JPH05196162A - 圧電式弁 - Google Patents
圧電式弁Info
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- JPH05196162A JPH05196162A JP4259693A JP25969392A JPH05196162A JP H05196162 A JPH05196162 A JP H05196162A JP 4259693 A JP4259693 A JP 4259693A JP 25969392 A JP25969392 A JP 25969392A JP H05196162 A JPH05196162 A JP H05196162A
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- 238000007789 sealing Methods 0.000 claims abstract description 25
- 238000000151 deposition Methods 0.000 claims description 14
- 230000007547 defect Effects 0.000 abstract 1
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- 238000010276 construction Methods 0.000 description 3
- 230000006735 deficit Effects 0.000 description 1
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 1
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- 230000001105 regulatory effect Effects 0.000 description 1
Classifications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16K—VALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
- F16K31/00—Actuating devices; Operating means; Releasing devices
- F16K31/004—Actuating devices; Operating means; Releasing devices actuated by piezoelectric means
- F16K31/005—Piezoelectric benders
- F16K31/006—Piezoelectric benders having a free end
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F15—FLUID-PRESSURE ACTUATORS; HYDRAULICS OR PNEUMATICS IN GENERAL
- F15B—SYSTEMS ACTING BY MEANS OF FLUIDS IN GENERAL; FLUID-PRESSURE ACTUATORS, e.g. SERVOMOTORS; DETAILS OF FLUID-PRESSURE SYSTEMS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- F15B5/00—Transducers converting variations of physical quantities, e.g. expressed by variations in positions of members, into fluid-pressure variations or vice versa; Varying fluid pressure as a function of variations of a plurality of fluid pressures or variations of other quantities
- F15B5/003—Transducers converting variations of physical quantities, e.g. expressed by variations in positions of members, into fluid-pressure variations or vice versa; Varying fluid pressure as a function of variations of a plurality of fluid pressures or variations of other quantities characterised by variation of the pressure in a nozzle or the like, e.g. nozzle-flapper system
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F15—FLUID-PRESSURE ACTUATORS; HYDRAULICS OR PNEUMATICS IN GENERAL
- F15C—FLUID-CIRCUIT ELEMENTS PREDOMINANTLY USED FOR COMPUTING OR CONTROL PURPOSES
- F15C3/00—Circuit elements having moving parts
- F15C3/10—Circuit elements having moving parts using nozzles or jet pipes
- F15C3/14—Circuit elements having moving parts using nozzles or jet pipes the jet the nozzle being intercepted by a flap
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- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
- Y10T137/00—Fluid handling
- Y10T137/8593—Systems
- Y10T137/86493—Multi-way valve unit
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- Y10T137/86622—Motor-operated
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 長期間の電圧印加により曲げ部材が永久変形
してその機能を失うことがないようにする。 【構成】 制御可能な媒体接続部の座着部13のシール
可能な面は、第2の切換位置で作用する媒体圧に相応し
て生じる曲げ部材4のシール領域14の閉鎖力が弾性的
な対抗力に比して大きくなると共にこの対抗力と制御電
圧の印加時に作用する圧電的な戻し力との和に比して小
さくなるような大きで形成されている。 【効果】 上記構成により、第2の切換位置では媒体の
圧力が曲げ部材に作用してこれを座着部13へ密着させ
るため、第2の切換位置において圧電的な曲げ部材のシ
ール領域の保持に要する電圧負荷が省かれ若しくは著し
く軽減され、これにより、曲げ部材の永久変形ひいては
機能の障害を生じることなく、稼働温度が高い場合でも
両方の切換位置を任意に長時間維持することができる。
してその機能を失うことがないようにする。 【構成】 制御可能な媒体接続部の座着部13のシール
可能な面は、第2の切換位置で作用する媒体圧に相応し
て生じる曲げ部材4のシール領域14の閉鎖力が弾性的
な対抗力に比して大きくなると共にこの対抗力と制御電
圧の印加時に作用する圧電的な戻し力との和に比して小
さくなるような大きで形成されている。 【効果】 上記構成により、第2の切換位置では媒体の
圧力が曲げ部材に作用してこれを座着部13へ密着させ
るため、第2の切換位置において圧電的な曲げ部材のシ
ール領域の保持に要する電圧負荷が省かれ若しくは著し
く軽減され、これにより、曲げ部材の永久変形ひいては
機能の障害を生じることなく、稼働温度が高い場合でも
両方の切換位置を任意に長時間維持することができる。
Description
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は少なくとも1つの制御可
能な媒体接続部を備えたケーシングを有する圧電式弁で
あって、このケーシング内に圧電的な曲げ部材が配置さ
れており、この曲げ部材が、印加された制御電圧に相応
して弾性的な対抗力に逆らって運動可能なシール領域を
有しており、このシール領域が、制御電圧無印加時の第
1の切換位置で前記媒体接続部の座着部から持上がって
おり、制御電圧の作用下の第2の切換位置では、遮断す
べき媒体の圧力により助成されてシール作用下で前記座
着部に座着している形式のものに関する。
能な媒体接続部を備えたケーシングを有する圧電式弁で
あって、このケーシング内に圧電的な曲げ部材が配置さ
れており、この曲げ部材が、印加された制御電圧に相応
して弾性的な対抗力に逆らって運動可能なシール領域を
有しており、このシール領域が、制御電圧無印加時の第
1の切換位置で前記媒体接続部の座着部から持上がって
おり、制御電圧の作用下の第2の切換位置では、遮断す
べき媒体の圧力により助成されてシール作用下で前記座
着部に座着している形式のものに関する。
【0002】
【従来の技術】この種の弁は例えばDE−A1 340
0645号、EP−A1 191011号、EP−A1
46431号、DE−A1 2511752号又はD
E−U1 8607094.0号に基づき公知である。
これらすべての場合において、圧電的な曲げ部材は弁ケ
ーシング内で入口座着部と出口座着部との間で運動可能
であり、これにより、媒体出口が入口側又は出口側に接
続される。その場合必要なことは、出口座着部を遮断す
る切換位置で曲げ部材を電圧下で保持することである
が、このことの欠点とするところは、特に稼働温度増大
時に圧電的な曲げ部材が、圧電材料の特性に起因して、
長時間電圧により負荷されていると永久変形してしまう
ことにある。それゆえ、曲げ部材に電圧が印加されてい
る切換位置を、少なくとも室温からそれた稼働温度では
比較的短く保つことを考慮しなければならず、このこと
により、この種の弁若しくは信号変換器の使用分野が狭
まる。それというのは、電圧に負荷される時間中に曲げ
部材が著しく永久変形して電圧の排除後にもはや戻し切
換ができなくなってしまうことのないような考慮があら
ゆる場合に払われなければならないからである。
0645号、EP−A1 191011号、EP−A1
46431号、DE−A1 2511752号又はD
E−U1 8607094.0号に基づき公知である。
これらすべての場合において、圧電的な曲げ部材は弁ケ
ーシング内で入口座着部と出口座着部との間で運動可能
であり、これにより、媒体出口が入口側又は出口側に接
続される。その場合必要なことは、出口座着部を遮断す
る切換位置で曲げ部材を電圧下で保持することである
が、このことの欠点とするところは、特に稼働温度増大
時に圧電的な曲げ部材が、圧電材料の特性に起因して、
長時間電圧により負荷されていると永久変形してしまう
ことにある。それゆえ、曲げ部材に電圧が印加されてい
る切換位置を、少なくとも室温からそれた稼働温度では
比較的短く保つことを考慮しなければならず、このこと
により、この種の弁若しくは信号変換器の使用分野が狭
まる。それというのは、電圧に負荷される時間中に曲げ
部材が著しく永久変形して電圧の排除後にもはや戻し切
換ができなくなってしまうことのないような考慮があら
ゆる場合に払われなければならないからである。
【0003】
【発明の課題】本発明の課題は、前述の欠点を排除する
と共に、特に、稼働温度が高い場合でも曲げ部材の永久
変形の危険ひいては機能の障害を生じることなく、両方
の切換位置が任意に長時間維持できるようにこの種の弁
を形成することにある。
と共に、特に、稼働温度が高い場合でも曲げ部材の永久
変形の危険ひいては機能の障害を生じることなく、両方
の切換位置が任意に長時間維持できるようにこの種の弁
を形成することにある。
【0004】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決した本発
明の要旨は、制御可能な媒体接続部の座着部のシール可
能な面は、第2の切換位置で作用する媒体圧に相応して
生じる曲げ部材のシール領域の閉鎖力が前記弾性的な対
抗力に比して大きくなるようにかつこの対抗力と制御電
圧の印加時に作用する圧電的な戻し力との和に比して小
さくなるような大きさを有していることにある。
明の要旨は、制御可能な媒体接続部の座着部のシール可
能な面は、第2の切換位置で作用する媒体圧に相応して
生じる曲げ部材のシール領域の閉鎖力が前記弾性的な対
抗力に比して大きくなるようにかつこの対抗力と制御電
圧の印加時に作用する圧電的な戻し力との和に比して小
さくなるような大きさを有していることにある。
【0005】
【発明の効果】このように構成したことにより、遮断す
べき媒体の圧力が作用した場合には、この媒体の圧力が
曲げ部材の可動なシール領域へ作用するだけで、制御可
能な接続部のシールが実現される。遮断すべき媒体の圧
力が発生し、かつ短時間の電圧印加の後に圧電的な曲げ
部材により媒体接続部がシール作用下で閉鎖された場
合、圧電的な曲げ部材の電圧負荷をゼロに戻すか、又は
場合により安全の理由で曲げ部材の若干程度規定された
電圧負荷を維持する要求がある場合にはこの電圧負荷を
少なくとも大幅に軽減することができる。圧電的な曲げ
部材のシール領域を第2の切換位置に保持するのに必要
な電圧負荷の排除又は少なくとも著しい軽減により、稼
働温度が高い場合でもすでに述べたような圧電的な曲げ
部材の永久変形の危険が著しく軽減される。
べき媒体の圧力が作用した場合には、この媒体の圧力が
曲げ部材の可動なシール領域へ作用するだけで、制御可
能な接続部のシールが実現される。遮断すべき媒体の圧
力が発生し、かつ短時間の電圧印加の後に圧電的な曲げ
部材により媒体接続部がシール作用下で閉鎖された場
合、圧電的な曲げ部材の電圧負荷をゼロに戻すか、又は
場合により安全の理由で曲げ部材の若干程度規定された
電圧負荷を維持する要求がある場合にはこの電圧負荷を
少なくとも大幅に軽減することができる。圧電的な曲げ
部材のシール領域を第2の切換位置に保持するのに必要
な電圧負荷の排除又は少なくとも著しい軽減により、稼
働温度が高い場合でもすでに述べたような圧電的な曲げ
部材の永久変形の危険が著しく軽減される。
【0006】制御可能な媒体接続部の座着部を再び開放
する第1の切換位置へ圧電的な曲げ部材を戻し切換えす
るためには、普通に極をかえる電圧パルスを短時間だけ
圧電的な曲げ部材に印加すれば足りる。要するに、その
つど他方の切換位置への切換えのためにのみ両切換位置
で圧電的な曲げ部材に電圧を印加すれば足り、これによ
り、曲げ部材への給電及び絶縁等が簡単化されるばかり
でなく、比較的高い稼働温度での曲げ部材の永久変形に
伴う前述の問題が信頼性よく回避される。
する第1の切換位置へ圧電的な曲げ部材を戻し切換えす
るためには、普通に極をかえる電圧パルスを短時間だけ
圧電的な曲げ部材に印加すれば足りる。要するに、その
つど他方の切換位置への切換えのためにのみ両切換位置
で圧電的な曲げ部材に電圧を印加すれば足り、これによ
り、曲げ部材への給電及び絶縁等が簡単化されるばかり
でなく、比較的高い稼働温度での曲げ部材の永久変形に
伴う前述の問題が信頼性よく回避される。
【0007】本発明の特に有利な構成では、圧電式弁が
3ポート2位置弁として形成されており、ケーシング内
に媒体出口が設けられており、曲げ部材のシール領域が
第1の切換位置でケーシング内に設けた入口座着部にシ
ール作用下で予圧されており、かつ第2の切換位置では
この入口座着部から持上げられかつほぼこの入口座着部
に対向してケーシング内に配置された出口座着部に当接
しており、かつ、曲げ部材のシール領域によりシールさ
れる、出口座着部の面が、入口座着部の対応する面に比
して大きい。このような構成によれば、圧電式弁の双安
定的な切換挙動のための上述の条件を維持することがで
きると共に、電圧パルスの印加により曲げ部材が弾性的
な予圧を克服しつつ入口座着部から持上がって出口座着
部に密着するまでは、入口座着部を曲げ部材のシール領
域の弾性的な予圧下で閉じたままにすることができる。
このように出口座着部に密着した後、制御電圧が圧電的
な曲げ部材から再び排除され、次いで曲げ部材は遮断す
べき媒体により曲げ部材のシール領域へ作用する圧力に
よって閉鎖されたままとなる。
3ポート2位置弁として形成されており、ケーシング内
に媒体出口が設けられており、曲げ部材のシール領域が
第1の切換位置でケーシング内に設けた入口座着部にシ
ール作用下で予圧されており、かつ第2の切換位置では
この入口座着部から持上げられかつほぼこの入口座着部
に対向してケーシング内に配置された出口座着部に当接
しており、かつ、曲げ部材のシール領域によりシールさ
れる、出口座着部の面が、入口座着部の対応する面に比
して大きい。このような構成によれば、圧電式弁の双安
定的な切換挙動のための上述の条件を維持することがで
きると共に、電圧パルスの印加により曲げ部材が弾性的
な予圧を克服しつつ入口座着部から持上がって出口座着
部に密着するまでは、入口座着部を曲げ部材のシール領
域の弾性的な予圧下で閉じたままにすることができる。
このように出口座着部に密着した後、制御電圧が圧電的
な曲げ部材から再び排除され、次いで曲げ部材は遮断す
べき媒体により曲げ部材のシール領域へ作用する圧力に
よって閉鎖されたままとなる。
【0008】入口座着部を遮断する切換位置への戻し切
換えのためには、再び逆の電圧パルスを必要とするだけ
である。それというのは、出口座着部からの曲げ部材の
シール領域の持上がり後に圧力の助成が失われ、曲げ部
材の予圧が可動のシール領域を再び遮断すべき入口座着
部へ向けて運動させるからである。
換えのためには、再び逆の電圧パルスを必要とするだけ
である。それというのは、出口座着部からの曲げ部材の
シール領域の持上がり後に圧力の助成が失われ、曲げ部
材の予圧が可動のシール領域を再び遮断すべき入口座着
部へ向けて運動させるからである。
【0009】
【実施例】図示のエレクトロニューマチック式信号変換
器1は媒体出口若しくは信号出口2を有するケーシング
3を備えており、このケーシング内に圧電的な曲げ部材
4が配置されている。この曲げ部材4は図面でみて右側
の端面でばね5,6によりエッジ状の支持部7と接続接
点8とに締め付けられている。これにより、ほぼストリ
ップ状に形成された曲げ部材4の該当端面の固定がおこ
なわれている。
器1は媒体出口若しくは信号出口2を有するケーシング
3を備えており、このケーシング内に圧電的な曲げ部材
4が配置されている。この曲げ部材4は図面でみて右側
の端面でばね5,6によりエッジ状の支持部7と接続接
点8とに締め付けられている。これにより、ほぼストリ
ップ状に形成された曲げ部材4の該当端面の固定がおこ
なわれている。
【0010】サンドイッチ状にまとめ合わされた曲げ部
材4の両方の層10,11の互いに向き合って位置する
表面は導電被覆されており、この表面は接続接点8及接
続線9を介して図示しない電圧制御装置に接続されてお
り、この電圧接続装置を介して、曲げ部材4の機械的な
偏倚のために役立つ、適当な大きさ、継続時間、パルス
形状、極性などを有する電圧が印加される。
材4の両方の層10,11の互いに向き合って位置する
表面は導電被覆されており、この表面は接続接点8及接
続線9を介して図示しない電圧制御装置に接続されてお
り、この電圧接続装置を介して、曲げ部材4の機械的な
偏倚のために役立つ、適当な大きさ、継続時間、パルス
形状、極性などを有する電圧が印加される。
【0011】図1に示す無電圧時の曲げ部材4若しくは
接続接点8及び接続線9の位置では、曲げ部材4若しく
はその図面左側の端部の可動なシール領域14が、ケー
シング3内に配置された入口座着部12にシール作用下
で予圧されている。この場合、信号出口2は出口座着部
13に連通している。適当な電圧が接続接点8若しくは
接続線9を介して曲げ部材4に印加されると、この曲げ
部材4が逆圧電効果に相応して図2に示す位置へ偏倚す
る。その際、曲げ部材4若しくはその左側の端部のシー
ル領域14が入口座着部12から持ち上がり、出口座着
部13にシール下で密着する。
接続接点8及び接続線9の位置では、曲げ部材4若しく
はその図面左側の端部の可動なシール領域14が、ケー
シング3内に配置された入口座着部12にシール作用下
で予圧されている。この場合、信号出口2は出口座着部
13に連通している。適当な電圧が接続接点8若しくは
接続線9を介して曲げ部材4に印加されると、この曲げ
部材4が逆圧電効果に相応して図2に示す位置へ偏倚す
る。その際、曲げ部材4若しくはその左側の端部のシー
ル領域14が入口座着部12から持ち上がり、出口座着
部13にシール下で密着する。
【0012】図1及び図2で示す両方の切換位置が、層
10,11の圧電特性に基づく曲げ部材4の永久変形の
危険ひいては信号変換器1の機能の障害を生じることな
く、信号変換器の稼働温度の高い場合でも任意に長時間
維持されるようにするために、出口座着部13の流れ横
断面が入口座着部12の流れ横断面に比して大きく形成
されていると共に、出口座着部13のシール可能な面
は、第2の切換位置で作用する入口圧力に相応して生じ
る曲げ部材4のシール領域14の閉鎖力が曲げ部材4の
弾性的に生じる対抗力に比して大きく、かつこの対抗力
と制御電圧印加時に生じる圧電的な戻し力との和に比し
て小さくなるような大きさを有している。
10,11の圧電特性に基づく曲げ部材4の永久変形の
危険ひいては信号変換器1の機能の障害を生じることな
く、信号変換器の稼働温度の高い場合でも任意に長時間
維持されるようにするために、出口座着部13の流れ横
断面が入口座着部12の流れ横断面に比して大きく形成
されていると共に、出口座着部13のシール可能な面
は、第2の切換位置で作用する入口圧力に相応して生じ
る曲げ部材4のシール領域14の閉鎖力が曲げ部材4の
弾性的に生じる対抗力に比して大きく、かつこの対抗力
と制御電圧印加時に生じる圧電的な戻し力との和に比し
て小さくなるような大きさを有している。
【0013】この構成の利点とするところは、入口圧力
の作用する図2に示す切換位置の維持のためにもはや曲
げ部材の電圧負荷が不要となり、曲げ部材4は入口圧力
の作用によって出口座着部13に圧着されたままとなる
ことにある。曲げ部材4の適当な逆の電圧負荷の後に、
この曲げ部材4は再び図1に示す位置へ戻され、この位
置でも曲げ部材4はやはり電圧なしに保持される。
の作用する図2に示す切換位置の維持のためにもはや曲
げ部材の電圧負荷が不要となり、曲げ部材4は入口圧力
の作用によって出口座着部13に圧着されたままとなる
ことにある。曲げ部材4の適当な逆の電圧負荷の後に、
この曲げ部材4は再び図1に示す位置へ戻され、この位
置でも曲げ部材4はやはり電圧なしに保持される。
【0014】本発明によれば、図示はしないが曲げ部材
の構成、締付け、接触並びにケーシング、入口座着部へ
の入口導管若しくは出口座着部からの出口導管に関して
別の実施例が可能である。要点は一方の切換位置が曲げ
部材の適当な構成、配置若しくは機械的な応力又は予圧
により無電圧で維持され、他方の切換位置が、遮断すべ
き媒体の圧力若しくは入口の圧力の作用により又はこれ
によって助成されて極めて低い予圧で維持されることに
ある。さらに、弁若しくは変換器などの形式に無関係に
図示の3ポート2位置方向制御弁の代わりに、他の適当
な形状の弁若しくは弁構造をこのような形式で圧電的に
制御することができる。例えば、2方向弁では入口が常
時開いており、出口がすでに述べた構成に応じて圧電的
な曲げ部材によって制御されてもよい。曲げ部材が無電
圧の休止位置で出口座着部から持あがっていて、入口座
着部が開いたままとなっていてもよい。圧電的な曲げ部
材への制御電圧の印加時に再び出口座着部のすでに述べ
たシールが生じる。
の構成、締付け、接触並びにケーシング、入口座着部へ
の入口導管若しくは出口座着部からの出口導管に関して
別の実施例が可能である。要点は一方の切換位置が曲げ
部材の適当な構成、配置若しくは機械的な応力又は予圧
により無電圧で維持され、他方の切換位置が、遮断すべ
き媒体の圧力若しくは入口の圧力の作用により又はこれ
によって助成されて極めて低い予圧で維持されることに
ある。さらに、弁若しくは変換器などの形式に無関係に
図示の3ポート2位置方向制御弁の代わりに、他の適当
な形状の弁若しくは弁構造をこのような形式で圧電的に
制御することができる。例えば、2方向弁では入口が常
時開いており、出口がすでに述べた構成に応じて圧電的
な曲げ部材によって制御されてもよい。曲げ部材が無電
圧の休止位置で出口座着部から持あがっていて、入口座
着部が開いたままとなっていてもよい。圧電的な曲げ部
材への制御電圧の印加時に再び出口座着部のすでに述べ
たシールが生じる。
【図1】本発明の1実施例の一方の切換位置を示す断面
図である。
図である。
【図2】同実施例の他方の切換位置を示す断面図であ
る。
る。
1 信号変換器、 2 信号出口、 3 ケーシング、
4 曲げ部材、 5,6 ばね、 7 支持部、 8
接続接点、 9 接続線、 10,11 層、 12
入口座着部、 13 出口座着部、 14 シール
領域
4 曲げ部材、 5,6 ばね、 7 支持部、 8
接続接点、 9 接続線、 10,11 層、 12
入口座着部、 13 出口座着部、 14 シール
領域
Claims (2)
- 【請求項1】 少なくとも1つの制御可能な媒体接続部
を備えたケーシングを有する圧電式弁であって、このケ
ーシング内に圧電的な曲げ部材が配置されており、この
曲げ部材が、印加された制御電圧に相応して弾性的な対
抗力に逆らって運動可能なシール領域を有しており、こ
のシール領域が、制御電圧無印加時の第1の切換位置で
前記媒体接続部の座着部から持上がっており、制御電圧
の作用下の第2の切換位置では、遮断すべき媒体の圧力
により助成されてシール作用下で前記座着部に座着して
いる形式のものにおいて、制御可能な媒体接続部の座着
部(13)のシール可能な面は、第2の切換位置で作用す
る媒体圧に相応して生じる曲げ部材(4)のシール領域
(14)の閉鎖力が前記弾性的な対抗力に比して大きくな
ると共にこの対抗力と制御電圧の印加時に作用する圧電
的な戻し力との和に比して小さくなるような大きで形成
されていることを特徴とする圧電式弁。 - 【請求項2】 圧電式弁が3ポート2位置弁として形成
されており、ケーシングに媒体出口が設けられており、
曲げ部材のシール領域が第1の切換位置でケーシングに
設けた入口座着部にシール作用下で予圧されており、か
つ第2の切換位置ではこの入口座着部から持上げられて
ほぼこの入口座着部に対向してケーシングに設けられた
出口座着部に当接しており、かつ、曲げ部材(4)のシ
ール領域(14)によりシールされる、出口座着部(1
3)の面が、入口座着部(12)の対応する面に比して
大きい請求項1記載の圧電式弁。
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