JPH05223466A - 温度勾配炉 - Google Patents
温度勾配炉Info
- Publication number
- JPH05223466A JPH05223466A JP2531192A JP2531192A JPH05223466A JP H05223466 A JPH05223466 A JP H05223466A JP 2531192 A JP2531192 A JP 2531192A JP 2531192 A JP2531192 A JP 2531192A JP H05223466 A JPH05223466 A JP H05223466A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- linear motor
- furnace body
- slider
- linear
- motor stator
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Withdrawn
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- Control Of Position Or Direction (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 移動安定性がよく低加速度な移動ができる温
度勾配炉を得る。 【構成】 一端の中央部が開口した筒型の炉本体１、同
炉本体に平行に設けられたリニアモータステータ７、同
リニアモータステータに対向するとともに炉本体に連結
されたリニアモータスライダー６を設ける。
度勾配炉を得る。 【構成】 一端の中央部が開口した筒型の炉本体１、同
炉本体に平行に設けられたリニアモータステータ７、同
リニアモータステータに対向するとともに炉本体に連結
されたリニアモータスライダー６を設ける。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、半導体の製造等に適用
される温度勾配炉に関する。
される温度勾配炉に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来例を図３に示す。炉本体２４はボー
ルねじ２３に連結されている。ボールねじ２３は減速装
置２１によりベルト２２で駆動される。
ルねじ２３に連結されている。ボールねじ２３は減速装
置２１によりベルト２２で駆動される。
【０００３】温度勾配炉本体２４は、駆動用モータ１で
回転する減速装置２１で、ボールねじ２３を介して駆動
され、移動する。温度勾配炉本体４内には、試料を内蔵
した試料カートリッジ２５が同軸に挿入されている。
回転する減速装置２１で、ボールねじ２３を介して駆動
され、移動する。温度勾配炉本体４内には、試料を内蔵
した試料カートリッジ２５が同軸に挿入されている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】上記従来の技術では、
モータの回転むら、減速装置の歯車のピッチ誤差、ボー
ルねじのピッチ誤差が原因で、移動速度安定性±１％が
特に低減速で達成できない。又、モータ回転むら、減速
装置の初段歯車のピッチ誤差や歯形誤差が原因で試料へ
加わる加速度を１０-5Ｇ以下に抑えることができない。
モータの回転むら、減速装置の歯車のピッチ誤差、ボー
ルねじのピッチ誤差が原因で、移動速度安定性±１％が
特に低減速で達成できない。又、モータ回転むら、減速
装置の初段歯車のピッチ誤差や歯形誤差が原因で試料へ
加わる加速度を１０-5Ｇ以下に抑えることができない。
【０００５】この移動速度安定性と試料加速度の不安定
なことが、温度勾配炉を使用して実施される一方向凝固
や単結晶作成実験の阻害要因の１つとなっていた。
なことが、温度勾配炉を使用して実施される一方向凝固
や単結晶作成実験の阻害要因の１つとなっていた。
【０００６】
【課題を解決するための手段】本発明は上記課題を解決
するため次の手段を講ずる。
するため次の手段を講ずる。
【０００７】すなわち、温度勾配炉として、一端の中央
部が開口した筒型の炉本体と、同炉本体に平行に設けら
れたリニアモータステータと、同リニアモータステータ
に対向するとともに上記炉本体に連結されたリニアモー
タスライダーとを設ける。
部が開口した筒型の炉本体と、同炉本体に平行に設けら
れたリニアモータステータと、同リニアモータステータ
に対向するとともに上記炉本体に連結されたリニアモー
タスライダーとを設ける。
【０００８】
【作用】リニアモータステータに、所定の制御された電
力を供給することにより、リニアモータスライダーが、
炉本体とともにリニアモータ作用でリニアモータステー
タに沿って移動する。
力を供給することにより、リニアモータスライダーが、
炉本体とともにリニアモータ作用でリニアモータステー
タに沿って移動する。
【０００９】このようにして炉本体がリニアモータで移
動されるため、移動速度安定性の向上および低加速度性
の向上を計ることができる。
動されるため、移動速度安定性の向上および低加速度性
の向上を計ることができる。
【００１０】
【実施例】本発明の一実施例を図１、図２により説明す
る。図１は断面図、図２は図１のＡ−Ａ視図である。
る。図１は断面図、図２は図１のＡ−Ａ視図である。
【００１１】ケーシング１１の内に円筒型の炉本体１が
水平に配置される。炉本体１の１端面の中央部には開口
が設けられている。図中２はヒータ、１０は断熱層を示
す。
水平に配置される。炉本体１の１端面の中央部には開口
が設けられている。図中２はヒータ、１０は断熱層を示
す。
【００１２】炉本体１の下方の左右には、炉本体１に平
行にガイドレール３が設けられている。またガイドレー
ル３上を移動するリニアボールスライド４が設けられ、
これは炉本体１の下部に連結されている。
行にガイドレール３が設けられている。またガイドレー
ル３上を移動するリニアボールスライド４が設けられ、
これは炉本体１の下部に連結されている。
【００１３】またガイドレール３の下方には、平行にリ
ニアモータステータ７が配置されている。さらにリニア
モータステータ７に対向してリニアモータスライダー６
が設けられる。リニアモータスライダー６は、リニアボ
ールスライド４を介して炉本体１の下部に連結されてい
る。
ニアモータステータ７が配置されている。さらにリニア
モータステータ７に対向してリニアモータスライダー６
が設けられる。リニアモータスライダー６は、リニアボ
ールスライド４を介して炉本体１の下部に連結されてい
る。
【００１４】リニアモータスライダー６にはリニアスケ
ール１２が設けられる。またリニアモータスライダー６
の側部には、リニアエンコーダ５が配置されている。リ
ニアモータステータ７とリニアエンコーダ５は、図示し
ない制御器に接続されている。
ール１２が設けられる。またリニアモータスライダー６
の側部には、リニアエンコーダ５が配置されている。リ
ニアモータステータ７とリニアエンコーダ５は、図示し
ない制御器に接続されている。
【００１５】以上において、炉本体１の開口部から同軸
に、試料９を詰めたカートリッジ８が挿入される。試料
９はヒータで加熱される。
に、試料９を詰めたカートリッジ８が挿入される。試料
９はヒータで加熱される。
【００１６】炉本体１の移動は、制御器から、予め設定
されたパターンで制御された、リニアモータ駆動電流が
リニアモータステータ７に送られる。するとリニアモー
タ作用でリニアモータスライダー６が駆動され、ガイド
レール３上をリニアボールスライド４が炉本体１を載せ
て移動する。
されたパターンで制御された、リニアモータ駆動電流が
リニアモータステータ７に送られる。するとリニアモー
タ作用でリニアモータスライダー６が駆動され、ガイド
レール３上をリニアボールスライド４が炉本体１を載せ
て移動する。
【００１７】リニアモータスライダー６の各位置はリニ
アエンコーダ１２で検出され制御器に送られ、リニアモ
ータスライダー６の停止位置、速度、加速度が、制御さ
れる。
アエンコーダ１２で検出され制御器に送られ、リニアモ
ータスライダー６の停止位置、速度、加速度が、制御さ
れる。
【００１８】以上のようにしてリニアモータスライダー
６はリニアモータ作用で、非接触で駆動されるため、減
速装置でのような移動速度の不安定性や振動（加速度）
発生が生じない。またエンコーダの精度を上げることに
より位置決め精度も向上する。さらに構造がシンプル
で、長寿命となる。
６はリニアモータ作用で、非接触で駆動されるため、減
速装置でのような移動速度の不安定性や振動（加速度）
発生が生じない。またエンコーダの精度を上げることに
より位置決め精度も向上する。さらに構造がシンプル
で、長寿命となる。
【００１９】
【発明の効果】以上に説明したように本発明によれば、
炉本体がリニアモータ作用で駆動され移動するので、移
動速度の安定性が大幅に向上する。また振動等による加
速度も大幅に低下するようになる。
炉本体がリニアモータ作用で駆動され移動するので、移
動速度の安定性が大幅に向上する。また振動等による加
速度も大幅に低下するようになる。
【図１】図１は本発明の一実施例の縦断面図である。
【図２】図２は同実施例の図１のＡ−Ａ視図である。
【図３】図３は従来例の斜視図である。
１ 炉本体 ６ リニアモータスライダー ７ リニアモータステータ
Claims (1)
- 【請求項１】 一端の中央部が開口した筒型の炉本体
と、同炉本体に平行に設けられたリニアモータステータ
と、同リニアモータステータに対向するとともに上記炉
本体に連結されたリニアモータスライダーとを備えてな
ることを特徴とする温度勾配炉。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2531192A JPH05223466A (ja) | 1992-02-12 | 1992-02-12 | 温度勾配炉 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2531192A JPH05223466A (ja) | 1992-02-12 | 1992-02-12 | 温度勾配炉 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05223466A true JPH05223466A (ja) | 1993-08-31 |
Family
ID=12162460
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2531192A Withdrawn JPH05223466A (ja) | 1992-02-12 | 1992-02-12 | 温度勾配炉 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH05223466A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN110174189A (zh) * | 2019-05-20 | 2019-08-27 | 吴银峰 | 对锅炉热场进行动态实时监测以及触发控制方法 |
| CN110174190A (zh) * | 2019-05-20 | 2019-08-27 | 吴银峰 | 感应锅炉热场波动的集热式多位液压触发控制系统 |
-
1992
- 1992-02-12 JP JP2531192A patent/JPH05223466A/ja not_active Withdrawn
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN110174189A (zh) * | 2019-05-20 | 2019-08-27 | 吴银峰 | 对锅炉热场进行动态实时监测以及触发控制方法 |
| CN110174190A (zh) * | 2019-05-20 | 2019-08-27 | 吴银峰 | 感应锅炉热场波动的集热式多位液压触发控制系统 |
| CN110174189B (zh) * | 2019-05-20 | 2020-09-08 | 北京华盈顺承能源科技有限公司 | 对锅炉热场进行动态实时监测以及触发控制方法 |
| CN110174190B (zh) * | 2019-05-20 | 2020-11-03 | 华世禾能(辽宁)农业发展有限公司 | 感应锅炉热场波动的集热式多位液压触发控制系统 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 19990518 |