸着で観察したいという要望が最近強
くなっている。この場合、半導体や絶縁体試料の帯電を
防止するため、試料に照射する電子ビームの加速電圧を
３ｋＶ以下とし、かつ、電子ビームのビーム電流をピコ
アンペアオーダーとしている。このような照射電流で発
生する２次電子の信号量は極めて微弱となり、この２次
電子を効率良く集束し、高効率で増幅する検出器が必要
となる。
を照射すると共に試料上の電子ビームの照射位置を２次
元的に走査し、その試料への電子ビームの照射によって
発生した２次電子を検出するようにしている。この２次
電子を検出する検出器としては、通常、シンチレータと
このシンチレータの光を光電変換するホトマルチプライ
ヤより構成されている。ところで、半導体デバイスや生
物試料の表面を無蒸着で観察したいという要望が最近強
くなっている。この場合、半導体や絶縁体試料の帯電を
防止するため、試料に照射する電子ビームの加速電圧を
３ｋＶ以下とし、かつ、電子ビームのビーム電流をピコ
アンペアオーダーとしている。このような照射電流で発
生する２次電子の信号量は極めて微弱となり、この２次
電子を効率良く集束し、高効率で増幅する検出器が必要
となる。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】上述した従来の２次電
子検出器は、前段のシンチレータにおける２次電子のエ
ネルギを可視光に変換する効率が３〜４％と低く、感度
が１桁以上も不足する。また、２次電子を効率良くシン
チレータに導くため、シンチレータに高電圧（９±３ｋ
Ｖ）を印加するが、この高電圧で作られる電場は、その
張り出しが容易に制御できないためにこの電場により試
料表面の帯電を引き起こすことになる。また、対物レン
ズの作動距離の違いや、１次電子ビームの走査にともな
い電子ビームの試料上の照射点と２次電子検出器との距
離の変化に対して、シンチレータを常時適切な入射２次
電子分布で光らせることが困難であり、２次電子検出損
失が大きく、２次電子像にむらが生じやすいという欠点
も有している。
子検出器は、前段のシンチレータにおける２次電子のエ
ネルギを可視光に変換する効率が３〜４％と低く、感度
が１桁以上も不足する。また、２次電子を効率良くシン
チレータに導くため、シンチレータに高電圧（９±３ｋ
Ｖ）を印加するが、この高電圧で作られる電場は、その
張り出しが容易に制御できないためにこの電場により試
料表面の帯電を引き起こすことになる。また、対物レン
ズの作動距離の違いや、１次電子ビームの走査にともな
い電子ビームの試料上の照射点と２次電子検出器との距
離の変化に対して、シンチレータを常時適切な入射２次
電子分布で光らせることが困難であり、２次電子検出損
失が大きく、２次電子像にむらが生じやすいという欠点
も有している。
【０００４】さらに、試料に照射する電子ビームの加速
電圧を１．５ｋＶ以下とすると、その加速電圧を例えば
１００Ｖ程度変化させた場合、それまでの２次電子の軌
道が変わったり、観察場所の違いによってＳ／Ｎの様子
が変わったり、さらには、照射１次電子ビームに新たな
軸外収差の要因を持ち込むことになる。
電圧を１．５ｋＶ以下とすると、その加速電圧を例えば
１００Ｖ程度変化させた場合、それまでの２次電子の軌
道が変わったり、観察場所の違いによってＳ／Ｎの様子
が変わったり、さらには、照射１次電子ビームに新たな
軸外収差の要因を持ち込むことになる。
【０００５】本発明は、このような点に鑑みてなされた
もので、その目的は、簡単な構成で、低加速電圧下での
試料表面の帯電を押さえると共に、検出性能を高めるこ
とができる２次電子検出器を実現するにある。
もので、その目的は、簡単な構成で、低加速電圧下での
試料表面の帯電を押さえると共に、検出性能を高めるこ
とができる２次電子検出器を実現するにある。
【０００６】
【課題を解決するための手段】本発明に基づく２次電子
検出器は、電子の入射によって光を発生するシンチレー
タと、シンチレータの光を光電変換するための光電変換
部と、シンチレータへ電子を引き寄せるための所定の電
圧が印加される電極と、シンチレータの前面に配置さ
れ、試料からの２次電子を増倍するためのマイクロチャ
ンネルプレートとを備えたことを特徴としている。
検出器は、電子の入射によって光を発生するシンチレー
タと、シンチレータの光を光電変換するための光電変換
部と、シンチレータへ電子を引き寄せるための所定の電
圧が印加される電極と、シンチレータの前面に配置さ
れ、試料からの２次電子を増倍するためのマイクロチャ
ンネルプレートとを備えたことを特徴としている。
【０００７】
【作用】本発明に基づく２次電子検出器は、マイクロチ
ャンネルプレートで２次電子を増倍し、増倍された電子
をシンチレータに導く。
ャンネルプレートで２次電子を増倍し、増倍された電子
をシンチレータに導く。
【０００８】
【実施例】以下、図面を参照して本発明の実施例を詳細
に説明する。図１は、本発明の一実施例を示しており、
１は走査電子顕微鏡の対物レンズである。対物レンズ１
によって細く集束された電子ビームＥＢは、試料２上に
照射される。図示していないが、試料２上の電子ビーム
の照射位置は、偏向コイルに走査信号を供給することに
より２次元的に走査される。３が試料壁４に取り付けら
れた２次電子検出器であり、電子の入射によって蛍光を
発生するシンチレータ５、シンチレータ５によって発生
した蛍光を導くライトガイド６、ライトガイド６によっ
て導かれた光を光電変換するホトマルチプライヤ７がこ
の検出器に含まれている。８はシンチレータ５の近傍に
設けられたコロナリング、９はコロナリング８に９±３
ｋＶの電圧を与えるための電極である。１０はシンチレ
ータ５の前面に配置されたマイクロチャンネルプレート
（ＭＣＰ）であり、１１，１２はＭＣＰ１０の両端に電
圧を印加するためのリード線である。１３は２次電子検
出器の外筒であり、コロナリング８による電場の漏洩を
防ぐ働きを有している。また、１４はシンチレータ５と
ＭＣＰ１０との間の距離を調整するための調整筒であ
る。調整筒１４の先端には３枚の静電レンズ電極１５，
１６，１７が取り付けられており、そのうち、一番外側
に配置された静電レンズ電極１５の形状はラッパ状にさ
れている。各静電レンズ電極の間には、絶縁リング１
８，１９が設けられている。このような構成の動作を次
に説明する。
に説明する。図１は、本発明の一実施例を示しており、
１は走査電子顕微鏡の対物レンズである。対物レンズ１
によって細く集束された電子ビームＥＢは、試料２上に
照射される。図示していないが、試料２上の電子ビーム
の照射位置は、偏向コイルに走査信号を供給することに
より２次元的に走査される。３が試料壁４に取り付けら
れた２次電子検出器であり、電子の入射によって蛍光を
発生するシンチレータ５、シンチレータ５によって発生
した蛍光を導くライトガイド６、ライトガイド６によっ
て導かれた光を光電変換するホトマルチプライヤ７がこ
の検出器に含まれている。８はシンチレータ５の近傍に
設けられたコロナリング、９はコロナリング８に９±３
ｋＶの電圧を与えるための電極である。１０はシンチレ
ータ５の前面に配置されたマイクロチャンネルプレート
（ＭＣＰ）であり、１１，１２はＭＣＰ１０の両端に電
圧を印加するためのリード線である。１３は２次電子検
出器の外筒であり、コロナリング８による電場の漏洩を
防ぐ働きを有している。また、１４はシンチレータ５と
ＭＣＰ１０との間の距離を調整するための調整筒であ
る。調整筒１４の先端には３枚の静電レンズ電極１５，
１６，１７が取り付けられており、そのうち、一番外側
に配置された静電レンズ電極１５の形状はラッパ状にさ
れている。各静電レンズ電極の間には、絶縁リング１
８，１９が設けられている。このような構成の動作を次
に説明する。
【０００９】試料２の２次電子像を得る場合、対物レン
ズ１によって電子ビームＥＢが細く集束され、試料２に
照射されると共に電子ビームの照射位置が走査される。
試料２への電子ビームの照射によって発生した２次電子
は、２次電子検出器３によって検出され、図示していな
い陰極線管に検出信号は供給される。さて、試料２に電
子ビームを照射することによって発生した２次電子は、
静電レンズ電極１６，１７に所定の正の電圧を印加し、
さらにはリード線１１によってＭＣＰ１０の前面の電極
に所定の正の電圧を印加することによって生じた電場に
より補集し集束され、ＭＣＰ１０の前面に焦点を結ばさ
れる。この際、静電レンズ電極１６，１７、ＭＣＰ１０
の前面の電極に印加された電圧に基づく電場により、試
料表面上が静電的に負に帯電するので、この帯電を打ち
消すため、静電レンズ電極１５に負の電圧が印加され
る。ＭＣＰ１０に入射した２次電子は、ＭＣＰによって
１万倍以上に増倍される。ＭＣＰ１０によって増倍され
た電子は、コロナリング８に印加された電圧によってシ
ンチレータ５に向け加速され、シンチレータ５に入射し
た電子のエネルギーは、可視域の螢光に変換される。シ
ンチレータ５によって生じた螢光は、ライトガイド６を
通ってホトマルチプライヤ７に導かれ光電変換される。
光電変換された信号は、図示していないがプリアンプ，
メインアンプを経て陰極線管に送られる。
ズ１によって電子ビームＥＢが細く集束され、試料２に
照射されると共に電子ビームの照射位置が走査される。
試料２への電子ビームの照射によって発生した２次電子
は、２次電子検出器３によって検出され、図示していな
い陰極線管に検出信号は供給される。さて、試料２に電
子ビームを照射することによって発生した２次電子は、
静電レンズ電極１６，１７に所定の正の電圧を印加し、
さらにはリード線１１によってＭＣＰ１０の前面の電極
に所定の正の電圧を印加することによって生じた電場に
より補集し集束され、ＭＣＰ１０の前面に焦点を結ばさ
れる。この際、静電レンズ電極１６，１７、ＭＣＰ１０
の前面の電極に印加された電圧に基づく電場により、試
料表面上が静電的に負に帯電するので、この帯電を打ち
消すため、静電レンズ電極１５に負の電圧が印加され
る。ＭＣＰ１０に入射した２次電子は、ＭＣＰによって
１万倍以上に増倍される。ＭＣＰ１０によって増倍され
た電子は、コロナリング８に印加された電圧によってシ
ンチレータ５に向け加速され、シンチレータ５に入射し
た電子のエネルギーは、可視域の螢光に変換される。シ
ンチレータ５によって生じた螢光は、ライトガイド６を
通ってホトマルチプライヤ７に導かれ光電変換される。
光電変換された信号は、図示していないがプリアンプ，
メインアンプを経て陰極線管に送られる。
【００１０】ここで、リード線１１からＭＣＰ１０の前
面に印加される電圧をＶ1 、リード線１２からＭＣＰ１
０の後面に印加される電圧をＶ2 とし、ＭＣＰ１０の最
高感度電子エネルギーをＥとすると、Ｖ1 とＶ2 は、次
の関係を有するように決定される。
面に印加される電圧をＶ1 、リード線１２からＭＣＰ１
０の後面に印加される電圧をＶ2 とし、ＭＣＰ１０の最
高感度電子エネルギーをＥとすると、Ｖ1 とＶ2 は、次
の関係を有するように決定される。
【００１１】Ｖ1 ＜Ｅ＜Ｖ2 通常、Ｅは４００±１００Ｖであり、それゆえ、本発明
の一実施例では、Ｖ1 を１５０±１５０Ｖとし、Ｖ2 を
１０００±３００Ｖとしている。
の一実施例では、Ｖ1 を１５０±１５０Ｖとし、Ｖ2 を
１０００±３００Ｖとしている。
【００１２】ところで、ＭＣＰの一般的な欠点として、
周波数応答が遅いこと、入射する２次電子量が多いと、
パイルアップすることがよく知られているが、この欠点
は、本実施例において、ＭＣＰ１０をコロナリング８が
作る電場の中に配置し、更には、ＭＣＰ１０の後面とシ
ンチレータ８との間の距離を調整筒１４で調整すること
により解決している。また、２次電子のエネルギーは、
数１０ｅＶ以下であり、ＭＣＰではこのようなエネルギ
ーが弱い２次電子の効率的な増幅は困難であると考えら
れてきたが、静電レンズ電極１６に６００±５００Ｖの
電圧を印加して２次電子の捕捉と集束の役目を持たせ、
更に、電場整形用に静電レンズ電極１５に−２００〜１
０Ｖの電圧を印加することで、ＭＣＰ１０に２次電子の
エネルギーを高めて入射させ、ＭＣＰにおける２次電子
の効率的な増幅を可能とした。測長目的やコンタクトホ
ール底部の観察・測定の場合例外的に静レンズ１５に５
００±５００Ｖをかける場合がある。
周波数応答が遅いこと、入射する２次電子量が多いと、
パイルアップすることがよく知られているが、この欠点
は、本実施例において、ＭＣＰ１０をコロナリング８が
作る電場の中に配置し、更には、ＭＣＰ１０の後面とシ
ンチレータ８との間の距離を調整筒１４で調整すること
により解決している。また、２次電子のエネルギーは、
数１０ｅＶ以下であり、ＭＣＰではこのようなエネルギ
ーが弱い２次電子の効率的な増幅は困難であると考えら
れてきたが、静電レンズ電極１６に６００±５００Ｖの
電圧を印加して２次電子の捕捉と集束の役目を持たせ、
更に、電場整形用に静電レンズ電極１５に−２００〜１
０Ｖの電圧を印加することで、ＭＣＰ１０に２次電子の
エネルギーを高めて入射させ、ＭＣＰにおける２次電子
の効率的な増幅を可能とした。測長目的やコンタクトホ
ール底部の観察・測定の場合例外的に静レンズ１５に５
００±５００Ｖをかける場合がある。
【００１３】また、本実施例では、従来の検出器のよう
に、コロナリングの作る電場で直接２次電子を捕捉する
ように構成せず、ＭＣＰ１０の前面に印加される電圧と
補集電極１６に印加される電圧を適宜制御し、それらの
作る電場の強さを１次電子ビームの照射電流，加速電
圧，試料表面の電荷量に応じて変化させるように構成し
た。従って、１次電子ビームの加速電圧が変化して２次
電子の軌道が変わっても、それに追随して最適な状態に
制御された電場により、２次電子を適切にＭＣＰ１０に
導くことができる。そして、各電極に好ましい電圧を印
加することによってＭＣＰ１０に効率よく２次電子が捕
捉・集束されるようにすると共に、シンチレータ５にお
いては、ある分布をもって十分に光るような電場分布を
形成するようにしている。なお、２次電子の検出効率を
調べるには、検出信号のＳ／Ｎの良否や陰極線管上に表
示された２次電子像を観察すれば良い。
に、コロナリングの作る電場で直接２次電子を捕捉する
ように構成せず、ＭＣＰ１０の前面に印加される電圧と
補集電極１６に印加される電圧を適宜制御し、それらの
作る電場の強さを１次電子ビームの照射電流，加速電
圧，試料表面の電荷量に応じて変化させるように構成し
た。従って、１次電子ビームの加速電圧が変化して２次
電子の軌道が変わっても、それに追随して最適な状態に
制御された電場により、２次電子を適切にＭＣＰ１０に
導くことができる。そして、各電極に好ましい電圧を印
加することによってＭＣＰ１０に効率よく２次電子が捕
捉・集束されるようにすると共に、シンチレータ５にお
いては、ある分布をもって十分に光るような電場分布を
形成するようにしている。なお、２次電子の検出効率を
調べるには、検出信号のＳ／Ｎの良否や陰極線管上に表
示された２次電子像を観察すれば良い。
【００１４】ここで、各電極に印加される電圧の関係に
ついて述べる。ＭＣＰ１０の前面と後面に印加される電
圧をそれぞれＶ1 ，Ｖ2 、コロナリング８に印加される
電圧をＶ3 、静電レンズ電極１６に印加される電圧をＶ
4 、静電レンズ電極１５に印加される電圧をＶ5 とする
と、本実施例において、それらの電圧は、次の関係を満
足するように設定されている。
ついて述べる。ＭＣＰ１０の前面と後面に印加される電
圧をそれぞれＶ1 ，Ｖ2 、コロナリング８に印加される
電圧をＶ3 、静電レンズ電極１６に印加される電圧をＶ
4 、静電レンズ電極１５に印加される電圧をＶ5 とする
と、本実施例において、それらの電圧は、次の関係を満
足するように設定されている。
【００１５】
【数１】
【００１６】すなわち、２次電子の進行方向から見て、
減速モードで始まり、かつ、軸中心ほどその影響が少な
いという電圧関係が保たれている。なお、上記したＭＣ
Ｐ１０の両端の電極間の電圧差（Ｖ2 −Ｖ1 ）は、一般
には次のように決定される。すなわち、ＭＣＰ１０の利
得をＧ、定数をαとすると、利得Ｇは次の関係となる。
減速モードで始まり、かつ、軸中心ほどその影響が少な
いという電圧関係が保たれている。なお、上記したＭＣ
Ｐ１０の両端の電極間の電圧差（Ｖ2 −Ｖ1 ）は、一般
には次のように決定される。すなわち、ＭＣＰ１０の利
得をＧ、定数をαとすると、利得Ｇは次の関係となる。
【００１７】Ｇ＝ exp｛（Ｖ2 −Ｖ1 ）・α｝ ＭＣＰ１０の利得は、イオンフィードバックによるノイ
ズの増大の問題で、上限の利得が制限されるが、これを
βとすると、次の関係を満たす必要がある。
ズの増大の問題で、上限の利得が制限されるが、これを
βとすると、次の関係を満たす必要がある。
【００１８】β≧α 通常、市販されているＭＣＰの場合、α＝４．５４×１
０−３，β＝１０４程度である。従って、ＭＣＰ１０の
両端電極間の電圧差（Ｖ1 −Ｖ2 ）は、次の式を満たす
ように制御される。
０−３，β＝１０４程度である。従って、ＭＣＰ１０の
両端電極間の電圧差（Ｖ1 −Ｖ2 ）は、次の式を満たす
ように制御される。
【００１９】 １０４＝ exp｛（Ｖ2 −Ｖ1 ）×４．５４×１０−３｝ （Ｖ2 −Ｖ1 ）＝４／４．５４×１０−３＝８８２Ｖ ところで、半導体デバイスや無蒸着生物試料の場合、試
料表面の凹凸が激しく、谷の部分や穴の底部を観察した
い要求が高い。そのため。図２に示した実施例では、２
次電子検出器３は、対物レンズ１の傾斜した側面に沿っ
て取り付けられ、試料２からの２次電子の放出角の低い
位置に配置され、効率良く試料表面の谷の部分や穴の底
部からの２次電子を検出することができる。この実施例
で図１の実施例と同一あるいは類似部分は同一番号が付
されている。なお、半導体デバイスや無蒸着生物試料の
場合、試料自体軽元素で構成されている場合が多く、反
射電子の量も少ないので、反射電子による分解能の低下
は余り生じない。しかしながら、２次電子検出器を２次
電子の放出角の低い位置に取り付けたので、試料から高
い放出角の２次電子の取り込みが悪くなる。そのため、
この実施例では、ＭＣＰ１０の前面にメッシュ電極２０
を配置し、このメッシュ電極２０に５００Ｖ程度の電圧
を印加するようにしている。この結果、メッシュ電極２
０による電場に基づき、試料２から低い角度で出射した
２次電子も効率良くＭＣＰ１０に導くことができる。
尚、このメッシュ電極２０は、反射電子のＭＣＰ１０へ
の入射を防止する効果も有している。
料表面の凹凸が激しく、谷の部分や穴の底部を観察した
い要求が高い。そのため。図２に示した実施例では、２
次電子検出器３は、対物レンズ１の傾斜した側面に沿っ
て取り付けられ、試料２からの２次電子の放出角の低い
位置に配置され、効率良く試料表面の谷の部分や穴の底
部からの２次電子を検出することができる。この実施例
で図１の実施例と同一あるいは類似部分は同一番号が付
されている。なお、半導体デバイスや無蒸着生物試料の
場合、試料自体軽元素で構成されている場合が多く、反
射電子の量も少ないので、反射電子による分解能の低下
は余り生じない。しかしながら、２次電子検出器を２次
電子の放出角の低い位置に取り付けたので、試料から高
い放出角の２次電子の取り込みが悪くなる。そのため、
この実施例では、ＭＣＰ１０の前面にメッシュ電極２０
を配置し、このメッシュ電極２０に５００Ｖ程度の電圧
を印加するようにしている。この結果、メッシュ電極２
０による電場に基づき、試料２から低い角度で出射した
２次電子も効率良くＭＣＰ１０に導くことができる。
尚、このメッシュ電極２０は、反射電子のＭＣＰ１０へ
の入射を防止する効果も有している。
【００２０】以上本発明の一実施例を詳述したが、本発
明はこの実施例に限定されない。例えば、ＭＣＰ１０の
前面に配置された静電レンズ電極の枚数や形状、制御電
圧は適宜変更することができる。
明はこの実施例に限定されない。例えば、ＭＣＰ１０の
前面に配置された静電レンズ電極の枚数や形状、制御電
圧は適宜変更することができる。
【００２１】
【発明の効果】以上説明したように、本発明に基づく２
次電子検出器は、マイクロチャンネルプレートで２次電
子を増倍し、増倍された電子をシンチレータに導くよう
に構成したので、簡単な構成で、低加速電圧下での試料
表面の帯電を押さえると共に、検出性能を高めることが
できる。
次電子検出器は、マイクロチャンネルプレートで２次電
子を増倍し、増倍された電子をシンチレータに導くよう
に構成したので、簡単な構成で、低加速電圧下での試料
表面の帯電を押さえると共に、検出性能を高めることが
できる。
【図１】本発明に基づく２次電子検出器の一実施例を示
す図である。
す図である。
【図２】本発明に基づく２次電子検出器の他の実施例を
示す図である。
示す図である。
１…対物レンズ ２…試料 ５…シンチレータ ６…ライトガイド ７…ホトマルチプライヤ ８…コロナリング １０…マイクロチャンネルプレート １３…外筒 １４…調整筒 １５，１６，１７…静電レンズ電極
Claims (2)
- 【請求項１】 電子の入射によって光を発生するシンチ
レータと、シンチレータの光を光電変換するための光電
変換部と、シンチレータへ電子を引き寄せるための所定
の電圧が印加される電極と、シンチレータの前面に配置
され、試料からの２次電子を増倍するためのマイクロチ
ャンネルプレートとを備えた２次電子検出器。 - 【請求項２】 マイクロチャンネルプレートの前面にメ
ッシュ電極が配置された請求項１記載の２次電子検出
器。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9227992A JPH05225939A (ja) | 1992-02-14 | 1992-02-14 | ２次電子検出器 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9227992A JPH05225939A (ja) | 1992-02-14 | 1992-02-14 | ２次電子検出器 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05225939A true JPH05225939A (ja) | 1993-09-03 |
Family
ID=12236322
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9227992A Withdrawn JPH05225939A (ja) | 1992-02-14 | 1992-02-14 | ２次電子検出器 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH05225939A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN103594310A (zh) * | 2013-11-22 | 2014-02-19 | 北京中科科仪股份有限公司 | 高温二次电子探测器收集组件及高温扫描电镜 |
-
1992
- 1992-02-14 JP JP9227992A patent/JPH05225939A/ja not_active Withdrawn
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN103594310A (zh) * | 2013-11-22 | 2014-02-19 | 北京中科科仪股份有限公司 | 高温二次电子探测器收集组件及高温扫描电镜 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Application deemed to be withdrawn because no request for examination was validly filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 19990518 |