JPH05200370A - 超音波洗浄装置 - Google Patents
超音波洗浄装置Info
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- JPH05200370A JPH05200370A JP4014102A JP1410292A JPH05200370A JP H05200370 A JPH05200370 A JP H05200370A JP 4014102 A JP4014102 A JP 4014102A JP 1410292 A JP1410292 A JP 1410292A JP H05200370 A JPH05200370 A JP H05200370A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 高さ方向に小型化が容易であり、かつ特殊な
レンズ状部材を必要とせず、洗浄効率の高い超音波洗浄
装置を提供する。 【構成】 超音波振動子５から発射された超音波は、反
射板８によって超音波振動子側に反射された後、再び超
音波振動子によって反射板側に反射される。超音波はこ
のように超音波振動子と反射板との間で反射を繰り返し
て、洗浄液噴出口３に集束し、噴出する洗浄液と協働し
て洗浄液噴出口下の被洗浄物に対する洗浄能力を著しく
高める。
レンズ状部材を必要とせず、洗浄効率の高い超音波洗浄
装置を提供する。 【構成】 超音波振動子５から発射された超音波は、反
射板８によって超音波振動子側に反射された後、再び超
音波振動子によって反射板側に反射される。超音波はこ
のように超音波振動子と反射板との間で反射を繰り返し
て、洗浄液噴出口３に集束し、噴出する洗浄液と協働し
て洗浄液噴出口下の被洗浄物に対する洗浄能力を著しく
高める。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は集束増強した超音波を洗
浄液とともに噴出させ、被洗浄物を超音波洗浄する超音
波洗浄装置に関する。
浄液とともに噴出させ、被洗浄物を超音波洗浄する超音
波洗浄装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、この種の超音波洗浄装置として
は、特開昭６２−１５９８００号公報（以降、第１従来
例と記す）および特開昭６４−９００７８号公報（以
降、第２従来例と記す）に記載のものがある。
は、特開昭６２−１５９８００号公報（以降、第１従来
例と記す）および特開昭６４−９００７８号公報（以
降、第２従来例と記す）に記載のものがある。
【０００３】図５（ａ），（ｂ）は第１従来例の一実施
例を示す構成図である。
例を示す構成図である。
【０００４】洗浄液が洗浄液供給口５２からケース５１
（一般にステンレス製）に充満され、かつ底部の洗浄液
噴出口５３から噴出される。ケース５１の上面には超音
波発振器５６に駆動される超音波振動子５５が配置され
ている。超音波振動子５５から発射された超音波ＵＲＳ
はダイレクトに洗浄液噴出口５３から出射されるととも
に、ケース５１の斜めの側壁で反射されたものも洗浄液
噴出口５３から出射される。洗浄液噴出口５３から出射
された超音波ＵＲＳは、洗浄液噴出口５３に間隔をおい
て対面配置されている被洗浄物５７上に噴出される洗浄
液の洗浄効率を高める。
（一般にステンレス製）に充満され、かつ底部の洗浄液
噴出口５３から噴出される。ケース５１の上面には超音
波発振器５６に駆動される超音波振動子５５が配置され
ている。超音波振動子５５から発射された超音波ＵＲＳ
はダイレクトに洗浄液噴出口５３から出射されるととも
に、ケース５１の斜めの側壁で反射されたものも洗浄液
噴出口５３から出射される。洗浄液噴出口５３から出射
された超音波ＵＲＳは、洗浄液噴出口５３に間隔をおい
て対面配置されている被洗浄物５７上に噴出される洗浄
液の洗浄効率を高める。
【０００５】図６は第２従来例を示す構成図である。洗
浄液を洗浄液供給口６２からケース６１内に供給し、洗
浄液噴出口６３から被洗浄物６７上に噴出するのは第１
従来例と同じである。一方、超音波発振器（不図示）に
より駆動された超音波振動子６６から発射された超音波
は、レンズ状部材６４により洗浄液噴出口６３に集束さ
れ出射される。
浄液を洗浄液供給口６２からケース６１内に供給し、洗
浄液噴出口６３から被洗浄物６７上に噴出するのは第１
従来例と同じである。一方、超音波発振器（不図示）に
より駆動された超音波振動子６６から発射された超音波
は、レンズ状部材６４により洗浄液噴出口６３に集束さ
れ出射される。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】上述した超音波洗浄装
置の第１従来例は、側壁で超音波を反射させるため原理
的に縦方向に長くなってしまい、高さＨ方向に大型にな
ってしまう。かつ、先細構造による液流の反流により噴
出効率が上がらない。
置の第１従来例は、側壁で超音波を反射させるため原理
的に縦方向に長くなってしまい、高さＨ方向に大型にな
ってしまう。かつ、先細構造による液流の反流により噴
出効率が上がらない。
【０００７】また、第２従来例では特殊な形状、材質の
レンズ状部材を用いなければならず加工が容易でなく製
品コストが高くなる。
レンズ状部材を用いなければならず加工が容易でなく製
品コストが高くなる。
【０００８】本発明は上記欠点に鑑み、高さ方向に小型
化が容易であり、かつ特殊なレンズ状部材も必要とせ
ず、エネルギ効率の高い超音波洗浄装置を提供すること
を目的とする。
化が容易であり、かつ特殊なレンズ状部材も必要とせ
ず、エネルギ効率の高い超音波洗浄装置を提供すること
を目的とする。
【０００９】
【課題を解決するための手段】本発明の超音波洗浄装置
は、洗浄液供給口から供給される洗浄液で内部を充満さ
せ、充満させた洗浄液の残余を洗浄液噴出口から噴出さ
せるケースと、ケースの洗浄液噴出口に対向する面に配
置され、洗浄液噴出口に向けてケース内に超音波を送出
する超音波振動子を含む超音波発生装置とからなる超音
波洗浄装置であって、前記洗浄液噴出口側に、前記超音
波振動子の平面に対し、洗浄液噴出口に近づくにつれて
わずかに広がるように若干傾斜して配置され、前記超音
波を前記超音波振動子に向けて反射する反射板を有す
る。
は、洗浄液供給口から供給される洗浄液で内部を充満さ
せ、充満させた洗浄液の残余を洗浄液噴出口から噴出さ
せるケースと、ケースの洗浄液噴出口に対向する面に配
置され、洗浄液噴出口に向けてケース内に超音波を送出
する超音波振動子を含む超音波発生装置とからなる超音
波洗浄装置であって、前記洗浄液噴出口側に、前記超音
波振動子の平面に対し、洗浄液噴出口に近づくにつれて
わずかに広がるように若干傾斜して配置され、前記超音
波を前記超音波振動子に向けて反射する反射板を有す
る。
【００１０】また、前記ケースの底面が前記反射板とな
っているのが好ましく、前記ケースにオーバフロー排出
口を設け、前記洗浄液供給口から供給された洗浄液で前
記ケース内部を充満させるとともに、充満させた洗浄液
の残余をオーバフロー排出口から排出させつつ、洗浄液
噴出口から噴出させるのも好ましい。
っているのが好ましく、前記ケースにオーバフロー排出
口を設け、前記洗浄液供給口から供給された洗浄液で前
記ケース内部を充満させるとともに、充満させた洗浄液
の残余をオーバフロー排出口から排出させつつ、洗浄液
噴出口から噴出させるのも好ましい。
【００１１】また、前記反射板が洗浄液噴出口を挟んで
対称的に設けられ、前記超音波発生装置の超音波振動子
は、対称的に設けられた反射板上に跨るように配置され
ているのが好ましい。
対称的に設けられ、前記超音波発生装置の超音波振動子
は、対称的に設けられた反射板上に跨るように配置され
ているのが好ましい。
【００１２】さらに、前記超音波振動子はケースの底面
に設けられ、前記反射板は前記ケース内で前記超音波振
動子に対向するように配置されるのも好ましい。
に設けられ、前記反射板は前記ケース内で前記超音波振
動子に対向するように配置されるのも好ましい。
【００１３】
【作用】超音波振動子から発射された超音波は、反射板
によって超音波振動子側に反射された後、再び超音波振
動子によって反射板側に反射される。超音波はこのよう
にケースに配置された超音波振動子と反射板との間で反
射を繰り返して、最終的に洗浄液噴出口に集束し、噴出
する洗浄液と協働して洗浄液噴出口下の被洗浄物に対す
る洗浄能力を著しく高める。
によって超音波振動子側に反射された後、再び超音波振
動子によって反射板側に反射される。超音波はこのよう
にケースに配置された超音波振動子と反射板との間で反
射を繰り返して、最終的に洗浄液噴出口に集束し、噴出
する洗浄液と協働して洗浄液噴出口下の被洗浄物に対す
る洗浄能力を著しく高める。
【００１４】
【実施例】次に、本発明の実施例について図面を参照し
て説明する。
て説明する。
【００１５】図１は本発明の超音波洗浄装置の第１の実
施例を示す構成図である。ケース１の底面外側には超音
波振動子５が固定されており、左側面の洗浄液供給口２
からは洗浄液がケース１内に充満するように供給され、
洗浄液噴出口３から噴出されている。反射板８は超音波
振動子５と対向するようにケース１内に配置されている
が、超音波振動子５の面と反射板８とは、洗浄液噴出口
３に近づくにつれて若干離れるように配置されている。
（その傾斜角θは１度から１０度がよく、ケース１のサ
イズにもよるがθ≠０で小さい方がよかった。）超音波
振動子５は、配線等を含めてカバー９によって覆われ、
保護されている。
施例を示す構成図である。ケース１の底面外側には超音
波振動子５が固定されており、左側面の洗浄液供給口２
からは洗浄液がケース１内に充満するように供給され、
洗浄液噴出口３から噴出されている。反射板８は超音波
振動子５と対向するようにケース１内に配置されている
が、超音波振動子５の面と反射板８とは、洗浄液噴出口
３に近づくにつれて若干離れるように配置されている。
（その傾斜角θは１度から１０度がよく、ケース１のサ
イズにもよるがθ≠０で小さい方がよかった。）超音波
振動子５は、配線等を含めてカバー９によって覆われ、
保護されている。
【００１６】本実施例では、超音波振動子５が底面に取
り付けられているので、ケース１内に充満される洗浄液
が少々不足しても超音波振動子５が加熱すること（一般
に空焚き運転という）がない利点がある。
り付けられているので、ケース１内に充満される洗浄液
が少々不足しても超音波振動子５が加熱すること（一般
に空焚き運転という）がない利点がある。
【００１７】次に本実施例の動作について説明する。洗
浄液が洗浄液供給口２からケース１内を充満し洗浄液噴
出口３から噴出するように供給される。超音波振動子５
は超音波信号（例えば、９５０ＫＨｚ）により駆動さ
れ、振動板１１1を介して超音波を反射板８に向って発
射し、反射板８はこれを超音波振動子５に向けて反射
し、振動板１1 に取り付けられた超音波振動子５がさら
にこれを反射する。しかし、振動板１1 に取り付けられ
た超音波振動子５の面と反射板８とは平行でなく、洗浄
液噴出口３に向ってわずかに広がっているので、超音波
振動子５（振動板１ 1）と反射板８との間で反射を繰り
返した超音波は最終的に洗浄液噴出口３に集束する。集
束した超音波は、洗浄液噴出口３から洗浄液に重畳して
被洗浄物（不図示）上に噴出され洗浄効率を著しく高め
る。
浄液が洗浄液供給口２からケース１内を充満し洗浄液噴
出口３から噴出するように供給される。超音波振動子５
は超音波信号（例えば、９５０ＫＨｚ）により駆動さ
れ、振動板１１1を介して超音波を反射板８に向って発
射し、反射板８はこれを超音波振動子５に向けて反射
し、振動板１1 に取り付けられた超音波振動子５がさら
にこれを反射する。しかし、振動板１1 に取り付けられ
た超音波振動子５の面と反射板８とは平行でなく、洗浄
液噴出口３に向ってわずかに広がっているので、超音波
振動子５（振動板１ 1）と反射板８との間で反射を繰り
返した超音波は最終的に洗浄液噴出口３に集束する。集
束した超音波は、洗浄液噴出口３から洗浄液に重畳して
被洗浄物（不図示）上に噴出され洗浄効率を著しく高め
る。
【００１８】図２は本発明の第２の実施例を示す構成図
である。洗浄液は、洗浄液供給口１２からケース１１の
上面である振動板１１1 に接する以上に供給され、洗浄
液噴出口１３より被洗浄物１７上に噴出される（本実施
例では、被洗浄物１７は洗浄液噴出口１３の下を一定の
速度で通過する）。超音波振動子１５はケース１１の上
面である振動板１１1 に接着等の固着手段によって固定
され、超音波発振器１６によって駆動される。反射板１
８は洗浄液噴出口１３を挟んで２枚ケース１１の底面上
に固定されている。
である。洗浄液は、洗浄液供給口１２からケース１１の
上面である振動板１１1 に接する以上に供給され、洗浄
液噴出口１３より被洗浄物１７上に噴出される（本実施
例では、被洗浄物１７は洗浄液噴出口１３の下を一定の
速度で通過する）。超音波振動子１５はケース１１の上
面である振動板１１1 に接着等の固着手段によって固定
され、超音波発振器１６によって駆動される。反射板１
８は洗浄液噴出口１３を挟んで２枚ケース１１の底面上
に固定されている。
【００１９】したがって、超音波振動子１５と２枚の反
射板１８（ケース１１の底面と反射板１８との間隙１９
は、反射率を高めるために空気等が満たされる構造とな
っている。）との間で反射を繰り返した超音波は、洗浄
液噴出口１３に集束し強い超音波となって、洗浄液に重
畳して噴出し、洗浄力を著しく高める。
射板１８（ケース１１の底面と反射板１８との間隙１９
は、反射率を高めるために空気等が満たされる構造とな
っている。）との間で反射を繰り返した超音波は、洗浄
液噴出口１３に集束し強い超音波となって、洗浄液に重
畳して噴出し、洗浄力を著しく高める。
【００２０】図３は本発明の第３の実施例を示す構成図
である。本実施例は図２の実施例とことなり、ケース２
１の底面が反射板の役目を有するように、超音波振動子
１５の面に対し傾斜θを有している（０＜θ＜１０
°）。また、洗浄液供給口１２に対面する側面は、水位
が振動板１１1 より上にくるオーバフロー排出口１４が
設けられている。したがって、洗浄液供給口１２から供
給された洗浄液は、少なくとも振動板１１1 下を充満す
るとともに、洗浄液噴出口１３から被洗浄物１３上に噴
出され、残余はオーバフロー排出口１４から排出され
る。
である。本実施例は図２の実施例とことなり、ケース２
１の底面が反射板の役目を有するように、超音波振動子
１５の面に対し傾斜θを有している（０＜θ＜１０
°）。また、洗浄液供給口１２に対面する側面は、水位
が振動板１１1 より上にくるオーバフロー排出口１４が
設けられている。したがって、洗浄液供給口１２から供
給された洗浄液は、少なくとも振動板１１1 下を充満す
るとともに、洗浄液噴出口１３から被洗浄物１３上に噴
出され、残余はオーバフロー排出口１４から排出され
る。
【００２１】次に図３の実施例のケース１をより具体化
したケース１０１について図４を参照して説明する。図
４（ａ），（ｂ），（ｃ）はケース１０１を示すそれぞ
れ平面図、正面図、側面図である。（ ）内の数字は寸
法を表し、単位はｍｍである。ケース１０１はステンレ
スからなり、底面に設けられた噴出口はスリット状（１
７０ｍｍ×２ｍｍ）にされている。洗浄液は流入口１０
２が流入し、流出口１０４を介してオーバフロー排出口
が排出されているとともに、噴出口１０３から噴出され
る。超音波振動子１０５はサイズ１６５ｍｍ×３５ｍｍ
でコネクタを介して印加される超音波信号（９５０ＫＨ
ｚ）によって駆動される。本具体例により実験したとこ
ろ洗浄能力は著しく向上した。
したケース１０１について図４を参照して説明する。図
４（ａ），（ｂ），（ｃ）はケース１０１を示すそれぞ
れ平面図、正面図、側面図である。（ ）内の数字は寸
法を表し、単位はｍｍである。ケース１０１はステンレ
スからなり、底面に設けられた噴出口はスリット状（１
７０ｍｍ×２ｍｍ）にされている。洗浄液は流入口１０
２が流入し、流出口１０４を介してオーバフロー排出口
が排出されているとともに、噴出口１０３から噴出され
る。超音波振動子１０５はサイズ１６５ｍｍ×３５ｍｍ
でコネクタを介して印加される超音波信号（９５０ＫＨ
ｚ）によって駆動される。本具体例により実験したとこ
ろ洗浄能力は著しく向上した。
【００２２】
【発明の効果】以上説明したように本発明は、超音波振
動子の振動子面と反射板とを洗浄液噴出口に向けてわず
かに広がるように配置したことにより、超音波振動子と
反射板との間で反射を繰り返した超音波は、洗浄液噴出
口に集束され、洗浄液と重畳して噴出し、噴出する洗浄
液の洗浄力を著しく高める効果がある。
動子の振動子面と反射板とを洗浄液噴出口に向けてわず
かに広がるように配置したことにより、超音波振動子と
反射板との間で反射を繰り返した超音波は、洗浄液噴出
口に集束され、洗浄液と重畳して噴出し、噴出する洗浄
液の洗浄力を著しく高める効果がある。
【図１】本発明の超音波洗浄装置の第１の実施例を示す
構成図である。
構成図である。
【図２】本発明の超音波洗浄装置の第２の実施例を示す
構成図である。
構成図である。
【図３】本発明の超音波洗浄装置の第３の実施例を示す
構成図である。
構成図である。
【図４】（ａ），（ｂ），（ｃ）は図３の実施例のケー
スをより具体化した構造を示すそれぞれ平面図、正面
図、側面図である。
スをより具体化した構造を示すそれぞれ平面図、正面
図、側面図である。
【図５】（ａ），（ｂ）は従来例を示す構成図である。
【図６】他の従来例を示す構成図である。
１，１１，２１ ケース １1 振動板 ２，１２ 洗浄液供給口 ３，１３ 洗浄液噴出口 ５，１５ 超音波振動子 ８，１８ 反射板 １４ オーバフロー排出口 １６ 超音波発振器 １７ 被洗浄物
─────────────────────────────────────────────────────
【手続補正書】
【提出日】平成４年６月２４日
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正内容】
【特許請求の範囲】
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１９
【補正方法】変更
【補正内容】
【００１９】したがって、超音波振動子１５と２枚の反
射板１８（ケース１１の底面と反射板１８との間隙１９
は、反射率を高めるために空気等が満たされる構造とな
っている。）との間で反射を繰り返した超音波は、洗浄
液噴出口１３に集束し強い超音波となって、洗浄液に重
畳して噴出し、洗浄力を著しく高める。本実施例におい
て、振動板１１1は超音波振動子１５が接着されている
部位の周囲で折り曲げられた金属板となっている。従
来、振動板は平らな金属板であって、超音波振動子を接
着後、他の部材を介して固定個所に取り付けられている
が、振動板が平らであるため振動子の接着剤の固化のた
めに高温を加えると振動板が変形する場合があったが、
本実施例では変形が発生しなかった。
射板１８（ケース１１の底面と反射板１８との間隙１９
は、反射率を高めるために空気等が満たされる構造とな
っている。）との間で反射を繰り返した超音波は、洗浄
液噴出口１３に集束し強い超音波となって、洗浄液に重
畳して噴出し、洗浄力を著しく高める。本実施例におい
て、振動板１１1は超音波振動子１５が接着されている
部位の周囲で折り曲げられた金属板となっている。従
来、振動板は平らな金属板であって、超音波振動子を接
着後、他の部材を介して固定個所に取り付けられている
が、振動板が平らであるため振動子の接着剤の固化のた
めに高温を加えると振動板が変形する場合があったが、
本実施例では変形が発生しなかった。
Claims (5)
- 【請求項１】 洗浄液供給口から供給される洗浄液で内
部を充満させ、充満させた洗浄液の残余を洗浄液噴出口
から噴出させるケースと、ケースの洗浄液噴出口に対向
する面に配置され、洗浄液噴出口に向けてケース内に超
音波を送出する超音波振動子を含む超音波発生装置とか
らなる超音波洗浄装置において、 前記洗浄液噴出口側に、前記超音波振動子の平面に対
し、洗浄液噴出口に近づくにつれてわずかに広がるよう
に若干傾斜して配置され、前記超音波振動子からの超音
波を前記超音波振動子に向けて反射する反射板を有する
ことを特徴とする超音波洗浄装置。 - 【請求項２】 前記ケースの底面が前記反射板となって
いる請求項１記載の超音波洗浄装置。 - 【請求項３】 前記ケースにオーバフロー排出口を設
け、前記洗浄液供給口から供給された洗浄液で前記ケー
ス内部を充満させるとともに、充満させた洗浄液の残余
をオーバフロー排出口から排出させつつ、洗浄液噴出口
から噴出させる請求項１または２記載の超音波洗浄装
置。 - 【請求項４】 前記反射板が洗浄液噴出口を挟んで対称
的に設けられ、前記超音波発生装置の超音波振動子は、
対称的に設けられた反射板上に跨るように配置された請
求項１ないし請求項３のいずれか１項記載の超音波洗浄
装置。 - 【請求項５】 前記超音波振動子はケースの底面に設け
られ、前記反射板は前記ケース内で前記超音波振動子に
対向するように配置された請求項１記載の超音波洗浄装
置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4014102A JP2989707B2 (ja) | 1992-01-29 | 1992-01-29 | 超音波洗浄装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4014102A JP2989707B2 (ja) | 1992-01-29 | 1992-01-29 | 超音波洗浄装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05200370A true JPH05200370A (ja) | 1993-08-10 |
| JP2989707B2 JP2989707B2 (ja) | 1999-12-13 |
Family
ID=11851761
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4014102A Expired - Lifetime JP2989707B2 (ja) | 1992-01-29 | 1992-01-29 | 超音波洗浄装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2989707B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6241162B1 (en) | 1999-06-23 | 2001-06-05 | Kaijo Corporation | Ultrasonic shower cleaning apparatus |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6458389A (en) * | 1987-08-28 | 1989-03-06 | Hitachi Ltd | Ultrasonic cleaner |
| JPH03254877A (ja) * | 1990-03-01 | 1991-11-13 | Shimada Phys & Chem Ind Co Ltd | 超音波洗浄機 |
| JP3009901U (ja) * | 1994-10-06 | 1995-04-18 | 株式会社フカガワ | とも板フランジダクト間の締付け止め金具 |
-
1992
- 1992-01-29 JP JP4014102A patent/JP2989707B2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6458389A (en) * | 1987-08-28 | 1989-03-06 | Hitachi Ltd | Ultrasonic cleaner |
| JPH03254877A (ja) * | 1990-03-01 | 1991-11-13 | Shimada Phys & Chem Ind Co Ltd | 超音波洗浄機 |
| JP3009901U (ja) * | 1994-10-06 | 1995-04-18 | 株式会社フカガワ | とも板フランジダクト間の締付け止め金具 |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6241162B1 (en) | 1999-06-23 | 2001-06-05 | Kaijo Corporation | Ultrasonic shower cleaning apparatus |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2989707B2 (ja) | 1999-12-13 |
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