JPH05203581A - パターン検査装置及びパターン検査方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 本発明はパターン検査装置の改善に関し、被
検査対象の画像取得パターンが高さ方向に二以上含まれ
る場合に、１つの画像取得位置で取得した画像データの
みに依存して画像処理をすることなく、その取得位置又
は撮像系の焦点を可変してその状態や形状画像を取得
し、当該検査の信頼性の向上を図ることを目的とする。 【構成】 第１の検査装置は第１，第２の画像取得手段
11Ａ，11Ｂと、第１，第２のパターン認識手段12Ａ，12
Ｂと、判定出力手段１３とを具備し、被検査対象１８の
第１，第２の目標位置ｐ１，ｐ２を基準にして取得した
第１，第２の画像取得データＤ１，Ｄ２と基準データＤ
Ｒとに基づいて被検査対象１８の結果判定をすることを
含み構成し、第２の検査装置は画像取得手段１４と、第
１，第２のパターン認識手段15Ａ，15Ｂと、焦点位置変
更手段１６と、判定出力手段１７とを具備し、被検査対
象１８の画像取得位置を可変して取得した第１，第２の
画像取得データＤ１，Ｄ２と基準データＤＲとに基づい
て被検査対象１８の結果判定をすることを含み構成す
る。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】〔目次〕 産業上の利用分野 従来の技術（図９） 発明が解決しようとする課題（図10） 課題を解決するための手段（図１，２） 作用 実施例 （１）第１の実施例の説明（図３〜６） （２）第２の実施例の説明（図７，８） 発明の効果

【０００２】

【産業上の利用分野】本発明は、パターン検査装置及び
パターン検査方法に関するものであり、更に詳しく言え
ば、被検査対象となる入出力ピン（以下ＩＯピンとい
う）の取付け状態と半田形状（以下フィレット形状とい
う）とを検査する装置及び方法に関するものである。

【０００３】近年、半導体集積回路装置とプリント基板
との接続部品やプリント基板間の配線を接続するコネク
タ部品としてパッド電極にＩＯピンを接合した電子部品
が使用され、その取付け状態やフィレット形状の画像を
取得した被検査パターンと基準パターンとを比較して双
方の相違点を検査するパターン検査装置が開発されてい
る。

【０００４】これによれば、撮像系の焦点を被検査対象
のフィレットに位置合わせし、そのＩＯピンの有無，曲
がりを検査し、該撮像系の焦点を調整し直すことなく、
フィレット形状の検査をしている。

【０００５】このため、ＩＯピンが基準エリア内にある
のにも係わらずピン無しと判断され、その結果検査エラ
ーを生ずることがある。これにより、ＩＯピンが所定の
位置に接合されているにも係わらず、ピン無しと誤判断
され、本来良品であるものが不良品と誤って処理される
恐れがある。

【０００６】そこで、被検査対象の画像取得パターンが
高さ方向に二以上含まれる場合に、その取得位置又は撮
像系の焦点を可変してその状態や形状画像を取得し、当
該検査の信頼性の向上を図ることができる装置及び方法
が望まれている。

【０００７】

【従来の技術】図９，10は、従来例に係る説明図であ
る。図９は、従来例に係るパターン検査装置の構成図を
示している。

【０００８】例えば、パッド電極18ＢにＩＯピン18Ａが
半田（以下フィレットという）接合された被検査対象１
８のＩＯピン外観検査をするパターン検査装置は、図９
において、撮像系１，Ａ／Ｄ変換回路２，二値化変換回
路３，フレームメモリ４，ピン位置検出回路５，ピン位
置判定回路６，フィレット検出回路７，フィレット判定
回路８及び結果出力回路９から成る。

【０００９】当該装置の機能は、まず、被検査対象１８
のフィレット18Ｃに撮像系１の焦点が合わされ、その画
像が撮像系１により取得される。また、そのアナログ画
像信号ＳがＡ／Ｄ変換回路２や二値化変換回路３により
信号処理され、その画像取得データＤがフレームメモリ
４に出力される。なお、ピン位置検出回路５では予め登
録されているピン基準パターン（フランジ部分も含む）
と、フレームメモリ４から読み出された画像取得データ
Ｄとがパターンマッチング処理され、ＩＯピン18Ａの位
置が検出される。

【００１０】また、マッチング処理の結果、ピン位置判
定回路６では最小非マッチング量が判定レベルよりも大
きい場合、又は、そのマッチング位置が基準エリア内に
無い場合には、ピン無し，ピン曲がりとして判定され
る。

【００１１】さらに、フィレット検出回路７ではピン位
置判定回路６により基準エリア内にＩＯピン18Ａが有る
と判定された場合に、フレームメモリ４から読み出され
た画像取得データＤに基づいてフィレット画素が計測さ
れる。また、フィレット判定回路８では、フィレット画
素の計測結果と基準フィレット量とが比較され、その良
否が判定される。

【００１２】これにより、結果出力回路９ではピン位置
判定回路６及びフィレット判定回路８の判定結果に基づ
いて被検査対象１８の検査結果が出力される。

【００１３】

【発明が解決しようとする課題】ところで、従来例のパ
ターン検査によれば、撮像系１の焦点を被検査対象１８
のフィレット18Ｃに位置合わせし、そのＩＯピン18Ａの
有無，曲がりを検査し、該撮像系１の焦点を調整し直す
ことなく、それを固定したまま、フィレット形状の検査
をしている。

【００１４】このため、図10（ａ）〜（ｄ）の従来例に
係る問題点を説明する被検査対象１８の断面図やその取
得画像図に示すように、ＩＯピン18Ａが基準エリア内に
あるのにも係わらずピン無しと判断され、その結果検査
エラーを生ずることがある。

【００１５】これは、図10（ａ）において、撮像系１の
焦点Ｆがフィレット18Ｃに位置合わせされた場合であっ
て、該フィレット18ＣがＩＯピン18Ａのフランジ部分18
Ｄに這い上がらずに接合された場合には、図10（ｂ）に
示すような判定可能な被検査パターンＰＡが得られ、こ
れに基づいて、被検査対象１８のＩＯピン18Ａの有無，
曲がりの検査やフィレット形状の検査を該撮像系１の焦
点を可変することなく行うことが可能となる。

【００１６】しかし、図10（ｃ）において、撮像系１の
焦点Ｆがフィレット18Ｃに位置合わせされた場合であっ
て、該フィレット18ＣがＩＯピン18Ａのフランジ部分18
Ｄに這い上がって接合された場合（フィレット形状検査
では合格基準），いわゆる半田上がり状態を伴う場合に
は、図10（ｄ）に示すような判定不能の検査パターンＰ
Ｂが取得される。

【００１７】なお、判定不能の検査パターンＰＢは、フ
ランジ上部に半田が塗られた結果、その表面で照明光に
対して全反射を起こし、その反射光が撮像系１に戻らな
いために生ずると考えられる。

【００１８】このような場合、二値化変換回路３から出
力されるバイナリコードは「０」又は「１」に固定さ
れ、フレームメモリ４に記憶された画像取得データＤに
よる被検査パターンでは，例えば、一様な黒パターンと
なり、白黒階調による比較処理ができなくなる（図10
（ｄ）参照）。このことで、被検査対象１８のＩＯピン
18Ａの有無，曲がりの検査やフィレット形状の検査を行
うことができず、その検査エラーに陥るものである。

【００１９】これにより、ＩＯピン18Ａが所定の位置に
接合されているにも係わらず、ピン無しと誤判断され、
本来良品であるものが不良品と誤って処理される恐れが
あり、生産歩留りの低下の原因となったり、再検査に係
る無駄な時間が費やされるという問題がある。

【００２０】本発明は、かかる従来例の問題点に鑑み創
作されたものであり、被検査対象の画像取得パターンが
高さ方向に二以上含まれる場合に、１つの画像取得位置
で取得した画像データのみに依存して画像処理をするこ
となく、二以上の画像取得位置又は撮像系の焦点を可変
してその状態や形状画像を取得し、当該検査の信頼性の
向上を図ることが可能となるパターン検査装置及びパタ
ーン検査方法の提供を目的とする。

【００２１】

【課題を解決するための手段】図１（ａ），（ｂ）は、
本発明に係るパターン検査装置の原理図であり、図２
（ａ），（ｂ）は本発明に係るパターン検査方法の原理
図をそれぞれ示している。

【００２２】本発明の第１のパターン検査装置は、図１
（ａ）に示すように、被検査対象１８の第１の目標位置
ｐ１を基準にした画像を取得して第１の画像取得データ
Ｄ１を出力する第１の画像取得手段11Ａと、前記被検査
対象１８の第２の目標位置ｐ２を基準にした画像を取得
して第２の画像取得データＤ２を出力する第２の画像取
得手段11Ｂと、前記第１の画像取得データＤ１に基づい
て被検査対象１８の第１の目標位置ｐ１に係るパターン
を識別する第１のパターン認識手段12Ａと、前記第２の
画像取得データＤ１に基づいて被検査対象１８の第２の
目標位置ｐ２に係るパターンを識別する第２のパターン
認識手段12Ｂと、前記パターン認識結果と基準データＤ
Ｒとに基づいて被検査対象１８の結果判定をする判定出
力手段１３とを具備することを特徴とする。

【００２３】また、本発明の第２のパターン検査装置
は、図１（ｂ）に示すように、被検査対象１８の画像取
得位置を可変して画像を取得し、該被検査対象１８の第
１，第２の画像取得データＤ１，Ｄ２を出力する画像取
得手段１４と、前記第１の画像取得データＤ１に基づい
て被検査対象１８の第１の目標位置ｐ１に係るパターン
を識別する第１のパターン認識手段15Ａと、前記第２の
画像取得データＤ２に基づいて被検査対象１８の第２の
目標位置ｐ２に係るパターンを識別する第２のパターン
認識手段15Ｂと、前記第１の目標位置ｐ１又は第２の目
標位置ｐ２のパターン認識に基づいて焦点可変信号Ｓを
出力する焦点位置変更手段１６と、前記パターン認識結
果と基準データＤＲとに基づいて被検査対象１８の結果
判定をする判定出力手段１７とを具備することを特徴と
する。

【００２４】さらに、本発明の第１のパターン検査方法
は、図２（ａ）に示すような画像を取得する目標位置ｐ
１，ｐ２が高さ方向に二以上を含む被検査対象１８のパ
ターン検査をする方法であって、図２（ｂ）のフローチ
ャートに示すように、まず、ステップＰ１で被検査対象
１８の第１の目標位置ｐ１を基準にした画像を取得する
第１の画像取得処理と、ステップＰ２で前記被検査対象
１８の第２の目標位置ｐ２を基準にした画像を取得する
第２の画像取得処理とをし、その後、ステップＰ３で前
記第１，第２の画像取得処理に基づいて被検査対象１８
の第１，第２の目標位置ｐ１，ｐ２に係るパターンの識
別処理をし、次に、ステップＰ４で前記識別処理に基づ
いて被検査対象１８の結果判定処理をすることを特徴と
する。

【００２５】さらに、本発明の第２のパターン検査方法
は、第１のパターン検査方法に係る図２（ｂ）のフロー
チャートのステップＰ１やＰ２で前記第１，第２の画像
取得処理に先立ち画像取得位置の可変処理をすることを
特徴とし、上記目的を達成する。

【００２６】

【作 用】本発明の第１のパターン検査装置によれば、
図１（ａ）に示すように、第１，第２の画像取得手段11
Ａ，11Ｂ，第１，第２のパターン認識手段12Ａ，12Ｂ，
判定出力手段１３が具備される。

【００２７】例えば、被検査対象１８の第１の目標位置
ｐ１を基準にした画像が第１の画像取得手段11Ａにより
取得され、その第１の画像取得データＤ１が第１のパタ
ーン認識手段12Ａに出力される。また、被検査対象１８
の第２の目標位置ｐ２を基準にした画像が第２の画像取
得手段11Ｂにより取得され、その第２の画像取得データ
Ｄ２が第２のパターン認識手段12Ｂに出力される。

【００２８】さらに、第１の画像取得データＤ１に基づ
いて被検査対象１８の第１の目標位置ｐ１に係るパター
ンが第１のパターン認識手段12Ａにより，例えば、第１
の基準パターンと比較されて識別される。ここで、第１
のパターン認識手段12Ａにおける比較識別結果が基準値
を満たしている場合には、第２の画像取得データＤ１に
基づいて被検査対象１８の第２の目標位置ｐ２に係るパ
ターンが第２のパターン認識手段12Ｂにより，例えば、
第２の基準パターンと比較されて識別される。

【００２９】これにより、第１，第２のパターン認識手
段12Ａ，12Ｂにおける比較識別結果が共に基準値を満た
している場合には、それと基準データＤＲとが判定出力
手段１３により比較され、被検査対象１８の検査結果が
出力される。

【００３０】このため、被検査対象１８の第１の目標位
置ｐ１を基準にした画像と被検査対象１８の第２の目標
位置ｐ２を基準にした画像とが第１，第２の画像取得手
段11Ａ，11Ｂにより個別に取得され、その画像処理が行
われることから、被検査対象１８に係わり、従来例のよ
うな半田上がり状態を伴う場合であっても、判定不能の
検査パターンの発生が極力抑制され、誤判断による検査
エラーを極力低減することが可能となる。

【００３１】これにより、再検査に係る無駄な時間を費
やすことも無くなり、当該検査装置の信頼性の向上を図
ることが可能となる。また、本発明の第２のパターン検
査装置によれば、図１（ｂ）に示すように、画像取得手
段１４，第１，第２のパターン認識手段15Ａ，15Ｂ，焦
点位置変更手段１６，判定出力手段１７が具備される。

【００３２】例えば、焦点可変信号Ｓに基づいて画像取
得手段１４の焦点が可変されて、被検査対象１８の画像
取得位置が可変され、その第１，第２の目標位置ｐ１，
ｐ２に係るの画像が該取得手段１４により取得される。
また、該被検査対象１８の二箇所に係る第１，第２の画
像取得データＤ１，Ｄ２が画像取得手段１４から第１，
第２のパターン認識手段15Ａ，15Ｂにそれぞれ出力され
る。

【００３３】さらに、第１の画像取得データＤ１に基づ
いて被検査対象１８の第１の目標位置ｐ１に係るパター
ンが第１のパターン認識手段15Ａにより，例えば、第１
の基準パターンと比較されて識別される。ここで、第１
のパターン認識手段15Ａにおける比較識別結果が基準値
を満たしている場合には、第２の画像取得データＤ２に
基づいて被検査対象１８の第２の目標位置ｐ２に係るパ
ターンが第２のパターン認識手段15Ｂにより，例えば、
第２の基準パターンと比較されて識別される。

【００３４】これにより、第１，第２のパターン認識手
段15Ａ，15Ｂにおける比較識別結果が共に基準値を満た
している場合には、それと基準データＤＲとが判定出力
手段１７により比較され、被検査対象１８の検査結果が
判定される。

【００３５】なお、第１の目標位置ｐ１又は第２の目標
位置ｐ２のパターン認識処理結果に基づいて焦点可変信
号Ｓが焦点位置変更手段１６から画像取得手段１４に出
力される。

【００３６】このため、本発明の第１のパターン検査装
置と同様に被検査対象１８の第１の目標位置ｐ１を基準
にした画像と被検査対象１８の第２の目標位置ｐ２を基
準にした画像とが画像取得手段１４の焦点を可変するこ
とにより個別に取得され、その画像処理が行われること
から、被検査対象１８に係わり、従来例のような半田上
がり状態を伴う場合であっても、判定不能の検査パター
ンの発生が極力抑制され、誤判断による検査エラーを極
力低減することが可能となる。

【００３７】これにより、本発明の第１のパターン検査
装置と同様に再検査に係る無駄な時間を費やすことも無
くなり、当該検査装置の信頼性の向上を図ることが可能
となる。

【００３８】さらに、本発明の第１のパターン検査方法
によれば、図２（ｂ）のフローチャートに示すように、
ステップＰ１で被検査対象１８の第１の目標位置ｐ１を
基準にした画像を取得する第１の画像取得処理と、ステ
ップＰ２で被検査対象１８の第２の目標位置ｐ２を基準
にした画像を取得する第２の画像取得処理とをしてい
る。

【００３９】このため、被検査対象１８の第１の目標位
置ｐ１を基準にした画像と被検査対象１８の第２の目標
位置ｐ２を基準にした画像とが個別に取得され、その画
像処理がステップＰ３で第１，第２の画像取得処理に基
づいて被検査対象１８の第１，第２の目標位置ｐ１，ｐ
２のパターン認識が行われる。

【００４０】このことから、被検査対象１８に係わり、
従来例のような半田上がり状態を伴う場合、すなわち、
被検査対象１８の画像を取得する目標位置ｐ１，ｐ２が
高さ方向に二以上を含む場合であっても、ステップＰ４
で識別処理に基づいて従来例のように被検査対象１８の
一部が基準領域内にあるのにも係わらずそれが無しと判
断されることも無くなる。

【００４１】また、図２（ａ）において、被検査対象１
８の高さｈ１で確認をすべき部品の一部の有無，その曲
がりの検査やその平面上の高さｈ２における形状の検査
を正確に行うことが可能となる。

【００４２】これにより、従来例のように本来良品であ
るものが不良品と誤って処理されることが無くなり、そ
のパターン検査精度の向上を図ることが可能となる。さ
らに、本発明の第２のパターン検査方法によれば、図２
（ｂ）のフローチャートのステップＰ１やＰ１で第１，
第２の画像取得処理に先立ち画像取得位置の可変処理を
している。

【００４３】例えば、図２（ａ）において、画像取得系
の焦点距離Ｆ１，Ｆ２を可変して被検査対象１８の画像
取得位置を可変することで、被検査対象１８の第１の目
標位置ｐ１を基準にした画像と被検査対象１８の第２の
目標位置ｐ２を基準にした画像とが個別に取得され、そ
の画像処理がステップＰ３で第１，第２の画像取得処理
に基づいて被検査対象１８の第１，第２の目標位置ｐ
１，ｐ２のパターン認識が行われる。

【００４４】このため、本発明の第１のパターン検査方
法と同様に被検査対象１８に係わり、従来例のような半
田上がり状態を伴う場合であっても、照明光による全反
射による影響を受けることなく、そのパターン検査を正
確に行うことが可能となる。なお、本発明の第１のパタ
ーン検査方法に比べて、画像取得系を省略することが可
能となる。

【００４５】これにより、第１のパターン検査方法と同
様にパターン検査精度の向上を図ることが可能となる。

【００４６】

【実施例】次に図を参照しながら本発明の実施例につい
て説明をする。図３〜８は、本発明の各実施例に係るパ
ターン検査装置及びパターン検査方法を説明する図であ
る。

【００４７】（１）第１の実施例の説明 図３は、本発明の第１の実施例に係るＩＯピン外観検査
装置の構成図であり、図４は、その検査フローチャート
であり、図５，６はその補足説明図をそれぞれ示してい
る。

【００４８】例えば、図３に示すようなパッド電極18Ｂ
にＩＯピン18Ａが半田接合された被検査対象１８のＩＯ
ピン外観検査をするパターン検査装置は、図３におい
て、第１，第２の画像取得システム21Ａ，21Ｂ，第１，
第２のパターン認識システム22Ａ，22Ｂ，判定出力シス
テム２３から成る。

【００４９】すなわち、第１の画像取得システム21Ａは
第１の画像取得手段11Ａの一実施例であり、被検査対象
１８のピン先端位置（第１の目標位置）ｐ１を基準にし
た画像を取得して第１の画像取得データＤ１を出力する
ものである。例えば、第１の画像取得システム21Ａはピ
ン先端の画像を取得して第１のアナログ画像信号Ｓ２を
出力するピン先端用カメラ211 と、該信号Ｓ１をＡ／Ｄ
変換してデジタル信号を出力するＡ／Ｄ変換回路212
と、そのデジタル信号に基づいて「１」，「０」のバイ
ナリコードを出力する二値化変換回路213 と、該コード
に係る第１の画像取得データＤ１を記憶するフレームメ
モリ214 から成る。

【００５０】第２の画像取得システム21Ｂは第２の画像
取得手段11Ｂの一実施例であり、被検査対象１８のフィ
レット位置（第２の目標位置）ｐ２を基準にした画像を
取得して第２の画像取得データＤ２を出力するものであ
る。例えば、第２の画像取得システム21Ｂはフィレット
形状の画像を取得して第２のアナログ画像信号Ｓ２を出
力するフィレット用カメラ215 と、該信号Ｓ２をＡ／Ｄ
変換してデジタル信号を出力するＡ／Ｄ変換回路216
と、そのデジタル信号に基づいて「１」，「０」のバイ
ナリコードを出力する二値化変換回路217 と、該コード
に係る第２の画像取得データＤ２を記憶するフレームメ
モリ218 から成る。

【００５１】第１のパターン認識システム22Ａは第１の
パターン認識手段12Ａの一実施例であり、第１の画像取
得データＤ１に基づいて被検査対象１８のピン先端位置
ｐ１に係るパターンを識別するものである。例えば、第
１のパターン認識システム22Ａはピン位置検出回路221
及びピン位置判定回路222 から成る。

【００５２】ピン位置検出回路221 は予め登録されたピ
ン先端基準パターン（フランジ部分も含む第１の基準パ
ターン）と画像取得データＤ１とのパターンマッチング
処理をしてＩＯピン18Ａの位置を検出するものである。
また、ピン位置判定回路222は、第１の判定データＤ11
を出力するものであり、ＩＯピン18Ａの位置の最小非マ
ッチング量とマッチング判定レベルとを比較してＩＯピ
ン18Ａのマッチング位置が基準エリア内に存在するか否
かを判定するものである。

【００５３】第２のパターン認識システム22Ｂは第２の
パターン認識手段12Ｂの一実施例であり、第２の画像取
得データＤ２に基づいて被検査対象１８のフィレット位
置ｐ２に係るパターンを識別するものである。例えば、
第２のパターン認識システム22Ｂはフィレット検出回路
223 及びフィレット判定回路224 から成る。

【００５４】フィレット検出回路223 は基準エリア内に
ＩＯピン18Ａが有ると判定された場合に、画像取得デー
タＤ２に含まれるフィレット画素を計測するものであ
る。また、フィレット判定回路224 は第２の判定データ
Ｄ21を出力するものであり、フィレット画素の計測結果
と基準フィレット量（第２の基準パターン）とを比較す
るものである。

【００５５】判定出力システム２３は判定出力手段１３
の一実施例であり、パターン認識結果となる第１, 第２
の判定データＤ11，Ｄ12と基準データＤＲとに基づいて
被検査対象１８の結果判定をするものである。例えば、
判定出力システム２３は総合判定回路23Ａ及び結果出力
回路23Ｂから成る。

【００５６】総合判定回路23Ａは第１, 第２の判定デー
タＤ11，Ｄ12と基準データＤＲの一例となる判定基準値
とに基づいて被検査対象１８の判定信号Ｓ３を出力する
ものである。結果出力回路23Ｂは、その判定信号Ｓ３に
基づいて判定出力データＤOUT を出力するものである。

【００５７】このようにして、本発明の第１の実施例に
係るＩＯピン外観検査装置によれば、図３に示すよう
に、ピン先端用カメラ211 ，Ａ／Ｄ変換回路212 ，二値
化変換回路213 及びフレームメモリ214 から成る第１の
画像取得システム21Ａと、フィレット用カメラ215 ，Ａ
／Ｄ変換回路216 ，二値化変換回路217 及びフレームメ
モリ218 から成る第２の画像取得システム21Ｂと、ピン
位置検出回路221 及びピン位置判定回路222 から成る第
１のパターン認識システム22Ａと、フィレット検出回路
223 及びフィレット判定回路224 から成る第２のパター
ン認識システム22Ｂと、総合判定回路23Ａ及び結果出力
回路23Ｂから成る判定出力システム２３が具備される。

【００５８】例えば、被検査対象１８のピン先端位置ｐ
１を基準にした画像がピン先端用カメラ211 ，Ａ／Ｄ変
換回路212 及び二値化変換回路213 を介して取得され、
その第１の画像取得データＤ１がフレームメモリ214 か
ら第１のパターン認識システム22Ａに出力される。ま
た、被検査対象１８のフィレット位置ｐ２を基準にした
画像がフィレット用カメラ215 ，Ａ／Ｄ変換回路216 及
び二値化変換回路217 を介して取得され、その第２の画
像取得データＤ２がフレームメモリ218 から第２のパタ
ーン認識システム22Ｂに出力される。

【００５９】さらに、第１の画像取得データＤ１に基づ
いて被検査対象１８のピン先端位置ｐ１に係るパターン
がピン位置検出回路221 により，例えば、ピン先端基準
パターンと比較されて識別される。ここで、ピン位置判
定回路222 における比較識別結果が基準値を満たしてい
る場合には、第２の画像取得データＤ２に基づいて被検
査対象１８のフィレット位置ｐ２に係るフィレット画素
値がフィレット検出回路223 及びフィレット判定回路22
4 により，例えば、その基準フィレット量と比較されて
識別される。

【００６０】これにより、第１，第２のパターン認識シ
ステム22Ａ，22Ｂにおける比較識別結果が共に基準値を
満たしている場合には、それと基準データＤＲとが総合
判定回路23Ａにより比較され、被検査対象１８の検査結
果が結果出力回路23Ｂから出力される。

【００６１】このため、被検査対象１８のピン先端位置
ｐ１を基準にした画像と被検査対象１８のフィレット位
置ｐ２を基準にした画像とが第１，第２の画像取得シス
テム21Ａ，21Ｂにより個別に取得され、その画像処理が
行われることから、被検査対象１８に係わり、従来例の
ようにＩＯピン18Ａのフランジ部分18Ｄに半田上がりを
伴う場合であっても、判定不能の検査パターンの発生が
極力抑制され、誤判断による検査エラーを極力低減する
ことが可能となる。

【００６２】これにより、再検査に係る無駄な時間を費
やすことも無くなり、当該検査装置の信頼性の向上を図
ることが可能となる。次に、本発明の第１の実施例に係
るパターン検査方法について当該装置の動作を補足しな
がら説明をする。

【００６３】図４は本発明の第１の実施例に係るＩＯピ
ン外観検査のフローチャートであり、図５，６はその補
足説明図（その１，２）を示している。例えば、図６
（ａ）に示すようなパッド電極18ＢにＩＯピン18Ａが接
合された被検査対象１８のＩＯピン外観検査をする場合
であって、同図に示すように画像を取得する位置が，ピ
ン先端位置ｐ１とフィレット位置ｐ２とのように高さ方
向に二つ含む被検査対象１８のパターン検査をする場
合、図４において、まず、ステップＰ１で被検査対象１
８を画像取得系下にセットする。

【００６４】この際に、被検査対象１８は、予め、図５
（ａ）に示すようなフランジ18Ｄを含むＩＯピン18Ａと
図５（ｂ）に示すようなパッド電極18Ｂとが別途製造工
程により半田（フィレット）接合される。

【００６５】次に、ステップＰ２で被検査対象１８のピ
ン先端位置ｐ１を基準にした画像を取得する（第１の画
像取得処理）。この際に、ピン先端の画像がピン先端用
カメラ211 により取得され、その第１のアナログ画像信
号Ｓ２がＡ／Ｄ変換回路212に出力される。

【００６６】また、該信号Ｓ１がＡ／Ｄ変換回路212 に
よりＡ／Ｄ変換され、そのデジタル信号に基づいて
「１」，「０」のバイナリコードが二値化変換回路213
からフレームメモリ214 に出力され、該コードに係る第
１の画像取得データＤ１がフレームメモリ214 に記憶さ
れる。

【００６７】これに並行して、ステップＰ３で被検査対
象１８のフィレット位置ｐ２を基準にした画像を取得す
る（第２の画像取得処理）。この際に、フィレット形状
の画像がフィレット用カメラ215 により取得され、その
第２のアナログ画像信号Ｓ２がフィレット用カメラ215
からＡ／Ｄ変換回路216 に出力される。

【００６８】また、該信号Ｓ２がＡ／Ｄ変換回路216 に
よりＡ／Ｄ変換され、そのデジタル信号に基づいて
「１」，「０」のバイナリコードが二値化変換回路217
からフレームメモリ218 に出力される。該コードに係る
第２の画像取得データＤ２がフレームメモリ218 に記憶
される。

【００６９】その後、ステップＰ４で第１の画像取得処
理に基づいて被検査対象１８のピン先端位置ｐ１に係る
パターンの識別処理をする。この際に、ピン位置検出回
路221 では、予め登録されたピン先端基準パターン（フ
ランジ部分も含む）と画像取得データＤ１とがパターン
マッチング処理され、ＩＯピン18Ａの最小非マッチング
量ｕとその時のマッチング位置ｐとが検出される。

【００７０】次に、ステップＰ５でピン先端位置ｐ１が
基準値内に存在するか否かの判定をする。この際に、ピ
ン先端位置ｐ１が基準値内に存在する場合（ＹES）に
は、ステップＰ６に移行する。なお、それが図５（ｃ）
や（ｄ）に示すように基準値α内に存在しなかったり、
ＩＯピンが無い場合（ＮＯ）には、ステップＰ１に戻っ
て被検査対象１８を更新して検査を継続する。

【００７１】ここで、ピン位置判定回路222 では、その
最小非マッチング量ｕとマッチング判定レベル Lｍとマ
ッチング位置判定レベル Lｐから（ｕ＜ Lｍ）かつ（ｐ
＜ Lｐ）の場合，すなわち、ピン先端のパターンがピン
のあるべき位置にあった場合のみピン位置良品と判断さ
れ、その第１の判定データＤ11が出力される。

【００７２】従って、ピン位置良品と判断された場合
（ＹES）には、ステップＰ６で第２の画像取得処理に基
づいて被検査対象１８のフィレット位置ｐ２に係るパタ
ーンの識別処理をする。この際に、フィレット検出回路
223 では基準エリア内にＩＯピン18Ａが有ると判定され
た場合に、画像取得データＤ２に含まれるフィレットパ
ターン画素数ｆが計測される。また、フィレット判定回
路224 ではフィレットパターン画素数ｆとフィレット面
積基準画素数 Lｆからｆ＞ Lｆであれば良品とされ、そ
の第２の判定データＤ21が出力される。

【００７３】次に、ステップＰ７で識別処理に基づいて
被検査対象１８の結果判定処理をする。この際に、総合
判定回路23Ａでは第１, 第２の判定データＤ11，Ｄ12に
基づいて、その最小非マッチング量ｕ，マッチング判定
レベル Lｍ，マッチング位置判定レベル Lｐが（ｕ＜ L
ｍ）かつ（ｐ＜ Lｐ）の場合であって、フィレットパタ
ーン画素数ｆ，フィレット面積基準画素数 Lｆがｆ＞ L
ｆの場合に、ピンが基準範囲内にあり、フィレットが基
準値以上有る良品として判定する。

【００７４】また、（ｕ＜ Lｍ）かつ（ｐ＜ Lｐ）の場
合であって、ｆ≦ Lｆの場合には、ピンが基準範囲内に
あるが、フィレットが基準値以下となる不良品として判
定する。なお、（ｕ≧ Lｍ）かつ（ｐ≧ Lｐ）の場合に
は、ピンが基準範囲内に存在しないため、ピン無し又は
曲がりとなる。これにより、総合判定回路23Ａから結果
出力回路23Ｂに被検査対象１８の判定信号Ｓ３が出力さ
れ、該出力回路23Ｂでは、その判定信号Ｓ３に基づいて
判定出力データＤOUT が出力される。

【００７５】なお、ステップＰ８で全ての被検査対象１
８の検査が終了した場合（ＹES）には、パターン検査を
終了し、それが終了しない場合（ＮＯ）には、ステップ
Ｐ１に戻って検査を継続する。また、ステップＰ８の検
査終了確認とステップＰ７の結果判定処理とは経時的
に、順序を変えても良い。

【００７６】これにより、図５（ａ）に示すようなパッ
ド電極18ＢにＩＯピン18Ａが接合された被検査対象１８
のＩＯピン外観検査をすることができる。このようにし
て、本発明の第１の実施例に係るパターン検査方法によ
れば、図４のフローチャートに示すように、ステップＰ
２で被検査対象１８のピン先端位置ｐ１を基準にした第
１の画像取得処理と、ステップＰ３で被検査対象１８の
フィレット位置ｐ２を基準にした第２の画像取得処理と
をしている。

【００７７】このため、被検査対象１８のピン先端位置
ｐ１を基準にした画像と被検査対象１８のフィレット位
置ｐ２を基準にした画像とが個別に取得され、その画像
処理がステップＰ４〜６で第１，第２の画像取得処理に
基づいて被検査対象１８のピン先端位置ｐ１，フィレッ
ト位置ｐ２のパターン認識が行われる。

【００７８】このことから、被検査対象１８に係わり、
従来例のような半田上がり状態を伴う場合、すなわち、
被検査対象１８の画像を取得するピン先端位置ｐ１，フ
ィレット位置ｐ２が高さ方向に二つ成分（ｈ１，ｈ２）
を含む場合であっても、ステップＰ７で識別処理に基づ
いて従来例のように被検査対象１８のＩＯピン18Ａが所
定の位置に接合されているにも係わらず、ピン無しと誤
判断されることも無くなる。

【００７９】また、図６（ｃ）や（ｄ）において、フラ
ンジ18Ｄ上部に半田が塗られた結果、その表面で照明光
に対して全反射を起こすおそれが有る場合でも、被検査
対象１８の高さｈ１で確認をすべきＩＯピン18Ａの有
無，その曲がりの検査やその平面上の高さｈ２における
フィレット形状の検査を正確に行うことが可能となる。

【００８０】これにより、従来例のように本来良品であ
るものが不良品と誤って処理されることが無くなり、そ
のパターン検査精度の向上を図ることが可能となる。 （２）第２の実施例の説明 図７は、本発明の第２の実施例に係るＩＯピン外観検査
装置の構成図であり、図８は、その検査フローチャート
をそれぞれ示している。

【００８１】図７において、第１の実施例と異なるのは
第２の実施例では、検査対象１８の画像取得をする１台
のカメラ311 が設けられ、また、該カメラ311 の焦点を
制御する焦点変更回路２６が設けられるものである。

【００８２】例えば、第１の実施例に示したようなパッ
ド電極18ＢにＩＯピン18Ａが半田接合された被検査対象
１８のＩＯピン外観検査をするパターン検査装置は、図
７において、画像取得システム３１，第１，第２のパタ
ーン認識システム32Ａ，32Ｂ，判定出力システム３３か
ら成る。

【００８３】すなわち、画像取得システム３１は画像取
得手段１４の一実施例であり、被検査対象１８の画像取
得位置を可変して画像を取得し、該被検査対象１８の第
１，第２の画像取得データＤ１，Ｄ２を出力するもので
ある。画像取得システム３１は第１の実施例に示した第
１，２の画像取得システム21Ａや21Ｂと同様に、カメラ
311 ，Ａ／Ｄ変換回路212 ，二値化変換回路213 及びフ
レームメモリ214 から成る。

【００８４】なお、カメラ311 は焦点可変制御信号Ｓ７
に基づいて焦点が自動調整されるものである。その他の
機能については、第１の実施例と同様であるため説明を
省略する。

【００８５】第１のパターン認識システム32Ａは第１の
パターン認識手段15Ａの一実施例であり、第１の画像取
得データＤ１に基づいて被検査対象１８のピン先端位置
ｐ１に係るパターンを識別するものである。例えば、第
１のパターン認識システム32Ａはピン位置検出回路321
及びピン位置判定回路322 から成る。その機能について
は、第１の実施例を参照されたい。

【００８６】第２のパターン認識システム32Ｂは第２の
パターン認識手段15Ｂの一実施例であり、第２の画像取
得データＤ２に基づいて被検査対象１８のフィレット位
置ｐ２に係るパターンを識別するものである。例えば、
第２のパターン認識システム32Ｂはフィレット検出回路
323 及びフィレット判定回路324 から成る。

【００８７】焦点変更回路２６は焦点位置変更手段１６
の一実施例であり、ピン先端位置ｐ１又はフィレット位
置ｐ２のパターン認識に基づいて焦点可変信号Ｓの一例
となる焦点可変制御信号Ｓ７をカメラ311 に出力するも
のである。

【００８８】判定出力システム３３は判定出力手段１７
の一実施例であり、パターン認識結果となる第１, 第２
の判定データＤ12，Ｄ22と基準データＤＲとに基づいて
被検査対象１８の結果判定をするものである。例えば、
判定出力システム２３は総合判定回路33Ａ及び結果出力
回路33Ｂから成る。

【００８９】このようにして、本発明の第２の実施例に
係るＩＯピン外観検査装置によれば、図７に示すよう
に、カメラ311 ，Ａ／Ｄ変換回路312 ，二値化変換回路
313 及びフレームメモリ314 から成る画像取得システム
３１と、ピン位置検出回路321及びピン位置判定回路322
から成る第１のパターン認識システム32Ａと、フィレ
ット検出回路323 及びフィレット判定回路324 から成る
第２のパターン認識システム32Ｂと、焦点変更回路２６
と、総合判定回路33Ａ及び結果出力回路33Ｂから成る判
定出力システム３３が具備される。

【００９０】例えば、焦点可変制御信号Ｓ７に基づいて
画像取得システム３１のカメラ311の焦点が可変され
て、被検査対象１８の画像取得位置が可変され、そのピ
ン先端位置ｐ１，フィレット位置ｐ２に係るの画像が該
カメラ311 ，Ａ／Ｄ変換回路312 及び二値化変換回路31
3 により取得される。また、該被検査対象１８の二箇所
に係る第１，第２の画像取得データＤ１，Ｄ２がフレー
ムメモリ314 から第１のパターン認識システム32Ａのピ
ン位置検出回路321 や第２のパターン認識システム33Ａ
のフィレット検出回路323 にそれぞれ出力される。

【００９１】さらに、第１の画像取得データＤ１に基づ
いて被検査対象１８のピン先端位置ｐ１に係るパターン
がピン位置検出回路321 により，例えば、第１の基準パ
ターンと比較されて識別される。ここで、ピン位置判定
回路322 における比較識別結果が基準値を満たしている
場合には、第２の画像取得データＤ２に基づいて被検査
対象１８のフィレット位置ｐ２に係るパターンがフィレ
ット検出回路323 及びフィレット判定回路324 により，
例えば、基準フィレット量と比較されて識別される。

【００９２】これにより、ピン位置判定回路322 やフィ
レット判定回路324 における比較識別結果が共に基準値
を満たしている場合には、それと基準データＤＲとが判
定出力システム３３により比較され、被検査対象１８の
検査結果が判定される。

【００９３】なお、ピン先端位置ｐ１又はフィレット位
置ｐ２のパターン認識処理結果に基づいて焦点可変制御
信号Ｓ７が焦点変更回路２６からカメラ311 に出力され
る。このため、本発明の第１の実施例と同様に被検査対
象１８のピン先端位置ｐ１を基準にした画像と被検査対
象１８のフィレット位置ｐ２を基準にした画像とが画像
取得システム３１のカメラ311 の焦点を可変することに
より個別に取得され、その画像処理が行われることか
ら、被検査対象１８に係わり、従来例のような半田上が
り状態を伴う場合であっても、判定不能の検査パターン
の発生が極力抑制され、誤判断による検査エラーを極力
低減することが可能となる。

【００９４】これにより、本発明の第１の実施例と同様
に再検査に係る無駄な時間を費やすことも無くなり、当
該検査装置の信頼性の向上を図ることが可能となる。次
に、本発明の第２の実施例に係るパターン検査方法につ
いて当該装置の動作を補足しながら説明をする。

【００９５】図８は本発明の第２の実施例に係るＩＯピ
ン外観検査のフローチャートを示している。図８におい
て、第１の実施例と異なるのは第２の実施例では、第
１，第２の画像取得処理に先立ちステップＰ２，Ｐ６で
画像取得位置の可変処理をするものである。

【００９６】例えば、図６（ａ）に示すようなパッド電
極18ＢにＩＯピン18Ａが接合された被検査対象１８のＩ
Ｏピン外観検査をする場合であって、同図に示すように
画像を取得する位置が，ピン先端位置ｐ１とフィレット
位置ｐ２とのように高さ方向に二つ含む被検査対象１８
のパターン検査をする場合、図４において、まず、ステ
ップＰ１で被検査対象１８を画像取得系下にセットす
る。

【００９７】次に、ステップＰ２で画像取得位置の可変
処理をする。この際に、焦点位置可変制御信号Ｓ７に基
づいて被検査対象１８のピン先端位置ｐ１を基準にカメ
ラ311 の焦点を合わせる。

【００９８】次いで、ステップＰ３で被検査対象１８の
ピン先端位置ｐ１を基準にした画像を取得する（第１の
画像取得処理）。この際に、ピン先端の画像がカメラ31
1 により取得され、そのアナログ画像信号Ｓ４がＡ／Ｄ
変換回路312 に出力される。

【００９９】また、該信号Ｓ４がＡ／Ｄ変換回路312 に
よりＡ／Ｄ変換され、そのデジタル信号に基づいて
「１」，「０」のバイナリコードが二値化変換回路313
からフレームメモリ314 に出力され、該コードに係る第
１の画像取得データＤ１がフレームメモリ314 に記憶さ
れる。

【０１００】その後、ステップＰ４で第１の画像取得処
理に基づいて被検査対象１８のピン先端位置ｐ１に係る
パターンの識別処理をする。この際に、ピン位置検出回
路231 では、予め登録されたピン先端基準パターン（フ
ランジ部分も含む）と画像取得データＤ１とがパターン
マッチング処理され、ＩＯピン18Ａの最小非マッチング
量ｕとその時のマッチング位置ｐとが検出される。

【０１０１】次に、ステップＰ５でピン先端位置ｐ１が
基準値内に存在するか否かの判定をする。この際に、ピ
ン先端位置ｐ１が基準値内に存在する場合（ＹES）に
は、ステップＰ６に移行する。なお、それが図５（ｃ）
や（ｄ）に示すように基準値α内に存在しなかったり、
ＩＯピンが無い場合（ＮＯ）には、ステップＰ１に戻っ
て被検査対象１８を更新して検査を継続する。

【０１０２】ここで、ピン位置判定回路322 では、その
最小非マッチング量ｕとマッチング判定レベル Lｍとマ
ッチング位置判定レベル Lｐから（ｕ＜ Lｍ）かつ（ｐ
＜ Lｐ）の場合，すなわち、ピン先端のパターンがピン
のあるべき位置にあった場合のみピン位置良品と判断さ
れ、その第１の判定データＤ12が出力される。

【０１０３】従って、ピン位置良品と判断された場合
（ＹES）には、ステップＰ６で画像取得位置の可変処理
をする。この際に、焦点可変制御信号Ｓ７に基づいて被
検査対象１８のフィレット位置ｐ２を基準にカメラ311
の焦点を合わせる。

【０１０４】その後、ステップＰ７で被検査対象１８の
フィレット位置ｐ２を基準にした画像を取得する（第２
の画像取得処理）。この際に、フィレット形状の画像が
カメラ311 により取得され、そのアナログ画像信号Ｓ４
がカメラ311 からＡ／Ｄ変換回路312 に出力される。

【０１０５】また、該信号Ｓ４がＡ／Ｄ変換回路312 に
よりＡ／Ｄ変換され、そのデジタル信号に基づいて
「１」，「０」のバイナリコードが二値化変換回路313
からフレームメモリ314 に出力される。該コードに係る
第２の画像取得データＤ２がフレームメモリ314 に記憶
される。

【０１０６】さらに、ステップＰ８で第２の画像取得処
理に基づいて被検査対象１８のフィレット位置ｐ２に係
るパターンの識別処理をする。この際に、フィレット検
出回路323 では基準エリア内にＩＯピン18Ａが有ると判
定された場合に、画像取得データＤ２に含まれるフィレ
ットパターン画素数ｆが計測される。また、フィレット
判定回路324 ではフィレットパターン画素数ｆとフィレ
ット面積基準画素数 Lｆからｆ＞ Lｆであれば良品とさ
れ、その第２の判定データＤ22が出力される。

【０１０７】次に、ステップＰ９で識別処理に基づいて
被検査対象１８の結果判定処理をする。この際に、総合
判定回路33Ａでは第１, 第２の判定データＤ12，Ｄ22に
基づいて、その最小非マッチング量ｕ，マッチング判定
レベル Lｍ，マッチング位置判定レベル Lｐが（ｕ＜ L
ｍ）かつ（ｐ＜ Lｐ）の場合であって、フィレットパタ
ーン画素数ｆ，フィレット面積基準画素数 Lｆがｆ＞ L
ｆの場合に、ピンが基準範囲内にあり、フィレットが基
準値以上有る良品として判定する。

【０１０８】また、（ｕ＜ Lｍ）かつ（ｐ＜ Lｐ）の場
合であって、ｆ≦ Lｆの場合には、ピンが基準範囲内に
あるが、フィレットが基準値以下となる不良品として判
定する。なお、（ｕ≧ Lｍ）かつ（ｐ≧ Lｐ）の場合に
は、ピンが基準範囲内に存在しないため、ピン無し又は
曲がりとなる。これにより、総合判定回路33Ａから結果
出力回路33Ｂに被検査対象１８の判定信号Ｓ５が出力さ
れ、該出力回路33Ｂでは、その判定信号Ｓ５に基づいて
判定出力データＤOUT が出力される。

【０１０９】なお、ステップＰ10で全ての被検査対象１
８の検査が終了した場合（ＹES）には、パターン検査を
終了し、それが終了しない場合（ＮＯ）には、ステップ
Ｐ１に戻って検査を継続する。また、ステップＰ10の検
査終了確認とステップＰ９の結果判定処理とは経時的
に、順序を変えても良い。

【０１１０】これにより、図６（ａ）や（ｃ）に示すよ
うなパッド電極18ＢにＩＯピン18Ａが接合された被検査
対象１８のＩＯピン外観検査をすることができる。この
ようにして、本発明の第２の実施例に係るＩＯピンの外
観検査方法によれば、図８のフローチャートのステップ
Ｐ２やＰ６で第１，第２の画像取得処理に先立ち画像取
得位置の可変処理をしている。

【０１１１】例えば、図６（ａ）において、画像取得系
の焦点距離Ｆ１，Ｆ２を可変して被検査対象１８の画像
取得位置を可変することで、被検査対象１８のピン先端
位置ｐ１を基準にした画像と被検査対象１８のフィレッ
ト位置ｐ２を基準にした画像とが個別に取得され、その
画像処理がステップＰ４で第１の画像取得処理に基づい
て被検査対象１８のピン先端位置ｐ１のパターン認識や
ステップＰ８の第２の画像取得処理に基づいて被検査対
象１８のフィレット位置ｐ２のパターン認識が行われ
る。

【０１１２】このため、本発明の第１の実施例と同様に
被検査対象１８に係わり、従来例のような半田上がり状
態を伴う場合であっても、照明光による全反射による影
響を受けることなく、そのパターン検査を正確に行うこ
とが可能となる。なお、本発明の第１の実施例に比べ
て、第２の画像取得システム21Ｂ，すなわち、フィレッ
ト用カメラ215 ，Ａ／Ｄ変換回路216 ，二値化変換回路
217 及びフレームメモリ218 等の画像取得系を省略する
ことが可能となる。

【０１１３】これにより、従来例に比べて設備の増加を
極力抑えつつ、第１の実施例と同様にパターン検査精度
の向上を図ることが可能となる。

【０１１４】

【発明の効果】以上説明したように、本発明の第１のパ
ターン検査装置によれば、第１，第２の画像取得手段，
第１，第２のパターン認識手段及び判定出力手段が具備
される。

【０１１５】このため、被検査対象の第１の目標位置を
基準にした画像と被検査対象の第２の目標位置を基準に
した画像とが第１，第２の画像取得手段により個別に取
得され、その画像処理が行われることから、被検査対象
に係わり、従来例のような半田上がり状態を伴う場合で
あっても、判定不能の検査パターンの発生が極力抑制さ
れ、誤判断による検査エラーを極力低減することが可能
となる。

【０１１６】また、本発明の第２のパターン検査装置に
よれば、画像取得手段，第１，第２のパターン認識手
段，焦点位置変更手段，判定出力手段が具備される。こ
のため、被検査対象の第１の目標位置を基準にした画像
と被検査対象の第２の目標位置を基準にした画像とが画
像取得手段の焦点を可変することにより個別に取得さ
れ、その画像処理が本発明の第１のパターン検査装置と
同様に行われる。このことから、本発明の第１のパター
ン検査装置と同様に再検査に係る無駄な時間を費やすこ
とも無くなり、当該検査装置の信頼性の向上を図ること
が可能となる。

【０１１７】さらに、本発明の第１のパターン検査方法
によれば、被検査対象の第１の目標位置を基準にした画
像を取得する第１の画像取得処理と、被検査対象の第２
の目標位置を基準にした画像を取得する第２の画像取得
処理とをしている。

【０１１８】このため、被検査対象の両位置に係る画像
が個別に取得され、これに基づいて被検査対象の第１，
第２の目標位置のパターン認識が行われる。このことか
ら、従来例のような被検査対象の画像を取得する目標位
置が高さ方向に二以上を含む場合であっても、該識別処
理に基づいて従来例のように被検査対象の一部が基準領
域内にあるのにも係わらずそれが無しと判断されること
も無くなる。

【０１１９】また、被検査対象のある高さで確認をすべ
き部品の一部の有無，その曲がりの検査やその平面上の
高さにおける形状の検査を正確に行うことが可能とな
る。さらに、本発明の第２のパターン検査方法によれ
ば、第１，第２の画像取得処理に先立ち画像取得位置の
可変処理をしている。

【０１２０】このため、本発明の第１のパターン検査方
法と同様に被検査対象に係わり、従来例のように被検査
対象の画像を取得する目標位置が高さ方向に二以上を含
む場合であっても、照明光による全反射による影響を受
けることなく、そのパターン検査を正確に行うことが可
能となる。なお、本発明の第１のパターン検査方法に比
べて、画像取得系を省略することが可能となる。

【０１２１】これにより、パターン検査精度の向上と、
高信頼度のＩＯピン外観検査装置等の提供とに寄与する
ところが大きい。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に係るパターン検査装置の原理図であ
る。

【図２】本発明に係るパターン検査方法の原理図であ
る。

【図３】本発明の第１の実施例に係るＩＯピン外観検査
装置の構成図である。

【図４】本発明の第１の実施例に係るＩＯピン外観検査
のフローチャートである。

【図５】本発明の各実施例に係るＩＯピン外観検査方法
の補足説明図（その１）である。

【図６】本発明の各実施例に係るＩＯピン外観検査方法
の補足説明図（その２）である。

【図７】本発明の第２の実施例に係るＩＯピン外観検査
装置の構成図である。

【図８】本発明の第２の実施例に係るＩＯピン外観検査
のフローチャートである。

【図９】従来例に係るＩＯピン外観検査装置の構成図で
ある。

【図10】従来例に係る問題点を説明する断面図及び取得
画像図である。

【符号の説明】

11Ａ，11Ｂ…第１，第２の画像取得手段、 12Ａ，12Ｂ，15Ａ，15Ｂ…第１，第２のパターン認識手
段、 １３，１７…判定出力手段、 １４…画像取得手段、 １６…倍率変更手段、 Ｄ１，Ｄ２…第１，第２の画像取得データ、 ＤＲ…基準データ、 Ｓ…焦点可変信号、 ｐ１，ｐ２…第１，第２の目標位置、 Ｆ１，Ｆ２…第１，第２の焦点距離、 ｈ１，ｈ２…第１，第２の高さ。

Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 被検査対象（１８）の第１の目標位置
   （ｐ１）を基準にした画像を取得して第１の画像取得デ
   ータ（Ｄ１）を出力する第１の画像取得手段（11Ａ）
   と、前記被検査対象（１８）の第２の目標位置（ｐ２）
   を基準にした画像を取得して第２の画像取得データ（Ｄ
   ２）を出力する第２の画像取得手段（11Ｂ）と、前記第
   １の画像取得データ（Ｄ１）に基づいて被検査対象（１
   ８）の第１の目標位置（ｐ１）に係るパターンを識別す
   る第１のパターン認識手段（12Ａ）と、前記第２の画像
   取得データ（Ｄ１）に基づいて被検査対象（１８）の第
   ２の目標位置（ｐ２）に係るパターンを識別する第２の
   パターン認識手段（12Ｂ）と、前記パターン認識結果と
   基準データ（ＤＲ）とに基づいて被検査対象（１８）の
   結果判定をする判定出力手段（１３）とを具備すること
   を特徴とするパターン検査装置。
2. 【請求項２】 被検査対象（１８）の画像取得位置を可
   変して画像を取得し、該被検査対象（１８）の第１，第
   ２の画像取得データ（Ｄ１，Ｄ２）を出力する画像取得
   手段（１４）と、前記第１の画像取得データ（Ｄ１）に
   基づいて被検査対象（１８）の第１の目標位置（ｐ１）
   に係るパターンを識別する第１のパターン認識手段（15
   Ａ）と、前記第２の画像取得データ（Ｄ２）に基づいて
   被検査対象（１８）の第２の目標位置（ｐ２）に係るパ
   ターンを識別する第２のパターン認識手段（15Ｂ）と、
   前記第１の目標位置（ｐ１）又は第２の目標位置（ｐ
   ２）のパターン認識に基づいて焦点可変信号（Ｓ）を出
   力する焦点位置変更手段（１６）と、前記パターン認識
   結果と基準データ（ＤＲ）とに基づいて被検査対象（１
   ８）の結果判定をする判定出力手段（１７）とを具備す
   ることを特徴とするパターン検査装置。
3. 【請求項３】 画像を取得する目標位置（ｐ１，ｐ２）
   が高さ方向に二以上を含む被検査対象（１８）のパター
   ン検査をする方法であって、前記被検査対象（１８）の
   第１の目標位置（ｐ１）を基準にした画像を取得する第
   １の画像取得処理と、前記被検査対象（１８）の第２の
   目標位置（ｐ２）を基準にした画像を取得する第２の画
   像取得処理とをし、前記第１，第２の画像取得処理に基
   づいて被検査対象（１８）の第１，第２の目標位置（ｐ
   １，ｐ２）に係るパターンの識別処理をし、前記識別処
   理に基づいて被検査対象（１８）の結果判定処理をする
   ことを特徴とするパターン検査方法。
4. 【請求項４】 請求項４記載のパターン検査方法におい
   て、前記第１，第２の画像取得処理に先立ち画像取得位
   置の可変処理をすることを特徴とするパターン検査方
   法。