JPH05203605A - 一酸化炭素検出のための化学的センサ - Google Patents
一酸化炭素検出のための化学的センサInfo
- Publication number
- JPH05203605A JPH05203605A JP4229743A JP22974392A JPH05203605A JP H05203605 A JPH05203605 A JP H05203605A JP 4229743 A JP4229743 A JP 4229743A JP 22974392 A JP22974392 A JP 22974392A JP H05203605 A JPH05203605 A JP H05203605A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- sensor
- resistance
- surface resistance
- change
- range
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 238000001514 detection method Methods 0.000 title claims description 12
- 229910002091 carbon monoxide Inorganic materials 0.000 title description 8
- UGFAIRIUMAVXCW-UHFFFAOYSA-N Carbon monoxide Chemical compound [O+]#[C-] UGFAIRIUMAVXCW-UHFFFAOYSA-N 0.000 title description 3
- 239000002344 surface layer Substances 0.000 claims abstract 7
- 239000000523 sample Substances 0.000 claims description 13
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 10
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 8
- 239000000446 fuel Substances 0.000 claims description 6
- 239000000969 carrier Substances 0.000 claims description 3
- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 abstract description 10
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 42
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 13
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 description 12
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 8
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 7
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 7
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 description 7
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 238000002485 combustion reaction Methods 0.000 description 6
- 230000003197 catalytic effect Effects 0.000 description 5
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 5
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 5
- 239000000463 material Substances 0.000 description 5
- 239000010949 copper Substances 0.000 description 4
- 238000000151 deposition Methods 0.000 description 4
- 229930195733 hydrocarbon Natural products 0.000 description 4
- 150000002430 hydrocarbons Chemical class 0.000 description 4
- 239000011572 manganese Substances 0.000 description 4
- 229910044991 metal oxide Inorganic materials 0.000 description 4
- 150000004706 metal oxides Chemical class 0.000 description 4
- VNWKTOKETHGBQD-UHFFFAOYSA-N methane Chemical compound C VNWKTOKETHGBQD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 238000005070 sampling Methods 0.000 description 4
- 229910052596 spinel Inorganic materials 0.000 description 4
- 239000011029 spinel Substances 0.000 description 4
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 3
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 3
- 238000012360 testing method Methods 0.000 description 3
- 239000004215 Carbon black (E152) Substances 0.000 description 2
- CPLXHLVBOLITMK-UHFFFAOYSA-N Magnesium oxide Chemical compound [Mg]=O CPLXHLVBOLITMK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- MCMNRKCIXSYSNV-UHFFFAOYSA-N Zirconium dioxide Chemical compound O=[Zr]=O MCMNRKCIXSYSNV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000001816 cooling Methods 0.000 description 2
- SYBFKRWZBUQDGU-UHFFFAOYSA-N copper manganese(2+) oxygen(2-) Chemical compound [O--].[O--].[Mn++].[Cu++] SYBFKRWZBUQDGU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000002950 deficient Effects 0.000 description 2
- 238000002474 experimental method Methods 0.000 description 2
- 239000010408 film Substances 0.000 description 2
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 2
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 2
- 238000012544 monitoring process Methods 0.000 description 2
- 241000894007 species Species 0.000 description 2
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Chemical compound O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 241000751071 Arctostaphylos manzanita Species 0.000 description 1
- PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N aluminium oxide Inorganic materials [O-2].[O-2].[O-2].[Al+3].[Al+3] PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 1
- 230000015556 catabolic process Effects 0.000 description 1
- 150000001768 cations Chemical class 0.000 description 1
- 229910010293 ceramic material Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000002800 charge carrier Substances 0.000 description 1
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 1
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 1
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 description 1
- 229910002106 crystalline ceramic Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011222 crystalline ceramic Substances 0.000 description 1
- 238000006731 degradation reaction Methods 0.000 description 1
- 230000008021 deposition Effects 0.000 description 1
- 238000003795 desorption Methods 0.000 description 1
- 230000001627 detrimental effect Effects 0.000 description 1
- 238000007598 dipping method Methods 0.000 description 1
- 238000011156 evaluation Methods 0.000 description 1
- 239000012530 fluid Substances 0.000 description 1
- PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N gold Chemical compound [Au] PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000010931 gold Substances 0.000 description 1
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 1
- 239000011810 insulating material Substances 0.000 description 1
- 239000000395 magnesium oxide Substances 0.000 description 1
- 239000012528 membrane Substances 0.000 description 1
- 238000002156 mixing Methods 0.000 description 1
- 230000003647 oxidation Effects 0.000 description 1
- 238000007254 oxidation reaction Methods 0.000 description 1
- -1 oxygen anions Chemical class 0.000 description 1
- 238000004445 quantitative analysis Methods 0.000 description 1
- 230000035484 reaction time Effects 0.000 description 1
- 150000003839 salts Chemical class 0.000 description 1
- 238000001073 sample cooling Methods 0.000 description 1
- 229920006395 saturated elastomer Polymers 0.000 description 1
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 description 1
- 238000003746 solid phase reaction Methods 0.000 description 1
- 238000010671 solid-state reaction Methods 0.000 description 1
- 238000001179 sorption measurement Methods 0.000 description 1
- 238000004528 spin coating Methods 0.000 description 1
- 238000005507 spraying Methods 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N27/00—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means
- G01N27/02—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating impedance
- G01N27/04—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating impedance by investigating resistance
- G01N27/12—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating impedance by investigating resistance of a solid body in dependence upon absorption of a fluid; of a solid body in dependence upon reaction with a fluid, for detecting components in the fluid
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N33/00—Investigating or analysing materials by specific methods not covered by groups G01N1/00 - G01N31/00
- G01N33/0004—Gaseous mixtures, e.g. polluted air
- G01N33/0009—General constructional details of gas analysers, e.g. portable test equipment
- G01N33/0027—General constructional details of gas analysers, e.g. portable test equipment concerning the detector
- G01N33/0036—General constructional details of gas analysers, e.g. portable test equipment concerning the detector specially adapted to detect a particular component
- G01N33/004—CO or CO2
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- General Health & Medical Sciences (AREA)
- Immunology (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Biochemistry (AREA)
- Pathology (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- Electrochemistry (AREA)
- Combustion & Propulsion (AREA)
- Food Science & Technology (AREA)
- Medicinal Chemistry (AREA)
- Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Fluid Adsorption Or Reactions (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 本発明は、他のガスの存在の影響を受けるこ
とがなく、ＣＯとＯ2 の比が２：１付近でも非直線性を
有しないＣＯセンサを得ることを目的とする。 【構成】 Ｃｕ1+x Ｍｎ2-x Ｏ4-y から構成される表面
層14と、表面層14の表面抵抗を測定するための接点18a,
18b およびリード線20a,20b と、表面抵抗の変化からセ
ンサ表面上の自由キャリア量の変化を決定して表面抵抗
変化をＣＯの量に関連付ける手段21とを具備しているこ
とを特徴とし、自動車の排気ガスに含まれるＮＯ，Ｈ2
Ｏ，ＣＨ4 等の存在によりほとんど影響を受けることが
なく、ＣＯガスを定量的に検出することが可能である。
とがなく、ＣＯとＯ2 の比が２：１付近でも非直線性を
有しないＣＯセンサを得ることを目的とする。 【構成】 Ｃｕ1+x Ｍｎ2-x Ｏ4-y から構成される表面
層14と、表面層14の表面抵抗を測定するための接点18a,
18b およびリード線20a,20b と、表面抵抗の変化からセ
ンサ表面上の自由キャリア量の変化を決定して表面抵抗
変化をＣＯの量に関連付ける手段21とを具備しているこ
とを特徴とし、自動車の排気ガスに含まれるＮＯ，Ｈ2
Ｏ，ＣＨ4 等の存在によりほとんど影響を受けることが
なく、ＣＯガスを定量的に検出することが可能である。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、自動車の排気ガスの検
出、特に他のガスの存在下の一酸化炭素ガスの検出に関
する。
出、特に他のガスの存在下の一酸化炭素ガスの検出に関
する。
【０００２】
【従来の技術】ＣＯガス用のセンサは触媒変換器効率を
監視するために自動車で直接適用されている。触媒変換
器の前後に配置されるセンサは変換器による環境的に有
害なＣＯの酸化効率を定量的に監視することが可能であ
る。別の自動車での用途は戦略上位置されたセンサから
の排気組成の帰還ループを介するエンジン作用の実時間
制御を含む。第２の適用は一般にＣＯ監視に関する。こ
れは燃料セル中のＣＯの存在の定量的決定または研究
所、鉱山、および工業用煙突のＣＯの簡単な検出を含む
ことができる。
監視するために自動車で直接適用されている。触媒変換
器の前後に配置されるセンサは変換器による環境的に有
害なＣＯの酸化効率を定量的に監視することが可能であ
る。別の自動車での用途は戦略上位置されたセンサから
の排気組成の帰還ループを介するエンジン作用の実時間
制御を含む。第２の適用は一般にＣＯ監視に関する。こ
れは燃料セル中のＣＯの存在の定量的決定または研究
所、鉱山、および工業用煙突のＣＯの簡単な検出を含む
ことができる。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】金属酸化半導体はＣＯ
および炭化水素センサとして使用されている。しかしな
がら、２つの主な問題に遭遇する。第１番目は酸化可能
なガスと酸素の混合物が燃焼に対する化学量論比に達す
るときの信号応答特性の非線形である。ＣＯの場合で
は、これはＣＯ対Ｏ2 の比が次の反応において２：１に
等しくなるときに生じる。
および炭化水素センサとして使用されている。しかしな
がら、２つの主な問題に遭遇する。第１番目は酸化可能
なガスと酸素の混合物が燃焼に対する化学量論比に達す
るときの信号応答特性の非線形である。ＣＯの場合で
は、これはＣＯ対Ｏ2 の比が次の反応において２：１に
等しくなるときに生じる。
【０００４】 ２ＣＯ＋Ｏ2 ＝２ＣＯ2 （１） この比率が達成されるとき、信号は１桁ずつ大きく変化
できるので、センサの較正は失われる。
できるので、センサの較正は失われる。
【０００５】金属酸化半導体が遭遇する第２の問題はガ
ス混合物中の個々のガスに関する検の特定化が困難であ
ることである。これは信号干渉が燃料燃焼によって生成
されるＮＯ（ｇ）、水蒸気、および他の炭化水素ガスか
ら発生する自動車の排気ガスの場合において特別な問題
であることがありうる。
ス混合物中の個々のガスに関する検の特定化が困難であ
ることである。これは信号干渉が燃料燃焼によって生成
されるＮＯ（ｇ）、水蒸気、および他の炭化水素ガスか
ら発生する自動車の排気ガスの場合において特別な問題
であることがありうる。
【０００６】したがって、従来のセンサの問題を実質上
回避するＣＯセンサの必要性が存在する。
回避するＣＯセンサの必要性が存在する。
【０００７】
【課題を解決するための手段】本発明によると、流通系
のＣＯガスの分圧を定量的に測定するためにセラミック
センサが提供される。センサはＣＯガスに特定化され、
約２５０乃至４５０℃の動作温度範囲内で共通する自動
車の排気ガスのＮＯ、Ｈ2 Ｏ、およびＣＨ4 の存在によ
ってほとんど影響を受けない。
のＣＯガスの分圧を定量的に測定するためにセラミック
センサが提供される。センサはＣＯガスに特定化され、
約２５０乃至４５０℃の動作温度範囲内で共通する自動
車の排気ガスのＮＯ、Ｈ2 Ｏ、およびＣＨ4 の存在によ
ってほとんど影響を受けない。
【０００８】本発明のセンサはスピネル構造を有する欠
陥銅マンガン酸化物Ｃｕ1+x Ｍｎ2- x Ｏ4-y を含む。１
つのセンサは特別の適用において使用されるが、触媒変
換器の前後にそれぞれ１つづつ配置される１対のセンサ
は自動車の排気ガスのＣＯガスの監視に関連して使用さ
れることが望ましい。
陥銅マンガン酸化物Ｃｕ1+x Ｍｎ2- x Ｏ4-y を含む。１
つのセンサは特別の適用において使用されるが、触媒変
換器の前後にそれぞれ１つづつ配置される１対のセンサ
は自動車の排気ガスのＣＯガスの監視に関連して使用さ
れることが望ましい。
【０００９】本発明のセンサは、金属接点が排気ガス流
のＣＯへの露出中に表面抵抗の変化を測定するように構
成される基体に支持された銅マンガン酸化物の薄膜を含
む。そのような抵抗の変化はＣＯの量の尺度である。
のＣＯへの露出中に表面抵抗の変化を測定するように構
成される基体に支持された銅マンガン酸化物の薄膜を含
む。そのような抵抗の変化はＣＯの量の尺度である。
【００１０】自動車への適用に対しては、比較器論理手
段が２つのＣＯセンサの入力を受信し、２つの入力を比
較し、排気ガスからのＣＯレベルが予め設定されたレベ
ルを超過するときに信号を駆動装置に送信する。その代
りに、信号は燃料効率、したがって自動車の性能を高め
るためにエンジン中の空気対燃料混合物を制御するため
に使用されることができる。
段が２つのＣＯセンサの入力を受信し、２つの入力を比
較し、排気ガスからのＣＯレベルが予め設定されたレベ
ルを超過するときに信号を駆動装置に送信する。その代
りに、信号は燃料効率、したがって自動車の性能を高め
るためにエンジン中の空気対燃料混合物を制御するため
に使用されることができる。
【００１１】化学量論的比率を含む式１によるＣＯ対Ｏ
2 の異なった比率での実験では、本発明のセンサは従来
のセンサの非線形信号応答特性を示さないことが証明さ
れている。したがって、ＣＯ濃度をかなりの範囲にわた
って定量的に測定できる。
2 の異なった比率での実験では、本発明のセンサは従来
のセンサの非線形信号応答特性を示さないことが証明さ
れている。したがって、ＣＯ濃度をかなりの範囲にわた
って定量的に測定できる。
【００１２】さらに、本発明のセンサは実際の自動車の
排気ガスに遭遇するレベルでのＣＯの検出のときの他の
燃焼生成物の存在によってほとんど影響を受けない。
排気ガスに遭遇するレベルでのＣＯの検出のときの他の
燃焼生成物の存在によってほとんど影響を受けない。
【００１３】
【実施例】セラミックセンサは流通系のＣＯガスの分圧
を定量的に測定するように開発されている。センサはＣ
Ｏガスに特定化され、約２５０乃至４５０℃の動作温度
範囲および自動車の排気ガスで遭遇する組成範囲内の共
通する自動車の排気ガスＮＯ、Ｈ2 Ｏ、およびＣＨ4 の
存在によってほとんど影響を受けない。
を定量的に測定するように開発されている。センサはＣ
Ｏガスに特定化され、約２５０乃至４５０℃の動作温度
範囲および自動車の排気ガスで遭遇する組成範囲内の共
通する自動車の排気ガスＮＯ、Ｈ2 Ｏ、およびＣＨ4 の
存在によってほとんど影響を受けない。
【００１４】本発明のセンサは金属有機物堆積（ＭＯ
Ｄ）法によって容易に安価に薄膜形態に構成されてい
る。ＭＯＤ法は金属成分の有機塩と共に溶解し、適切な
基体の表面上に堆積されることからなる。適切な基体と
して用いられた材料は例えば酸化物（アルミナ、マグネ
シア、ジルコニア等）のような絶縁材料を含む。堆積方
法はスプレー、浸漬、または溶液のスピン被覆を含む。
堆積された溶液は結晶セラミック酸化物を形成するため
に乾燥されて約８００℃以上の温度で加熱される。１μ
ｍ以下或いはそれより大きい厚さを有する薄膜が構成さ
れることができる。
Ｄ）法によって容易に安価に薄膜形態に構成されてい
る。ＭＯＤ法は金属成分の有機塩と共に溶解し、適切な
基体の表面上に堆積されることからなる。適切な基体と
して用いられた材料は例えば酸化物（アルミナ、マグネ
シア、ジルコニア等）のような絶縁材料を含む。堆積方
法はスプレー、浸漬、または溶液のスピン被覆を含む。
堆積された溶液は結晶セラミック酸化物を形成するため
に乾燥されて約８００℃以上の温度で加熱される。１μ
ｍ以下或いはそれより大きい厚さを有する薄膜が構成さ
れることができる。
【００１５】センサ試験構造はこの或いは他の堆積方法
によって適切な基体上に生成された薄膜および薄膜の表
面の金属接点の４点アレイを含む。金のような金属接点
はマスクによって容易に生成された所望のパターンで膜
表面に蒸着されている。金属接点からのリード線は電流
発生および抵抗測定回路に接続され、センサの電気的評
価を与える。
によって適切な基体上に生成された薄膜および薄膜の表
面の金属接点の４点アレイを含む。金のような金属接点
はマスクによって容易に生成された所望のパターンで膜
表面に蒸着されている。金属接点からのリード線は電流
発生および抵抗測定回路に接続され、センサの電気的評
価を与える。
【００１６】本発明のセラミックセンサは上述のような
他の燃焼生成物からの有害な影響なしに自動車エンジン
燃焼から放出されるＣＯガスのレベルを決定する能力を
有する。本発明のセンサはセラミック材料から構成され
るので、一体状態の最小の劣化によって比較的高い温度
で動作することが可能である。
他の燃焼生成物からの有害な影響なしに自動車エンジン
燃焼から放出されるＣＯガスのレベルを決定する能力を
有する。本発明のセンサはセラミック材料から構成され
るので、一体状態の最小の劣化によって比較的高い温度
で動作することが可能である。
【００１７】本発明のセンサはスピネル構造を有し９０
０℃でＣｕＯおよびＭｎ3 Ｏ4 の固体状反応によってバ
ルク形態に容易に処理されることができるＣｕＭｎ2 Ｏ
4 を用いる。生じた材料は実際わずかにＣｕが多く、組
成式Ｃｕ1+x Ｍｎ2-x Ｏ4-y により示され、ここでｘは
約０乃至０．５の範囲にあり、０．０５以上が好まし
く、ｙは０乃至０．２５の範囲にある。この後者の組成
物は親化合物の欠陥形態であり、余分のＣｕ陽イオンは
スピネル構造の八面体Ｍｎ位置を占有する。この型式の
特性は各種のスピネル型式の酸化物に対して十分に証明
され、この材料において観察された半導体特性に影響を
与え、最終的に材料のセンサ能力に影響を与える。
０℃でＣｕＯおよびＭｎ3 Ｏ4 の固体状反応によってバ
ルク形態に容易に処理されることができるＣｕＭｎ2 Ｏ
4 を用いる。生じた材料は実際わずかにＣｕが多く、組
成式Ｃｕ1+x Ｍｎ2-x Ｏ4-y により示され、ここでｘは
約０乃至０．５の範囲にあり、０．０５以上が好まし
く、ｙは０乃至０．２５の範囲にある。この後者の組成
物は親化合物の欠陥形態であり、余分のＣｕ陽イオンは
スピネル構造の八面体Ｍｎ位置を占有する。この型式の
特性は各種のスピネル型式の酸化物に対して十分に証明
され、この材料において観察された半導体特性に影響を
与え、最終的に材料のセンサ能力に影響を与える。
【００１８】動作の原理は化学吸着およびそれに続くセ
ンサ表面のガススペシーの反応に依存する。酸素［Ｐ
（Ｏ2 ）有限］の分圧を有するガス混合物のＣＯの検出
の場合では、ＣＯおよびＯ2 の両分子はセンサ表面に引
き付けられ、化学吸着を受ける。式１による表面のこれ
らの分子の反応およびＣＯ2 分子の次の脱着は化学吸着
された分子の濃度に関して表面での平衡を設定する。Ｃ
Ｏ2 形成（式１）が化学吸着方法よりもさらにゆっくり
進行すると仮定すると、表面でのＣＯおよびＯ2 分子の
濃度はガス混合物中のそれぞれの分圧の関数になる。Ｃ
Ｏ分子は減少し、化学吸着中に電子を与える傾向があ
り、一方Ｏ2 分子はＯn-に電離するので、電子を表面か
ら除去する。この平衡はセンサ表面の自由キャリア量、
したがって表面抵抗を示す。この平衡はガス混合物中の
ＣＯの分圧の変化により変化するとき、センサの表面抵
抗の対応する変化が生じ、信号応答特性に対する基準と
なる。
ンサ表面のガススペシーの反応に依存する。酸素［Ｐ
（Ｏ2 ）有限］の分圧を有するガス混合物のＣＯの検出
の場合では、ＣＯおよびＯ2 の両分子はセンサ表面に引
き付けられ、化学吸着を受ける。式１による表面のこれ
らの分子の反応およびＣＯ2 分子の次の脱着は化学吸着
された分子の濃度に関して表面での平衡を設定する。Ｃ
Ｏ2 形成（式１）が化学吸着方法よりもさらにゆっくり
進行すると仮定すると、表面でのＣＯおよびＯ2 分子の
濃度はガス混合物中のそれぞれの分圧の関数になる。Ｃ
Ｏ分子は減少し、化学吸着中に電子を与える傾向があ
り、一方Ｏ2 分子はＯn-に電離するので、電子を表面か
ら除去する。この平衡はセンサ表面の自由キャリア量、
したがって表面抵抗を示す。この平衡はガス混合物中の
ＣＯの分圧の変化により変化するとき、センサの表面抵
抗の対応する変化が生じ、信号応答特性に対する基準と
なる。
【００１９】何等の特別の理論に拘束されないが、モデ
ルが図１の（ａ）乃至（ｃ）に示されており、一酸化炭
素の存在によるセンサの材料の変化を示し、このガスの
定量的検出に対する基準である。図１の（ａ）に示され
ているように、酸素［Ｐ（Ｏ2 ）有限］の分圧の存在下
において、サンプル10の表面10a は化学吸着方法によっ
て酸素を引き付け、酸素陰イオン（Ｏn-）を形成する。
図１の（ａ）ではこの過程を示し、サンプル表面10a の
上にＯ- 陰イオンが示されている。化学吸着に関する対
応する式は次のように与えられる。
ルが図１の（ａ）乃至（ｃ）に示されており、一酸化炭
素の存在によるセンサの材料の変化を示し、このガスの
定量的検出に対する基準である。図１の（ａ）に示され
ているように、酸素［Ｐ（Ｏ2 ）有限］の分圧の存在下
において、サンプル10の表面10a は化学吸着方法によっ
て酸素を引き付け、酸素陰イオン（Ｏn-）を形成する。
図１の（ａ）ではこの過程を示し、サンプル表面10a の
上にＯ- 陰イオンが示されている。化学吸着に関する対
応する式は次のように与えられる。
【００２０】 このプロセスが行われると、電子はサンプル10から与え
られなければならないことが観察されている。酸化物お
よび非酸化物表面のこの形態の酸素の存在は十分に確立
され、ゼロのとき本発明のセンサの状態を表す（言換え
れば、これは酸素または空気のみの存在下でのセンサの
通常の状態である）。
られなければならないことが観察されている。酸化物お
よび非酸化物表面のこの形態の酸素の存在は十分に確立
され、ゼロのとき本発明のセンサの状態を表す（言換え
れば、これは酸素または空気のみの存在下でのセンサの
通常の状態である）。
【００２１】ＣＯガスをセンサ周囲に導入することによ
って図１の（ｂ）に示されているように利用できる位置
においてセンサ表面10a の同様の被覆をもたらす。ＣＯ
は電子提供スペシーであり、すなわち還元する傾向があ
るが、分子は表面10a に中和して電荷されたままである
ことが仮定される。ＣＯの吸着を表す速度式は次の通り
である。
って図１の（ｂ）に示されているように利用できる位置
においてセンサ表面10a の同様の被覆をもたらす。ＣＯ
は電子提供スペシーであり、すなわち還元する傾向があ
るが、分子は表面10a に中和して電荷されたままである
ことが仮定される。ＣＯの吸着を表す速度式は次の通り
である。
【００２２】 ＣＯおよびＯ- が図１の（ｃ）に示されているように極
めて接近する場合において、ＣＯとＯの間に反応が生じ
る可能性があり、それによってＣＯ2 ガスが形成され、
電子はサンプル10に解放される。この過程はが次の式４
によって示される。
めて接近する場合において、ＣＯとＯの間に反応が生じ
る可能性があり、それによってＣＯ2 ガスが形成され、
電子はサンプル10に解放される。この過程はが次の式４
によって示される。
【００２３】 この電子はサンプル表面10a の全体の電荷キャリア量、
すなわちサンプル抵抗に影響を与える。初めの状態は吸
着されたＣＯの濃度に単に依存して式４の速度ｋ4 を構
成することによりサンプル表面10a に多くのＯ- 分子を
有する。したがって、表面抵抗の変化を測定することに
よって周囲のＣＯガスの相対的濃度に対する値を得るこ
とができる。
すなわちサンプル抵抗に影響を与える。初めの状態は吸
着されたＣＯの濃度に単に依存して式４の速度ｋ4 を構
成することによりサンプル表面10a に多くのＯ- 分子を
有する。したがって、表面抵抗の変化を測定することに
よって周囲のＣＯガスの相対的濃度に対する値を得るこ
とができる。
【００２４】本発明のセンサ12を図２に示す。金属酸化
物の薄膜14が基体16上に形成されている。２つの分離し
た点（ここではフィルム14の端部）にある金属接点18a,
18bは薄膜の抵抗を測定するために使用される。対応す
るリード線20a,20b は表面抵抗の変化をＣＯの量に関係
つける手段21に出力を供給する。通常の４点プローブ
（図示せず）が代りに使用されることができる。
物の薄膜14が基体16上に形成されている。２つの分離し
た点（ここではフィルム14の端部）にある金属接点18a,
18bは薄膜の抵抗を測定するために使用される。対応す
るリード線20a,20b は表面抵抗の変化をＣＯの量に関係
つける手段21に出力を供給する。通常の４点プローブ
（図示せず）が代りに使用されることができる。
【００２５】図３に示された実施例において、そのよう
な２つのセンサ12は自動車24の排気パイプ22の触媒変換
器26の前後に１つずつ配置される。リード線20a,20b は
２つの入力を比較し、排気ガスからのＣＯレベルが予め
定められたレベルを超過するときにダッシュボードの警
告灯30によってドライバーに信号を送る比較器論理手段
28に導かれる。その代りに、信号は良好の燃焼効率にす
るためにエンジン32中の空気と燃料の混合物を制御する
ために使用されることができる。そのような調節は例え
ばＣＯのレベルを増加するときに行うことができる。
な２つのセンサ12は自動車24の排気パイプ22の触媒変換
器26の前後に１つずつ配置される。リード線20a,20b は
２つの入力を比較し、排気ガスからのＣＯレベルが予め
定められたレベルを超過するときにダッシュボードの警
告灯30によってドライバーに信号を送る比較器論理手段
28に導かれる。その代りに、信号は良好の燃焼効率にす
るためにエンジン32中の空気と燃料の混合物を制御する
ために使用されることができる。そのような調節は例え
ばＣＯのレベルを増加するときに行うことができる。
【００２６】本発明のセンサ12の潜在的寿命を増加する
ために、ガスサンプリング方式はセンサが自動車の排気
ガスの腐食環境に連続して露出されないように開発され
ている。その代りに、センサ12は主排気ライン22に接続
された分離サンプリング室（図示せず）に配置される。
一定の間隔で、少量の排気ガスはサンプリングおよび定
量的ＣＯ決定のためにセンサ室に入ることが可能であ
る。サンプリング間隔は運転条件および自動車の形式に
依存して秒から分間隔に変化できる。
ために、ガスサンプリング方式はセンサが自動車の排気
ガスの腐食環境に連続して露出されないように開発され
ている。その代りに、センサ12は主排気ライン22に接続
された分離サンプリング室（図示せず）に配置される。
一定の間隔で、少量の排気ガスはサンプリングおよび定
量的ＣＯ決定のためにセンサ室に入ることが可能であ
る。サンプリング間隔は運転条件および自動車の形式に
依存して秒から分間隔に変化できる。
【００２７】ＣＯの定量的決定はセンサが等温に維持さ
れているときに最も正確である。熱電対（図示せず）と
関連して薄膜14の下の基体表面16に埋設された小さい抵
抗加熱器はセンサの熱安定性を増加し、したがって検出
の正確性を増加する。
れているときに最も正確である。熱電対（図示せず）と
関連して薄膜14の下の基体表面16に埋設された小さい抵
抗加熱器はセンサの熱安定性を増加し、したがって検出
の正確性を増加する。
【００２８】一連の試験において、表面抵抗はストリッ
プチャートレコーダへ出力する通常の４点ＤＣプローブ
技術によって測定された。電流電圧特性の変化はサンプ
ル表面抵抗の変化に対応する。測定の感度は１０００ｐ
ｐｍ範囲にあり、動作温度範囲はエンジン排気温度と匹
敵して約２００乃至５００℃にあった。しかしながら、
本発明のセンサの動作範囲はそのように制限されず、約
７００℃までの環境において動作されることができる、
すなわちこれは約４００乃至５００℃より高くない温度
範囲に制限される大抵の従来のＣＯセンサに比較される
べきである。
プチャートレコーダへ出力する通常の４点ＤＣプローブ
技術によって測定された。電流電圧特性の変化はサンプ
ル表面抵抗の変化に対応する。測定の感度は１０００ｐ
ｐｍ範囲にあり、動作温度範囲はエンジン排気温度と匹
敵して約２００乃至５００℃にあった。しかしながら、
本発明のセンサの動作範囲はそのように制限されず、約
７００℃までの環境において動作されることができる、
すなわちこれは約４００乃至５００℃より高くない温度
範囲に制限される大抵の従来のＣＯセンサに比較される
べきである。
【００２９】図４は４３０℃での空気中［Ｐ（Ｏ2 ）＝
０．２ａｔｍ］のＣＯ濃度が変化するときのセンサの信
号応答特性を示す。信号ドリフトは流量計の不安定を導
く可能性がある。電圧変化対ガス混合物中のＣＯ濃度と
して図４からのデータを描くと、図５のように線形応答
特性が観察される。したがって、ガス混合物中のＣＯ濃
度はセンサ信号および図５の較正プロットから評価され
ることができる。
０．２ａｔｍ］のＣＯ濃度が変化するときのセンサの信
号応答特性を示す。信号ドリフトは流量計の不安定を導
く可能性がある。電圧変化対ガス混合物中のＣＯ濃度と
して図４からのデータを描くと、図５のように線形応答
特性が観察される。したがって、ガス混合物中のＣＯ濃
度はセンサ信号および図５の較正プロットから評価され
ることができる。
【００３０】上述のように、通常の金属酸化物ＣＯセン
サで遭遇した主な問題はＣＯ対Ｏ2 の比が２：１に等し
いときの信号の非線形性である。今まで得られたデータ
では２：１のポイントに接近しても、信号非線形性また
は抵抗の段階機能変化を示さない。この性質は式１の反
応に関してわずかだけ触媒作用によって活性であるサン
プル表面と相関する。
サで遭遇した主な問題はＣＯ対Ｏ2 の比が２：１に等し
いときの信号の非線形性である。今まで得られたデータ
では２：１のポイントに接近しても、信号非線形性また
は抵抗の段階機能変化を示さない。この性質は式１の反
応に関してわずかだけ触媒作用によって活性であるサン
プル表面と相関する。
【００３１】センサ性能に関する他のガスの影響はＨ2
Ｏ、ＮＯ、およびＣＨ4 ガスまたは蒸気によって評価さ
れた臨界的パラメータである。図６は約３５０℃の５．
０容積％のＣＯを有する空気に対する信号および室温で
のＨ2 Ｏで飽和された（約３容積％のＨ2 Ｏ）この同じ
ガス混合物の影響を示す。信号強度はＣＯに運ばれたＨ
2 Ｏの存在によって変化されないままであった。反応時
間中での明らかな増加は水蒸気をＣＯガス流に導入する
ために使用された流通混合系のアーチファクトである。
Ｏ、ＮＯ、およびＣＨ4 ガスまたは蒸気によって評価さ
れた臨界的パラメータである。図６は約３５０℃の５．
０容積％のＣＯを有する空気に対する信号および室温で
のＨ2 Ｏで飽和された（約３容積％のＨ2 Ｏ）この同じ
ガス混合物の影響を示す。信号強度はＣＯに運ばれたＨ
2 Ｏの存在によって変化されないままであった。反応時
間中での明らかな増加は水蒸気をＣＯガス流に導入する
ために使用された流通混合系のアーチファクトである。
【００３２】ＮＯ（ｇ）の影響は同じ温度で同様に評価
された。図７は１．０容積％のＮＯを空気中に添加した
ときのセンサ反応を示す。スパイクはＮＯガスをオンお
よびオフに切換えるときの全流量流体の変化からの冷却
および加熱効果を示す。実際、ベースラインにおける小
さいシフトは流通速度の増加からの冷却効果によるもの
であることが発見された。これらの実験においてセンサ
に露出されたＮＯの量は自動車の排気ガスに遭遇するＮ
Ｏの量よりも約５乃至１０倍高かった。
された。図７は１．０容積％のＮＯを空気中に添加した
ときのセンサ反応を示す。スパイクはＮＯガスをオンお
よびオフに切換えるときの全流量流体の変化からの冷却
および加熱効果を示す。実際、ベースラインにおける小
さいシフトは流通速度の増加からの冷却効果によるもの
であることが発見された。これらの実験においてセンサ
に露出されたＮＯの量は自動車の排気ガスに遭遇するＮ
Ｏの量よりも約５乃至１０倍高かった。
【００３３】ＣＯ検出における炭化水素の影響が３５０
℃でメタンガス（ＣＨ4 ）によって検査された。１１．
０容積％のＣＨ4 の添加の主な影響は図８に示されてい
るように再びサンプル冷却であった。メタン分子から観
察された信号への影響は似ているが、自動車の排気ガス
の炭化水素の全濃度が５０００ｐｐｍ以下であるので、
不十分なファクターのままである。ＣＨ4 の研究は曲線
形状の再現性を示すために２度行われた（ＣＯ標準なし
に）。
℃でメタンガス（ＣＨ4 ）によって検査された。１１．
０容積％のＣＨ4 の添加の主な影響は図８に示されてい
るように再びサンプル冷却であった。メタン分子から観
察された信号への影響は似ているが、自動車の排気ガス
の炭化水素の全濃度が５０００ｐｐｍ以下であるので、
不十分なファクターのままである。ＣＨ4 の研究は曲線
形状の再現性を示すために２度行われた（ＣＯ標準なし
に）。
【００３４】以上、自動車の排気ガス等のＣＯを検出す
るセンサが開示された。明らかな性質の種々の変化およ
び変更は本発明の技術的範囲から逸脱することなく行わ
れることができることを認識してほしい。全てのそのよ
うな変化および変更は添付特許請求の範囲によって限定
されたような本発明の技術的範囲内に含まれるべきであ
る。
るセンサが開示された。明らかな性質の種々の変化およ
び変更は本発明の技術的範囲から逸脱することなく行わ
れることができることを認識してほしい。全てのそのよ
うな変化および変更は添付特許請求の範囲によって限定
されたような本発明の技術的範囲内に含まれるべきであ
る。
【図１】本発明のＣＯセンサの表面に生じている状態の
概略図。
概略図。
【図２】本発明のＣＯセンサの断面図。
【図３】本発明のＣＯセンサの１用途の概略図。
【図４】電位（ｍＶ）およびＣＯ濃度（空気％）の座標
に基づいた空気中のＣＯ濃度の変化における本発明のＣ
ｕＭｎ2 Ｏ4 センサの信号応答特性の図。
に基づいた空気中のＣＯ濃度の変化における本発明のＣ
ｕＭｎ2 Ｏ4 センサの信号応答特性の図。
【図５】電位（μＶ）およびＣＯ濃度（空気％）の座標
に基づいた空気中のＣＯ濃度による電圧変化の較正図。
に基づいた空気中のＣＯ濃度による電圧変化の較正図。
【図６】電位（ｍＶ）および時間の座標に基づいた約３
５０℃の温度での空気中の５％のＣＯからの本発明のセ
ンサの信号応答特性の水蒸気の影響の特性図。
５０℃の温度での空気中の５％のＣＯからの本発明のセ
ンサの信号応答特性の水蒸気の影響の特性図。
【図７】約３５０℃での本発明のセンサのＮＯ（ｇ）の
影響を示す図６のセンサ特性に類似する特性図。
影響を示す図６のセンサ特性に類似する特性図。
【図８】約３５０℃での本発明のセンサのＣＨ4 （ｇ）
の影響を示す図６のセンサ特性に類似する特性図。
の影響を示す図６のセンサ特性に類似する特性図。
12…センサ、14…薄膜、16…基体、18a,18b …接点。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 ヒロシ・キムラ アメリカ合衆国、カリフォルニア州 91326、ノースリッジ、パラ・メサ・プレ ース 19130 (72)発明者 リカード・シー・パスター アメリカ合衆国、カリフォルニア州 90266、マンハッタン・ビーチ、 マンザ ニタ・レーン 2201
Claims (10)
- 【請求項１】 （ａ）Ｃｕ1+x Ｍｎ2-x Ｏ4-y から構成
される表面層と、 （ｂ）表面抵抗の変化からセンサ表面上の自由キャリア
量の変化を決定する手段と、 （ｃ）表面抵抗変化をＣＯの量に関連付ける手段とを具
備していることを特徴とする流通ガス流中のＣＯを検出
するセンサ。 - 【請求項２】 前記表面抵抗は２つ以上の分離した接点
間の前記表面層の抵抗を測定することによって決定され
る請求項１記載のセンサ。 - 【請求項３】 前記表面抵抗を測定するために４点接点
プローブを使用する請求項２記載のセンサ。 - 【請求項４】 ｘはほぼ０乃至０．５の範囲にあり、ｙ
はほぼ０乃至０．２５の範囲にある請求項１記載のセン
サ。 - 【請求項５】 （ａ）基体上に支持されたＣｕ1+x Ｍｎ
2-x Ｏ4-y から構成される表面層と、検出されたＣＯの
相対量に対応する前記表面層の表面抵抗を測定する手段
とをそれぞれ含む２つのＣＯセンサと、 （ｂ）前記表面抵抗の測定結果を受けてＣＯの相対的濃
度を決定する比較手段と、 （ｃ）相対濃度が予め定められた制限を超過するときに
警告信号を出力し、或いはエンジン中の空気対燃料比を
調節する出力手段とを具備していることを特徴とするガ
ス流中のＣＯを検出するＣＯ検出装置。 - 【請求項６】 前記表面抵抗は２つ以上の分離した接点
間の前記表面層の抵抗を測定することによって決定され
る請求項５記載の検出装置。 - 【請求項７】 前記表面抵抗を測定するために４点接点
プローブを使用する請求項６記載の検出装置。 - 【請求項８】 ｘはほぼ０乃至０．５の範囲にあり、ｙ
はほぼ０乃至０．２５の範囲にある請求項５記載のセン
サ。 - 【請求項９】 （ａ）ガス流をＣｕ1+x Ｍｎ2-x Ｏ4-y
から構成される表面上を流し、 （ｂ）表面抵抗の変化からセンサ表面上の自由キャリア
量の変化を決定し、 （ｃ）表面抵抗の変化をＣＯの量に関連付ける段階を含
むガス流中のＣＯ濃度の測定方法。 - 【請求項１０】 ｘはほぼ０乃至０．５の範囲にあり、
ｙはほぼ０乃至０．２５の範囲にある請求項９記載の方
法。
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| US07/751,029 US5252949A (en) | 1991-08-28 | 1991-08-28 | Chemical sensor for carbon monoxide detection |
| US751029 | 1991-08-28 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05203605A true JPH05203605A (ja) | 1993-08-10 |
| JPH0797097B2 JPH0797097B2 (ja) | 1995-10-18 |
Family
ID=25020179
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4229743A Expired - Lifetime JPH0797097B2 (ja) | 1991-08-28 | 1992-08-28 | 一酸化炭素検出のための化学的センサ |
Country Status (7)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5252949A (ja) |
| EP (1) | EP0529668B1 (ja) |
| JP (1) | JPH0797097B2 (ja) |
| CA (1) | CA2076896A1 (ja) |
| DE (1) | DE69217431T2 (ja) |
| IL (1) | IL102939A (ja) |
| MX (1) | MX9204980A (ja) |
Families Citing this family (28)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE4319282C1 (de) * | 1993-06-10 | 1994-09-01 | Daimler Benz Ag | Verfahren zur Erfassung und Auswertung von Abgasen |
| US5670949A (en) * | 1993-12-23 | 1997-09-23 | Hughes Aircraft Company | Carbon monoxide/hydrocarbon thin film sensor |
| JPH07253411A (ja) * | 1994-03-14 | 1995-10-03 | Ngk Insulators Ltd | 一酸化炭素センサ及び一酸化炭素濃度の検出方法 |
| DE4436938A1 (de) * | 1994-04-27 | 1996-04-18 | Auto Electronics Corp | Nässe- und windgeschützter Gassensor |
| US5682145A (en) * | 1995-06-30 | 1997-10-28 | Sensor Tech Incorporated | Toxic gas detector with a time measurement sensor |
| US5625156A (en) * | 1996-04-29 | 1997-04-29 | General Motors Corporation | Apparatus for sensing exhaust gas |
| EP0816844A3 (en) * | 1996-06-28 | 1998-01-28 | Osaka Gas Co., Ltd. | Carbon monoxide sensor |
| US6202471B1 (en) | 1997-10-10 | 2001-03-20 | Nanomaterials Research Corporation | Low-cost multilaminate sensors |
| US6933331B2 (en) | 1998-05-22 | 2005-08-23 | Nanoproducts Corporation | Nanotechnology for drug delivery, contrast agents and biomedical implants |
| DE19642453C2 (de) * | 1996-10-15 | 1998-07-23 | Bosch Gmbh Robert | Anordnung für Gassensorelektroden |
| US5966078A (en) * | 1997-02-19 | 1999-10-12 | Ranco Inc. | Battery saving circuit for a dangerous condition warning device |
| US5969600A (en) * | 1997-02-19 | 1999-10-19 | Ranco Inc. Of Delware | Dangerous condition warning device incorporating a time-limited hush mode of operation to defeat an audible low battery warning signal |
| US5966079A (en) * | 1997-02-19 | 1999-10-12 | Ranco Inc. Of Delaware | Visual indicator for identifying which of a plurality of dangerous condition warning devices has issued an audible low battery warning signal |
| US5912626A (en) * | 1997-02-19 | 1999-06-15 | Soderlund; Ernest E. | Dangerous condition warning device incorporating provision for permanently retaining printed protocol instructions |
| US5886638A (en) * | 1997-02-19 | 1999-03-23 | Ranco Inc. Of Delaware | Method and apparatus for testing a carbon monoxide sensor |
| US7507479B2 (en) * | 1998-08-13 | 2009-03-24 | Ppg Industries Ohio, Inc. | Compositions and methods for forming coatings of selected color on a substrate and articles produced thereby |
| US6433696B1 (en) | 1999-11-05 | 2002-08-13 | Alto U.S., Inc. | Carbon monoxide emitting apparatus, carbon monoxide monitor shutoff, and circuit therefor |
| KR100480504B1 (ko) * | 2000-10-20 | 2005-04-06 | 학교법인 포항공과대학교 | 일산화탄소 가스를 선택적으로 감지하는 방법 |
| US6474138B1 (en) * | 2000-11-28 | 2002-11-05 | Honeywell International Inc. | Adsorption based carbon monoxide sensor and method |
| US6550310B1 (en) | 2000-11-28 | 2003-04-22 | Honeywell International Inc. | Catalytic adsorption and oxidation based carbon monoxide sensor and detection method |
| US6855426B2 (en) | 2001-08-08 | 2005-02-15 | Nanoproducts Corporation | Methods for producing composite nanoparticles |
| US6802277B1 (en) | 2002-04-11 | 2004-10-12 | Durell Clay | Fire escape light and alarm |
| US7708974B2 (en) | 2002-12-10 | 2010-05-04 | Ppg Industries Ohio, Inc. | Tungsten comprising nanomaterials and related nanotechnology |
| DE602005018671D1 (de) | 2004-10-18 | 2010-02-11 | Kidde Portable Equipment Inc | Warnungs-silencing bei niedrigem batteriestand in lebenserhaltenden vorrichtungen |
| US7339468B2 (en) | 2004-10-18 | 2008-03-04 | Walter Kidde Portable Equipment, Inc. | Radio frequency communications scheme in life safety devices |
| DE602005020044D1 (de) * | 2004-10-18 | 2010-04-29 | Kidde Portable Equipment Inc | Gateway-einrichtung zur verbindung eines systems mit live-safety-einrichtungen |
| US20090101501A1 (en) * | 2007-10-17 | 2009-04-23 | Tao Xiao-Ming | Room temperature gas sensors |
| US9976975B2 (en) * | 2015-07-24 | 2018-05-22 | King Abdulaziz University | Method of making thin film humidity sensors |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5737376A (en) * | 1980-08-15 | 1982-03-01 | Fuji Xerox Co Ltd | Developing device of copying machine |
Family Cites Families (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS517995A (en) * | 1974-06-14 | 1976-01-22 | Hitachi Ltd | Gasusensa zairyo |
| AU558390B2 (en) * | 1981-01-14 | 1987-01-29 | Westinghouse Electric Corporation | Thick film sensor for hydrogen and carbon monoxide |
| GB8329004D0 (en) * | 1983-10-31 | 1983-11-30 | Atomic Energy Authority Uk | Sensors |
| JPS6176948A (ja) * | 1984-09-21 | 1986-04-19 | Nec Corp | 薄膜ガス検知素子 |
| JPS61150849A (ja) * | 1984-12-25 | 1986-07-09 | Daihatsu Motor Co Ltd | 車両の後退安全装置 |
| JPH0813686B2 (ja) * | 1988-06-01 | 1996-02-14 | 松下電器産業株式会社 | 金属複合酸化物 |
| JPH0769296B2 (ja) * | 1988-07-08 | 1995-07-26 | 導電性無機化合物技術研究組合 | 燃焼制御用センサ |
-
1991
- 1991-08-28 US US07/751,029 patent/US5252949A/en not_active Expired - Lifetime
-
1992
- 1992-08-25 IL IL10293992A patent/IL102939A/en not_active IP Right Cessation
- 1992-08-26 CA CA002076896A patent/CA2076896A1/en not_active Abandoned
- 1992-08-28 MX MX9204980A patent/MX9204980A/es unknown
- 1992-08-28 JP JP4229743A patent/JPH0797097B2/ja not_active Expired - Lifetime
- 1992-08-28 EP EP92114789A patent/EP0529668B1/en not_active Expired - Lifetime
- 1992-08-28 DE DE69217431T patent/DE69217431T2/de not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5737376A (en) * | 1980-08-15 | 1982-03-01 | Fuji Xerox Co Ltd | Developing device of copying machine |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| EP0529668B1 (en) | 1997-02-12 |
| MX9204980A (es) | 1993-03-01 |
| US5252949A (en) | 1993-10-12 |
| JPH0797097B2 (ja) | 1995-10-18 |
| IL102939A0 (en) | 1993-01-31 |
| IL102939A (en) | 1994-12-29 |
| EP0529668A1 (en) | 1993-03-03 |
| DE69217431T2 (de) | 1997-06-26 |
| DE69217431D1 (de) | 1997-03-27 |
| CA2076896A1 (en) | 1993-03-01 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JPH05203605A (ja) | 一酸化炭素検出のための化学的センサ | |
| Brosha et al. | CO/HC sensors based on thin films of LaCoO3 and La0. 8Sr0. 2CoO3− δ metal oxides | |
| US5670949A (en) | Carbon monoxide/hydrocarbon thin film sensor | |
| Aroutiounian | Metal oxide hydrogen, oxygen, and carbon monoxide sensors for hydrogen setups and cells | |
| JP3706132B2 (ja) | 窒素酸化物の検出センサ及び検出方法 | |
| Schalwig et al. | Response mechanism of SiC-based MOS field-effect gas sensors | |
| US4169369A (en) | Method and thin film semiconductor sensor for detecting NOx | |
| US20080274559A1 (en) | Gas Sensor for Determining Ammonia | |
| JP2009540334A (ja) | 異種電極を有するアンモニアセンサー | |
| Andersson et al. | Investigations on the possibilities of a MISiCFET sensor system for OBD and combustion control utilizing different catalytic gate materials | |
| JP2006521568A (ja) | ガスの混合物を分析するための装置 | |
| Baranzahi et al. | Response of metal-oxide-silicon carbide sensors to simulated and real exhaust gases | |
| Svenningstorp et al. | Influence of catalytic reactivity on the response of metal-oxide-silicon carbide sensor to exhaust gases | |
| US6513364B1 (en) | Hydrogen sensor | |
| RU2132551C1 (ru) | Способ эксплуатации газового датчика | |
| Schalwig et al. | A solid-state gas sensor array for monitoring NOx storage catalytic converters | |
| Svenningstorp et al. | Detection of HC in exhaust gases by an array of MISiC sensors | |
| Meixner et al. | Sensors for monitoring environmental pollution | |
| Spetz et al. | Technology and application opportunities for SiC-FET gas sensors | |
| US6528019B1 (en) | Measuring transformer for detecting hydrocarbons in gases | |
| Sahner et al. | HC-sensor for exhaust gases based on semiconducting doped SrTiO3 for On-Board Diagnosis | |
| US20080169190A1 (en) | NOx gas sensor for automotive exhaust and air pollution monitoring | |
| Baranzahi et al. | Fast responding high temperature sensors for combustion control | |
| US5876673A (en) | High sensitivity phase transformation-based oxygen sensors for proportional control | |
| JPS6332134B2 (ja) |