JPS63145884A - 圧電式選択バルブおよびその駆動方法 - Google Patents
圧電式選択バルブおよびその駆動方法Info
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- JPS63145884A JPS63145884A JP28886186A JP28886186A JPS63145884A JP S63145884 A JPS63145884 A JP S63145884A JP 28886186 A JP28886186 A JP 28886186A JP 28886186 A JP28886186 A JP 28886186A JP S63145884 A JPS63145884 A JP S63145884A
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Landscapes
- Electrically Driven Valve-Operating Means (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、圧電たわみ素子の電圧印加によるたわみ変形
を利用した圧電式選択バルブおよびその駆動方法に関す
る。
を利用した圧電式選択バルブおよびその駆動方法に関す
る。
［従来の技術］
従来、流体回路、例えば空気圧回路において制御弁とし
て圧電体を用いたものが提案されている。
て圧電体を用いたものが提案されている。
例えば実開昭６０−７５７７５号公報および実開昭６０
−７５７７６号公報には、バイモルフ構造の圧電たわみ
素子を用いた圧電バルブが開示されている。
−７５７７６号公報には、バイモルフ構造の圧電たわみ
素子を用いた圧電バルブが開示されている。
［本発明が解決しようとする問題点コ
上記公報に開示されたバイモルフ構造の圧電たわみ素子
を利用した圧電バルブにおいては、圧電たわみ素子に電
圧を印加しない時に弁体が流体入口を閉じるようになっ
ている。そしてこの閉状態における弁体による流体入口
のシールを十分にするため、予め、圧電たわみ素子を強
制的に機械的にたわませ、弁体を流体入口におしつけた
状態としている。
を利用した圧電バルブにおいては、圧電たわみ素子に電
圧を印加しない時に弁体が流体入口を閉じるようになっ
ている。そしてこの閉状態における弁体による流体入口
のシールを十分にするため、予め、圧電たわみ素子を強
制的に機械的にたわませ、弁体を流体入口におしつけた
状態としている。
この様に、従来の圧電バルブにおいては圧電たわみ素子
に電圧を印加しない段階で既にかなりの弾性的変形がな
されており、流体入口の開状態を実現する際には圧電た
わみ素子に電圧を印加して圧電板を伸縮させ更に大きく
圧電たわみ素子を変形させることになる。
に電圧を印加しない段階で既にかなりの弾性的変形がな
されており、流体入口の開状態を実現する際には圧電た
わみ素子に電圧を印加して圧電板を伸縮させ更に大きく
圧電たわみ素子を変形させることになる。
圧電板としては、一般にセラミックスが使用されるが、
セラミックスは引張変形に対する強度が比較的弱いので
弾性たわみ変形により凸面とされた方の圧電板には機械
的なりリープ現象が発生し易く、このため長時間経過後
には弁体を流体入口に押圧する力が低下して十分なシー
ル状態を維持することができなくなるという問題点があ
った。
セラミックスは引張変形に対する強度が比較的弱いので
弾性たわみ変形により凸面とされた方の圧電板には機械
的なりリープ現象が発生し易く、このため長時間経過後
には弁体を流体入口に押圧する力が低下して十分なシー
ル状態を維持することができなくなるという問題点があ
った。
また、開示された圧電バルブは１種類のみの流体を制御
するもので、異なった種類の流体を選択して制御するも
のや、同じ流体を分配して制御するものは提案されてい
なかった。
するもので、異なった種類の流体を選択して制御するも
のや、同じ流体を分配して制御するものは提案されてい
なかった。
また、圧電たわみ素子に加えた電圧を取り去る時、圧電
たわみ素子自身のもつ弾性回復力によって直ちにたわみ
変形が解除されるが、たわみ変形の一部は圧電板に蓄積
された電荷が無くなるまで徐々に解除される傾向をもつ
。このような遅延復帰動作はバルブ閉時の動作速度を遅
らせることになるので好ましくない。これを避ける為、
従来は圧電駆動バルブの駆動回路にショート回路を追加
するなど複雑な構造であった。
たわみ素子自身のもつ弾性回復力によって直ちにたわみ
変形が解除されるが、たわみ変形の一部は圧電板に蓄積
された電荷が無くなるまで徐々に解除される傾向をもつ
。このような遅延復帰動作はバルブ閉時の動作速度を遅
らせることになるので好ましくない。これを避ける為、
従来は圧電駆動バルブの駆動回路にショート回路を追加
するなど複雑な構造であった。
［問題点を解決する為の手段］
本発明者らは、圧電たわみ素子のクリープ問題を解決し
、かつ、複数種の流体の流れを制御する選択バルブを得
る方法として、弁が閉の状態では圧電たわみ素子には何
ら機械的変形を与えず、且つ電圧を印加しないようにし
、流体入口ポートより流入した流体自身による押圧力で
シールするようにすれば、弁体は連通ポート部のノズル
に確実に押圧され、しかも長時間にわたってシール状態
を保つことが可能となり、圧電たわみ素子に何らクリー
プの発生する心配がなく、圧電式選択バルブを長時間に
わたって使用できることを見い出した。
、かつ、複数種の流体の流れを制御する選択バルブを得
る方法として、弁が閉の状態では圧電たわみ素子には何
ら機械的変形を与えず、且つ電圧を印加しないようにし
、流体入口ポートより流入した流体自身による押圧力で
シールするようにすれば、弁体は連通ポート部のノズル
に確実に押圧され、しかも長時間にわたってシール状態
を保つことが可能となり、圧電たわみ素子に何らクリー
プの発生する心配がなく、圧電式選択バルブを長時間に
わたって使用できることを見い出した。
本発明によれば、下記（１）〜（３）の圧電式選択バル
ブおよびその駆動方法が提供される。
ブおよびその駆動方法が提供される。
ｆｌ）気密隔壁によって主室と２以上の副室とに分割さ
れたバルブであり、主室には側壁を貫通する流体出口ポ
ートおよび気密隔壁を貫通し主室と副室とを連通ずる連
通ポートが設けられており、各副室には側壁を貫通する
流体入口ポートが設けられており、各副室内には、圧電
たわみ素子の一端を固定部材により固定し、且つ自由端
とした他端に弁体を付設し、該弁体を連通ポート部のノ
ズルに接するように配置し、流体入口ポートからバルブ
の副室内に流入した流体の圧力によって弁体を連通ポー
ト部のノズルに圧着することにより流体をシールし、必
要とする流体側の副室内の圧電たわみ素子のみに電圧を
印加することにより発生するたわみ変形によって弁体を
連通ポート部のノズルから離して連通ポートから流体を
主室へ流出させ、主室の流体出口ポートを経て必要とす
る流体を流出させる様に構成してなることを特徴とする
圧電式選択バルブ。
れたバルブであり、主室には側壁を貫通する流体出口ポ
ートおよび気密隔壁を貫通し主室と副室とを連通ずる連
通ポートが設けられており、各副室には側壁を貫通する
流体入口ポートが設けられており、各副室内には、圧電
たわみ素子の一端を固定部材により固定し、且つ自由端
とした他端に弁体を付設し、該弁体を連通ポート部のノ
ズルに接するように配置し、流体入口ポートからバルブ
の副室内に流入した流体の圧力によって弁体を連通ポー
ト部のノズルに圧着することにより流体をシールし、必
要とする流体側の副室内の圧電たわみ素子のみに電圧を
印加することにより発生するたわみ変形によって弁体を
連通ポート部のノズルから離して連通ポートから流体を
主室へ流出させ、主室の流体出口ポートを経て必要とす
る流体を流出させる様に構成してなることを特徴とする
圧電式選択バルブ。
（２）主室には側壁を貫通する流体出口ポート、排出ポ
ート、流体排出ノズルと、気密隔壁を貫通し主室と副室
とを連通ずる連通ポートとが設けられており、主室内に
圧電たわみ素子の一端を固定し、且つ自由端とした他端
に弁体を付設し、該弁体を流体排出ノズルに接するよう
に配置し、流体の種類を換えて流出する際には、主室内
の圧電たわみ素子に電圧を印加することにより発生する
たわみ変形によって弁体を流体排出ノズルから離して主
室内の流体を排気するように構成してなることを特徴と
する特許請求の範囲第１項記載の圧電式選択バルブ。
ート、流体排出ノズルと、気密隔壁を貫通し主室と副室
とを連通ずる連通ポートとが設けられており、主室内に
圧電たわみ素子の一端を固定し、且つ自由端とした他端
に弁体を付設し、該弁体を流体排出ノズルに接するよう
に配置し、流体の種類を換えて流出する際には、主室内
の圧電たわみ素子に電圧を印加することにより発生する
たわみ変形によって弁体を流体排出ノズルから離して主
室内の流体を排気するように構成してなることを特徴と
する特許請求の範囲第１項記載の圧電式選択バルブ。
（３）気密隔壁によって主室と２以上の副室とに分割さ
れたバルブであり、主室には側壁を貫通する流体出口ポ
ートおよび気密隔壁を貫通し主室と副室とを連通ずる連
通ポートが設けられており、各副室には側壁を貫通する
流体入口ポートが設けられており、各副室内には、圧電
たわみ素子の一端を固定部材により固定し、且つ自由端
とした他端に弁体を付設し、該弁体を連通ポートに取り
付けられたノズルに接するように配置し、流体入口ポー
トからバルブの副室内に流入した流体の圧力によって弁
体を連通ポート部のノズルに圧着することにより流体を
シールし、必要とする流体側の副室内の圧電たわみ素子
のみに電圧を印加することにより発生するたわみ変形に
よって弁体を連通ポート部のノズルから離して連通ポー
トから流体を主室へ流出させ、主室の流体出口ポートを
経て必要とする流体を流出させる様に構成してなること
を特徴とする圧電式選択バルブにおいて、圧電たわみ素
子に電圧を印加してたわみ変形を起こさせる際、弁体が
連通ポート部のノズルから離れる短時間のみ高い電圧を
加え、すぐに脱分極が起こり難い低い電圧に切り換える
ようにし、流体を止める際には初め加えた電圧とは逆の
極性の電圧を短時間だけ印加するようにして動作させる
ことを特徴とする圧電式選択バルブの駆動方法。
れたバルブであり、主室には側壁を貫通する流体出口ポ
ートおよび気密隔壁を貫通し主室と副室とを連通ずる連
通ポートが設けられており、各副室には側壁を貫通する
流体入口ポートが設けられており、各副室内には、圧電
たわみ素子の一端を固定部材により固定し、且つ自由端
とした他端に弁体を付設し、該弁体を連通ポートに取り
付けられたノズルに接するように配置し、流体入口ポー
トからバルブの副室内に流入した流体の圧力によって弁
体を連通ポート部のノズルに圧着することにより流体を
シールし、必要とする流体側の副室内の圧電たわみ素子
のみに電圧を印加することにより発生するたわみ変形に
よって弁体を連通ポート部のノズルから離して連通ポー
トから流体を主室へ流出させ、主室の流体出口ポートを
経て必要とする流体を流出させる様に構成してなること
を特徴とする圧電式選択バルブにおいて、圧電たわみ素
子に電圧を印加してたわみ変形を起こさせる際、弁体が
連通ポート部のノズルから離れる短時間のみ高い電圧を
加え、すぐに脱分極が起こり難い低い電圧に切り換える
ようにし、流体を止める際には初め加えた電圧とは逆の
極性の電圧を短時間だけ印加するようにして動作させる
ことを特徴とする圧電式選択バルブの駆動方法。
［実施例コ
以下図面を参照しながら本発明の具体的な実施例を説明
する。
する。
第１図は本発明の圧電式選択バルブを示す概略図である
。
。
第１図において１はバルブケースであり気密隔壁１４に
よって主室１０と流体の種類だけの副室１）に分割され
る。図では２種類の流体についての場合である。副室１
）Ａと１）Ｂ内には固定部材２によって圧電たわみ素子
３ａ、３ｂの一端部が固定支持されている。圧電たわみ
素子３ａ、３ｂの自由端部には弁体４ａ、４ｂが付設さ
れている。図には示していないが圧電たわみ素子３ａ。
よって主室１０と流体の種類だけの副室１）に分割され
る。図では２種類の流体についての場合である。副室１
）Ａと１）Ｂ内には固定部材２によって圧電たわみ素子
３ａ、３ｂの一端部が固定支持されている。圧電たわみ
素子３ａ、３ｂの自由端部には弁体４ａ、４ｂが付設さ
れている。図には示していないが圧電たわみ素子３ａ。
３ｂに接続した電圧印加用のリード線は適切な方法でバ
ルブケース１に対して絶縁および気密化されている。該
弁体４ａ、４ｂは例えばゴム材よりなる。副室１）Ａお
よびＩＩＢ内には弁体４ａ。
ルブケース１に対して絶縁および気密化されている。該
弁体４ａ、４ｂは例えばゴム材よりなる。副室１）Ａお
よびＩＩＢ内には弁体４ａ。
４ｂと対向する位置に、連通ポート部のノズル６ａ、６
ｂを通じて主室１０に通じる連通ポート５ａ、５ｂが設
けられている。弁体４ａ、４ｂの位置は連通ポート部の
ノズル６ａ、６ｂの先端に接触するようにノズル位置調
節機構９によって調節する。調節の際、圧電たわみ素子
３ａ、３ｂ自身がたわみ変形を起こさないように留意す
る。圧電たわみ素子に通電しないで放置しておく在庫期
間中に圧電たわみ素子３ａ、３ｂは機械的変形を受けな
いのでクリープ現象等は起こらない。電圧を印加せずに
側壁１５に設けられた流体入口ポート７・ａおよび７ｂ
から異なった種類の圧力流体を流入させると流体の圧力
がバルブの副室１）Ａおよび１）Ｂの内部に立ち始め、
圧電たわみ素子３ａおよび３ｂの弁体４ａおよび４ｂは
それぞれ流体の圧力によって連通ポート部のノズル６ａ
と６ｂに強く押圧され流体をシールする。流体のもれを
防ぐシール力は流体圧力が高い程大であることを要する
が、本発明の場合、発生するシール力は流体圧力が増え
れば増加するので、圧力が高い流体を長時間にわたって
シールする信頼性は十分である。圧電たわみ素子３ａに
電圧を印加して弁体４ａをノズル６ａから離すことによ
って副室１）Ａ内の流体を主室１０に流入させ、側壁１
５に設けられた流体出口ポート８より流出させることが
できる。
ｂを通じて主室１０に通じる連通ポート５ａ、５ｂが設
けられている。弁体４ａ、４ｂの位置は連通ポート部の
ノズル６ａ、６ｂの先端に接触するようにノズル位置調
節機構９によって調節する。調節の際、圧電たわみ素子
３ａ、３ｂ自身がたわみ変形を起こさないように留意す
る。圧電たわみ素子に通電しないで放置しておく在庫期
間中に圧電たわみ素子３ａ、３ｂは機械的変形を受けな
いのでクリープ現象等は起こらない。電圧を印加せずに
側壁１５に設けられた流体入口ポート７・ａおよび７ｂ
から異なった種類の圧力流体を流入させると流体の圧力
がバルブの副室１）Ａおよび１）Ｂの内部に立ち始め、
圧電たわみ素子３ａおよび３ｂの弁体４ａおよび４ｂは
それぞれ流体の圧力によって連通ポート部のノズル６ａ
と６ｂに強く押圧され流体をシールする。流体のもれを
防ぐシール力は流体圧力が高い程大であることを要する
が、本発明の場合、発生するシール力は流体圧力が増え
れば増加するので、圧力が高い流体を長時間にわたって
シールする信頼性は十分である。圧電たわみ素子３ａに
電圧を印加して弁体４ａをノズル６ａから離すことによ
って副室１）Ａ内の流体を主室１０に流入させ、側壁１
５に設けられた流体出口ポート８より流出させることが
できる。
第２図は種類の異なった流体同志が主室１０内で混じる
ことを防ぐため、主室１０内に排気用圧電たわみ素子３
ｃの一端を固定部材２によって固定支持し、他端に付設
した弁体４ｃに対向する位置に流体排出ノズル１３に続
いた流体排出ポート１２をバルブケース１に配設しであ
る。主室１０内に残留する流体を一旦排出ポート１２か
ら排出した後、別の流体を主室内に流入させれば、主室
内に残留する流体と新たに主室内に流入させた流体との
混合を防止することができる。
ことを防ぐため、主室１０内に排気用圧電たわみ素子３
ｃの一端を固定部材２によって固定支持し、他端に付設
した弁体４ｃに対向する位置に流体排出ノズル１３に続
いた流体排出ポート１２をバルブケース１に配設しであ
る。主室１０内に残留する流体を一旦排出ポート１２か
ら排出した後、別の流体を主室内に流入させれば、主室
内に残留する流体と新たに主室内に流入させた流体との
混合を防止することができる。
第３図は本発明の圧電式選択バルブの駆動方法を示すも
ので、第１図の圧電式選択バルブの圧電たわみ素子に加
える電圧印加パターンを示す。
ので、第１図の圧電式選択バルブの圧電たわみ素子に加
える電圧印加パターンを示す。
圧電体としてチタン酸・ジルコン酸鉛系の圧電板３１で
、長さ３０ｆ＋１、巾２０ｖＡ、厚み０．２１）＋のも
のに両面にＡｇ電極をつけ、接着剤で厚さ０．Ｉｎのバ
ネ性を有する基板３２（ステンレス板）の両面に貼りつ
けたバイモルフ構造の圧電たわみ素子３ａ、３ｂの自由
端部に厚さ０．５１璽のＥＰＴゴムからなる弁体４ａ、
４ｔ＋を貼りつけ、弁体を直径１．２Ｎの連通ポート部
のノズル６ａ、６ｂに接１ つ する様にしてバルブケースｌ内におさめた。流体大口ポ
ー）７ａに５ ｋｇ ／ ｃａの圧力の窒素ガスを導入
し、流体入口ポート７ｂに５ｋｇ／ｃｏｔの圧縮空気を
導入し、電圧を印加しない状態で、流体出口ポート８か
らの流体もれ量を測定したところ、零であった。 次に
副室１）Ａの圧電たわみ素子３ａを第３図のような印加
パターンにて電圧を印加して弁を開閉した時の、流体出
口ポート８から流出される流体の流量の変化を印加電圧
に対比させた。
、長さ３０ｆ＋１、巾２０ｖＡ、厚み０．２１）＋のも
のに両面にＡｇ電極をつけ、接着剤で厚さ０．Ｉｎのバ
ネ性を有する基板３２（ステンレス板）の両面に貼りつ
けたバイモルフ構造の圧電たわみ素子３ａ、３ｂの自由
端部に厚さ０．５１璽のＥＰＴゴムからなる弁体４ａ、
４ｔ＋を貼りつけ、弁体を直径１．２Ｎの連通ポート部
のノズル６ａ、６ｂに接１ つ する様にしてバルブケースｌ内におさめた。流体大口ポ
ー）７ａに５ ｋｇ ／ ｃａの圧力の窒素ガスを導入
し、流体入口ポート７ｂに５ｋｇ／ｃｏｔの圧縮空気を
導入し、電圧を印加しない状態で、流体出口ポート８か
らの流体もれ量を測定したところ、零であった。 次に
副室１）Ａの圧電たわみ素子３ａを第３図のような印加
パターンにて電圧を印加して弁を開閉した時の、流体出
口ポート８から流出される流体の流量の変化を印加電圧
に対比させた。
Ｖ＋ ＝１００Ｖ、Ｖ２＝７０Ｖ、Ｖ３＝−７０Ｖ。
ｔ＋ ＝１秒、ｔ２＝３秒、ｔ３＝１秒の条件による印
加電圧に対して流量は鋭敏に立ち上がり、且つ、一定流
量に達する時間は短かった。この様子を第４図（Ａ）に
示す。
加電圧に対して流量は鋭敏に立ち上がり、且つ、一定流
量に達する時間は短かった。この様子を第４図（Ａ）に
示す。
これに対して、比較例として弁体がノズルから離れる際
に高い電圧を加えないで、Ｖ ２ ＝ ７０ Ｖで３秒
間印加した後、Ｖ３＝−７０Ｖを加えた時の流出される
流体の流量と印加電圧とを対比させた。この様子を第４
図（Ｂ）に示す。図から明らかなように弁の開放時にお
ける流量の立ち上がりはにふく、且つ、一定流量に達し
ていないことがわかる。
に高い電圧を加えないで、Ｖ ２ ＝ ７０ Ｖで３秒
間印加した後、Ｖ３＝−７０Ｖを加えた時の流出される
流体の流量と印加電圧とを対比させた。この様子を第４
図（Ｂ）に示す。図から明らかなように弁の開放時にお
ける流量の立ち上がりはにふく、且つ、一定流量に達し
ていないことがわかる。
このように弁体がノズルから離れる短時間だけ高い電圧
を加え、続いて脱分極が起こり難い電圧に切り換えるこ
とによって、動作速度が早い弁の開閉を行わしめること
が可能となった。
を加え、続いて脱分極が起こり難い電圧に切り換えるこ
とによって、動作速度が早い弁の開閉を行わしめること
が可能となった。
［発明の効果］
本発明によれば弁体のシール力として流体圧力が弁体に
加わる力を利用することより常に必要とするシール力を
得ることができ、長時間バルブを閉の状態においても流
体のもれの増加はない。また弁体の開閉による動作を確
実である。更に脱分極が起こらないような低い電圧にお
いてバルブを開状態に保つために圧電式選択バルブを長
時間にわたって使用することができる。
加わる力を利用することより常に必要とするシール力を
得ることができ、長時間バルブを閉の状態においても流
体のもれの増加はない。また弁体の開閉による動作を確
実である。更に脱分極が起こらないような低い電圧にお
いてバルブを開状態に保つために圧電式選択バルブを長
時間にわたって使用することができる。
また、流体流出ノズルのシールに必要な押圧力として、
流体自身の圧力を利用することにより、圧電たわみ素子
から電圧を取り去った時に圧電たわみ素子の弾性回復力
によって弁体が流体出口ノズルの先端にほぼ近づいた位
置から急激に流体の圧力が弁体に作用し始めるため、電
荷放出に係る応答遅れは起こらず、流体の圧力によって
確実に弁体が流体出口ノズルに密着し、弁体が振動する
ことによって起こるハンチング現象を防止でき、ショー
ト回路を設ける必要もない利点がある。
流体自身の圧力を利用することにより、圧電たわみ素子
から電圧を取り去った時に圧電たわみ素子の弾性回復力
によって弁体が流体出口ノズルの先端にほぼ近づいた位
置から急激に流体の圧力が弁体に作用し始めるため、電
荷放出に係る応答遅れは起こらず、流体の圧力によって
確実に弁体が流体出口ノズルに密着し、弁体が振動する
ことによって起こるハンチング現象を防止でき、ショー
ト回路を設ける必要もない利点がある。
第１図および第２図は本発明の圧電式選択ハル６ ブ
を示す概略図である。 第３図は本発明の圧電式選択バルブの駆動方法である圧
電たわみ素子への電圧印加パターンを示す図である。 第４図（Ａ）〜（Ｂ）は第１図の圧電式選択バルブにお
いて、圧電たわみ素子へ電圧を印加したときの流量変化
挙動を示す図である。 １ ：バルブケース ２ ：固定部材 ３ａ、３ｂ、３ｃ ：圧電たわみ素子３１
：圧電板 ３２ ：バネ性を有する基板４ａ、４ｂ
、４ｃ ：弁体 ５ａ、５ｂ ：連通ポート ６ａ、６ｂ ：連通ポート部のノズル７ａ、
７ｂ ：流体入口ポート８
：流体出口ポート９ ：ノズル位
置調節機構１０ ：主室 １）Ａ、ＩＩＢ ：副室 １２ ：流体排出ポート１３
：流体排出ノズル１４ ：気密隔
壁 １５ ：側壁 特許出願人 宇部興産株式会社 第１図 ｑ 第２図
を示す概略図である。 第３図は本発明の圧電式選択バルブの駆動方法である圧
電たわみ素子への電圧印加パターンを示す図である。 第４図（Ａ）〜（Ｂ）は第１図の圧電式選択バルブにお
いて、圧電たわみ素子へ電圧を印加したときの流量変化
挙動を示す図である。 １ ：バルブケース ２ ：固定部材 ３ａ、３ｂ、３ｃ ：圧電たわみ素子３１
：圧電板 ３２ ：バネ性を有する基板４ａ、４ｂ
、４ｃ ：弁体 ５ａ、５ｂ ：連通ポート ６ａ、６ｂ ：連通ポート部のノズル７ａ、
７ｂ ：流体入口ポート８
：流体出口ポート９ ：ノズル位
置調節機構１０ ：主室 １）Ａ、ＩＩＢ ：副室 １２ ：流体排出ポート１３
：流体排出ノズル１４ ：気密隔
壁 １５ ：側壁 特許出願人 宇部興産株式会社 第１図 ｑ 第２図
Claims (3)
- （１）気密隔壁によって主室と２以上の副室とに分割さ
れたバルブであり、主室には側壁を貫通する流体出口ポ
ートおよび気密隔壁を貫通し主室と副室とを連通する連
通ポートが設けられており、各副室には側壁を貫通する
流体入口ポートが設けられており、各副室内には、圧電
たわみ素子の一端を固定部材により固定し、且つ自由端
とした他端に弁体を付設し、該弁体を連通ポート部のノ
ズルに接するように配置し、流体入口ポートからバルブ
の副室内に流入した流体の圧力によって弁体を連通ポー
ト部のノズルに圧着することにより流体をシールし、必
要とする流体側の副室内の圧電たわみ素子のみに電圧を
印加することにより発生するたわみ変形によって弁体を
連通ポート部のノズルから離して連通ポートから流体を
主室へ流出させ、主室の流体出口ポートを経て必要とす
る流体を流出させる様に構成してなることを特徴とする
圧電式選択バルブ。 - （２）主室には側壁を貫通する流体出口ポート、排出ポ
ート、流体排出ノズルと、気密隔壁を貫通し主室と副室
とを連通する連通ポートとが設けられており、主室内に
圧電たわみ素子の一端を固定し、且つ自由端とした他端
に弁体を付設し、該弁体を流体排出ノズルに接するよう
に配置し、流体の種類を換えて流出する際には、主室内
の圧電たわみ素子に電圧を印加することにより発生する
たわみ変形によって弁体を流体排出ノズルから離して主
室内の流体を排気するように構成してなることを特徴と
する特許請求の範囲第１項記載の圧電式選択バルブ。 - （３）気密隔壁によって主室と２以上の副室とに分割さ
れたバルブであり、主室には側壁を貫通する流体出口ポ
ートおよび気密隔壁を貫通し主室と副室とを連通する連
通ポートが設けられており、各副室には側壁を貫通する
流体入口ポートが設けられており、各副室内には、圧電
たわみ素子の一端を固定部材により固定し、且つ自由端
とした他端に弁体を付設し、該弁体を連通ポートに取り
付けられたノズルに接するように配置し、流体入口ポー
トからバルブの副室内に流入した流体の圧力によって弁
体を連通ポート部のノズルに圧着することにより流体を
シールし、必要とする流体側の副室内の圧電たわみ素子
のみに電圧を印加することにより発生するたわみ変形に
よって弁体を連通ポート部のノズルから離して連通ポー
トから流体を主室へ流出させ、主室の流体出口ポートを
経て必要とする流体を流出させる様に構成してなること
を特徴とする圧電式選択バルブにおいて、圧電たわみ素
子に電圧を印加してたわみ変形を起こさせる際、弁体が
連通ポート部のノズルから離れる短時間のみ高い電圧を
加え、すぐに脱分極が起こり難い低い電圧に切り換える
ようにし、流体を止める際には初め加えた電圧とは逆の
極性の電圧を短時間だけ印加するようにして動作させる
ことを特徴とする圧電式選択バルブの駆動方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP28886186A JPS63145884A (ja) | 1986-12-05 | 1986-12-05 | 圧電式選択バルブおよびその駆動方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP28886186A JPS63145884A (ja) | 1986-12-05 | 1986-12-05 | 圧電式選択バルブおよびその駆動方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63145884A true JPS63145884A (ja) | 1988-06-17 |
Family
ID=17735701
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP28886186A Pending JPS63145884A (ja) | 1986-12-05 | 1986-12-05 | 圧電式選択バルブおよびその駆動方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS63145884A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5343894A (en) * | 1991-09-30 | 1994-09-06 | Hoerbiger Ventilwerke Aktiengesellschaft | Piezo valve |
-
1986
- 1986-12-05 JP JP28886186A patent/JPS63145884A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5343894A (en) * | 1991-09-30 | 1994-09-06 | Hoerbiger Ventilwerke Aktiengesellschaft | Piezo valve |
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