JPH05215532A - エンコーダ - Google Patents
エンコーダInfo
- Publication number
- JPH05215532A JPH05215532A JP4635292A JP4635292A JPH05215532A JP H05215532 A JPH05215532 A JP H05215532A JP 4635292 A JP4635292 A JP 4635292A JP 4635292 A JP4635292 A JP 4635292A JP H05215532 A JPH05215532 A JP H05215532A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- speckle pattern
- correlation
- detector
- angle
- laser light
- Prior art date
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- Pending
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- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Optical Transform (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 スペックルパターンを回転体の所定角度毎に
把握しておき、そのデータ記憶値と現在の検出スペック
ルパターンとの相関をとり、その相関ピークの発生位置
から現在の角度値を求めることで、回転体にエンコーダ
を構成する部材を装着できない場合でも、回転角度を測
定できるようにする。 【構成】 回転体１の表面にレーザ光２ａをレーザ光源
２から照射し、レーザ光２ａの照射に伴う拡散面に生じ
るスペックルパターンを検出器４で検出し、検出器４の
出力を所定角度毎にデジタル・メモリ６に記憶させ、デ
ジタル・メモリ６に記憶された１回転分の検出スペック
ルパターン記憶値と現在のスペックルパターンとの間の
相関関数を相関器７でとり、この相関器７による相関値
のピークが示す位置を現在の角度検出位置にする。
把握しておき、そのデータ記憶値と現在の検出スペック
ルパターンとの相関をとり、その相関ピークの発生位置
から現在の角度値を求めることで、回転体にエンコーダ
を構成する部材を装着できない場合でも、回転角度を測
定できるようにする。 【構成】 回転体１の表面にレーザ光２ａをレーザ光源
２から照射し、レーザ光２ａの照射に伴う拡散面に生じ
るスペックルパターンを検出器４で検出し、検出器４の
出力を所定角度毎にデジタル・メモリ６に記憶させ、デ
ジタル・メモリ６に記憶された１回転分の検出スペック
ルパターン記憶値と現在のスペックルパターンとの間の
相関関数を相関器７でとり、この相関器７による相関値
のピークが示す位置を現在の角度検出位置にする。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、回転体の回転角度を検
出するためのエンコーダ、特に、回転体にエンコーダを
構成する部材を装着できない場合の最適なエンコーダに
関するものである。
出するためのエンコーダ、特に、回転体にエンコーダを
構成する部材を装着できない場合の最適なエンコーダに
関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来、回転体の回転角度を検出するに際
しては、円周方向に一定間隔に並び、かつ半径方向に延
伸するスリットを有した円板を回転軸などに取り付け、
そのスリットに光が貫通するように発光部と受光部を配
置したエンコーダが一般に用いられる。回転体の回転に
応じてスリットを通過する光は、受光部にパルス光とし
て一定間隔に受光される。その受光数は、回転体の回転
角度に比例することから、パルス数を計数することによ
り回転角度を知ることができる。
しては、円周方向に一定間隔に並び、かつ半径方向に延
伸するスリットを有した円板を回転軸などに取り付け、
そのスリットに光が貫通するように発光部と受光部を配
置したエンコーダが一般に用いられる。回転体の回転に
応じてスリットを通過する光は、受光部にパルス光とし
て一定間隔に受光される。その受光数は、回転体の回転
角度に比例することから、パルス数を計数することによ
り回転角度を知ることができる。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかし、上記した従来
技術にあっては、スリットの設けられた回転板を被測定
物（回転体）に装着する必要があるため、構造上の制約
から被測定物に回転板を装着できない場合などにはエン
コーダを装着できないという問題がある。
技術にあっては、スリットの設けられた回転板を被測定
物（回転体）に装着する必要があるため、構造上の制約
から被測定物に回転板を装着できない場合などにはエン
コーダを装着できないという問題がある。
【０００４】本発明の目的は、回転体にエンコーダを構
成する部材を装着できない場合でも、回転角度を測定で
きるようにするエンコーダを提供することにある。
成する部材を装着できない場合でも、回転角度を測定で
きるようにするエンコーダを提供することにある。
【０００５】
【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
めに、この発明は、回転体の表面にレーザ光を照射する
レーザ光源と、前記レーザ光の照射に伴う拡散面に生じ
るスペックルパターンを検出する検出器と、該検出器の
出力を所定角度毎に記憶するメモリと、該メモリに記憶
された以前の検出スペックルパターン記憶値と現在のス
ペックルパターンとの間の相関関数をとる相関器とを備
え、前記相関器が相関値のピークを示す位置を現在の角
度検出位置にするようにしている。
めに、この発明は、回転体の表面にレーザ光を照射する
レーザ光源と、前記レーザ光の照射に伴う拡散面に生じ
るスペックルパターンを検出する検出器と、該検出器の
出力を所定角度毎に記憶するメモリと、該メモリに記憶
された以前の検出スペックルパターン記憶値と現在のス
ペックルパターンとの間の相関関数をとる相関器とを備
え、前記相関器が相関値のピークを示す位置を現在の角
度検出位置にするようにしている。
【０００６】
【作用】上記した手段によれば、スペックルパターンを
回転体の所定角度、例えば１°毎に把握しておき、その
データ記憶値と現在の検出スペックルパターンとの相関
をとることにより、その相関ピークの発生位置から現在
の角度値を求めることができる。したがって、回転体側
にエンコーダ構成部品を取り付けることなく回転角度を
検出することが可能になる。
回転体の所定角度、例えば１°毎に把握しておき、その
データ記憶値と現在の検出スペックルパターンとの相関
をとることにより、その相関ピークの発生位置から現在
の角度値を求めることができる。したがって、回転体側
にエンコーダ構成部品を取り付けることなく回転角度を
検出することが可能になる。
【０００７】
【実施例】図１は本発明によるエンコーダの一実施例を
示すブロック図及び周辺構成図である。
示すブロック図及び周辺構成図である。
【０００８】回転物体としての回転体１は、不図示の軸
によって回転自在に支承され、例えば図示の矢印方向へ
回転する。この回転体１の表面に向けて、レーザ光源２
からレーザ光２ａが照射され、この照射光に対して散乱
光３が発生する。散乱光３を撮像するために検出器４が
設けられ、この検出器４は、例えば１０２４本の検出素
子を持つ１次元イメージセンサが用いられる。検出器４
にはＡ／Ｄ（アナログ／デジタル）変換器５が接続さ
れ、その出力はデジタル・メモリ６に記憶される。さら
にデジタル・メモリ６には相関器７が接続され、前の回
転位置における記憶データと次の回転位置における記憶
データとの間の相関関数がとられる。また、Ａ／Ｄ変換
器５、デジタル・メモリ６及び相関器７の各々を統括制
御するために、マイクロコンピュータ８が設けられてい
る。
によって回転自在に支承され、例えば図示の矢印方向へ
回転する。この回転体１の表面に向けて、レーザ光源２
からレーザ光２ａが照射され、この照射光に対して散乱
光３が発生する。散乱光３を撮像するために検出器４が
設けられ、この検出器４は、例えば１０２４本の検出素
子を持つ１次元イメージセンサが用いられる。検出器４
にはＡ／Ｄ（アナログ／デジタル）変換器５が接続さ
れ、その出力はデジタル・メモリ６に記憶される。さら
にデジタル・メモリ６には相関器７が接続され、前の回
転位置における記憶データと次の回転位置における記憶
データとの間の相関関数がとられる。また、Ａ／Ｄ変換
器５、デジタル・メモリ６及び相関器７の各々を統括制
御するために、マイクロコンピュータ８が設けられてい
る。
【０００９】次に、以上の構成による実施例の動作につ
いて説明する。
いて説明する。
【００１０】まず、レーザ光源２からレーザ光２ａを回
転体１の表面に照射する。この照射によって散乱光３の
干渉に基づくスペックルパターンが得られる。このスペ
ックルパターンは、物体の回転、歪みなどに起因する物
体の微小な変形によって移動するが、同一の材質や表面
粗さであっても、必ず異なるパターンになる。このよう
なスペックルパターンを用いて物体の変形量を測定する
技術は、例えば、特開昭５６−２６２０８号公報にみら
れるように、既に知られるところである。
転体１の表面に照射する。この照射によって散乱光３の
干渉に基づくスペックルパターンが得られる。このスペ
ックルパターンは、物体の回転、歪みなどに起因する物
体の微小な変形によって移動するが、同一の材質や表面
粗さであっても、必ず異なるパターンになる。このよう
なスペックルパターンを用いて物体の変形量を測定する
技術は、例えば、特開昭５６−２６２０８号公報にみら
れるように、既に知られるところである。
【００１１】本発明では、スペックルパターンを検出器
４によって検出する。その検出信号は図２の如くであ
り、素子ごとに受光量に応じた信号（ここでは１，０２
４個の信号）が出力される。この検出信号をＡ／Ｄ変換
器５によって２値信号に変換し、これをデジタル・メモ
リ６に格納する。ついで、回転体１を僅かに回転（例え
ば、１°相当）させると、その表面状態に応じて図２と
は異なる内容のスペックルパターンが検出器４から出力
される。この信号もデジタル化の後、デジタル・メモリ
６に格納される。以後、同様にして回転体１が１度（ｄ
ｅｇ）回転する毎にスペックルパターンが取り込まれ、
回転体１が１回転するまで続けられる。これにより、１
回転の間に０度〜３５９度までの３６０個のスペックル
パターンデータが得られる。
４によって検出する。その検出信号は図２の如くであ
り、素子ごとに受光量に応じた信号（ここでは１，０２
４個の信号）が出力される。この検出信号をＡ／Ｄ変換
器５によって２値信号に変換し、これをデジタル・メモ
リ６に格納する。ついで、回転体１を僅かに回転（例え
ば、１°相当）させると、その表面状態に応じて図２と
は異なる内容のスペックルパターンが検出器４から出力
される。この信号もデジタル化の後、デジタル・メモリ
６に格納される。以後、同様にして回転体１が１度（ｄ
ｅｇ）回転する毎にスペックルパターンが取り込まれ、
回転体１が１回転するまで続けられる。これにより、１
回転の間に０度〜３５９度までの３６０個のスペックル
パターンデータが得られる。
【００１２】このような検出過程において、今までに得
られたスペックルパターンデータ（図３（ａ））の全て
と、現在検出しているスペックルパターンデータ（同図
（ｂ））との相関関数を相関器７でとる。すると、或る
ところで（同図（ｃ））のように相関のピークを持つ関
数が得られる。この相関ピークの位置は、現在検出して
いる角度を表している。
られたスペックルパターンデータ（図３（ａ））の全て
と、現在検出しているスペックルパターンデータ（同図
（ｂ））との相関関数を相関器７でとる。すると、或る
ところで（同図（ｃ））のように相関のピークを持つ関
数が得られる。この相関ピークの位置は、現在検出して
いる角度を表している。
【００１３】例えば、図３に示すように、回転体１が４
°のときに測定すると、相関のピークは４°のメモリ情
報と相関をとったとき（中心部の５００個程度の素子に
ついてとる）にピークを持つことになり、絶対角度の測
定が可能になる。換言すると、測定対象を測定前に予め
１°毎にデータを取り込んでいくが、そのデータどうし
は図３（ａ）から明らかなように互いに連続性がない、
これは０°と１°では全く異なるスペックルパターンと
なっているからである。
°のときに測定すると、相関のピークは４°のメモリ情
報と相関をとったとき（中心部の５００個程度の素子に
ついてとる）にピークを持つことになり、絶対角度の測
定が可能になる。換言すると、測定対象を測定前に予め
１°毎にデータを取り込んでいくが、そのデータどうし
は図３（ａ）から明らかなように互いに連続性がない、
これは０°と１°では全く異なるスペックルパターンと
なっているからである。
【００１４】そこで、各データの継ぎ目の処理が問題と
なるが、この解決手段について述べる。
なるが、この解決手段について述べる。
【００１５】各角度のデータは１，０２４個（イメージ
センサの素子数）あるので、測定時の相関演算は５００
個程度で行うとする。例えば、測定したときの角度が
４．０°とすると、相関ピークは４°のメモリの中心と
なるが、４．１°，４．２°と変化していくと、相関ピ
ークの位置は図３（ｄ）に示すように、メモリの４°の
中心よりずれてくる。このとき、相関ピークの値は勿論
小さくなっていく。
センサの素子数）あるので、測定時の相関演算は５００
個程度で行うとする。例えば、測定したときの角度が
４．０°とすると、相関ピークは４°のメモリの中心と
なるが、４．１°，４．２°と変化していくと、相関ピ
ークの位置は図３（ｄ）に示すように、メモリの４°の
中心よりずれてくる。このとき、相関ピークの値は勿論
小さくなっていく。
【００１６】ここで、４°のメモリ値で、ピークが３．
４°〜４．６°まで相関ピークをもとめることができた
とすると、５°のメモリ値で４．４°〜５．６°まで測
定できることとなり、４．４°〜４．６°（例えば測定
値が４．５°のとき）までは、図３（ｅ）に示すように
それぞれ重複する。そして、図３（ｅ）では、相関ピー
クは２つの位置でできているが、これはどちらも４．５
°を表しており、どちらを演算しても４．５°となる。
つまり相関値の高い方を選んでやればよい。ただし、４
°のメモリ値で３．６°〜４．４°までしか測定できな
いと、次のメモリ値と重複する値がなくなる。そのた
め、そのような場合は、１°毎でなく、もっと細かくメ
モリをとっておく必要がある。
４°〜４．６°まで相関ピークをもとめることができた
とすると、５°のメモリ値で４．４°〜５．６°まで測
定できることとなり、４．４°〜４．６°（例えば測定
値が４．５°のとき）までは、図３（ｅ）に示すように
それぞれ重複する。そして、図３（ｅ）では、相関ピー
クは２つの位置でできているが、これはどちらも４．５
°を表しており、どちらを演算しても４．５°となる。
つまり相関値の高い方を選んでやればよい。ただし、４
°のメモリ値で３．６°〜４．４°までしか測定できな
いと、次のメモリ値と重複する値がなくなる。そのた
め、そのような場合は、１°毎でなく、もっと細かくメ
モリをとっておく必要がある。
【００１７】以上のようにすれば、０°〜３６０°の間
をもらさず角度検出が行える。なお、スペックルパター
ンは明瞭なパターンであるため、パターンの情報を２値
化しても同様な結果が得られる。したがって、デジタル
・メモリ６の容量は１°当たり１，０２４ビットでよ
く、これに合わせて検出器４の素子数を１，０２４個に
している。
をもらさず角度検出が行える。なお、スペックルパター
ンは明瞭なパターンであるため、パターンの情報を２値
化しても同様な結果が得られる。したがって、デジタル
・メモリ６の容量は１°当たり１，０２４ビットでよ
く、これに合わせて検出器４の素子数を１，０２４個に
している。
【００１８】次に分解能を上げる方法について説明す
る。
る。
【００１９】例えば、測定したときの角度が４．１°で
あるとすると、図４に示す如く４°と５°の間で相関ピ
ークが現れる。これは、回転体１が４°より０．１°だ
け回転したことによって、スペックルパターンが１次元
イメージセンサ上で移動したためである。ここで、回転
体１が１°回転したときにスペックルパターンが１００
μｍ移動し、検出器４の素子ピッチが１０μｍであると
仮定すると、図５に示すように、相関ピークは４°の中
間から１０ピクセルだけ５°に近い方でピークを持つ。
したがって、回転体１の回転に対し、予めスペックルパ
ターンの移動量が判っていれば、検出器４の１ピクセル
の分解能を持つ角度検出器を得ることができる。
あるとすると、図４に示す如く４°と５°の間で相関ピ
ークが現れる。これは、回転体１が４°より０．１°だ
け回転したことによって、スペックルパターンが１次元
イメージセンサ上で移動したためである。ここで、回転
体１が１°回転したときにスペックルパターンが１００
μｍ移動し、検出器４の素子ピッチが１０μｍであると
仮定すると、図５に示すように、相関ピークは４°の中
間から１０ピクセルだけ５°に近い方でピークを持つ。
したがって、回転体１の回転に対し、予めスペックルパ
ターンの移動量が判っていれば、検出器４の１ピクセル
の分解能を持つ角度検出器を得ることができる。
【００２０】さらに、相関ピーク値と前後の値とを放物
線近似し、そのピークを求めることにより、１ピクセル
以下の分解能を持たせることができる。
線近似し、そのピークを求めることにより、１ピクセル
以下の分解能を持たせることができる。
【００２１】
【発明の効果】以上説明した通り、この発明は、回転体
の表面にレーザ光を照射するレーザ光源と、前記レーザ
光の照射に伴う拡散面に生じるスペックルパターンを検
出する検出器と、該検出器の出力を所定角度毎に記憶す
るメモリと、該メモリに記憶された以前の検出スペック
ルパターン記憶値と現在のスペックルパターンとの間の
相関関数をとる相関器とを備え、前記相関器が相関値の
ピークを示す位置を現在の角度検出位置にするようにし
たので、回転体側にエンコーダ構成部品を取り付けるこ
となく回転角度を検出することが可能になる。
の表面にレーザ光を照射するレーザ光源と、前記レーザ
光の照射に伴う拡散面に生じるスペックルパターンを検
出する検出器と、該検出器の出力を所定角度毎に記憶す
るメモリと、該メモリに記憶された以前の検出スペック
ルパターン記憶値と現在のスペックルパターンとの間の
相関関数をとる相関器とを備え、前記相関器が相関値の
ピークを示す位置を現在の角度検出位置にするようにし
たので、回転体側にエンコーダ構成部品を取り付けるこ
となく回転角度を検出することが可能になる。
【図１】本発明のエンコーダの一実施例を示すブロック
図及び周辺構成図である。
図及び周辺構成図である。
【図２】本発明にかかる検出器の検出出力信号を示す波
形図である。
形図である。
【図３】本発明の角度検出を説明する説明図である。
【図４】検出値が基準角度値からずれている場合の相関
ピーク発生位置を示す説明図である。
ピーク発生位置を示す説明図である。
【図５】分解能向上のための方法を示す説明図である。
１ 回転体 ２ レーザ光源 ２ａ レーザ光 ３ 散乱光 ４ 検出器 ５ Ａ／Ｄ変換器 ６ デジタル・メモリ ７ 相関器 ８ マイクロコンピュータ
Claims (1)
- 【請求項１】 回転体の表面にレーザ光を照射するレー
ザ光源と、前記レーザ光の照射に伴う拡散面に生じるス
ペックルパターンを検出する検出器と、該検出器の出力
を所定角度毎に記憶するメモリと、該メモリに記憶され
た以前の検出スペックルパターン記憶値と現在のスペッ
クルパターンとの間の相関関数をとる相関器とを備え、
前記相関器が相関値のピークを示す位置を現在の角度検
出位置にすることを特徴とするエンコーダ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4635292A JPH05215532A (ja) | 1992-02-03 | 1992-02-03 | エンコーダ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4635292A JPH05215532A (ja) | 1992-02-03 | 1992-02-03 | エンコーダ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05215532A true JPH05215532A (ja) | 1993-08-24 |
Family
ID=12744756
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4635292A Pending JPH05215532A (ja) | 1992-02-03 | 1992-02-03 | エンコーダ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH05215532A (ja) |
Cited By (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007024878A (ja) * | 2005-07-14 | 2007-02-01 | Leopold Kostal Gmbh & Co Kg | 自動車の操縦ハンドルの絶対角度状態を決定する方法 |
| JP2009288351A (ja) * | 2008-05-27 | 2009-12-10 | Canon Inc | 画像形成装置 |
| US7763875B2 (en) | 2005-09-07 | 2010-07-27 | Romanov Nikolai L | System and method for sensing position utilizing an uncalibrated surface |
| US8369726B2 (en) | 2008-05-27 | 2013-02-05 | Canon Kabushiki Kaisha | Image forming apparatus |
| US8565627B2 (en) | 2008-05-27 | 2013-10-22 | Canon Kabushiki Kaisha | Image forming apparatus and control method thereof |
| EP2775268A1 (en) * | 2013-03-05 | 2014-09-10 | Univerzita Palackeho | A method of a non-contact detection of a moving object absolute position by making use of speckle effect and device for implementation of this method |
| JP2015068809A (ja) * | 2013-10-01 | 2015-04-13 | 株式会社リコー | 変位検出器、画像形成装置、及び移動システム |
| US9962444B2 (en) | 2016-09-27 | 2018-05-08 | Shane Malek | Pharmacokinetically extended action topical hair growth formulation, and administration method |
| JP2018516374A (ja) * | 2015-06-04 | 2018-06-21 | ルーミンコード エーエス | 自由空間位置ファインダー |
-
1992
- 1992-02-03 JP JP4635292A patent/JPH05215532A/ja active Pending
Cited By (12)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007024878A (ja) * | 2005-07-14 | 2007-02-01 | Leopold Kostal Gmbh & Co Kg | 自動車の操縦ハンドルの絶対角度状態を決定する方法 |
| US7763875B2 (en) | 2005-09-07 | 2010-07-27 | Romanov Nikolai L | System and method for sensing position utilizing an uncalibrated surface |
| JP2009288351A (ja) * | 2008-05-27 | 2009-12-10 | Canon Inc | 画像形成装置 |
| US8369726B2 (en) | 2008-05-27 | 2013-02-05 | Canon Kabushiki Kaisha | Image forming apparatus |
| US8442409B2 (en) | 2008-05-27 | 2013-05-14 | Canon Kabushiki Kaisha | Image forming apparatus including a rotation member circumference calculator and control method thereof |
| US8565627B2 (en) | 2008-05-27 | 2013-10-22 | Canon Kabushiki Kaisha | Image forming apparatus and control method thereof |
| EP2775268A1 (en) * | 2013-03-05 | 2014-09-10 | Univerzita Palackeho | A method of a non-contact detection of a moving object absolute position by making use of speckle effect and device for implementation of this method |
| JP2015068809A (ja) * | 2013-10-01 | 2015-04-13 | 株式会社リコー | 変位検出器、画像形成装置、及び移動システム |
| JP2018516374A (ja) * | 2015-06-04 | 2018-06-21 | ルーミンコード エーエス | 自由空間位置ファインダー |
| US10580152B2 (en) | 2015-06-04 | 2020-03-03 | Lumincode As | Free space position finder |
| US9962444B2 (en) | 2016-09-27 | 2018-05-08 | Shane Malek | Pharmacokinetically extended action topical hair growth formulation, and administration method |
| US10342872B2 (en) | 2016-09-27 | 2019-07-09 | Celmatrix Corporation | Pharmacokinetically extended action topical hair growth formulation, and administration method |
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