JPH05223675A - 差圧伝送器 - Google Patents
差圧伝送器Info
- Publication number
- JPH05223675A JPH05223675A JP2962992A JP2962992A JPH05223675A JP H05223675 A JPH05223675 A JP H05223675A JP 2962992 A JP2962992 A JP 2962992A JP 2962992 A JP2962992 A JP 2962992A JP H05223675 A JPH05223675 A JP H05223675A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- diaphragm
- receiving body
- pressure
- differential pressure
- pressure receiving
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 特殊材料のダイアフラムを有する差圧伝送器
に関し、歩留り向上が図れ、コストダウンが可能な差圧
伝送器を提供することを目的とする。 【構成】 シールリング２,３およびシールリング２,３
にあらかじめ溶接された同一材質の接液ダイアフラム１
２,１３からなるダイアフラムユニットと、内部に差圧
センサが設けられた受圧ボディ１と、ダイアフラムユニ
ット,受圧ボディ１間に配設される薄状ろう５０とを備
え、薄状ろう５０を加熱することにより、ダイアフラム
ユニットと受圧ボディ１とがろう接されるように構成す
る。
に関し、歩留り向上が図れ、コストダウンが可能な差圧
伝送器を提供することを目的とする。 【構成】 シールリング２,３およびシールリング２,３
にあらかじめ溶接された同一材質の接液ダイアフラム１
２,１３からなるダイアフラムユニットと、内部に差圧
センサが設けられた受圧ボディ１と、ダイアフラムユニ
ット,受圧ボディ１間に配設される薄状ろう５０とを備
え、薄状ろう５０を加熱することにより、ダイアフラム
ユニットと受圧ボディ１とがろう接されるように構成す
る。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、特殊材料のダイアフラ
ムを有する差圧伝送器に関する。
ムを有する差圧伝送器に関する。
【０００２】
【従来の技術】図３は、従来の差圧伝送器において、被
測定液が腐食性流体のために接液ダイアフラムが特殊材
料である場合、ダイアフラムと受圧ボディとの接合構造
を説明する構成図である。
測定液が腐食性流体のために接液ダイアフラムが特殊材
料である場合、ダイアフラムと受圧ボディとの接合構造
を説明する構成図である。
【０００３】図において、１００は特殊材質の接液ダイ
アフラム、２００は内部に差圧センサ (図示せず) を有
する受圧ボディである。３００は接液ダイアフラム１０
０と同一材料であって接液側に設けられるシールリング
である。
アフラム、２００は内部に差圧センサ (図示せず) を有
する受圧ボディである。３００は接液ダイアフラム１０
０と同一材料であって接液側に設けられるシールリング
である。
【０００４】そして、電子ビーム溶接によって、シール
リング３００,接液ダイアフラム１００,受圧ボディ２０
０とが取り付けられている。
リング３００,接液ダイアフラム１００,受圧ボディ２０
０とが取り付けられている。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】しかし、上記構成にお
いて、シールリング３００と接液ダイアフラム１００と
は、特殊材質であるので、溶接が難しく、歩留りがわる
く、コストダウンが難しいという問題点がある。
いて、シールリング３００と接液ダイアフラム１００と
は、特殊材質であるので、溶接が難しく、歩留りがわる
く、コストダウンが難しいという問題点がある。
【０００６】本発明は、上記問題点に鑑みて成されたも
ので、その目的は、特殊材料のダイアフラムを有する差
圧伝送器において、歩留り向上が図れ、コストダウンが
可能な差圧伝送器を提供することにある。
ので、その目的は、特殊材料のダイアフラムを有する差
圧伝送器において、歩留り向上が図れ、コストダウンが
可能な差圧伝送器を提供することにある。
【０００７】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決する本発
明は、シールリング,該シールリングにあらかじめ溶接
された同一材質の接液ダイアフラムからなるダイアフラ
ムユニットと、内部に差圧センサが設けられた受圧ボデ
ィと、前記ダイアフラムユニット,受圧ボディ間に配設
される薄状ろうとを備え、前記薄状ろうを加熱すること
により、前記ダイアフラムユニットと前記受圧ボディと
がろう接されたものである。
明は、シールリング,該シールリングにあらかじめ溶接
された同一材質の接液ダイアフラムからなるダイアフラ
ムユニットと、内部に差圧センサが設けられた受圧ボデ
ィと、前記ダイアフラムユニット,受圧ボディ間に配設
される薄状ろうとを備え、前記薄状ろうを加熱すること
により、前記ダイアフラムユニットと前記受圧ボディと
がろう接されたものである。
【０００８】
【作用】本発明の差圧伝送器において、組み立ての際
に、薄状ろうを加熱することにより、ダイアフラムユニ
ットと前記受圧ボディとがろう接され、特殊材質の溶接
を行うことをなくしている。
に、薄状ろうを加熱することにより、ダイアフラムユニ
ットと前記受圧ボディとがろう接され、特殊材質の溶接
を行うことをなくしている。
【０００９】よって、歩留り向上が図れ、コストダウン
が可能となる。
が可能となる。
【００１０】
【実施例】次に図面を用いて本発明の一実施例を説明す
る。図１は本発明の一実施例の差圧伝送器の断面構成図
である図２における要部拡大図、図２は本発明の一実施
例の差圧伝送器の断面構成図である。
る。図１は本発明の一実施例の差圧伝送器の断面構成図
である図２における要部拡大図、図２は本発明の一実施
例の差圧伝送器の断面構成図である。
【００１１】先ず、図２を用いて本実施例の差圧伝送器
の全体構成を説明する。図において、１は首部１Ａ,受
圧部１Ｂより構成される受圧ボディである。受圧ボディ
１の両方の側面には、波形に形成された移動阻止手段と
してのバックアッププレート１０Ａ,１１Ａが設けられ
ている。
の全体構成を説明する。図において、１は首部１Ａ,受
圧部１Ｂより構成される受圧ボディである。受圧ボディ
１の両方の側面には、波形に形成された移動阻止手段と
してのバックアッププレート１０Ａ,１１Ａが設けられ
ている。
【００１２】受圧ボディ１の内部には、圧力測定室６が
形成され、連通孔１４及び連通孔１５を介して受圧ボデ
ィ１の外部に接続されている。又、圧力導入室１０,１
１には、バックアッププレート１０Ａ,１１Ａを覆うよ
うに特殊材質の接液ダイアフラム１２,１３が設けられ
ている。そして、接液ダイアフラム１２,１３は接液ダ
イアフラム１２,１３と同じ材質のシールリング２,３を
用いて、それぞれ受圧ボディ１に取り付けられている
(尚、シールリング２,３、接液ダイアフラム１２,１
３、受圧ボディ１の取り付けは、後で詳説する) 。
形成され、連通孔１４及び連通孔１５を介して受圧ボデ
ィ１の外部に接続されている。又、圧力導入室１０,１
１には、バックアッププレート１０Ａ,１１Ａを覆うよ
うに特殊材質の接液ダイアフラム１２,１３が設けられ
ている。そして、接液ダイアフラム１２,１３は接液ダ
イアフラム１２,１３と同じ材質のシールリング２,３を
用いて、それぞれ受圧ボディ１に取り付けられている
(尚、シールリング２,３、接液ダイアフラム１２,１
３、受圧ボディ１の取り付けは、後で詳説する) 。
【００１３】一方、圧力測定室６には、両面にバックプ
レート６Ａ,６Ｂが形成されたセンタダイアフラム７で
２分されている。受圧ボディ１の首部１Ａには、上面が
開放されたセンサ室８２が形成され、このセンサ室８２
を塞ぐように支持体９が取り付けられている。支持体９
には、シリコンダイアフラム８が設けられ、シリコンダ
イアフラム８と支持体９との間には、センサ室８１が形
成されている。そして、シリコンダイアフラム８上に
は、圧力−電気変換素子としてのストレインゲージ８０
が取り付けられている。
レート６Ａ,６Ｂが形成されたセンタダイアフラム７で
２分されている。受圧ボディ１の首部１Ａには、上面が
開放されたセンサ室８２が形成され、このセンサ室８２
を塞ぐように支持体９が取り付けられている。支持体９
には、シリコンダイアフラム８が設けられ、シリコンダ
イアフラム８と支持体９との間には、センサ室８１が形
成されている。そして、シリコンダイアフラム８上に
は、圧力−電気変換素子としてのストレインゲージ８０
が取り付けられている。
【００１４】又、圧力測定室６とセンサ室８１とは連通
孔１６で、圧力測定室６とセンサ室８２とは連通孔１７
とで、それぞれ連絡されている。そして、連通孔１４,
圧力測定室６,連通孔１６及びセンサ室８１は封入液１
０１で、連通孔１５,圧力測定室６,連通孔１７及びセン
サ室８２は封入液１０２で、それぞれ充填されている。
孔１６で、圧力測定室６とセンサ室８２とは連通孔１７
とで、それぞれ連絡されている。そして、連通孔１４,
圧力測定室６,連通孔１６及びセンサ室８１は封入液１
０１で、連通孔１５,圧力測定室６,連通孔１７及びセン
サ室８２は封入液１０２で、それぞれ充填されている。
【００１５】次に、図２を用いて、シールリング２,
３、接液ダイアフラム１２,１３、受圧ボディ１の取り
付けを説明する。先ず、シールリング２,３と接液ダイ
アフラム１２,１３とは、あらかじめ溶接され、ダイア
フラムユニットとして、組み立てに供せられる。この溶
接は、同材質なので容易である。
３、接液ダイアフラム１２,１３、受圧ボディ１の取り
付けを説明する。先ず、シールリング２,３と接液ダイ
アフラム１２,１３とは、あらかじめ溶接され、ダイア
フラムユニットとして、組み立てに供せられる。この溶
接は、同材質なので容易である。
【００１６】又、ダイアフラムユニット (シールリン
グ) と受圧ボディ１との間には、薄状ろう ５０(例え
ば、ニッケルろう) が配設され、薄状ろう５０を真空中
電子ビームを用いて局部的に加熱することにより、ダイ
アフラムユニットと受圧ボディとがろう接される。
グ) と受圧ボディ１との間には、薄状ろう ５０(例え
ば、ニッケルろう) が配設され、薄状ろう５０を真空中
電子ビームを用いて局部的に加熱することにより、ダイ
アフラムユニットと受圧ボディとがろう接される。
【００１７】次に、上記構成の作動を説明する。高圧側
に作用する圧力ＰH,低圧側に作用する圧力ＰLは、それ
ぞれ接液ダイアフラム１２,１３及び封入液１０１,１０
２を介してシリコンダイアフラム８のそれぞれの面に作
用し、シリコンダイアフラム８は撓む。この撓みをスト
レインゲージ８０で検出し、ストレインゲージ８０は差
圧を電気信号に変換し出力する。この時、センタダイア
フラム７が低圧側に変形し、差圧による封入液１０１,
１０２移動を吸収する。
に作用する圧力ＰH,低圧側に作用する圧力ＰLは、それ
ぞれ接液ダイアフラム１２,１３及び封入液１０１,１０
２を介してシリコンダイアフラム８のそれぞれの面に作
用し、シリコンダイアフラム８は撓む。この撓みをスト
レインゲージ８０で検出し、ストレインゲージ８０は差
圧を電気信号に変換し出力する。この時、センタダイア
フラム７が低圧側に変形し、差圧による封入液１０１,
１０２移動を吸収する。
【００１８】又、高圧側又は低圧側に過大圧が作用する
と、過大圧が作用した方の接液ダイアフラム１２又は１
３がバックプレート１０Ａ又は１１Ａに着座すると共
に、連通孔１４又は１５の開口を塞ぐので、シリコンダ
イアフラム８へそれ以上の圧力の伝達されないようにな
っている。
と、過大圧が作用した方の接液ダイアフラム１２又は１
３がバックプレート１０Ａ又は１１Ａに着座すると共
に、連通孔１４又は１５の開口を塞ぐので、シリコンダ
イアフラム８へそれ以上の圧力の伝達されないようにな
っている。
【００１９】上記構成によれば、組み立ての際に、薄状
ろうを加熱することにより、ダイアフラムユニットと受
圧ボディ１とがろう接され、特殊材質の溶接を行うこと
をなくしている。よって、歩留り向上が図れ、コストダ
ウンが可能となる。
ろうを加熱することにより、ダイアフラムユニットと受
圧ボディ１とがろう接され、特殊材質の溶接を行うこと
をなくしている。よって、歩留り向上が図れ、コストダ
ウンが可能となる。
【００２０】
【発明の効果】以上述べたように本発明によれば、歩留
り向上が図れ、コストダウンが可能な差圧伝送器を実現
することができる。
り向上が図れ、コストダウンが可能な差圧伝送器を実現
することができる。
【図１】本発明の一実施例の差圧伝送器の断面構成図で
ある図２における要部拡大図である。
ある図２における要部拡大図である。
【図２】本発明の一実施例の差圧伝送器の断面構成図で
ある。
ある。
【図３】従来の差圧伝送器において、被測定液が腐食性
流体のために接液ダイアフラムが特殊材料である場合、
ダイアフラムと受圧ボディとの接合構造を説明する構成
図である。
流体のために接液ダイアフラムが特殊材料である場合、
ダイアフラムと受圧ボディとの接合構造を説明する構成
図である。
１ 受圧ボディ ２,３ シールリング １２,１３ 接液ダイアフラム ５０ 薄状ろう
Claims (1)
- 【請求項１】 シールリング,該シールリングにあらか
じめ溶接された同一材質の接液ダイアフラムからなるダ
イアフラムユニットと、 内部に差圧センサが設けられた受圧ボディと、 前記ダイアフラムユニット,受圧ボディ間に配設される
薄状ろうと、 を備え、 前記薄状ろうを加熱することにより、前記ダイアフラム
ユニットと前記受圧ボディとがろう接されたことを特徴
とする差圧伝送器。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2962992A JPH05223675A (ja) | 1992-02-17 | 1992-02-17 | 差圧伝送器 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2962992A JPH05223675A (ja) | 1992-02-17 | 1992-02-17 | 差圧伝送器 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05223675A true JPH05223675A (ja) | 1993-08-31 |
Family
ID=12281382
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2962992A Pending JPH05223675A (ja) | 1992-02-17 | 1992-02-17 | 差圧伝送器 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH05223675A (ja) |
-
1992
- 1992-02-17 JP JP2962992A patent/JPH05223675A/ja active Pending
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