JPH05216416A - プラズマアドレス電気光学装置 - Google Patents
プラズマアドレス電気光学装置Info
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- JPH05216416A JPH05216416A JP4047972A JP4797292A JPH05216416A JP H05216416 A JPH05216416 A JP H05216416A JP 4047972 A JP4047972 A JP 4047972A JP 4797292 A JP4797292 A JP 4797292A JP H05216416 A JPH05216416 A JP H05216416A
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- Japan
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- plasma
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- glass
- glass substrate
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-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
- G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
- G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour
- G02F1/13—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
- G02F1/133—Constructional arrangements; Operation of liquid crystal cells; Circuit arrangements
- G02F1/1333—Constructional arrangements; Manufacturing methods
- G02F1/133374—Constructional arrangements; Manufacturing methods for displaying permanent signs or marks
Landscapes
- Liquid Crystal (AREA)
- Devices For Indicating Variable Information By Combining Individual Elements (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 プラズマアドレス電気光学装置の液晶セルと
プラズマセルを仕切る薄板ガラスの平坦性を確保する。 【構成】 プラズマアドレス電気光学装置は一対のガラ
ス基板4,7を用いて構成される。一方のガラス基板4
の内表面には互いに平行に配置された信号電極Dが形成
されている。他方のガラス基板7の内表面には信号電極
Dと直交し且つ主面に沿って互いに平行に配置されたプ
ラズマ電極8とこの電極上に形成された隔壁9とを有し
ている。ガラス基板4と中間に介在する薄板ガラス3と
の間には液晶層6が充填されている。又薄板ガラス3と
他方のガラス基板7との間にはプラズマ室12が形成さ
れている。薄板ガラス3とガラス基板7との間に平板ス
ペーサ10が介在している。この平板スペーサ10の外
側に沿って低融点ガラス11を設けフリットシールを行
なっている。平板スペーサ10を用いる事により薄板ガ
ラス3の平坦性を確保できる。
プラズマセルを仕切る薄板ガラスの平坦性を確保する。 【構成】 プラズマアドレス電気光学装置は一対のガラ
ス基板4,7を用いて構成される。一方のガラス基板4
の内表面には互いに平行に配置された信号電極Dが形成
されている。他方のガラス基板7の内表面には信号電極
Dと直交し且つ主面に沿って互いに平行に配置されたプ
ラズマ電極8とこの電極上に形成された隔壁9とを有し
ている。ガラス基板4と中間に介在する薄板ガラス3と
の間には液晶層6が充填されている。又薄板ガラス3と
他方のガラス基板7との間にはプラズマ室12が形成さ
れている。薄板ガラス3とガラス基板7との間に平板ス
ペーサ10が介在している。この平板スペーサ10の外
側に沿って低融点ガラス11を設けフリットシールを行
なっている。平板スペーサ10を用いる事により薄板ガ
ラス3の平坦性を確保できる。
Description
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は液晶セル等の電気光学セ
ルとプラズマセルの2層構造からなるプラズマアドレス
電気光学装置に関する。より詳しくはプラズマセルのシ
ール構造に関する。
ルとプラズマセルの2層構造からなるプラズマアドレス
電気光学装置に関する。より詳しくはプラズマセルのシ
ール構造に関する。
【0002】
【従来の技術】従来、液晶セルを用いたマトリクスタイ
プの電気光学装置例えば液晶表示装置を高解像度化、高
コントラスト化する為の手段としては、各画素毎に薄膜
トランジスタ等のスイッチング素子を設け、これを線順
次で駆動する方式(所謂アクティブマトリクスアドレス
方式)が一般に知られている。しかしながら、この場合
薄膜トランジスタの様な半導体素子を基板上に多数設け
る必要があり、特に大面積化した時に製造歩留りが悪く
なるという短所がある。
プの電気光学装置例えば液晶表示装置を高解像度化、高
コントラスト化する為の手段としては、各画素毎に薄膜
トランジスタ等のスイッチング素子を設け、これを線順
次で駆動する方式(所謂アクティブマトリクスアドレス
方式)が一般に知られている。しかしながら、この場合
薄膜トランジスタの様な半導体素子を基板上に多数設け
る必要があり、特に大面積化した時に製造歩留りが悪く
なるという短所がある。
【0003】そこで、この短所を解決する手段として、
ブザク等は特開平1−217396号公報において、薄
膜トランジスタ等からなるスイッチング素子に代えてプ
ラズマスイッチを利用する方式を提案している。以下、
プラズマ放電に基くスイッチを利用して液晶セルを駆動
するプラズマアドレス表示装置の構成を簡単に説明す
る。図7に示す様に、この装置は液晶セル101とプラ
ズマセル102と両者の間に介在する仕切り板103と
からなる積層フラットパネル構造を有している。プラズ
マセル102はガラス基板104を用いて形成されてお
り、その表面に複数の溝105が設けられている。この
溝105は例えば行列マトリクスの行方向に延びてい
る。各溝105は仕切り板103によって密封されてお
り個々に分離したプラズマ室106を構成している。こ
のプラズマ室106にはイオン化可能なガスが封入され
ている。隣接する溝105を隔てる凸条部107は個々
のプラズマ室106を区分けする隔壁の役割を果たすと
ともに各プラズマ室106のギャップスペーサとしての
役割も果たしている。各溝105の底部には、互いに平
行な一対のプラズマ電極108,109が設けられてい
る。一対の電極はアノード及びカソードとして機能しプ
ラズマ室106内のガスをイオン化して放電プラズマを
発生する。かかる放電領域は行走査単位となる。
ブザク等は特開平1−217396号公報において、薄
膜トランジスタ等からなるスイッチング素子に代えてプ
ラズマスイッチを利用する方式を提案している。以下、
プラズマ放電に基くスイッチを利用して液晶セルを駆動
するプラズマアドレス表示装置の構成を簡単に説明す
る。図7に示す様に、この装置は液晶セル101とプラ
ズマセル102と両者の間に介在する仕切り板103と
からなる積層フラットパネル構造を有している。プラズ
マセル102はガラス基板104を用いて形成されてお
り、その表面に複数の溝105が設けられている。この
溝105は例えば行列マトリクスの行方向に延びてい
る。各溝105は仕切り板103によって密封されてお
り個々に分離したプラズマ室106を構成している。こ
のプラズマ室106にはイオン化可能なガスが封入され
ている。隣接する溝105を隔てる凸条部107は個々
のプラズマ室106を区分けする隔壁の役割を果たすと
ともに各プラズマ室106のギャップスペーサとしての
役割も果たしている。各溝105の底部には、互いに平
行な一対のプラズマ電極108,109が設けられてい
る。一対の電極はアノード及びカソードとして機能しプ
ラズマ室106内のガスをイオン化して放電プラズマを
発生する。かかる放電領域は行走査単位となる。
【0004】一方、液晶セル101はガラス基板110
を用いて構成されている。このガラス基板110は仕切
り板103に所定の間隙を介して対向配置されており間
隙内には液晶層111が充填されている。又、ガラス基
板110の内表面には透明導電材料からなる信号電極1
12が形成されている。この信号電極112はプラズマ
室106と直交しており列駆動単位となる。列駆動単位
と行走査単位の交差部分にマトリクス状の画素が規定さ
れる。
を用いて構成されている。このガラス基板110は仕切
り板103に所定の間隙を介して対向配置されており間
隙内には液晶層111が充填されている。又、ガラス基
板110の内表面には透明導電材料からなる信号電極1
12が形成されている。この信号電極112はプラズマ
室106と直交しており列駆動単位となる。列駆動単位
と行走査単位の交差部分にマトリクス状の画素が規定さ
れる。
【0005】かかる構成を有する表示装置においては、
プラズマ放電が行なわれるプラズマ室106を線順次で
切り換え走査するとともに、この走査に同期して液晶セ
ル側の信号電極112にアナログ駆動電圧を印加する事
により表示駆動が行なわれる。プラズマ室106内にプ
ラズマ放電が発生すると内部は略一様にアノード電位に
なり1行毎の画素選択が行なわれる。即ち、プラズマ室
106はサンプリングスイッチとして機能する。プラズ
マサンプリングスイッチが導通した状態で各画素に駆動
電圧が印加されるとサンプリングホールドが行なわれ画
素の点灯もしくは消灯が制御できる。プラズマサンプリ
ングスイッチが非導通状態になった後にもアナログ駆動
電圧はそのまま画素内に保持される。
プラズマ放電が行なわれるプラズマ室106を線順次で
切り換え走査するとともに、この走査に同期して液晶セ
ル側の信号電極112にアナログ駆動電圧を印加する事
により表示駆動が行なわれる。プラズマ室106内にプ
ラズマ放電が発生すると内部は略一様にアノード電位に
なり1行毎の画素選択が行なわれる。即ち、プラズマ室
106はサンプリングスイッチとして機能する。プラズ
マサンプリングスイッチが導通した状態で各画素に駆動
電圧が印加されるとサンプリングホールドが行なわれ画
素の点灯もしくは消灯が制御できる。プラズマサンプリ
ングスイッチが非導通状態になった後にもアナログ駆動
電圧はそのまま画素内に保持される。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】ところで、上述の様に
プラズマスイッチを利用した画像表示装置では、トラン
ジスタスイッチを用いたものより大面積化が容易である
と考えられるが、実用化に当っては様々な問題点があ
る。例えば、プラズマ室106を構成する為の溝105
をガラス基板104の上に形成する事は製造上かなりの
困難を伴なう。特に、高密度に溝105を形成する事は
著しく難しい。又、溝105内に夫々プラズマ電極10
8,109を形成する必要があるが、この為のエッチン
グプロセスは複雑であり、一対の電極の間隔を精度良く
保つ事も難しい。
プラズマスイッチを利用した画像表示装置では、トラン
ジスタスイッチを用いたものより大面積化が容易である
と考えられるが、実用化に当っては様々な問題点があ
る。例えば、プラズマ室106を構成する為の溝105
をガラス基板104の上に形成する事は製造上かなりの
困難を伴なう。特に、高密度に溝105を形成する事は
著しく難しい。又、溝105内に夫々プラズマ電極10
8,109を形成する必要があるが、この為のエッチン
グプロセスは複雑であり、一対の電極の間隔を精度良く
保つ事も難しい。
【0007】上述した従来の技術の問題点に鑑み、発明
者は先に出願された特許願平成3年第47784号にお
いて、製造が簡単でしかも大画面化及び高精細化に適し
たプラズマアドレス電気光学装置を提案している。本発
明の目的を明らかにする為に、この先願にかかる装置を
図8を参照して簡潔に説明する。この装置は、一主面上
に互いに略平行な信号電極201を有する一方のガラス
基板202と、一主面上に該信号電極と略直交し且つ互
いに平行な複数のプラズマ電極203を有する他方の基
板204とから構成されている。これら一対のガラス基
板202,204は薄板ガラス205からなる仕切り板
を介して互いに略平行に配置されている。ガラス基板2
02と薄板ガラス205との間には液晶層206が封入
されている。又、薄板ガラス205と下側のガラス基板
204との間にはイオン化可能なガスが封入されており
プラズマ室207を構成する。各プラズマ電極203の
上に沿って隔壁208が印刷法により形成されている。
プラズマ室207はこの隔壁208により行方向に沿っ
て分割されており行走査単位を構成する。この印刷法は
非常に簡単な技術で且つしかも微細なパタンの形成が可
能であり、前述した従来例における溝形成加工に比べて
生産性や作業性が大幅に向上する。又、プラズマ電極2
03は平坦なガラス基板上に形成されるのでエッチング
プロセスも単純になり且つ電極間距離も高精度に制御で
きる。
者は先に出願された特許願平成3年第47784号にお
いて、製造が簡単でしかも大画面化及び高精細化に適し
たプラズマアドレス電気光学装置を提案している。本発
明の目的を明らかにする為に、この先願にかかる装置を
図8を参照して簡潔に説明する。この装置は、一主面上
に互いに略平行な信号電極201を有する一方のガラス
基板202と、一主面上に該信号電極と略直交し且つ互
いに平行な複数のプラズマ電極203を有する他方の基
板204とから構成されている。これら一対のガラス基
板202,204は薄板ガラス205からなる仕切り板
を介して互いに略平行に配置されている。ガラス基板2
02と薄板ガラス205との間には液晶層206が封入
されている。又、薄板ガラス205と下側のガラス基板
204との間にはイオン化可能なガスが封入されており
プラズマ室207を構成する。各プラズマ電極203の
上に沿って隔壁208が印刷法により形成されている。
プラズマ室207はこの隔壁208により行方向に沿っ
て分割されており行走査単位を構成する。この印刷法は
非常に簡単な技術で且つしかも微細なパタンの形成が可
能であり、前述した従来例における溝形成加工に比べて
生産性や作業性が大幅に向上する。又、プラズマ電極2
03は平坦なガラス基板上に形成されるのでエッチング
プロセスも単純になり且つ電極間距離も高精度に制御で
きる。
【0008】次に図9を参照して図8に示す装置の製造
方法を簡潔に説明する。まず、工程S1においてガラス
基板204の表面に電極203を印刷し焼成する。次に
工程S2において、電極203に沿って隔壁208ある
いはリブを積層して印刷し焼成する。続いて工程S3に
おいて、低融点ガラス等を用いガラス基板204と薄板
ガラス205を互いにフリットシールする。最後に工程
S4において、薄板ガラス205に上側のガラス基板2
02を接着し内部に液晶層206を充填して液晶セルを
接合する。
方法を簡潔に説明する。まず、工程S1においてガラス
基板204の表面に電極203を印刷し焼成する。次に
工程S2において、電極203に沿って隔壁208ある
いはリブを積層して印刷し焼成する。続いて工程S3に
おいて、低融点ガラス等を用いガラス基板204と薄板
ガラス205を互いにフリットシールする。最後に工程
S4において、薄板ガラス205に上側のガラス基板2
02を接着し内部に液晶層206を充填して液晶セルを
接合する。
【0009】再び、図8に戻って本発明が解決しようと
する課題を説明する。前述した様に薄板ガラス205を
ガラス基板204にフリットシールする場合には通常低
融点ガラス209を用いる。ペースト状の低融点ガラス
209は例えばディスペンサにより定量的にガラス基板
204の周辺部に沿って供給される。しかしながら、ペ
ーストの供給量にはばらつきがあり必ずしも一定の厚み
が得られない。その為、フリットシールに沿って凹凸が
生じその影響で薄板ガラス205の平坦性を表示面全体
に渡って確保する事ができないという問題点がある。
する課題を説明する。前述した様に薄板ガラス205を
ガラス基板204にフリットシールする場合には通常低
融点ガラス209を用いる。ペースト状の低融点ガラス
209は例えばディスペンサにより定量的にガラス基板
204の周辺部に沿って供給される。しかしながら、ペ
ーストの供給量にはばらつきがあり必ずしも一定の厚み
が得られない。その為、フリットシールに沿って凹凸が
生じその影響で薄板ガラス205の平坦性を表示面全体
に渡って確保する事ができないという問題点がある。
【0010】加えて、リブ208を厚膜印刷により形成
しているがギャップスペーサとして機能するので相当の
厚みが必要になる。しかしながら、リブの高さにはばら
つきがあり且つ個々のリブ頂面にも凹凸が生じる。従っ
て、リブ頂面と薄板ガラス205が接触するとやはり平
坦性が得られないという問題点がある。
しているがギャップスペーサとして機能するので相当の
厚みが必要になる。しかしながら、リブの高さにはばら
つきがあり且つ個々のリブ頂面にも凹凸が生じる。従っ
て、リブ頂面と薄板ガラス205が接触するとやはり平
坦性が得られないという問題点がある。
【0011】ところで、プラズマセル部の加工は高温処
理を要し、液晶セルの加工は比較的低温処理で行なえ
る。この為、図9に示す様にプラズマセルの加工を行な
ってから液晶セルを接合している。この時、薄板ガラス
205の平坦性が出ていない為、液晶層206の厚みが
表示面に渡ってばらつくという問題点が生じる。液晶層
206の厚みが均一でないと動作特性に悪影響を与え表
示むら等が生じる惧れがある。
理を要し、液晶セルの加工は比較的低温処理で行なえ
る。この為、図9に示す様にプラズマセルの加工を行な
ってから液晶セルを接合している。この時、薄板ガラス
205の平坦性が出ていない為、液晶層206の厚みが
表示面に渡ってばらつくという問題点が生じる。液晶層
206の厚みが均一でないと動作特性に悪影響を与え表
示むら等が生じる惧れがある。
【0012】
【課題を解決するための手段】上述した先願にかかるプ
ラズマアドレス電気光学装置の課題に鑑み、本発明は仕
切り板として用いられる薄板ガラスの平坦性を確保する
事を目的とする。かかる目的を達成する為に、プラズマ
セル側のガラス基板と薄板ガラスの間に平板スペーサを
設けるという手段を講じた。ガラス基板の周縁部であっ
て平板スペーサの外側に沿って低融点ガラスを供給し平
板スペーサを介して薄板ガラスとガラス基板を接着する
様にした。好ましくは、薄板ガラスとガラス基板の熱膨
張係数は略等しく設定されている。又、低融点ガラス材
料の熱膨張係数は、薄板ガラス及びガラス基板の熱膨張
係数と等しいかあるいは小さくなる様に選択されてい
る。加えて、熱圧着によるフリットシール加工前におい
て、平板スペーサの厚みは少なくとも低融点ガラスの厚
みと同じかそれ以下に設定されている。
ラズマアドレス電気光学装置の課題に鑑み、本発明は仕
切り板として用いられる薄板ガラスの平坦性を確保する
事を目的とする。かかる目的を達成する為に、プラズマ
セル側のガラス基板と薄板ガラスの間に平板スペーサを
設けるという手段を講じた。ガラス基板の周縁部であっ
て平板スペーサの外側に沿って低融点ガラスを供給し平
板スペーサを介して薄板ガラスとガラス基板を接着する
様にした。好ましくは、薄板ガラスとガラス基板の熱膨
張係数は略等しく設定されている。又、低融点ガラス材
料の熱膨張係数は、薄板ガラス及びガラス基板の熱膨張
係数と等しいかあるいは小さくなる様に選択されてい
る。加えて、熱圧着によるフリットシール加工前におい
て、平板スペーサの厚みは少なくとも低融点ガラスの厚
みと同じかそれ以下に設定されている。
【0013】
【作用】本発明においては、フリットシールの内側に平
板スペーサを配置し、低融点ガラスあるいは半田ガラス
ペーストを用いて薄板ガラス、ガラス基板及び平板スペ
ーサの3者を一体的に接着している。熱圧着処理時、薄
板ガラスは平板スペーサによって主体的に支持されるの
で平坦度が確保できる。加えて、平板スペーサの厚みを
リブの高さよりも若干大きく設定する事により、凹凸の
あるリブ頂面と薄板ガラスとの当接を防ぐ事ができ平坦
性を一層向上できる。この様に平坦性の確保された薄板
ガラス表面に対して液晶セルを接合すると液晶層の厚み
は表示面全体に渡って均一に制御され画像表示品質が向
上する。
板スペーサを配置し、低融点ガラスあるいは半田ガラス
ペーストを用いて薄板ガラス、ガラス基板及び平板スペ
ーサの3者を一体的に接着している。熱圧着処理時、薄
板ガラスは平板スペーサによって主体的に支持されるの
で平坦度が確保できる。加えて、平板スペーサの厚みを
リブの高さよりも若干大きく設定する事により、凹凸の
あるリブ頂面と薄板ガラスとの当接を防ぐ事ができ平坦
性を一層向上できる。この様に平坦性の確保された薄板
ガラス表面に対して液晶セルを接合すると液晶層の厚み
は表示面全体に渡って均一に制御され画像表示品質が向
上する。
【0014】
【実施例】以下図面を参照して本発明の好適な実施例を
詳細に説明する。図1は本発明にかかるプラズマアドレ
ス電気光学装置の一実施例を示す模式的な断面図であ
る。本装置は液晶セル1とプラズマセル2と両者の間に
介在する薄板ガラス3からなる仕切り板とを積層した構
造を有する。薄板ガラス3は液晶セルを駆動する為にで
きる限り薄い事が必要であり、例えば50μm程度の板
厚を有する。液晶セル1は第1の基板即ちガラス基板4
を用いて構成されており、その内側主面には透明導電膜
からなる複数の第1電極即ち信号電極Dが互いに列方向
に沿って平行に形成されている。基板4はスペーサ5を
用いて所定の間隙を介し薄板ガラス3に接着されてい
る。間隙内には電気光学材料層である液晶層6が充填さ
れている。この間隙寸法は通常5μm程度であり表示面
全体に渡って均一に保つ必要がある。この為、図示しな
いが通常間隙内には所定の粒径を有するスペーサ粒子が
散布されている。これにより間隙寸法は±0.1μm程
度の誤差内に制御する事ができる。液晶層6は信号電極
Dと薄板ガラス3に接面している。本実施例においては
電気光学材料として液晶が用いられているが必ずしもこ
れに限られるものではなく他の流体材料を用いる事もで
きる。又、本実施例はプラズマアドレス表示装置に関す
るものであるが、本発明はこれに限られものではなく光
学変調装置等広くプラズマアドレス電気光学装置に適用
可能である。
詳細に説明する。図1は本発明にかかるプラズマアドレ
ス電気光学装置の一実施例を示す模式的な断面図であ
る。本装置は液晶セル1とプラズマセル2と両者の間に
介在する薄板ガラス3からなる仕切り板とを積層した構
造を有する。薄板ガラス3は液晶セルを駆動する為にで
きる限り薄い事が必要であり、例えば50μm程度の板
厚を有する。液晶セル1は第1の基板即ちガラス基板4
を用いて構成されており、その内側主面には透明導電膜
からなる複数の第1電極即ち信号電極Dが互いに列方向
に沿って平行に形成されている。基板4はスペーサ5を
用いて所定の間隙を介し薄板ガラス3に接着されてい
る。間隙内には電気光学材料層である液晶層6が充填さ
れている。この間隙寸法は通常5μm程度であり表示面
全体に渡って均一に保つ必要がある。この為、図示しな
いが通常間隙内には所定の粒径を有するスペーサ粒子が
散布されている。これにより間隙寸法は±0.1μm程
度の誤差内に制御する事ができる。液晶層6は信号電極
Dと薄板ガラス3に接面している。本実施例においては
電気光学材料として液晶が用いられているが必ずしもこ
れに限られるものではなく他の流体材料を用いる事もで
きる。又、本実施例はプラズマアドレス表示装置に関す
るものであるが、本発明はこれに限られものではなく光
学変調装置等広くプラズマアドレス電気光学装置に適用
可能である。
【0015】一方、プラズマセル2は第2の基板即ち下
側のガラス基板7を用いて構成されている。ガラス基板
7の内側主面上には第2電極即ちプラズマ電極8が形成
されている。プラズマ電極8は交互にアノードA及びカ
ソードKとして機能しプラズマ放電を発生させる。プラ
ズマ電極8は信号電極Dに交差する様に行方向に沿って
配置されている。プラズマ電極8の上に沿って隔壁9あ
るはリブが形成されている。ガラス基板7と薄板ガラス
3との間には平板スペーサ10が挿入されている。この
平板スペーサ10はプラズマセル2のギャップを規定す
るものであり、隔壁9の高さよりも大きな厚み寸法を有
する。例えば、150μmに設定されている。この場
合、隔壁9あるいはリブ頂面の高さのばらつきを考慮し
て、10μm程度のクリアランスが残る様にしている。
この様にして、リブの頂面が薄板ガラス3に当接する事
を防止している。平板スペーサ10の外側においてガラ
ス基板7の周縁部に沿って低融点ガラス11が配設され
ており、薄板ガラス3とガラス基板7とを接着してい
る。両者の間に気密封止されたプラズマ室12が形成さ
れる。このプラズマ室12の内部にはイオン化可能なガ
スが封入されている。ガス種は例えばヘリウム、ネオ
ン、アルゴンあるいはこれらの混合気体から選ぶ事がで
きる。プラズマ室12は隔壁9あるいはリブによって分
割されており各々行走査単位を構成する。
側のガラス基板7を用いて構成されている。ガラス基板
7の内側主面上には第2電極即ちプラズマ電極8が形成
されている。プラズマ電極8は交互にアノードA及びカ
ソードKとして機能しプラズマ放電を発生させる。プラ
ズマ電極8は信号電極Dに交差する様に行方向に沿って
配置されている。プラズマ電極8の上に沿って隔壁9あ
るはリブが形成されている。ガラス基板7と薄板ガラス
3との間には平板スペーサ10が挿入されている。この
平板スペーサ10はプラズマセル2のギャップを規定す
るものであり、隔壁9の高さよりも大きな厚み寸法を有
する。例えば、150μmに設定されている。この場
合、隔壁9あるいはリブ頂面の高さのばらつきを考慮し
て、10μm程度のクリアランスが残る様にしている。
この様にして、リブの頂面が薄板ガラス3に当接する事
を防止している。平板スペーサ10の外側においてガラ
ス基板7の周縁部に沿って低融点ガラス11が配設され
ており、薄板ガラス3とガラス基板7とを接着してい
る。両者の間に気密封止されたプラズマ室12が形成さ
れる。このプラズマ室12の内部にはイオン化可能なガ
スが封入されている。ガス種は例えばヘリウム、ネオ
ン、アルゴンあるいはこれらの混合気体から選ぶ事がで
きる。プラズマ室12は隔壁9あるいはリブによって分
割されており各々行走査単位を構成する。
【0016】隣接する一対のプラズマ電極8即ちアノー
ドAとカソードKとの間に所定の電圧を印加すると封入
されているガスが選択的にイオン化されイオン化ガスの
局在した放電領域13が形成される。この放電領域13
は隔壁9によって実質的に限定されており行走査単位と
なる。この放電領域13と信号電極Dとの交差部に個々
の画素が位置する事になる。
ドAとカソードKとの間に所定の電圧を印加すると封入
されているガスが選択的にイオン化されイオン化ガスの
局在した放電領域13が形成される。この放電領域13
は隔壁9によって実質的に限定されており行走査単位と
なる。この放電領域13と信号電極Dとの交差部に個々
の画素が位置する事になる。
【0017】以上の説明から明らかな様に、薄板ガラス
3とガラス基板7との間に平板スペーサ10を配置する
事により、薄板ガラス3を平坦に貼り合わせる事ができ
る。従って、液晶セル1を接合した時、液晶層6の厚み
を均一に制御できる。
3とガラス基板7との間に平板スペーサ10を配置する
事により、薄板ガラス3を平坦に貼り合わせる事ができ
る。従って、液晶セル1を接合した時、液晶層6の厚み
を均一に制御できる。
【0018】図2は下側のガラス基板7の平面形状を表
わしておりフリットシール時の半完成品状態である。ガ
ラス基板7の表面には前工程でプラズマ電極8及び隔壁
9があらかじめ形成されている。基板7の周縁部に沿っ
て平板スペーサ10が配置される。この例では、平板ス
ペーサ10は所定の厚みを有するガラス板を窓枠状に加
工したものを用いている。平板スペーサ10の外周部に
沿って低融点ガラス11が供給される。この例では、ペ
ースト状の低融点ガラスをディスペンサにより供給して
いる。供給量は塗布されたペーストの高さが平板スペー
サ10の高さを若干超える様にする。
わしておりフリットシール時の半完成品状態である。ガ
ラス基板7の表面には前工程でプラズマ電極8及び隔壁
9があらかじめ形成されている。基板7の周縁部に沿っ
て平板スペーサ10が配置される。この例では、平板ス
ペーサ10は所定の厚みを有するガラス板を窓枠状に加
工したものを用いている。平板スペーサ10の外周部に
沿って低融点ガラス11が供給される。この例では、ペ
ースト状の低融点ガラスをディスペンサにより供給して
いる。供給量は塗布されたペーストの高さが平板スペー
サ10の高さを若干超える様にする。
【0019】図3はガラス基板7の他の構成例を示す模
式的な平面図である。図2と同一の部分については同一
の参照番号を付して理解を容易にしている。本例におい
ては短冊状に加工された平板スペーサ10を用いてい
る。複数本の短冊を組み合わせて基板7の中央部を囲む
様に構成する。短冊状の平板スペーサ10は窓枠状の平
板スペーサに比べて加工が容易であり且つ歩留りも向上
する。なお、プラズマ電極8を横切る様に配設された短
冊は省略する事も可能である。この様にすれば、プラズ
マ電極8の膜厚に起因する平坦度のばらつきを除去でき
る。平板スペーサ10の外側には同じく短冊状に加工さ
れた低融点ガラスシート11が配設される。このシート
はあらかじめ成形されたものでありペーストに比べて取
り扱いが容易である。低融点ガラスシート11の厚みは
平板スペーサ10の厚みと等しいかこれより若干大きく
なる様に設定する。なお短冊状のシートとシートの間に
は多少の間隙が生じるが0.5mm以内であれば熱融着に
より塞がれるので問題はない。
式的な平面図である。図2と同一の部分については同一
の参照番号を付して理解を容易にしている。本例におい
ては短冊状に加工された平板スペーサ10を用いてい
る。複数本の短冊を組み合わせて基板7の中央部を囲む
様に構成する。短冊状の平板スペーサ10は窓枠状の平
板スペーサに比べて加工が容易であり且つ歩留りも向上
する。なお、プラズマ電極8を横切る様に配設された短
冊は省略する事も可能である。この様にすれば、プラズ
マ電極8の膜厚に起因する平坦度のばらつきを除去でき
る。平板スペーサ10の外側には同じく短冊状に加工さ
れた低融点ガラスシート11が配設される。このシート
はあらかじめ成形されたものでありペーストに比べて取
り扱いが容易である。低融点ガラスシート11の厚みは
平板スペーサ10の厚みと等しいかこれより若干大きく
なる様に設定する。なお短冊状のシートとシートの間に
は多少の間隙が生じるが0.5mm以内であれば熱融着に
より塞がれるので問題はない。
【0020】次に図4を参照して図1に示すプラズマア
ドレス電気光学装置の製造方法を説明する。まず、ガラ
ス基板7の表面にスクリーン印刷法を用いて電極ペース
トを塗布し焼成してプラズマ電極8を形成する。
ドレス電気光学装置の製造方法を説明する。まず、ガラ
ス基板7の表面にスクリーン印刷法を用いて電極ペース
トを塗布し焼成してプラズマ電極8を形成する。
【0021】次に、同じくスクリーン印刷法を用いてプ
ラズマ電極8の上に沿って隔壁9を形成する。本例にお
いては電極及び隔壁は所謂厚膜印刷により形成されてい
る。印刷法を用いる事により、表示装置の大型化が可能
になり、開口率を大きくする事ができるとともに、低抵
抗の電極が作成できる等多くの利点が得られる。
ラズマ電極8の上に沿って隔壁9を形成する。本例にお
いては電極及び隔壁は所謂厚膜印刷により形成されてい
る。印刷法を用いる事により、表示装置の大型化が可能
になり、開口率を大きくする事ができるとともに、低抵
抗の電極が作成できる等多くの利点が得られる。
【0022】続いて、フリットシールにより薄板ガラス
3をガラス基板7に熱融着する。この時、両者の間に平
板スペーサ10を介在させている。スペーサの厚みは隔
壁9の高さを若干超えるレベルでプラズマ放電に必要な
ギャップを維持できる様に設定されている。薄板ガラス
3、ガラス基板7、平板スペーサ10は低融点ガラス1
1により一体的にフリットシールされる。この場合、薄
板ガラス、ガラス基板及び平板スペーサは全て等しい熱
膨張係数を有する事が好ましい。仮に、3者の熱膨張係
数に著しい相違があるとフリットシール時に高温焼成を
行なう為、伸縮率に相違がでて薄板ガラスの割れやひび
の原因になってしまう。又、低融点ガラスの熱膨張係数
は上述した3個のガラス部材に比べて少し熱膨張係数の
小さい方が好ましい。仮に、低融点ガラスの熱膨張係数
が大きいと収縮率が増大しフリットシールにひび割れが
生じたり薄板ガラスが波打ち変形をしてしまう惧れがあ
る。そこで、低融点ガラスの熱膨張係数を小さくする事
によりひび割れや薄板ガラスへの悪影響を除く事ができ
る。
3をガラス基板7に熱融着する。この時、両者の間に平
板スペーサ10を介在させている。スペーサの厚みは隔
壁9の高さを若干超えるレベルでプラズマ放電に必要な
ギャップを維持できる様に設定されている。薄板ガラス
3、ガラス基板7、平板スペーサ10は低融点ガラス1
1により一体的にフリットシールされる。この場合、薄
板ガラス、ガラス基板及び平板スペーサは全て等しい熱
膨張係数を有する事が好ましい。仮に、3者の熱膨張係
数に著しい相違があるとフリットシール時に高温焼成を
行なう為、伸縮率に相違がでて薄板ガラスの割れやひび
の原因になってしまう。又、低融点ガラスの熱膨張係数
は上述した3個のガラス部材に比べて少し熱膨張係数の
小さい方が好ましい。仮に、低融点ガラスの熱膨張係数
が大きいと収縮率が増大しフリットシールにひび割れが
生じたり薄板ガラスが波打ち変形をしてしまう惧れがあ
る。そこで、低融点ガラスの熱膨張係数を小さくする事
によりひび割れや薄板ガラスへの悪影響を除く事ができ
る。
【0023】最後に、平坦性の確保された薄板ガラス3
の表面に有機接着剤等からなるシール材あるいはスペー
サ5を介して上側のガラス基板4を接着する。間隙内に
液晶層6を封入して完成する。なお、液晶層6の厚みを
均一に制御する為スペーサ粒子を散布しても良い。接着
剤等からなるスペーサ5は平板スペーサ10に沿って設
ける事が好ましい。液晶セルを接合する際、ギャップ制
御の為に高圧力を加えるが、薄板ガラス3の下の平板ス
ペーサ10が受け台となり薄板ガラス3の破損を有効に
防ぐ事ができる。
の表面に有機接着剤等からなるシール材あるいはスペー
サ5を介して上側のガラス基板4を接着する。間隙内に
液晶層6を封入して完成する。なお、液晶層6の厚みを
均一に制御する為スペーサ粒子を散布しても良い。接着
剤等からなるスペーサ5は平板スペーサ10に沿って設
ける事が好ましい。液晶セルを接合する際、ギャップ制
御の為に高圧力を加えるが、薄板ガラス3の下の平板ス
ペーサ10が受け台となり薄板ガラス3の破損を有効に
防ぐ事ができる。
【0024】最後に図5を参照してプラズマアドレス表
示装置の動作を簡潔に説明する。図5は表示装置に用い
られる駆動回路の一例を示している。この駆動回路は信
号回路21と走査回路22と制御回路23とから構成さ
れている。信号回路21には信号電極D1ないしDmが
バッファを介して接続されている。一方、走査回路22
には同じくバッファを介してカソードK1ないしKnが
接続されている。アノードA1ないしAnは共通に接地
されている。カソードは走査回路22により線順次走査
されるとともに、信号回路21はこれに同期して各信号
電極にアナログ駆動電圧を供給する。制御回路23は信
号回路21と走査回路22の同期制御を行なうものであ
る。各カソードに沿って放電領域が形成され行走査単位
となる。一方、各信号電極は列駆動単位となる。両単位
の間に画素24が規定される。
示装置の動作を簡潔に説明する。図5は表示装置に用い
られる駆動回路の一例を示している。この駆動回路は信
号回路21と走査回路22と制御回路23とから構成さ
れている。信号回路21には信号電極D1ないしDmが
バッファを介して接続されている。一方、走査回路22
には同じくバッファを介してカソードK1ないしKnが
接続されている。アノードA1ないしAnは共通に接地
されている。カソードは走査回路22により線順次走査
されるとともに、信号回路21はこれに同期して各信号
電極にアナログ駆動電圧を供給する。制御回路23は信
号回路21と走査回路22の同期制御を行なうものであ
る。各カソードに沿って放電領域が形成され行走査単位
となる。一方、各信号電極は列駆動単位となる。両単位
の間に画素24が規定される。
【0025】図6は図5に示す2個の画素24を切り取
って模式的に示したものである。各画素24は信号電極
(D1,D2)及び薄板ガラス3によって挟持された液
晶層6からなるサンプリングキャパシタと、プラズマサ
ンプリングスイッチS1との直列接続からなる。プラズ
マサンプリングスイッチS1は放電領域の機能を等価的
に表わしたものである。即ち、放電領域が活性化すると
その内部は略全体的にアノード電位に接続される。一
方、プラズマ放電が終了すると放電領域は浮遊電位とな
る。サンプリングスイッチS1を介して個々の画素24
のサンプリングキャパシタにアナログ駆動電圧を書き込
み所謂サンプリングホールドを行なうのである。アナロ
グ駆動電圧のレベルによって各画素24の階調的な点灯
あるいは消灯が制御できる。
って模式的に示したものである。各画素24は信号電極
(D1,D2)及び薄板ガラス3によって挟持された液
晶層6からなるサンプリングキャパシタと、プラズマサ
ンプリングスイッチS1との直列接続からなる。プラズ
マサンプリングスイッチS1は放電領域の機能を等価的
に表わしたものである。即ち、放電領域が活性化すると
その内部は略全体的にアノード電位に接続される。一
方、プラズマ放電が終了すると放電領域は浮遊電位とな
る。サンプリングスイッチS1を介して個々の画素24
のサンプリングキャパシタにアナログ駆動電圧を書き込
み所謂サンプリングホールドを行なうのである。アナロ
グ駆動電圧のレベルによって各画素24の階調的な点灯
あるいは消灯が制御できる。
【0026】
【発明の効果】以上説明した様に、本発明によれば、液
晶セルとプラズマセルを仕切る薄板ガラスに対して平板
スペーサを介してガラス基板をフリットシールする構造
としているので、薄板ガラスの平坦性を確保できるとい
う効果がある。又、薄板ガラス、平板スペーサ、ガラス
基板を低融点ガラスを用いて一度に熱融着できるので加
工性に優れているという効果がある。又、フリットシー
ルを行なった後液晶セルの接合を行なう場合、平板スペ
ーサを受け台にして高圧力の接着加工ができるのでプラ
ズマセルの破損を有効に防止する事ができるという効果
がある。
晶セルとプラズマセルを仕切る薄板ガラスに対して平板
スペーサを介してガラス基板をフリットシールする構造
としているので、薄板ガラスの平坦性を確保できるとい
う効果がある。又、薄板ガラス、平板スペーサ、ガラス
基板を低融点ガラスを用いて一度に熱融着できるので加
工性に優れているという効果がある。又、フリットシー
ルを行なった後液晶セルの接合を行なう場合、平板スペ
ーサを受け台にして高圧力の接着加工ができるのでプラ
ズマセルの破損を有効に防止する事ができるという効果
がある。
【図1】本発明にかかるプラズマアドレス電気光学装置
の一実施例を示す模式的な断面図である。
の一実施例を示す模式的な断面図である。
【図2】図1に示す装置に用いられるガラス基板の構成
を示す模式的な平面図である。
を示す模式的な平面図である。
【図3】同じく変形例を示す模式的な平面図である。
【図4】図1に示すプラズマアドレス電気光学装置の製
造方法を示す工程図である。
造方法を示す工程図である。
【図5】プラズマアドレス電気光学装置の動作を説明す
る為の回路図である。
る為の回路図である。
【図6】プラズマアドレス電気光学装置の画素部分を切
り取って示した模式図である。
り取って示した模式図である。
【図7】従来のプラズマアドレス電気光学装置の例を示
す斜視図である。
す斜視図である。
【図8】先の出願に開示されたプラズマアドレス電気光
学装置を示す模式的な断面図である。
学装置を示す模式的な断面図である。
【図9】図8に示す装置の製造方法を示すフローチャー
トである。
トである。
1 液晶セル 2 プラズマセル 3 薄板ガラス 4 ガラス基板 5 スペーサ 6 液晶層 7 ガラス基板 8 プラズマ電極 9 隔壁 10 平板スペーサ 11 低融点ガラス 12 プラズマ室 13 放電領域 A アノード D 信号電極 K カソード
Claims (4)
- 【請求項1】 主面に沿って互いに平行に配置された複
数の第1電極を有する第1の基板と、前記第1電極と直
交し且つ主面に沿って互いに平行に配置された複数の第
2電極とこの第2電極上に形成された隔壁とを有すると
ともに前記第1の基板と対向する様に配置された第2の
基板と、前記第1電極に接面して設けられた電気光学材
料層と、前記複数の第1電極と反対側において前記電気
光学材料層と接面する様に設けられた薄板ガラスと、こ
の薄板ガラスと前記第2の基板間にイオン化可能なガス
を封入する為に設けられたプラズマ室とからなり、前記
第2の基板と前記薄板ガラスの間に平板スペーサを設
け、前記第2の基板の周縁部であって前記平板スペーサ
の外側を低融点ガラスで接着した事を特徴とするプラズ
マアドレス電気光学装置。 - 【請求項2】 前記薄板ガラスと前記第2の基板の熱膨
張係数が略等しい事を特徴とする請求項1記載のプラズ
マアドレス電気光学装置。 - 【請求項3】 前記低融点ガラスの材料が前記薄板ガラ
ス及び前記第2の基板の熱膨張係数と等しいかあるいは
小さい事を特徴とする請求項2記載のプラズマアドレス
電気光学装置。 - 【請求項4】 前記平板スペーサの厚みが少なくとも前
記低融点ガラスの厚みと同じかそれ以下である事を特徴
とする請求項1記載のプラズマアドレス電気光学装置。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP4047972A JPH05216416A (ja) | 1992-02-04 | 1992-02-04 | プラズマアドレス電気光学装置 |
JP24592392A JP3366026B2 (ja) | 1992-02-04 | 1992-08-20 | プラズマアドレス電気光学装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP4047972A JPH05216416A (ja) | 1992-02-04 | 1992-02-04 | プラズマアドレス電気光学装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH05216416A true JPH05216416A (ja) | 1993-08-27 |
Family
ID=12790235
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP4047972A Pending JPH05216416A (ja) | 1992-02-04 | 1992-02-04 | プラズマアドレス電気光学装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH05216416A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US6991125B2 (en) * | 2000-04-17 | 2006-01-31 | Saint-Gobain Glass France | Glass frame |
-
1992
- 1992-02-04 JP JP4047972A patent/JPH05216416A/ja active Pending
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US6991125B2 (en) * | 2000-04-17 | 2006-01-31 | Saint-Gobain Glass France | Glass frame |
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