JPH05207374A - 固体撮像装置 - Google Patents
固体撮像装置Info
- Publication number
- JPH05207374A JPH05207374A JP4034483A JP3448392A JPH05207374A JP H05207374 A JPH05207374 A JP H05207374A JP 4034483 A JP4034483 A JP 4034483A JP 3448392 A JP3448392 A JP 3448392A JP H05207374 A JPH05207374 A JP H05207374A
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- JP
- Japan
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- constant current
- gate
- transistors
- source
- voltage
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- Withdrawn
Links
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- 230000004043 responsiveness Effects 0.000 abstract 1
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Landscapes
- Transforming Light Signals Into Electric Signals (AREA)
- Facsimile Heads (AREA)
- Junction Field-Effect Transistors (AREA)
- Solid State Image Pick-Up Elements (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 個体撮像装置の過渡応答速度を速くする。
【構成】 入射光に対応する電荷をそのゲート部に蓄積
する静電誘導トランジスタ31のソースに定電流源32
を接続する。そして、このソースより読み出された電荷
をコンデンサ33に転送する。
する静電誘導トランジスタ31のソースに定電流源32
を接続する。そして、このソースより読み出された電荷
をコンデンサ33に転送する。
Description
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、例えばカメラに用いて
好適な固体撮像装置に関する。
好適な固体撮像装置に関する。
【0002】
【従来の技術】図8は、本出願人が特願平2−3119
46号として先に提案した固体撮像装置の構成を示して
いる。この例においては、MOSゲート構造の横型静電
誘導トランジスタ(MOS・SIT)より構成される光
電変換素子1−11乃至1−33がマトリクス状に配列
されている。これらの光電変換素子1−11乃至1−3
3のソースは、各列に対応してそれぞれソースライン2
−1乃至2−3に接続されている。また、各ゲートは、
各行に対応してそれぞれゲートライン3−1乃至3−3
に接続されている。ゲートライン3−1乃至3−3は垂
直走査回路6に接続され、それぞれゲートパルスφG1乃
至φG3が印加されるようになされている。
46号として先に提案した固体撮像装置の構成を示して
いる。この例においては、MOSゲート構造の横型静電
誘導トランジスタ(MOS・SIT)より構成される光
電変換素子1−11乃至1−33がマトリクス状に配列
されている。これらの光電変換素子1−11乃至1−3
3のソースは、各列に対応してそれぞれソースライン2
−1乃至2−3に接続されている。また、各ゲートは、
各行に対応してそれぞれゲートライン3−1乃至3−3
に接続されている。ゲートライン3−1乃至3−3は垂
直走査回路6に接続され、それぞれゲートパルスφG1乃
至φG3が印加されるようになされている。
【0003】また、ソースライン2−1乃至2−3の一
端は、そのゲートに、端子14からゲートパルスφRSV
が印加されているスイッチングトランジスタ22−1乃
至22−3を介して接地されている。またソースライン
2−1乃至2−3の他端は、スイッチングトランジスタ
20−1乃至20−3を介して負荷容量CTSを有するコ
ンデンサ4−1乃至4−3に接続されるとともに、スイ
ッチングトランジスタ21−1乃至21−3を介して負
荷容量CTNを有するコンデンサ5−1乃至5−3に接続
されている。スイッチングトランジスタ20−1乃至2
0−3のゲートには、端子12からゲートパルスφTGS
が印加されるようになされており、またスイッチングト
ランジスタ21−1乃至21−3のゲートには、端子1
3からゲートパルスφTGNが印加されるようになされて
いる。
端は、そのゲートに、端子14からゲートパルスφRSV
が印加されているスイッチングトランジスタ22−1乃
至22−3を介して接地されている。またソースライン
2−1乃至2−3の他端は、スイッチングトランジスタ
20−1乃至20−3を介して負荷容量CTSを有するコ
ンデンサ4−1乃至4−3に接続されるとともに、スイ
ッチングトランジスタ21−1乃至21−3を介して負
荷容量CTNを有するコンデンサ5−1乃至5−3に接続
されている。スイッチングトランジスタ20−1乃至2
0−3のゲートには、端子12からゲートパルスφTGS
が印加されるようになされており、またスイッチングト
ランジスタ21−1乃至21−3のゲートには、端子1
3からゲートパルスφTGNが印加されるようになされて
いる。
【0004】さらにコンデンサ4−1乃至4−3は、ス
イッチングトランジスタ18−1乃至18−3を介して
水平読出しライン8に接続されている。この水平読出し
ライン8は寄生容量CHSを有しており、図には等価的に
コンデンサ10で示されている。また、コンデンサ5−
1乃至5−3はスイッチングトランジスタ19−1乃至
19−3を介して、水平読出しライン9に接続されてい
る。この水平読出しライン9も寄生容量CHNを有してお
り、図には等価的にコンデンサ11で示されている。ス
イッチングトランジスタ18−1乃至18−3ならびに
19−1乃至19−3の各ゲートには、各列毎に、水平
走査回路7よりゲートパルスφH1乃至φH3が供給される
ようになされている。また水平読出しライン8,9は、
それぞれスイッチングトランジスタ23−1,23−2
を介して接地されるようになされている。スイッチング
トランジスタ23−1,23−2のゲートには、端子1
5からゲートパルスφRSHが印加されるようになされて
いる。水平読出しライン8に接続された端子16より信
号電圧VOSが出力され、また水平読出しライン9に接続
された端子17より暗電流成分(ノイズ成分)に対応し
た電圧VONが出力されるようになされている。
イッチングトランジスタ18−1乃至18−3を介して
水平読出しライン8に接続されている。この水平読出し
ライン8は寄生容量CHSを有しており、図には等価的に
コンデンサ10で示されている。また、コンデンサ5−
1乃至5−3はスイッチングトランジスタ19−1乃至
19−3を介して、水平読出しライン9に接続されてい
る。この水平読出しライン9も寄生容量CHNを有してお
り、図には等価的にコンデンサ11で示されている。ス
イッチングトランジスタ18−1乃至18−3ならびに
19−1乃至19−3の各ゲートには、各列毎に、水平
走査回路7よりゲートパルスφH1乃至φH3が供給される
ようになされている。また水平読出しライン8,9は、
それぞれスイッチングトランジスタ23−1,23−2
を介して接地されるようになされている。スイッチング
トランジスタ23−1,23−2のゲートには、端子1
5からゲートパルスφRSHが印加されるようになされて
いる。水平読出しライン8に接続された端子16より信
号電圧VOSが出力され、また水平読出しライン9に接続
された端子17より暗電流成分(ノイズ成分)に対応し
た電圧VONが出力されるようになされている。
【0005】この例においては、静電誘導トランジスタ
1−11乃至1−33のゲート部に、入射光に対応する
電荷が蓄積される。そしてこの電荷が信号成分である場
合、コンデンサ4−1乃至4−3に転送され、ノイズ成
分である場合、コンデンサ5−1乃至5−3に転送され
る。そして、これらの電荷がさらに水平読出しライン
8,9を介して電圧VOS,VONとしてそれぞれ読み出さ
れるようになされている。
1−11乃至1−33のゲート部に、入射光に対応する
電荷が蓄積される。そしてこの電荷が信号成分である場
合、コンデンサ4−1乃至4−3に転送され、ノイズ成
分である場合、コンデンサ5−1乃至5−3に転送され
る。そして、これらの電荷がさらに水平読出しライン
8,9を介して電圧VOS,VONとしてそれぞれ読み出さ
れるようになされている。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】図8に示した固体撮像
装置においては、静電誘導トランジスタ1−11乃至1
−33に蓄積された電荷をソースフォロア回路を介して
読み出すようにしているため、過渡応答速度が遅い課題
があった。その結果、各静電誘導トランジスタ1−11
乃至1−33のばらつきに対応する成分を相殺するに
は、ある程度、読み出し動作に充分な時間をかける必要
があった。充分な時間を確保することができない場合に
おいては、固定パターンノイズ(FPN)やランダムノ
イズが充分除去できなくなる課題があった。
装置においては、静電誘導トランジスタ1−11乃至1
−33に蓄積された電荷をソースフォロア回路を介して
読み出すようにしているため、過渡応答速度が遅い課題
があった。その結果、各静電誘導トランジスタ1−11
乃至1−33のばらつきに対応する成分を相殺するに
は、ある程度、読み出し動作に充分な時間をかける必要
があった。充分な時間を確保することができない場合に
おいては、固定パターンノイズ(FPN)やランダムノ
イズが充分除去できなくなる課題があった。
【0007】本発明はこのような状況に鑑みてなされた
ものであり、固定パターンノイズやランダムノイズの発
生を抑制するようにするものである。
ものであり、固定パターンノイズやランダムノイズの発
生を抑制するようにするものである。
【0008】
【課題を解決するための手段】本発明の固体撮像装置
は、マトリクス状に配設され、それぞれ入射光に応じて
そのゲート部に電荷を蓄積する複数の静電誘導トランジ
スタ1−11乃至1−33と、複数の静電誘導トランジ
スタ1−11乃至1−33のうち、所定のものを選択す
る選択回路としての垂直走査回路6と、複数の静電誘導
トランジスタ1−11乃至1−33の各ソースを接続す
るソースライン2−1乃至2−3と、ソースライン2−
1乃至2−3に接続された負荷容量としてのコンデンサ
4−1乃至4−3と、ソースライン2−1乃至2−3に
接続された定電流源としてのトランジスタ41−1乃至
41−3とを備えることを特徴とする。
は、マトリクス状に配設され、それぞれ入射光に応じて
そのゲート部に電荷を蓄積する複数の静電誘導トランジ
スタ1−11乃至1−33と、複数の静電誘導トランジ
スタ1−11乃至1−33のうち、所定のものを選択す
る選択回路としての垂直走査回路6と、複数の静電誘導
トランジスタ1−11乃至1−33の各ソースを接続す
るソースライン2−1乃至2−3と、ソースライン2−
1乃至2−3に接続された負荷容量としてのコンデンサ
4−1乃至4−3と、ソースライン2−1乃至2−3に
接続された定電流源としてのトランジスタ41−1乃至
41−3とを備えることを特徴とする。
【0009】
【作用】上記構成の固体撮像装置においては、ソースラ
イン2−1乃至2−3に定電流源としてのトランジスタ
41−1乃至41−3が接続される。従って、コンデン
サ4−1乃至4−3から見たインピーダンスが低下し、
迅速な読み出しが可能となり、固定パターンノイズやラ
ンダムノイズの発生が抑制される。
イン2−1乃至2−3に定電流源としてのトランジスタ
41−1乃至41−3が接続される。従って、コンデン
サ4−1乃至4−3から見たインピーダンスが低下し、
迅速な読み出しが可能となり、固定パターンノイズやラ
ンダムノイズの発生が抑制される。
【0010】
【実施例】図2は、本発明の固体撮像装置の一実施例の
構成を示す回路図であり、図8における場合と対応する
部分には同一の符号を付してある。この実施例において
は、ソースライン2−1乃至2−3がトランジスタ(F
ET)41−1乃至41−3を介して接地されている。
これらのトランジスタ41−1乃至41−3のゲート
は、それぞれトランジスタ(FET)42のゲートに接
続されている。ソースが接地されているトランジスタ4
2のゲートはさらに、そのドレインと接続されている。
そしてトランジスタ42のドレインには定電流源43が
接続されている。即ち、トランジスタ42とトランジス
タ41−1乃至41−3によりカレントミラー回路が構
成され、定電流源43よりトランジスタ42に供給され
る定電流と同一の値の定電流がトランジスタ41−1乃
至41−3を流れるようになされている。
構成を示す回路図であり、図8における場合と対応する
部分には同一の符号を付してある。この実施例において
は、ソースライン2−1乃至2−3がトランジスタ(F
ET)41−1乃至41−3を介して接地されている。
これらのトランジスタ41−1乃至41−3のゲート
は、それぞれトランジスタ(FET)42のゲートに接
続されている。ソースが接地されているトランジスタ4
2のゲートはさらに、そのドレインと接続されている。
そしてトランジスタ42のドレインには定電流源43が
接続されている。即ち、トランジスタ42とトランジス
タ41−1乃至41−3によりカレントミラー回路が構
成され、定電流源43よりトランジスタ42に供給され
る定電流と同一の値の定電流がトランジスタ41−1乃
至41−3を流れるようになされている。
【0011】その他の構成は、図8における場合と同様
である。
である。
【0012】次にその動作について、図3のタイミング
チャートを参照して説明する。静電誘導トランジスタ1
−11乃至1−33は光が入射されると、その入射光に
対応してそのゲート部に電荷を蓄積する。この電荷を蓄
積するモードのとき、図3において時刻T1で示すよう
に、静電誘導トランジスタ1−11乃至1−33は、そ
の各ゲートにゲートライン3−1乃至3−3を介して最
も低いレベルの電圧VG1が印加され、オフする。このと
き、端子14に供給されるゲートパルスφRSVが高レベ
ルとされているため、トランジスタ22−1乃至22−
3はオンとされている。これに対して、端子12と13
より供給されるゲートパルスφTGS,φT GNは、それぞれ
低レベルとされているため、トランジスタ20−1乃至
20−3ならびに21−1乃至21−3はオフとなって
いる。
チャートを参照して説明する。静電誘導トランジスタ1
−11乃至1−33は光が入射されると、その入射光に
対応してそのゲート部に電荷を蓄積する。この電荷を蓄
積するモードのとき、図3において時刻T1で示すよう
に、静電誘導トランジスタ1−11乃至1−33は、そ
の各ゲートにゲートライン3−1乃至3−3を介して最
も低いレベルの電圧VG1が印加され、オフする。このと
き、端子14に供給されるゲートパルスφRSVが高レベ
ルとされているため、トランジスタ22−1乃至22−
3はオンとされている。これに対して、端子12と13
より供給されるゲートパルスφTGS,φT GNは、それぞれ
低レベルとされているため、トランジスタ20−1乃至
20−3ならびに21−1乃至21−3はオフとなって
いる。
【0013】次に、時刻T2において端子12,13よ
り供給されるゲートパルスφTGS,φTGNがそれぞれ高レ
ベルになると、トランジスタ20−1乃至20−3,2
1−1乃至21−3がオンする。これによりコンデンサ
4−1乃至4−3が、トランジスタ20−1乃至20−
3、ソースライン2−1乃至2−3、トランジスタ22
−1乃至22−3の経路で短絡され、コンデンサ4−1
乃至4−3とソースライン2−1乃至2−3の電荷が放
電される(リセットされる)。同様にして、コンデンサ
5−1乃至5−3が、トランジスタ21−1乃至21−
3、ソースライン2−1乃至2−3、トランジスタ22
−1乃至22−3の経路で短絡され、コンデンサ5−1
乃至5−3の充電電荷が放電される。
り供給されるゲートパルスφTGS,φTGNがそれぞれ高レ
ベルになると、トランジスタ20−1乃至20−3,2
1−1乃至21−3がオンする。これによりコンデンサ
4−1乃至4−3が、トランジスタ20−1乃至20−
3、ソースライン2−1乃至2−3、トランジスタ22
−1乃至22−3の経路で短絡され、コンデンサ4−1
乃至4−3とソースライン2−1乃至2−3の電荷が放
電される(リセットされる)。同様にして、コンデンサ
5−1乃至5−3が、トランジスタ21−1乃至21−
3、ソースライン2−1乃至2−3、トランジスタ22
−1乃至22−3の経路で短絡され、コンデンサ5−1
乃至5−3の充電電荷が放電される。
【0014】次に、時刻T3においてゲートライン3−
1乃至3−3のうち、読み出すべき行のゲートライン
(実施例の場合、ゲートライン3−2)のゲートパルス
が電圧VG2(VG2>VG1)に設定される。またこのと
き、端子12より供給されるゲートパルスφTGSが高レ
ベルにされ、トランジスタ20−1乃至20−3がオン
にされる。また、端子13より供給されるゲートパルス
φTGNと、端子14より供給されるゲートパルスφRSVが
それぞれ低レベルにされるため、トランジスタ21−1
乃至21−3,22−1乃至22−3がそれぞれオフす
る。その結果、静電誘導トランジスタ1−21乃至1−
23のゲート部に蓄積された電荷が読み出され、ソース
ライン2−1乃至2−3、トランジスタ20−1乃至2
0−3を介してそれぞれコンデンサ4−1乃至4−3に
転送される。このときゲートライン3−2に印加される
電圧VG2は、後述する電圧VG3より低い値に設定されて
いるため、静電誘導トランジスタ1−21乃至1−23
のゲート部に蓄積されている電荷は破壊されずにそのま
ま残ることになる。即ち、これによって非破壊読出しが
行なわれることになる。
1乃至3−3のうち、読み出すべき行のゲートライン
(実施例の場合、ゲートライン3−2)のゲートパルス
が電圧VG2(VG2>VG1)に設定される。またこのと
き、端子12より供給されるゲートパルスφTGSが高レ
ベルにされ、トランジスタ20−1乃至20−3がオン
にされる。また、端子13より供給されるゲートパルス
φTGNと、端子14より供給されるゲートパルスφRSVが
それぞれ低レベルにされるため、トランジスタ21−1
乃至21−3,22−1乃至22−3がそれぞれオフす
る。その結果、静電誘導トランジスタ1−21乃至1−
23のゲート部に蓄積された電荷が読み出され、ソース
ライン2−1乃至2−3、トランジスタ20−1乃至2
0−3を介してそれぞれコンデンサ4−1乃至4−3に
転送される。このときゲートライン3−2に印加される
電圧VG2は、後述する電圧VG3より低い値に設定されて
いるため、静電誘導トランジスタ1−21乃至1−23
のゲート部に蓄積されている電荷は破壊されずにそのま
ま残ることになる。即ち、これによって非破壊読出しが
行なわれることになる。
【0015】さらに時刻T4において、ゲートライン3
−2のゲートパルスφG2が電圧VG3に設定され、端子1
4に印加されるゲートパルスφRSVが高レベルに設定さ
れる。またこのとき、端子12と13に印加されるゲー
トパルスφTGS,φTGNが低レベルになされる。その結
果、トランジスタ20−1乃至20−3,21−1乃至
21−3がオフし、トランジスタ22−1乃至22−3
がオンする。これにより、静電誘導トランジスタ1−2
1乃至1−23のゲート部に蓄積された電荷が放電さ
れ、リセットされる。即ち、破壊読出しが行なわれる。
−2のゲートパルスφG2が電圧VG3に設定され、端子1
4に印加されるゲートパルスφRSVが高レベルに設定さ
れる。またこのとき、端子12と13に印加されるゲー
トパルスφTGS,φTGNが低レベルになされる。その結
果、トランジスタ20−1乃至20−3,21−1乃至
21−3がオフし、トランジスタ22−1乃至22−3
がオンする。これにより、静電誘導トランジスタ1−2
1乃至1−23のゲート部に蓄積された電荷が放電さ
れ、リセットされる。即ち、破壊読出しが行なわれる。
【0016】時刻T5においては、ゲートライン3−2
に印加されるゲートパルスφG2が電圧VG2に設定され、
静電誘導トランジスタ1−21乃至1−23がオンす
る。また、端子12と14に印加されるゲートパルスφ
TGSとφRSVが低レベルとされるため、トランジスタ20
−1乃至20−3,22−1乃至22−3がオフし、端
子13に印加されるゲートパルスφTGNが高レベルにさ
れるため、トランジスタ21−1乃至21−3がオンす
る。その結果、静電誘導トランジスタ1−21乃至1−
23のゲート部に蓄積された電荷(暗出力成分)がソー
スライン2−1乃至2−3、トランジスタ21−1乃至
21−3を介してコンデンサ5−1乃至5−3に転送さ
れる。
に印加されるゲートパルスφG2が電圧VG2に設定され、
静電誘導トランジスタ1−21乃至1−23がオンす
る。また、端子12と14に印加されるゲートパルスφ
TGSとφRSVが低レベルとされるため、トランジスタ20
−1乃至20−3,22−1乃至22−3がオフし、端
子13に印加されるゲートパルスφTGNが高レベルにさ
れるため、トランジスタ21−1乃至21−3がオンす
る。その結果、静電誘導トランジスタ1−21乃至1−
23のゲート部に蓄積された電荷(暗出力成分)がソー
スライン2−1乃至2−3、トランジスタ21−1乃至
21−3を介してコンデンサ5−1乃至5−3に転送さ
れる。
【0017】このようにしてコンデンサ4−1乃至4−
3に信号成分が、またコンデンサ5−1乃至5−3にノ
イズ成分が、それぞれ蓄積されたことになる。
3に信号成分が、またコンデンサ5−1乃至5−3にノ
イズ成分が、それぞれ蓄積されたことになる。
【0018】そこで次に、水平走査回路7は最初にゲー
トパルスφH1を高レベルにする。その結果、トランジス
タ18−1と19−1がオンする。これにより、コンデ
ンサ4−1に充電されていた電荷がトランジスタ18−
1、水平読出しライン8を介して、端子16から電圧V
OSとして出力される。またコンデンサ5−1に充電され
ていた電荷がトランジスタ19−1、水平読出しライン
9を介して、端子17より電圧VONとして出力される。
図示せぬ回路により端子16と17より出力された電圧
VOSと電圧VONとの差が演算され、暗電流成分が除去さ
れた信号成分が得られることになる。
トパルスφH1を高レベルにする。その結果、トランジス
タ18−1と19−1がオンする。これにより、コンデ
ンサ4−1に充電されていた電荷がトランジスタ18−
1、水平読出しライン8を介して、端子16から電圧V
OSとして出力される。またコンデンサ5−1に充電され
ていた電荷がトランジスタ19−1、水平読出しライン
9を介して、端子17より電圧VONとして出力される。
図示せぬ回路により端子16と17より出力された電圧
VOSと電圧VONとの差が演算され、暗電流成分が除去さ
れた信号成分が得られることになる。
【0019】次に、端子15に印加されるゲートパルス
φRSHが高レベルとされ、トランジスタ23−1,23
−2がオンする。その結果、コンデンサ4−1がトラン
ジスタ18−1、水平読出しライン8、トランジスタ2
3−1を介して短絡され、その充電電荷が放電される。
同様にして、コンデンサ5−1がトランジスタ19−
1、水平読出しライン9、トランジスタ23−2を介し
て短絡され、その充電電荷が放電される。
φRSHが高レベルとされ、トランジスタ23−1,23
−2がオンする。その結果、コンデンサ4−1がトラン
ジスタ18−1、水平読出しライン8、トランジスタ2
3−1を介して短絡され、その充電電荷が放電される。
同様にして、コンデンサ5−1がトランジスタ19−
1、水平読出しライン9、トランジスタ23−2を介し
て短絡され、その充電電荷が放電される。
【0020】以下、同様にして、水平走査回路7はゲー
トパルスφH2,φH3を順次高レベルにして、コンデンサ
4−2,5−2とコンデンサ4−3,5−3に蓄積され
ている電荷を読み出すことになる。
トパルスφH2,φH3を順次高レベルにして、コンデンサ
4−2,5−2とコンデンサ4−3,5−3に蓄積され
ている電荷を読み出すことになる。
【0021】次に、定電流回路の動作について説明す
る。図1は、図2に示した回路の一部の等価回路を示し
ている。静電誘導トランジスタ31は、図2における静
電誘導トランジスタ1(1−11乃至1−33)に対応
している。また定電流源32は、図2のトランジスタ4
1(41−1乃至41−3)に対応している。またコン
デンサ33は、図2のコンデンサ4(4−1乃至4−
3)とコンデンサ5(5−1乃至5−3)に対応してい
る。
る。図1は、図2に示した回路の一部の等価回路を示し
ている。静電誘導トランジスタ31は、図2における静
電誘導トランジスタ1(1−11乃至1−33)に対応
している。また定電流源32は、図2のトランジスタ4
1(41−1乃至41−3)に対応している。またコン
デンサ33は、図2のコンデンサ4(4−1乃至4−
3)とコンデンサ5(5−1乃至5−3)に対応してい
る。
【0022】図1において、静電誘導トランジスタ31
のソース電流Isは次式で示される。 Is=Io×exp(m(Vg+Vp−Vs−Vt))・・・(1) これが定電流源32により逃される定電流Irに等しい
から、IsをIrと等しいとおいて、Vsを求めると、
次のようになる。 Vs=Vg+Vp−Vt−loge(Ir/Io) ・・・(2) 尚、ここで各符号はそれぞれ次のような意味を有してい
る。 Io:飽和ソース電流 m :定数 Vg:ゲート電圧 Vp:信号電圧 Vs:ソース電圧 Vt:閾電圧
のソース電流Isは次式で示される。 Is=Io×exp(m(Vg+Vp−Vs−Vt))・・・(1) これが定電流源32により逃される定電流Irに等しい
から、IsをIrと等しいとおいて、Vsを求めると、
次のようになる。 Vs=Vg+Vp−Vt−loge(Ir/Io) ・・・(2) 尚、ここで各符号はそれぞれ次のような意味を有してい
る。 Io:飽和ソース電流 m :定数 Vg:ゲート電圧 Vp:信号電圧 Vs:ソース電圧 Vt:閾電圧
【0023】(2)式で示すように、ソース電圧Vsが
信号電圧Vpに比例した電圧となり、これが定常状態と
なる。過渡特性については式が複雑になり、見通しがつ
き難いので数値解析を行う。
信号電圧Vpに比例した電圧となり、これが定常状態と
なる。過渡特性については式が複雑になり、見通しがつ
き難いので数値解析を行う。
【0024】図2および図8のSITイメージセンサの
動作説明では、信号成分をコンデンサ4−1乃至4−3
に、またノイズ成分をコンデンサ5−1乃至5−3に蓄
積しておき、両方の出力を同時に読出して差を取ってい
る。信号およびノイズをコンデンサ4−1乃至4−3お
よび5−1乃至5−3に転送するタイミングは、通常は
水平帰線期間を利用する。例えばテレビの標準方式であ
るNTSC方式では転送期間は略10μsであり、この
期間内で信号とノイズの転送を行うので、それぞれの転
送期間は5μsとなる。
動作説明では、信号成分をコンデンサ4−1乃至4−3
に、またノイズ成分をコンデンサ5−1乃至5−3に蓄
積しておき、両方の出力を同時に読出して差を取ってい
る。信号およびノイズをコンデンサ4−1乃至4−3お
よび5−1乃至5−3に転送するタイミングは、通常は
水平帰線期間を利用する。例えばテレビの標準方式であ
るNTSC方式では転送期間は略10μsであり、この
期間内で信号とノイズの転送を行うので、それぞれの転
送期間は5μsとなる。
【0025】一方、ノイズ成分だけを読出して、図示し
ないA/Dコンバータでディジタル信号に変換して、こ
れも図示していないメモリに記憶させておき、次に信号
成分を読出してA/D変換し、先に記憶しておいたノイ
ズ成分をディジタル的に差し引くようにしても良い。こ
の場合にはノイズ成分を毎回読出す必要は無く、水平帰
線期間内に信号成分だけを転送すれば良いので、転送期
間として10μsが利用できる。
ないA/Dコンバータでディジタル信号に変換して、こ
れも図示していないメモリに記憶させておき、次に信号
成分を読出してA/D変換し、先に記憶しておいたノイ
ズ成分をディジタル的に差し引くようにしても良い。こ
の場合にはノイズ成分を毎回読出す必要は無く、水平帰
線期間内に信号成分だけを転送すれば良いので、転送期
間として10μsが利用できる。
【0026】そこで、数値解析した結果の転送開始後の
時刻5μsと10μsでの出力電圧の変化分を図4と図
5で示す。図4は、負荷コンデンサ33の容量CVが2
0pF、図5は、CVが5pFの時である。これらの図
でdVS/dtは信号電圧VPが1Vの時の出力電圧VS
の時間に対する変化率、dVN/dtはVPが0Vの時、
即ち、無信号時のオフセット出力電圧の変化率をそれぞ
れμv/nsで示した値である。dVSS/dtはdVS
/dtとdVN/dtとの差であるが、実際には信号の
読出しとオフセットの読出しとでは、図3のT3とT5で
示したように別々のタイミングで読出されるので、転送
時間の揺らぎ(ジッター)による電圧の揺らぎ(ノイ
ズ)は、単純な差では無く、自乗平均になる。即ち、 dVSS/dt=〔(dVS/dt)2−(dVN/dt)2〕1/2 であり、ランダムノイズの大きさを示す。
時刻5μsと10μsでの出力電圧の変化分を図4と図
5で示す。図4は、負荷コンデンサ33の容量CVが2
0pF、図5は、CVが5pFの時である。これらの図
でdVS/dtは信号電圧VPが1Vの時の出力電圧VS
の時間に対する変化率、dVN/dtはVPが0Vの時、
即ち、無信号時のオフセット出力電圧の変化率をそれぞ
れμv/nsで示した値である。dVSS/dtはdVS
/dtとdVN/dtとの差であるが、実際には信号の
読出しとオフセットの読出しとでは、図3のT3とT5で
示したように別々のタイミングで読出されるので、転送
時間の揺らぎ(ジッター)による電圧の揺らぎ(ノイ
ズ)は、単純な差では無く、自乗平均になる。即ち、 dVSS/dt=〔(dVS/dt)2−(dVN/dt)2〕1/2 であり、ランダムノイズの大きさを示す。
【0027】また、dVS/dVTはVPが1Vの時のS
IT31の閾電圧VTの変動に対する変化率を示し、d
VN/dVTはVPが0Vの時のVTに対する変化率を示
す。dVSS/dVTはdVS/dVTとdVN/dVTの差
であり、画素のSITのパラメータによる出力電圧の変
動であるから、固定パターンノイズの大きさを示す。
IT31の閾電圧VTの変動に対する変化率を示し、d
VN/dVTはVPが0Vの時のVTに対する変化率を示
す。dVSS/dVTはdVS/dVTとdVN/dVTの差
であり、画素のSITのパラメータによる出力電圧の変
動であるから、固定パターンノイズの大きさを示す。
【0028】図4、図5において、IRはバイアス電流
であり、IR=0は、バイアス電流を流さないとき、即
ち、従来の読出し方式の場合を示している。図4、図5
を見ればバイアス電流を流すことにより、dVSS/d
t,dVSS/dVTとも大幅に小さくなることが判る。
例えば、図4のCV=20pFの場合、従来の読出し方
式(IR=0の時)では、転送時間が10μsの時、S
ITのゲートパルス(図3のT3とT5)にInsのジッ
ターがあれば、56.8μVのランダムノイズ(dVSS
/dt)を発生するが、IR=5.0μAの時は1.8
7μVに減少する。
であり、IR=0は、バイアス電流を流さないとき、即
ち、従来の読出し方式の場合を示している。図4、図5
を見ればバイアス電流を流すことにより、dVSS/d
t,dVSS/dVTとも大幅に小さくなることが判る。
例えば、図4のCV=20pFの場合、従来の読出し方
式(IR=0の時)では、転送時間が10μsの時、S
ITのゲートパルス(図3のT3とT5)にInsのジッ
ターがあれば、56.8μVのランダムノイズ(dVSS
/dt)を発生するが、IR=5.0μAの時は1.8
7μVに減少する。
【0029】また、SITの閾電圧のバラツキが100
mVある時の固定パターンノイズ(dVSS/dVT)
は、従来方式では24.0mV発生するのに対して、I
R=5μA時は0.76mVに減少する。
mVある時の固定パターンノイズ(dVSS/dVT)
は、従来方式では24.0mV発生するのに対して、I
R=5μA時は0.76mVに減少する。
【0030】ここで、CVはソースライン2−1乃至2
−3の浮遊容量とコンデンサ4−1乃至4−3の容量C
TSまたはコンデンサ5−1乃至5−3の容量CTNの和で
あるが、素子の微細化や、配線パターンの工夫によって
CV=5pFとに減少させて、IR=5μAとすると、ゲ
ートパルス幅の揺らぎによるランダムノイズ(dVS S/
dt)とSITの閾電圧のバラツキによる固定パターン
ノイズ(dVSS/dVT)はともに0になることが判
る。
−3の浮遊容量とコンデンサ4−1乃至4−3の容量C
TSまたはコンデンサ5−1乃至5−3の容量CTNの和で
あるが、素子の微細化や、配線パターンの工夫によって
CV=5pFとに減少させて、IR=5μAとすると、ゲ
ートパルス幅の揺らぎによるランダムノイズ(dVS S/
dt)とSITの閾電圧のバラツキによる固定パターン
ノイズ(dVSS/dVT)はともに0になることが判
る。
【0031】尚、図4および図5における数値解析にお
いては、定数m、飽和ソース電流IOおよび閾電圧VTは
それぞれ次の値に設定している。 m =2.2 IO=6.9μA VT=−2.0V
いては、定数m、飽和ソース電流IOおよび閾電圧VTは
それぞれ次の値に設定している。 m =2.2 IO=6.9μA VT=−2.0V
【0032】固定パターンノイズ(dVSS/dVT)
は、信号電圧VPの大きさによっても変動する。信号電
圧VPと出力電圧VSSの関係を数値解析した結果を図6
と図7に示す。ここでVSSは、VP=0Vの時のオフセ
ット電圧を差し引いた値を示している。それぞれの図に
おいて、SITの閾電圧VT=−2.0Vの時と−2.
1Vの時の出力電圧VSSの差をΔVとして示してある。
図6は、IR=0即ち、従来の読出し方式の場合であ
り、図7は、バイアス電流IR=5μAの場合である。
は、信号電圧VPの大きさによっても変動する。信号電
圧VPと出力電圧VSSの関係を数値解析した結果を図6
と図7に示す。ここでVSSは、VP=0Vの時のオフセ
ット電圧を差し引いた値を示している。それぞれの図に
おいて、SITの閾電圧VT=−2.0Vの時と−2.
1Vの時の出力電圧VSSの差をΔVとして示してある。
図6は、IR=0即ち、従来の読出し方式の場合であ
り、図7は、バイアス電流IR=5μAの場合である。
【0033】図6の従来例を見ると、固定パターンノイ
ズの発生するのみならず、信号電圧VPと出力電圧VSS
の関係が直線ではなく、リニアリティーも悪くなってい
ることが判る。これに対して、図7のIR=5μAのバ
イアスを流した時は、固定パターンノイズが無くなると
ともに、直線性も改善されていることが判る。
ズの発生するのみならず、信号電圧VPと出力電圧VSS
の関係が直線ではなく、リニアリティーも悪くなってい
ることが判る。これに対して、図7のIR=5μAのバ
イアスを流した時は、固定パターンノイズが無くなると
ともに、直線性も改善されていることが判る。
【0034】
【発明の効果】以上の如く本発明の固体撮像装置によれ
ば、ソースラインに定電流源を接続するようにしたの
で、過渡応答速度を速くすることができる。その結果、
蓄積電荷を迅速に読み出すことができ、固定パターンノ
イズやランダムノイズを抑制することが可能となる。
ば、ソースラインに定電流源を接続するようにしたの
で、過渡応答速度を速くすることができる。その結果、
蓄積電荷を迅速に読み出すことができ、固定パターンノ
イズやランダムノイズを抑制することが可能となる。
【図1】図2の実施例における定電流回路の等価回路を
示す図である。
示す図である。
【図2】本発明の固体撮像装置の一実施例の構成を示す
回路図である。
回路図である。
【図3】図2の実施例の動作を説明するタイミングチャ
ートである。
ートである。
【図4】図1の実施例におけるコンデンサ33が20p
Fである場合の過渡応答速度を説明する図である。
Fである場合の過渡応答速度を説明する図である。
【図5】図1の実施例におけるコンデンサ33の容量が
5pFである場合の過渡応答速度を説明する図である。
5pFである場合の過渡応答速度を説明する図である。
【図6】図1の定電流源32の定電流Irが0である場
合における出力電圧Voの変化を説明する図である。
合における出力電圧Voの変化を説明する図である。
【図7】図1の定電流源32の定電流Irが5μAであ
る場合における出力電圧Voの変化を説明する図であ
る。
る場合における出力電圧Voの変化を説明する図であ
る。
【図8】従来の固体撮像装置の一例の構成を示す回路図
である。
である。
1−11乃至1−33 静電誘導トランジスタ 2−1乃至2−3 ソースライン 3−1乃至3−3 ゲートライン 4−1乃至4−3,5−1乃至5−3 コンデンサ 6 垂直走査回路 7 水平走査回路 31 静電誘導トランジスタ 32 定電流源 33 コンデンサ 41−1乃至41−3,42 トランジスタ 43 定電流源
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.5 識別記号 庁内整理番号 FI 技術表示箇所 // H01L 27/146
Claims (1)
- 【請求項1】 マトリクス状に配設され、それぞれ入射
光に応じてそのゲート部に電荷を蓄積する複数の静電誘
導トランジスタと、 前記複数の静電誘導トランジスタのうち所定のものを選
択する選択回路と、 前記複数の静電誘導トランジスタの各ソースを接続する
ソースラインと、 前記ソースラインに接続された負荷容量と、 前記ソースラインに接続された定電流源とを備えること
を特徴とする固体撮像装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP4034483A JPH05207374A (ja) | 1992-01-24 | 1992-01-24 | 固体撮像装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP4034483A JPH05207374A (ja) | 1992-01-24 | 1992-01-24 | 固体撮像装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH05207374A true JPH05207374A (ja) | 1993-08-13 |
Family
ID=12415497
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP4034483A Withdrawn JPH05207374A (ja) | 1992-01-24 | 1992-01-24 | 固体撮像装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH05207374A (ja) |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO1997029587A1 (en) * | 1996-02-06 | 1997-08-14 | Polaroid Corporation | Current-mediated active-pixel image sensing device with current reset |
EP1942663A1 (en) * | 2007-01-02 | 2008-07-09 | STMicroelectronics (Research & Development) Limited | Column current source |
JP2010238950A (ja) * | 2009-03-31 | 2010-10-21 | Casio Computer Co Ltd | 光検出器 |
JP2015130563A (ja) * | 2014-01-06 | 2015-07-16 | 株式会社リコー | 光電変換素子、画像読取装置及び画像形成装置 |
-
1992
- 1992-01-24 JP JP4034483A patent/JPH05207374A/ja not_active Withdrawn
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO1997029587A1 (en) * | 1996-02-06 | 1997-08-14 | Polaroid Corporation | Current-mediated active-pixel image sensing device with current reset |
US5923794A (en) * | 1996-02-06 | 1999-07-13 | Polaroid Corporation | Current-mediated active-pixel image sensing device with current reset |
EP1942663A1 (en) * | 2007-01-02 | 2008-07-09 | STMicroelectronics (Research & Development) Limited | Column current source |
US7659500B2 (en) | 2007-01-02 | 2010-02-09 | STMicroelectronics (Research & Development ) Limited | Column current source |
JP2010238950A (ja) * | 2009-03-31 | 2010-10-21 | Casio Computer Co Ltd | 光検出器 |
JP2015130563A (ja) * | 2014-01-06 | 2015-07-16 | 株式会社リコー | 光電変換素子、画像読取装置及び画像形成装置 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A300 | Application deemed to be withdrawn because no request for examination was validly filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 19990408 |