JPH05207374A - 固体撮像装置 - Google Patents

固体撮像装置

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JPH05207374A
JPH05207374A JP4034483A JP3448392A JPH05207374A JP H05207374 A JPH05207374 A JP H05207374A JP 4034483 A JP4034483 A JP 4034483A JP 3448392 A JP3448392 A JP 3448392A JP H05207374 A JPH05207374 A JP H05207374A
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JP
Japan
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constant current
gate
transistors
source
voltage
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JP4034483A
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Juichi Yoneyama
寿一 米山
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Nikon Corp
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Nikon Corp
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Abstract

(57)【要約】 【目的】 個体撮像装置の過渡応答速度を速くする。 【構成】 入射光に対応する電荷をそのゲート部に蓄積
する静電誘導トランジスタ31のソースに定電流源32
を接続する。そして、このソースより読み出された電荷
をコンデンサ33に転送する。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、例えばカメラに用いて
好適な固体撮像装置に関する。
【0002】
【従来の技術】図8は、本出願人が特願平2−3119
46号として先に提案した固体撮像装置の構成を示して
いる。この例においては、MOSゲート構造の横型静電
誘導トランジスタ(MOS・SIT)より構成される光
電変換素子1−11乃至1−33がマトリクス状に配列
されている。これらの光電変換素子1−11乃至1−3
3のソースは、各列に対応してそれぞれソースライン2
−1乃至2−3に接続されている。また、各ゲートは、
各行に対応してそれぞれゲートライン3−1乃至3−3
に接続されている。ゲートライン3−1乃至3−3は垂
直走査回路6に接続され、それぞれゲートパルスφG1
至φG3が印加されるようになされている。
【0003】また、ソースライン2−1乃至2−3の一
端は、そのゲートに、端子14からゲートパルスφRSV
が印加されているスイッチングトランジスタ22−1乃
至22−3を介して接地されている。またソースライン
2−1乃至2−3の他端は、スイッチングトランジスタ
20−1乃至20−3を介して負荷容量CTSを有するコ
ンデンサ4−1乃至4−3に接続されるとともに、スイ
ッチングトランジスタ21−1乃至21−3を介して負
荷容量CTNを有するコンデンサ5−1乃至5−3に接続
されている。スイッチングトランジスタ20−1乃至2
0−3のゲートには、端子12からゲートパルスφTGS
が印加されるようになされており、またスイッチングト
ランジスタ21−1乃至21−3のゲートには、端子1
3からゲートパルスφTGNが印加されるようになされて
いる。
【0004】さらにコンデンサ4−1乃至4−3は、ス
イッチングトランジスタ18−1乃至18−3を介して
水平読出しライン8に接続されている。この水平読出し
ライン8は寄生容量CHSを有しており、図には等価的に
コンデンサ10で示されている。また、コンデンサ5−
1乃至5−3はスイッチングトランジスタ19−1乃至
19−3を介して、水平読出しライン9に接続されてい
る。この水平読出しライン9も寄生容量CHNを有してお
り、図には等価的にコンデンサ11で示されている。ス
イッチングトランジスタ18−1乃至18−3ならびに
19−1乃至19−3の各ゲートには、各列毎に、水平
走査回路7よりゲートパルスφH1乃至φH3が供給される
ようになされている。また水平読出しライン8,9は、
それぞれスイッチングトランジスタ23−1,23−2
を介して接地されるようになされている。スイッチング
トランジスタ23−1,23−2のゲートには、端子1
5からゲートパルスφRSHが印加されるようになされて
いる。水平読出しライン8に接続された端子16より信
号電圧VOSが出力され、また水平読出しライン9に接続
された端子17より暗電流成分(ノイズ成分)に対応し
た電圧VONが出力されるようになされている。
【0005】この例においては、静電誘導トランジスタ
1−11乃至1−33のゲート部に、入射光に対応する
電荷が蓄積される。そしてこの電荷が信号成分である場
合、コンデンサ4−1乃至4−3に転送され、ノイズ成
分である場合、コンデンサ5−1乃至5−3に転送され
る。そして、これらの電荷がさらに水平読出しライン
8,9を介して電圧VOS,VONとしてそれぞれ読み出さ
れるようになされている。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】図8に示した固体撮像
装置においては、静電誘導トランジスタ1−11乃至1
−33に蓄積された電荷をソースフォロア回路を介して
読み出すようにしているため、過渡応答速度が遅い課題
があった。その結果、各静電誘導トランジスタ1−11
乃至1−33のばらつきに対応する成分を相殺するに
は、ある程度、読み出し動作に充分な時間をかける必要
があった。充分な時間を確保することができない場合に
おいては、固定パターンノイズ(FPN)やランダムノ
イズが充分除去できなくなる課題があった。
【0007】本発明はこのような状況に鑑みてなされた
ものであり、固定パターンノイズやランダムノイズの発
生を抑制するようにするものである。
【0008】
【課題を解決するための手段】本発明の固体撮像装置
は、マトリクス状に配設され、それぞれ入射光に応じて
そのゲート部に電荷を蓄積する複数の静電誘導トランジ
スタ1−11乃至1−33と、複数の静電誘導トランジ
スタ1−11乃至1−33のうち、所定のものを選択す
る選択回路としての垂直走査回路6と、複数の静電誘導
トランジスタ1−11乃至1−33の各ソースを接続す
るソースライン2−1乃至2−3と、ソースライン2−
1乃至2−3に接続された負荷容量としてのコンデンサ
4−1乃至4−3と、ソースライン2−1乃至2−3に
接続された定電流源としてのトランジスタ41−1乃至
41−3とを備えることを特徴とする。
【0009】
【作用】上記構成の固体撮像装置においては、ソースラ
イン2−1乃至2−3に定電流源としてのトランジスタ
41−1乃至41−3が接続される。従って、コンデン
サ4−1乃至4−3から見たインピーダンスが低下し、
迅速な読み出しが可能となり、固定パターンノイズやラ
ンダムノイズの発生が抑制される。
【0010】
【実施例】図2は、本発明の固体撮像装置の一実施例の
構成を示す回路図であり、図8における場合と対応する
部分には同一の符号を付してある。この実施例において
は、ソースライン2−1乃至2−3がトランジスタ(F
ET)41−1乃至41−3を介して接地されている。
これらのトランジスタ41−1乃至41−3のゲート
は、それぞれトランジスタ(FET)42のゲートに接
続されている。ソースが接地されているトランジスタ4
2のゲートはさらに、そのドレインと接続されている。
そしてトランジスタ42のドレインには定電流源43が
接続されている。即ち、トランジスタ42とトランジス
タ41−1乃至41−3によりカレントミラー回路が構
成され、定電流源43よりトランジスタ42に供給され
る定電流と同一の値の定電流がトランジスタ41−1乃
至41−3を流れるようになされている。
【0011】その他の構成は、図8における場合と同様
である。
【0012】次にその動作について、図3のタイミング
チャートを参照して説明する。静電誘導トランジスタ1
−11乃至1−33は光が入射されると、その入射光に
対応してそのゲート部に電荷を蓄積する。この電荷を蓄
積するモードのとき、図3において時刻T1で示すよう
に、静電誘導トランジスタ1−11乃至1−33は、そ
の各ゲートにゲートライン3−1乃至3−3を介して最
も低いレベルの電圧VG1が印加され、オフする。このと
き、端子14に供給されるゲートパルスφRSVが高レベ
ルとされているため、トランジスタ22−1乃至22−
3はオンとされている。これに対して、端子12と13
より供給されるゲートパルスφTGS,φT GNは、それぞれ
低レベルとされているため、トランジスタ20−1乃至
20−3ならびに21−1乃至21−3はオフとなって
いる。
【0013】次に、時刻T2において端子12,13よ
り供給されるゲートパルスφTGS,φTGNがそれぞれ高レ
ベルになると、トランジスタ20−1乃至20−3,2
1−1乃至21−3がオンする。これによりコンデンサ
4−1乃至4−3が、トランジスタ20−1乃至20−
3、ソースライン2−1乃至2−3、トランジスタ22
−1乃至22−3の経路で短絡され、コンデンサ4−1
乃至4−3とソースライン2−1乃至2−3の電荷が放
電される(リセットされる)。同様にして、コンデンサ
5−1乃至5−3が、トランジスタ21−1乃至21−
3、ソースライン2−1乃至2−3、トランジスタ22
−1乃至22−3の経路で短絡され、コンデンサ5−1
乃至5−3の充電電荷が放電される。
【0014】次に、時刻T3においてゲートライン3−
1乃至3−3のうち、読み出すべき行のゲートライン
(実施例の場合、ゲートライン3−2)のゲートパルス
が電圧VG2(VG2>VG1)に設定される。またこのと
き、端子12より供給されるゲートパルスφTGSが高レ
ベルにされ、トランジスタ20−1乃至20−3がオン
にされる。また、端子13より供給されるゲートパルス
φTGNと、端子14より供給されるゲートパルスφRSV
それぞれ低レベルにされるため、トランジスタ21−1
乃至21−3,22−1乃至22−3がそれぞれオフす
る。その結果、静電誘導トランジスタ1−21乃至1−
23のゲート部に蓄積された電荷が読み出され、ソース
ライン2−1乃至2−3、トランジスタ20−1乃至2
0−3を介してそれぞれコンデンサ4−1乃至4−3に
転送される。このときゲートライン3−2に印加される
電圧VG2は、後述する電圧VG3より低い値に設定されて
いるため、静電誘導トランジスタ1−21乃至1−23
のゲート部に蓄積されている電荷は破壊されずにそのま
ま残ることになる。即ち、これによって非破壊読出しが
行なわれることになる。
【0015】さらに時刻T4において、ゲートライン3
−2のゲートパルスφG2が電圧VG3に設定され、端子1
4に印加されるゲートパルスφRSVが高レベルに設定さ
れる。またこのとき、端子12と13に印加されるゲー
トパルスφTGS,φTGNが低レベルになされる。その結
果、トランジスタ20−1乃至20−3,21−1乃至
21−3がオフし、トランジスタ22−1乃至22−3
がオンする。これにより、静電誘導トランジスタ1−2
1乃至1−23のゲート部に蓄積された電荷が放電さ
れ、リセットされる。即ち、破壊読出しが行なわれる。
【0016】時刻T5においては、ゲートライン3−2
に印加されるゲートパルスφG2が電圧VG2に設定され、
静電誘導トランジスタ1−21乃至1−23がオンす
る。また、端子12と14に印加されるゲートパルスφ
TGSとφRSVが低レベルとされるため、トランジスタ20
−1乃至20−3,22−1乃至22−3がオフし、端
子13に印加されるゲートパルスφTGNが高レベルにさ
れるため、トランジスタ21−1乃至21−3がオンす
る。その結果、静電誘導トランジスタ1−21乃至1−
23のゲート部に蓄積された電荷(暗出力成分)がソー
スライン2−1乃至2−3、トランジスタ21−1乃至
21−3を介してコンデンサ5−1乃至5−3に転送さ
れる。
【0017】このようにしてコンデンサ4−1乃至4−
3に信号成分が、またコンデンサ5−1乃至5−3にノ
イズ成分が、それぞれ蓄積されたことになる。
【0018】そこで次に、水平走査回路7は最初にゲー
トパルスφH1を高レベルにする。その結果、トランジス
タ18−1と19−1がオンする。これにより、コンデ
ンサ4−1に充電されていた電荷がトランジスタ18−
1、水平読出しライン8を介して、端子16から電圧V
OSとして出力される。またコンデンサ5−1に充電され
ていた電荷がトランジスタ19−1、水平読出しライン
9を介して、端子17より電圧VONとして出力される。
図示せぬ回路により端子16と17より出力された電圧
OSと電圧VONとの差が演算され、暗電流成分が除去さ
れた信号成分が得られることになる。
【0019】次に、端子15に印加されるゲートパルス
φRSHが高レベルとされ、トランジスタ23−1,23
−2がオンする。その結果、コンデンサ4−1がトラン
ジスタ18−1、水平読出しライン8、トランジスタ2
3−1を介して短絡され、その充電電荷が放電される。
同様にして、コンデンサ5−1がトランジスタ19−
1、水平読出しライン9、トランジスタ23−2を介し
て短絡され、その充電電荷が放電される。
【0020】以下、同様にして、水平走査回路7はゲー
トパルスφH2,φH3を順次高レベルにして、コンデンサ
4−2,5−2とコンデンサ4−3,5−3に蓄積され
ている電荷を読み出すことになる。
【0021】次に、定電流回路の動作について説明す
る。図1は、図2に示した回路の一部の等価回路を示し
ている。静電誘導トランジスタ31は、図2における静
電誘導トランジスタ1(1−11乃至1−33)に対応
している。また定電流源32は、図2のトランジスタ4
1(41−1乃至41−3)に対応している。またコン
デンサ33は、図2のコンデンサ4(4−1乃至4−
3)とコンデンサ5(5−1乃至5−3)に対応してい
る。
【0022】図1において、静電誘導トランジスタ31
のソース電流Isは次式で示される。 Is=Io×exp(m(Vg+Vp−Vs−Vt))・・・(1) これが定電流源32により逃される定電流Irに等しい
から、IsをIrと等しいとおいて、Vsを求めると、
次のようになる。 Vs=Vg+Vp−Vt−loge(Ir/Io) ・・・(2) 尚、ここで各符号はそれぞれ次のような意味を有してい
る。 Io:飽和ソース電流 m :定数 Vg:ゲート電圧 Vp:信号電圧 Vs:ソース電圧 Vt:閾電圧
【0023】(2)式で示すように、ソース電圧Vsが
信号電圧Vpに比例した電圧となり、これが定常状態と
なる。過渡特性については式が複雑になり、見通しがつ
き難いので数値解析を行う。
【0024】図2および図8のSITイメージセンサの
動作説明では、信号成分をコンデンサ4−1乃至4−3
に、またノイズ成分をコンデンサ5−1乃至5−3に蓄
積しておき、両方の出力を同時に読出して差を取ってい
る。信号およびノイズをコンデンサ4−1乃至4−3お
よび5−1乃至5−3に転送するタイミングは、通常は
水平帰線期間を利用する。例えばテレビの標準方式であ
るNTSC方式では転送期間は略10μsであり、この
期間内で信号とノイズの転送を行うので、それぞれの転
送期間は5μsとなる。
【0025】一方、ノイズ成分だけを読出して、図示し
ないA/Dコンバータでディジタル信号に変換して、こ
れも図示していないメモリに記憶させておき、次に信号
成分を読出してA/D変換し、先に記憶しておいたノイ
ズ成分をディジタル的に差し引くようにしても良い。こ
の場合にはノイズ成分を毎回読出す必要は無く、水平帰
線期間内に信号成分だけを転送すれば良いので、転送期
間として10μsが利用できる。
【0026】そこで、数値解析した結果の転送開始後の
時刻5μsと10μsでの出力電圧の変化分を図4と図
5で示す。図4は、負荷コンデンサ33の容量CVが2
0pF、図5は、CVが5pFの時である。これらの図
でdVS/dtは信号電圧VPが1Vの時の出力電圧VS
の時間に対する変化率、dVN/dtはVPが0Vの時、
即ち、無信号時のオフセット出力電圧の変化率をそれぞ
れμv/nsで示した値である。dVSS/dtはdVS
/dtとdVN/dtとの差であるが、実際には信号の
読出しとオフセットの読出しとでは、図3のT3とT5
示したように別々のタイミングで読出されるので、転送
時間の揺らぎ(ジッター)による電圧の揺らぎ(ノイ
ズ)は、単純な差では無く、自乗平均になる。即ち、 dVSS/dt=〔(dVS/dt)2−(dVN/dt)21/2 であり、ランダムノイズの大きさを示す。
【0027】また、dVS/dVTはVPが1Vの時のS
IT31の閾電圧VTの変動に対する変化率を示し、d
N/dVTはVPが0Vの時のVTに対する変化率を示
す。dVSS/dVTはdVS/dVTとdVN/dVTの差
であり、画素のSITのパラメータによる出力電圧の変
動であるから、固定パターンノイズの大きさを示す。
【0028】図4、図5において、IRはバイアス電流
であり、IR=0は、バイアス電流を流さないとき、即
ち、従来の読出し方式の場合を示している。図4、図5
を見ればバイアス電流を流すことにより、dVSS/d
t,dVSS/dVTとも大幅に小さくなることが判る。
例えば、図4のCV=20pFの場合、従来の読出し方
式(IR=0の時)では、転送時間が10μsの時、S
ITのゲートパルス(図3のT3とT5)にInsのジッ
ターがあれば、56.8μVのランダムノイズ(dVSS
/dt)を発生するが、IR=5.0μAの時は1.8
7μVに減少する。
【0029】また、SITの閾電圧のバラツキが100
mVある時の固定パターンノイズ(dVSS/dVT
は、従来方式では24.0mV発生するのに対して、I
R=5μA時は0.76mVに減少する。
【0030】ここで、CVはソースライン2−1乃至2
−3の浮遊容量とコンデンサ4−1乃至4−3の容量C
TSまたはコンデンサ5−1乃至5−3の容量CTNの和で
あるが、素子の微細化や、配線パターンの工夫によって
V=5pFとに減少させて、IR=5μAとすると、ゲ
ートパルス幅の揺らぎによるランダムノイズ(dVS S
dt)とSITの閾電圧のバラツキによる固定パターン
ノイズ(dVSS/dVT)はともに0になることが判
る。
【0031】尚、図4および図5における数値解析にお
いては、定数m、飽和ソース電流IOおよび閾電圧VT
それぞれ次の値に設定している。 m =2.2 IO=6.9μA VT=−2.0V
【0032】固定パターンノイズ(dVSS/dVT
は、信号電圧VPの大きさによっても変動する。信号電
圧VPと出力電圧VSSの関係を数値解析した結果を図6
と図7に示す。ここでVSSは、VP=0Vの時のオフセ
ット電圧を差し引いた値を示している。それぞれの図に
おいて、SITの閾電圧VT=−2.0Vの時と−2.
1Vの時の出力電圧VSSの差をΔVとして示してある。
図6は、IR=0即ち、従来の読出し方式の場合であ
り、図7は、バイアス電流IR=5μAの場合である。
【0033】図6の従来例を見ると、固定パターンノイ
ズの発生するのみならず、信号電圧VPと出力電圧VSS
の関係が直線ではなく、リニアリティーも悪くなってい
ることが判る。これに対して、図7のIR=5μAのバ
イアスを流した時は、固定パターンノイズが無くなると
ともに、直線性も改善されていることが判る。
【0034】
【発明の効果】以上の如く本発明の固体撮像装置によれ
ば、ソースラインに定電流源を接続するようにしたの
で、過渡応答速度を速くすることができる。その結果、
蓄積電荷を迅速に読み出すことができ、固定パターンノ
イズやランダムノイズを抑制することが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【図1】図2の実施例における定電流回路の等価回路を
示す図である。
【図2】本発明の固体撮像装置の一実施例の構成を示す
回路図である。
【図3】図2の実施例の動作を説明するタイミングチャ
ートである。
【図4】図1の実施例におけるコンデンサ33が20p
Fである場合の過渡応答速度を説明する図である。
【図5】図1の実施例におけるコンデンサ33の容量が
5pFである場合の過渡応答速度を説明する図である。
【図6】図1の定電流源32の定電流Irが0である場
合における出力電圧Voの変化を説明する図である。
【図7】図1の定電流源32の定電流Irが5μAであ
る場合における出力電圧Voの変化を説明する図であ
る。
【図8】従来の固体撮像装置の一例の構成を示す回路図
である。
【符号の説明】
1−11乃至1−33 静電誘導トランジスタ 2−1乃至2−3 ソースライン 3−1乃至3−3 ゲートライン 4−1乃至4−3,5−1乃至5−3 コンデンサ 6 垂直走査回路 7 水平走査回路 31 静電誘導トランジスタ 32 定電流源 33 コンデンサ 41−1乃至41−3,42 トランジスタ 43 定電流源
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.5 識別記号 庁内整理番号 FI 技術表示箇所 // H01L 27/146

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 マトリクス状に配設され、それぞれ入射
    光に応じてそのゲート部に電荷を蓄積する複数の静電誘
    導トランジスタと、 前記複数の静電誘導トランジスタのうち所定のものを選
    択する選択回路と、 前記複数の静電誘導トランジスタの各ソースを接続する
    ソースラインと、 前記ソースラインに接続された負荷容量と、 前記ソースラインに接続された定電流源とを備えること
    を特徴とする固体撮像装置。
JP4034483A 1992-01-24 1992-01-24 固体撮像装置 Withdrawn JPH05207374A (ja)

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Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
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