JPH0521301B2 - - Google Patents
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- JPH0521301B2 JPH0521301B2 JP19498683A JP19498683A JPH0521301B2 JP H0521301 B2 JPH0521301 B2 JP H0521301B2 JP 19498683 A JP19498683 A JP 19498683A JP 19498683 A JP19498683 A JP 19498683A JP H0521301 B2 JPH0521301 B2 JP H0521301B2
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- filament
- holding plate
- opening
- electron gun
- insulating
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Links
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- 238000010894 electron beam technology Methods 0.000 claims description 4
- 229910052582 BN Inorganic materials 0.000 description 2
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J33/00—Discharge tubes with provision for emergence of electrons or ions from the vessel; Lenard tubes
- H01J33/02—Details
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J9/00—Apparatus or processes specially adapted for the manufacture, installation, removal, maintenance of electric discharge tubes, discharge lamps, or parts thereof; Recovery of material from discharge tubes or lamps
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Electron Sources, Ion Sources (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
この発明は、エリアビーム型電子線照射装置の
電子銃に関し、とくにそのあ電子銃のフイラメン
トの取り付け構造の改良に関するものである。
電子銃に関し、とくにそのあ電子銃のフイラメン
トの取り付け構造の改良に関するものである。
エリアビームを得るように照射口上に平行にフ
イラメントが直線状に配される電子銃の場合、そ
のフイラメントの両端の取り付けは固定状態にお
こなうと照射時の熱膨張動作に伴なう伸縮により
フイラメントが折れる場合がある。
イラメントが直線状に配される電子銃の場合、そ
のフイラメントの両端の取り付けは固定状態にお
こなうと照射時の熱膨張動作に伴なう伸縮により
フイラメントが折れる場合がある。
よつて両端の取り付けは、バネを介しておこな
い熱膨張動作に伴なう伸縮をバネにより吸収する
ような構成とすることが考えられるが、常にフイ
ラメントにテンシヨンがかかるためその寿命が短
かくなる問題がある。
い熱膨張動作に伴なう伸縮をバネにより吸収する
ような構成とすることが考えられるが、常にフイ
ラメントにテンシヨンがかかるためその寿命が短
かくなる問題がある。
この発明は上記の点に鑑みてなすもので、フイ
ラメントが折れず、また寿命が長く保たれる構成
の電子銃を提供しようとするものである。
ラメントが折れず、また寿命が長く保たれる構成
の電子銃を提供しようとするものである。
そしてこの発明においては、フイラメントを接
続する接続導体を移動可能に自由状態に設けるよ
うにしたものであつて、そのさらに詳しい構成
は、電子線の照射口を有するシールド管内にシー
ルド管の照射口に相対する開口を有する保持板が
設けられ、その保持板上にフイラメント装置が設
けられて構成される電子銃において、フイラメン
ト装置が、保持板上に絶縁台を介して開口の両側
位置に並設される複数個のフイラメントの接続導
体と、保持板上に絶縁台を介してもしくは介さず
に接続導体の内側位置に相対するように設けられ
フイラメント間隔を規定するフイラメントガイド
と、上記の開口の両側位置に並設されるそれぞれ
の接続導体を順次直列接続するように保持板の開
口上に配される複数本のフイラメントとからな
り、上記保持板の開口の少なくとも一方側に位置
して設けられる接続導体は絶縁台上に移動可能に
自由状態に載置されて設けられている電子銃であ
る。
続する接続導体を移動可能に自由状態に設けるよ
うにしたものであつて、そのさらに詳しい構成
は、電子線の照射口を有するシールド管内にシー
ルド管の照射口に相対する開口を有する保持板が
設けられ、その保持板上にフイラメント装置が設
けられて構成される電子銃において、フイラメン
ト装置が、保持板上に絶縁台を介して開口の両側
位置に並設される複数個のフイラメントの接続導
体と、保持板上に絶縁台を介してもしくは介さず
に接続導体の内側位置に相対するように設けられ
フイラメント間隔を規定するフイラメントガイド
と、上記の開口の両側位置に並設されるそれぞれ
の接続導体を順次直列接続するように保持板の開
口上に配される複数本のフイラメントとからな
り、上記保持板の開口の少なくとも一方側に位置
して設けられる接続導体は絶縁台上に移動可能に
自由状態に載置されて設けられている電子銃であ
る。
以下この発明の実施例を図面により詳述する
が、この発明は以下の実施例を限定されるもので
はない。
が、この発明は以下の実施例を限定されるもので
はない。
第１図は電子銃の全体構成を示し、１がアルミ
製の筒状のシールド管で、下方に筒方向に長い長
方形の照射口２が設けられている。このシールド
管１内に水平方向にフイラメント装置３の保持板
４が設けられ、この保持板４上にフイラメント装
置３が設けられている。保持板４はステンレス製
の長方形板で一端がシールド管１の内端面に固定
されて取り付けられており、その中央部には長手
方向に上記シールド管１の照射口２に相対する開
口５が設けられている。
製の筒状のシールド管で、下方に筒方向に長い長
方形の照射口２が設けられている。このシールド
管１内に水平方向にフイラメント装置３の保持板
４が設けられ、この保持板４上にフイラメント装
置３が設けられている。保持板４はステンレス製
の長方形板で一端がシールド管１の内端面に固定
されて取り付けられており、その中央部には長手
方向に上記シールド管１の照射口２に相対する開
口５が設けられている。
ここまでのシールド管１および保持板４の構成
は一般的構成であり、以下この発明の特徴的構成
であるフイラメント装置３について第２図を交え
て説明する。
は一般的構成であり、以下この発明の特徴的構成
であるフイラメント装置３について第２図を交え
て説明する。
フイラメント装置３は接続導体６とフイラメン
トガイド７とフイラメント８とからなる。接続導
体６は、保持板４上の開口５の両側位置に固定状
態に設けられる帯状の窒化ボロンやセラミツク等
よりなる絶縁台９上に設けられる。接続導体６は
モリブデン、銅、タンタル等からなり、上・下方
向に分割可能に構成され、分割部１０にフイラメ
ント８端を挾着固定する構成となつている。接続
導体６は各絶縁台９上に複数個並設されるもの
で、両側の絶縁台９上に位置するそれぞれの接続
導体６は相対せずそれぞれがずれた状態において
位置する。両側の絶縁台９上への接続導体６の並
列は自由状態に載置されておこなわれ、外力によ
り接続導体６は移動する構成となつている。
トガイド７とフイラメント８とからなる。接続導
体６は、保持板４上の開口５の両側位置に固定状
態に設けられる帯状の窒化ボロンやセラミツク等
よりなる絶縁台９上に設けられる。接続導体６は
モリブデン、銅、タンタル等からなり、上・下方
向に分割可能に構成され、分割部１０にフイラメ
ント８端を挾着固定する構成となつている。接続
導体６は各絶縁台９上に複数個並設されるもの
で、両側の絶縁台９上に位置するそれぞれの接続
導体６は相対せずそれぞれがずれた状態において
位置する。両側の絶縁台９上への接続導体６の並
列は自由状態に載置されておこなわれ、外力によ
り接続導体６は移動する構成となつている。
フイラメントガイド７は窒化ボロン等からな
り、保持板４上の接続導体６の内側位置に相対し
て固定状態に設けられる。フイラメントガイド７
も上下方向に分割可能に構成され、分割部１１に
フイラメント８が自由状態に挿通されるガイド孔
１２が構成される。
り、保持板４上の接続導体６の内側位置に相対し
て固定状態に設けられる。フイラメントガイド７
も上下方向に分割可能に構成され、分割部１１に
フイラメント８が自由状態に挿通されるガイド孔
１２が構成される。
フイラメント８はタングステン等からなり直線
状のもので保持板４の開口５上に複数本両側の接
続導体６を順次直列に接続するように配される。
フイラメント８の一端は一方側の接続導体６の分
割部１０間に挾着固定され、その中間部が二個所
においてフイラメントガイド７のガイド孔１２内
に挿通され、そして他端は他方側の接続導体６の
分割部１０間に挾着固定される。
状のもので保持板４の開口５上に複数本両側の接
続導体６を順次直列に接続するように配される。
フイラメント８の一端は一方側の接続導体６の分
割部１０間に挾着固定され、その中間部が二個所
においてフイラメントガイド７のガイド孔１２内
に挿通され、そして他端は他方側の接続導体６の
分割部１０間に挾着固定される。
実際のフイラメント８の配列は、まず各フイラ
メント８と両端を各所定の接続導体６に挾着固定
し、その接続本体６のそれぞれを絶縁台９上のほ
ぼ所定位置に載置する。接続導体６へのフイラメ
ント８端の挾着固定は、フイラメント８を分割部
１０に挟んだ状態においてネジ１３を締め付けて
おこなう。次に両端が接続本体６の固定されたそ
れぞれのフイラメント８の中間部の二個所を、上
部材７ａを取り外した状態のそれぞれのフイラメ
ントガイド７の下部材７ｂの所定のガイド孔１２
部分に位置させ、その後上部材７ａを取り付けネ
ジ１４止めする。フイラメントガイド７のガイド
孔１２へのフイラメント８の挿通は自由状態にな
されるが、この挿通により各フイラメント８は所
定間隔に位置する。
メント８と両端を各所定の接続導体６に挾着固定
し、その接続本体６のそれぞれを絶縁台９上のほ
ぼ所定位置に載置する。接続導体６へのフイラメ
ント８端の挾着固定は、フイラメント８を分割部
１０に挟んだ状態においてネジ１３を締め付けて
おこなう。次に両端が接続本体６の固定されたそ
れぞれのフイラメント８の中間部の二個所を、上
部材７ａを取り外した状態のそれぞれのフイラメ
ントガイド７の下部材７ｂの所定のガイド孔１２
部分に位置させ、その後上部材７ａを取り付けネ
ジ１４止めする。フイラメントガイド７のガイド
孔１２へのフイラメント８の挿通は自由状態にな
されるが、この挿通により各フイラメント８は所
定間隔に位置する。
今フイラメント８に電圧がかけられて赤熱する
に伴つて各接続本体６間のフイラメント８な膨張
して伸びる。この際に接続導体６は絶縁台９上に
自由状態に載置している故に絶縁台９上を滑る状
態で若干外側に移動する。この移動はフイラメン
ト８を固定する両側の接続本体６がおこなつても
片側の接続本体６のみがおこなつてもよい。逆に
フイラメント８の電源が切られ収縮して縮む際に
は、接続導体６は若干内側に移動する。接続導体
６はフイラメントガイド７によりフイラメント８
の位置が規定されているので、フイラメントガイ
ド７の長手方向には殆んど移動することはない。
に伴つて各接続本体６間のフイラメント８な膨張
して伸びる。この際に接続導体６は絶縁台９上に
自由状態に載置している故に絶縁台９上を滑る状
態で若干外側に移動する。この移動はフイラメン
ト８を固定する両側の接続本体６がおこなつても
片側の接続本体６のみがおこなつてもよい。逆に
フイラメント８の電源が切られ収縮して縮む際に
は、接続導体６は若干内側に移動する。接続導体
６はフイラメントガイド７によりフイラメント８
の位置が規定されているので、フイラメントガイ
ド７の長手方向には殆んど移動することはない。
上記の実施例に示す電子銃は真空管内に納めら
れて使用され、照射口からの電子線をさらに真空
管の照射口を通して、例えばコンベヤ状を流れる
被照射物に照射するものである。
れて使用され、照射口からの電子線をさらに真空
管の照射口を通して、例えばコンベヤ状を流れる
被照射物に照射するものである。
また上記実施例のものにおいては、両側の接続
導体をともに絶縁台上に自由状態に載置するよう
にしたが、もちろん一方側の接続導体のみを自由
状態に載置して他方側は固定状態にしてもよい。
しかし製造工程面からは上記実施例のようにする
ことが好ましい。
導体をともに絶縁台上に自由状態に載置するよう
にしたが、もちろん一方側の接続導体のみを自由
状態に載置して他方側は固定状態にしてもよい。
しかし製造工程面からは上記実施例のようにする
ことが好ましい。
この発明は上述のように構成されているのであ
るので、フイラメントには照射時においても非照
射時においても何ら力がかからず、折れることが
なく、また長く使用できるものである。
るので、フイラメントには照射時においても非照
射時においても何ら力がかからず、折れることが
なく、また長く使用できるものである。
第１図はこの発明の電子銃の実施例端面図、第
２図はそのフイラメント装置部分の拡大斜視図で
ある。 １……シールド管、２……照射口、３……フイ
ラメント装置、４……保持板、５……開口、６…
…接続導体、７……フイラメントガイド、８……
フイラメント、９……絶縁台。
２図はそのフイラメント装置部分の拡大斜視図で
ある。 １……シールド管、２……照射口、３……フイ
ラメント装置、４……保持板、５……開口、６…
…接続導体、７……フイラメントガイド、８……
フイラメント、９……絶縁台。
Claims (1)
- １ 電子線の照射口を有するシールド管内にシー
ルド管の照射口に相対する開口を有する保持板が
設けられ、その保持板上にフイラメント装置が設
けられて構成される電子銃において、フイラメン
ト装置が、保持板上に絶縁台を介して開口の両側
位置に並設される複数個のフイラメントの接続導
体と、保持板上に絶縁台を介してもしくは介さず
に接続導体の内側位置に相対するように設けられ
フイラメント間隔を規定するフイラメントガイド
と、上記の開口の両側位置に並設されるそれぞれ
の接続導体を順次直列接続するように保持板の開
口上に配される複数本のフイラメントとからな
り、上記保持板の開口の少なくとも一方側に位置
して設けられる接続導体は絶縁台上に移動可能に
自由状態に載置されて設けられている電子銃。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19498683A JPS6086745A (ja) | 1983-10-18 | 1983-10-18 | 電子銃 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19498683A JPS6086745A (ja) | 1983-10-18 | 1983-10-18 | 電子銃 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6086745A JPS6086745A (ja) | 1985-05-16 |
| JPH0521301B2 true JPH0521301B2 (ja) | 1993-03-24 |
Family
ID=16333636
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP19498683A Granted JPS6086745A (ja) | 1983-10-18 | 1983-10-18 | 電子銃 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6086745A (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0528681Y2 (ja) * | 1986-08-29 | 1993-07-23 | ||
| JPS6434751U (ja) * | 1987-08-26 | 1989-03-02 |
-
1983
- 1983-10-18 JP JP19498683A patent/JPS6086745A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6086745A (ja) | 1985-05-16 |
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