JPH05212575A - レーザ加工装置 - Google Patents

レーザ加工装置

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JPH05212575A
JPH05212575A JP4056896A JP5689692A JPH05212575A JP H05212575 A JPH05212575 A JP H05212575A JP 4056896 A JP4056896 A JP 4056896A JP 5689692 A JP5689692 A JP 5689692A JP H05212575 A JPH05212575 A JP H05212575A
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JP
Japan
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laser beam
light guide
abnormality
laser
guide path
Prior art date
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Pending
Application number
JP4056896A
Other languages
English (en)
Inventor
Atsushi Mori
敦 森
Yoshinori Nakada
嘉教 中田
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Fanuc Corp
Original Assignee
Fanuc Corp
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Publication date
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Publication of JPH05212575A publication Critical patent/JPH05212575A/ja
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Abstract

(57)【要約】 【目的】 レーザ加工装置における中空の導光路で発生
した小さな焼損事故が、レーザ加工装置の全体に及ばな
いようにしたレーザ加工装置の提供。 【構成】 レーザビーム経路に中空の導光路8を有する
レーザ加工装置1に関する。導光路8内に内部空間の透
過度を検出する濁り検出装置15を配置すると共に異常
拡大防止機構(7,17,18,20)を設ける。さら
に、設定値以上の濁りが検出された時、前記の異常拡大
防止機構を作動させる手段(19)を設ける。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】この発明は、レーザエネルギを利
用して、被加工物に切断加工や溶接加工を行うレーザ加
工装置に関する。
【0002】
【従来技術】レーザ加工装置は、レーザ発振器からのレ
ーザビームを導光経路に配置したミラーで加工ヘッドに
誘導し、加工ヘッドの集光レンズで被加工物上にスポッ
トを形成させ、溶接などの熱処理加工を行う。この場合
に、レーザビームの経路は通常、遮光ダクトやミラーボ
ックスを連結して構成された中空の導光路となってい
る。
【0003】一方、近年、レーザ加工の適用範囲が拡が
り、レーザ加工装置の様々な部分に思わぬ負担のかかる
ことがある。例えば、アルミ板や銅板など反射率の高い
材料を誤った加工条件で加工すると、材料面で反射した
レーザビームが再び導光路を逆に進み、遮光ダクトやミ
ラーボックスを構成する部材のうち、可燃性のものを発
火、燃焼させる可能性がある。あるいは、導光路に配置
された光学部品に付着した塵埃やスパッタが強力なレー
ザビームに照射されて一気に燃焼し、粉塵が導光路内に
撒き散らされてしまうことがある。こうなると、レーザ
加工の続行が不可能なばかりでなく、知らずに使用を続
けるとレーザ加工装置が火災に至る危険がある。
【0004】このような、火災の危険性は従来から知ら
れているが、作業者の経験によって発見され、防止され
ているのが実情である。しかし、省力化、無人化の進む
昨今において、このような危険な状態を放置することは
できない。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】この発明は、レーザビ
ームの経路に、遮光ダクトやミラーボックスを連結して
構成された中空の導光路を備えたレーザ加工装置であっ
て、導光路内の小さな焼損事故による異常がレーザ加工
装置の全体に及ばないようにしたレーザ加工装置の提供
を課題とする。
【0006】
【課題を解決するための手段】レーザビーム経路に中空
の導光路を有するレーザ加工装置に関する。前記の導光
路内に空間の透過度を検出する濁り検出装置を配置す
る。異常拡大防止機構を設ける。濁り検出装置が設定値
以上の濁りを検出した時、拡大防止機構を作動させる手
段を設ける。
【0007】
【作用】濁り検出手段は導光路内の異常を検出する。異
常拡大防止装置は、前記異常の進展を阻止する。
【0008】
【実施例】図1は、本発明によるレーザ加工装置1の全
体を模式的に示したもので、金属板の切断に用いられ
る。このレーザ加工装置1は、レーザ発振装置2、遮光
ダクト3、ミラーボックス4および加工ヘッド5を備え
る。レーザ発振装置1は通常のCO2 レーザ発振装置で
あり、電源6に接続されている。電源6は遮断器7を備
える。遮光ダクト3とミラーボックス4は、レーザビー
ムの経路に沿って連結され、内部にレーザ発振装置2か
ら加工ヘッド5まで連続する中空の導光路8が形成され
ている。ミラーボックス4は内側にミラー9を備える。
加工ヘッド5は内側に集光レンズ10を備え、下端部分
に下端の開口したノズル11が固定されている。符号1
2はアシストガスの供給用配管で加工ヘッド5の内部に
連通している。
【0009】加工ヘッド5はレーザ発振装置2からのレ
ーザビームを集光し、その焦点のスポットを被加工物1
2の表面に照射する。加工ヘッド5は上下に移動される
(Z軸方向)ので、この実施例では遮光ダクト3と蛇腹
14で連結されている。また、被加工物13はX軸方向
およびY軸方向に移動が可能なテーブル15に載置され
ており、平面上の任意の位置に加工を受けることができ
る。遮光ダクト3の内側には煙検出装置16が取付けら
れている。煙検出装置16は、表面に気体が付着すると
導通状態になる素子(セラミックセンサー)を用いて導
光路8の煙を検出する。煙検出装置16は、煙を検出す
ることにより導光路空間の透過度を検出する濁り検出装
置の一つである。
【0010】レーザ加工装置1は外部電源に接続された
警報器17と警報ランプ18を別途に備える。煙検出装
置16の回路には、煙検出装置16が導通したとき駆動
されるリレー19が組まれている。このリレー19は駆
動されると電源6の前記した遮断器7を電源遮断方向に
作動させると同時に、警報器17と警報ランプ18に共
通のスイッチ20をON作動する。すなわち、前記の遮
断器7、警報器17と警報ランプ18およびスイッチ2
0はこのレーザ加工装置1において異常拡大防止機構を
構成し、リレー19は異常拡大防止機構を作動させる手
段となっている。
【0011】レーザ発振装置2から出力されたレーザビ
ームは導光路8を経てミラー9で反射され、加工ヘッド
5に至る。加工ヘッド5は蛇腹14を伸縮して被加工物
13に対して上下位置の調節が行われ、集光されたレー
ザビームの焦点を被加工物13の表面に定め、該表面に
スポットを形成する。これにより、被加工物13はスポ
ットの個所が急速に溶融され、溶融物がアシストガスの
勢力で吹き飛ばされて切断が行われる。切断はX・Yテ
ーブル15の作動によって任意の方向に連続して行われ
る。
【0012】このとき、切断点から多量のスパッタやミ
ストが発生する。これらは通常、アシストガスやシール
ドガスに吹き飛ばされて加工ヘッド5のノズル口からス
パッタやミストが加工ヘッド5の内部に入り込むことは
ない。しかし、きわめて希にスパッタが飛び込んで集光
レンズ10に付着し、このスパッタが加熱されて集光レ
ンズ10が破壊されると同時に一気に焼損することがあ
る。この場合、引き続き照射されるレーザビームによっ
て多量の粉塵が舞い上がり、導光路8に充満する。
【0013】すると、煙検出装置16が作動してリレー
19を駆動し、遮断器7でレーザ発振装置2の電源6を
遮断すると同時に、スイッチ20をON作動し、警報器
17と警報ランプ18を作動して異常の発生を作業者に
知らせる。これにより、粉塵にまみれたミラー9にレー
ザビームが照射され続け、ミラー9をも破損してしまう
事態を防止することができる。
【0014】また、粉塵が導光路8に充満する事故はレ
ンズの焼損事故ばかりでなく、ミラー9の角度異常によ
ってレーザビームが遮光ダクト3やミラーボックス4の
内壁あるいは蛇腹14の部分に照射されてこの部分が焼
損することよっても発生する可能性がある。しかし、こ
の場合も一早く煙検出装置16が導光路内の異常を検出
して作動し、異常拡大防止機構を作動させる手段である
リレー19によって、遮断器7、スイッチ20が作動さ
れ、警報器16などの異常拡大防止機構が作動する。
【0015】このようにして、導光路8における比較的
小さな異常が、レーザ加工装置1の全体に影響を及ぼす
大きな事故に発展する危険が最小限に抑えられる。
【0016】以上は、1実施例である。濁り検出装置は
煙検出装置に限らず、フォトセンサーと発光素子の組合
わせによる導光路内空気の透過度を直接に検出するもの
であっても良い。異常拡大防止機構は、電源6の遮断に
換え、導光路8をシャッターで遮断してしまう構造でも
良い。この発明は、切断加工ばかりではなく、溶接加工
などその他の熱処理加工を行うレーザ加工装置に適用す
ることができる。
【0017】
【発明の効果】導光路で発生する光学部品、その他部材
の焼損事故に対し、即座にその異常を検出して異常がレ
ーザ装置の全体におよぶのが防止されるので、レーザ加
工装置の安全性を高めることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】全体を概略的に示す正面図。
【符号の説明】
1 レーザ加工装置 2 レーザ発振
装置 3 遮光ダクト 4 ミラーボッ
クス 5 加工ヘッド 6 電源 7 遮断器 8 導光路 9 ミラー 10 集光レンズ 11 ノズル 12 アシスト
ガス供給用配管 13 被加工物 14 蛇腹 15 テーブル 16 濁り検出
装置 17 警報器 18 警報ラン
プ 19 リレー 20 スイッチ

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 レーザビーム経路に中空の導光路を有す
    るレーザ加工装置であって、前記の導光路内に空間の透
    過度を検出する濁り検出装置が配置されると共に異常拡
    大防止機構を備え、さらに、設定値以上の濁りが検出さ
    れた時、異常拡大防止機構を作動させる手段を備えたこ
    とを特徴としたレーザ加工装置。
JP4056896A 1992-02-07 1992-02-07 レーザ加工装置 Pending JPH05212575A (ja)

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Cited By (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0821921A (ja) * 1994-07-06 1996-01-23 Sumitomo Osaka Cement Co Ltd 光ファイバ先端の曲面加工方法および装置
WO2004103633A1 (ja) * 2003-05-20 2004-12-02 Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha レーザ加工装置
KR100660111B1 (ko) * 2005-02-01 2006-12-21 주식회사 이오테크닉스 광센서부 및 빔 제어수단을 구비한 레이저 가공장치
WO2009152836A1 (de) * 2008-06-20 2009-12-23 Trumpf Werkzeugmaschinen Gmbh + Co. Kg Laserbearbeitungsmaschine mit einem photoakustisch-messkopf in der eine gasatmosphäre enthaltenden strahlführung
JP2014136238A (ja) * 2013-01-17 2014-07-28 Disco Abrasive Syst Ltd レーザー加工装置
DE102015103887A1 (de) 2014-03-24 2015-09-24 Fanuc Corp. Laserbearbeitungsvorrichtung mit einer Funktion zur Überwachung der Ausbreitung eines Laserstrahls

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS6257789A (ja) * 1985-08-20 1987-03-13 Nippon Steel Corp レ−ザ加工装置の監視方法
JPS645690A (en) * 1987-06-29 1989-01-10 Mitsubishi Electric Corp Laser beam machine

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS6257789A (ja) * 1985-08-20 1987-03-13 Nippon Steel Corp レ−ザ加工装置の監視方法
JPS645690A (en) * 1987-06-29 1989-01-10 Mitsubishi Electric Corp Laser beam machine

Cited By (12)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0821921A (ja) * 1994-07-06 1996-01-23 Sumitomo Osaka Cement Co Ltd 光ファイバ先端の曲面加工方法および装置
WO2004103633A1 (ja) * 2003-05-20 2004-12-02 Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha レーザ加工装置
US6894248B2 (en) 2003-05-20 2005-05-17 Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha Laser beam machining apparatus
CN1328003C (zh) * 2003-05-20 2007-07-25 三菱电机株式会社 激光加工装置
KR100660111B1 (ko) * 2005-02-01 2006-12-21 주식회사 이오테크닉스 광센서부 및 빔 제어수단을 구비한 레이저 가공장치
WO2009152836A1 (de) * 2008-06-20 2009-12-23 Trumpf Werkzeugmaschinen Gmbh + Co. Kg Laserbearbeitungsmaschine mit einem photoakustisch-messkopf in der eine gasatmosphäre enthaltenden strahlführung
CN102066035A (zh) * 2008-06-20 2011-05-18 通快机床两合公司 激光加工设备
JP2011524256A (ja) * 2008-06-20 2011-09-01 トルンプフ ヴェルクツォイクマシーネン ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツング ウント コンパニー コマンディートゲゼルシャフト ガス雰囲気を含むビームガイド内に光音響測定ヘッドを備えるレーザ加工機械
KR101387683B1 (ko) * 2008-06-20 2014-04-25 트룸프 베르크초이그마쉬넨 게엠베하 + 코. 카게 레이저 가공 장치
US9358636B2 (en) 2008-06-20 2016-06-07 Trumpf Werkzeugmaschinen Gmbh + Co. Kg Laser processing machine
JP2014136238A (ja) * 2013-01-17 2014-07-28 Disco Abrasive Syst Ltd レーザー加工装置
DE102015103887A1 (de) 2014-03-24 2015-09-24 Fanuc Corp. Laserbearbeitungsvorrichtung mit einer Funktion zur Überwachung der Ausbreitung eines Laserstrahls

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