JPS63190985A - ノルマル・オープン型の圧電バルブおよびその駆動方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、圧電たわみ素子の電圧印加によるたわみ変形
を利用したノルマル・オープン型の圧電バルブおよびそ
の駆動方法に関する。

［従来の技術］ 従来、流体回路、例えば空気圧回路において制御弁とし
て圧電体を使用したものが提案されている。

例えば実開昭６０−７５７７５号および実開昭６０−７
５７７６号公報には、バイモルフ構造の圧電たわみ素子
を用いた圧電バルブが開示されている。

［本発明が解決しようとする問題点コ 従来公報に開示されたバイモルフ型圧電たわみ素子を利
用した圧電バルブをノルマル・オープン型の圧電バルブ
として使用した場合、圧電たわみ素子に電圧を印加しな
い時に弁体が流体入口を閉じるようになっている。そし
てこの閉状態における弁体による流体入口のシールを十
分にするため、予め、圧電たわみ素子を強制的に機械的
にたわませ、弁体を流体入口に押しつけた状態とされて
いる。

圧電板としては、一般にセラミックスが使用されるが、
セラミックスは引張変形に対する強度が比較的弱いので
弾性たわみ変形により凸面とされた方の圧電板には機械
的なりリープ現象が発生し易く、この為バルブを長期間
使用した場合には弁体を流体入口に押圧する力が低下し
て十分なシール状態を維持することができなくなるとい
う問題点があった。

［問題点を解決する為の手段］ 本発明者は、前記問題点を解決する方法として、弁が開
の状態では圧電たわみ素子には何ら機械的変形を与えず
、且つ電圧を印加しないようにし、また弁を閉の状態に
する際には、流体入口を押圧してシールする代わりに、
圧電たわみ素子に電圧を印加することにより発生するた
わみ変形と、流体入口ポートより流入した流体とによる
押圧力でシールするようにすれば、ノルマル・オープン
型の圧電バルブを長期間にわたって使用できることを見
い出した。

一般に、バルブケース内に流入した圧力流体によって発
生する該弁体と流体出口ノズル間に発生ずる押圧力ｆ１
は該流体出口ノズルの内径をｄ、流体の圧力をＰとすれ
ば次式で与えられる。

ｆ、＝Ｐ・π（ｄ／２）　２ Ｐ　＝　５　ｋｇ／ｃｎ！で該流体出口ノズルの内径を
変えたときのｆ１値は次の様になる。

ｆ、値（ｇ）ｄ（ｕｎφ） ２５　　　　　　　０．８ ３９　　　　　　　１．０ ５７　　　　　　　１．２ ７６　　　　　　　１．４ 本発明の場合には、流体をシールする為のシール力Ｆは
圧電たわみ素子の押圧力ｒ２、バネ性を有する基板の反
発力をｆ３とすると次式で与えられる。

Ｆ＝ｆ、＋ｆ２−ｆ３ このように、流体をシールする為に必要なシール力とし
て、圧電たわみ素子のたわみ変形による押圧力にバルブ
ケース内に発生する流体の圧力による大きい押圧力を加
算すれば、圧電たわみ素子が分担すべき押圧力は、弁体
が流体出口ノズルに接しさえすれば、バルブケース内に
流入する流体によって急激に圧力が立ち弁体への押圧力
が増すことを考慮するとバネ性を有する基板の反発力に
打ち勝って弁体を流体出口ノズルに接するに必要な力だ
けでよく、脱分極が起こり難い低い電圧を印加するのみ
でよく、バイモルフ型の圧電たわみ素子に比較的長期間
電圧を印加しても特性の劣化が起こり難いことを見い出
した。

一方、弁体を流体出口ノズルから離し、バルブを開の状
態に戻す為には、流体の圧力による弁体の押圧力は大き
くなるので、圧電たわみ素子への電圧印加を止めただけ
ではできない。

即ち、該弁体が流体と圧電たわみ素子のたわみ力とによ
って流体出口ノズルに押圧されている状態から引き離す
瞬間にだけ弁を閉の状態にする時に加えた電圧とは逆の
極性の電圧を短時間だけ加えてバルブを開の状態にし、
一旦弁体が流体出口ノズルから離れてしまえば流体の圧
力は加わらないので、流体が移動するのに必要な間隙が
弁体と流体出口ノズル間に確保できればよく圧電たわみ
素子には電圧を印加する必要はなく、この為長期間にわ
たって脱分極による性能劣化なしにノズルを開の状態に
保つことを見い出した。

本発明は、上記知見に基づくものである。

本発明によれば、下記（１１〜（４）の圧電バルブおよ
びその駆動方法が提供される。

（１）圧電板をバネ性を有する基板に貼り付けた圧電た
わみ素子の一端をバルブケース中に固定部材により固定
し、該圧電たわみ素子の固定部より離れた位置に弁体を
付設し、且つ該圧電たわみ素子のバネ性を有する基板の
延区端部を支持し、該弁体を先端がバルブケース中に向
けられた流体出口ノズルから一定の距離だけ離れるよう
にし、該圧電たわみ素子に電圧を印加することにより発
生ずるたわみ変形と、流体入口ポートより流入した流体
とによる押圧力で該弁体を流体出口ノズルに圧着するこ
とにより流体をシールするように構成してなることを特
徴とするノルマル・オープン型の圧電バルブ。

（２）気密隔壁によって主室と１以上の副室とに分割さ
れたバルブであり、主室には側壁を貫通する流体入口ポ
ートおよび気密隔壁を貫通し主室と副室とを連通ずる連
通ポートが設けられており、主室内には、圧電板をバネ
性を有する基板に貼り付けた圧電たわみ素子の一端を主
室中に固定部材により固定し、該圧電たわみ素子の固定
部より離れた位置に弁体を付設し、且つ該圧電たわみ素
子のバネ性を有する基板の延長端部を支持し、該弁体を
先端が主室中に向けられた連通ポート部のノズルから一
定の距離だけ離れるように配置し、圧電たわみ素子に電
圧を印加することにより発生するたわみ変形と、流体人
口ポートより主室内に流入した流体とによる押圧力で、
弁体を連通ポート部のノズルに圧着することにより流体
をシールするように構成されており、副室には流体出口
ポートおよび先端が副室内に向けられた流体排出ノズル
とが側壁を貫通して設けられており、副室内には圧電板
をバネ性を有する基板に貼り付けた圧電たわみ素子の一
端を副室中に固定部材により固定し、副室内の圧電たわ
み素子の固定部より離れた位置に弁体を付設し、該弁体
を流体排出ノズルに接するように配置し、主室との連通
ポートから副室内に流入した流体の圧力によって弁体を
流体排出ノズルに圧着することにより流体をシールする
とともに、流体出口ポートから流体を流出するようにし
、副室内の圧電たわみ素子に電圧を印加することによっ
て発生するたわみ変形によって弁体を流体排出ノズルか
ら離して流体を排出する様に構成してなることを特徴と
するノルマル・オープン型の圧電バルブ。

（３）圧電板をバネ性を有する基板に貼り付けた圧電た
わみ素子の一端をバルブケース中に固定部材により固定
し、該圧電たわみ素子の固定部より離れた位置に弁体を
付設し、且つ該圧電たわみ素子のバネ性を有する基板の
延長端部を支持し、該弁体を先端がバルブケース中に向
けられた流体出口ノズルから一定の距離だけ離れるよう
にし、該圧電たわみ素子に電圧を印加することにより発
生ずるたわみ変形と、流体人口ポートより流入した流体
とによる押圧力で該弁体を流体出口ノズルに圧着するこ
とにより流体をシールするように構成してなることを特
徴とするノルマル・オープン型の圧電バルブにおいて、
圧電たわみ素子に電圧を印加して弁体を流体出口ノズル
に圧着させた弁の閉の状態から、弁を元の開の状態に切
り換える際、圧電たわみ素子に対して弁を閉にする際に
加えた電圧とは逆の極性の電圧を印加するようにして動
作させることを特徴とするノルマル・オープン型の圧電
バルブの駆動方法。

（４）気密隔壁によって主室と１以上の副室とに分７＋
Ｊされたバルブであり、主室には側壁を貫通ずる流体入
口ポートおよび気密隔壁を貫通し主室と副室とを連通ず
る連通ポートが設けられており、主室内には、圧電板を
バネ性を有する基板に貼り付けた圧電たわみ素子の一端
を主室中に固定部材により固定し、該圧電たわみ素子の
固定部より１捕れた位；ξに弁体をイζＪ設し、且つ該
圧電たわみ素子のバネ性を有する基板の延長端部を支持
し、該弁体を先端が主室中に向けられた連通ポート部の
ノズルから一定の距離だけ離れるように配置し、圧電た
わみ素子に電圧を印加することにより発生するたわみ変
形と、流体入口ポートより主室内に流入した流体とによ
る押圧力で、弁体を連通ポート部のノズルに圧着するこ
とにより流体をシールするように構成されており、副室
には流体出自ポートおよび先端が副室内に向けられた流
体排出ノズルとが側壁を貫通して設けられており、副室
内には圧電板をバネ性を有する基板に貼り付けた圧電た
わみ素子の一端を副室中に固定部材により固定し、副室
内の圧電たわみ素子の固定部より離れた位置に弁体を付
設し、該弁体を流体排出ノズルに接するように配置し、
主室との連通ポートから副室内に流入した流体の圧力に
よって弁体を流体排出ノズルに圧着することにより流体
をシールするとともに、流体出口ポートから流体を流出
するようにし、副室内の圧電たわみ素子に電圧を印加す
ることによって発生するたわみ変形によって弁体を流体
排出ノズルから離して流体を排出する様に構成してなる
ことを特徴とするノルマル・オープン型の圧電バルブに
おいて、主室中の圧電たわみ素子に電圧を印加して連通
ポート部のノズルを閉とし、副室内の圧電たわみ素子に
電圧を印加して副室内を排気した状態から元のノルマル
・オーブン状態に戻す際、主室内の圧電たわみ素子に対
しては加えていた電圧とは逆の極性の電圧を印加して弁
体を連通ポート部のノズルから引き離し、副室内の圧電
たわみ素子に対しては電圧の印加を解き副室内に流入し
た流体の押圧力で弁体を流体排出ノズルに圧着させるよ
うに動作させることを特徴とするノルマル・オープン型
の圧電バルブの駆動方法。

［実施例コ 以下図面を参照しながら本発明の具体的な実施例を説明
する。

第１図は、本発明における２方弁用のノルマル・オープ
ン型の圧電バルブの一実施例であり、この図において１
はバルブケースであり、該ケース内には固定部材２によ
って圧電たわみ素子３の一端部が固定支持されている。

圧電板３１をバネ性を有する金属基板３２の両面に貼り
付けたバイモルフ型の圧電たわみ素子３は、金属基板３
２の方が圧電板３１より長くなるように構成されている
。圧電板３１の自由端部には弁体４が付設されている。

該弁体は例えばゴム材から成る。圧電たわみ素子３に接
続した電圧印加用のリード線１１は適切な方法でバルブ
ケース■に対して絶縁および気密化されている。バルブ
ケース１には弁体４と対向する位置に流体出口ノズル５
が設けられ、該流体出口ノズル５から流体出口ポート６
へ通じている。弁体４と流体出口ノズル５の先端間との
距離は、流体の流入を妨げない距離になるようにノズル
位置調節機構７によって８周節する。

圧電たわみ素子３のバネ性を有する金属基板３２は圧電
板３１の端部より延長して板バネの役割を持たせる。金
属基板３２の延長部の自由端に対向する位置に支点とな
る支持材８をバルブケース１に配設し、支持材８の頭部
が該金属基板３２の自由端に、該金属基板３２がたわみ
変形を起こさないで接するように支持材位置調節機構９
で調節する。

本発明の圧電バルブは電圧を印加しない状態で弁は開の
状態に置かれ、圧電たわみ素子３は機械的な変形を受け
ていないのでクリープ現象は起こらず、該金属基板３２
の自由端部が支持材８によって支点となっているので弁
体４と流体出口ノズル５先端間との距離は変わらず、圧
電たわみ素子３の経時変化によって流量が変わることも
ない。

圧電たわみ素子３は、例えば次のような構成とし、バル
ブケース１に取り付けることができる。

長さ３０ｍ５、巾２０龍、厚み０．２冒■のチタン酸・
ジルコン酸鉛系の圧電板３１の両面に、Ａｇ電極を焼き
付け、接着剤で厚さＱ、　ｌ　１重のリン青銅板からな
るバネ性を有する金属基板３２の両面に貼りつけたバイ
モルフ構造の圧電たわみ素子３の圧電板３１の端部に、
厚さ０．５１のＩＥＰＴゴムからなる弁体４を貼り付け
、圧電板３１の端部がら金属基板３２の自由端部までの
長さを１５鰭として、用型たわみ素子３を構成する。こ
の圧電たわみ素子３を、弁体４が流体出口ノズル５の先
端より２００μｍ離れるように、支持材８で金属基板３
２の自由端部より１醜■の位置を支点とすることにより
バルブケース１に配設した。

圧力が５　ｋｇ　／　ｃｕｔのＮ２ガス流体を上記構造
のバルブケース１内に流入させておき、圧電たわみ素子
３に７０Ｖの直流電圧を印加しバルブの状態を閉とした
時のもれ量は、０．５ｍ／／ｍｉｎであり、電磁バルブ
に関してのＪＩＳ　　Ｂ８３７３で規定したもれ量を下
まわった。次に一１００Ｖを１．０秒間だけ圧電たわみ
素子３に印加した所、もとの開状態に戻った。

第３図（Ａ）に第１図の圧電バルブの圧電たわみ素子３
に印加する電圧のパターンとバルブの開閉状態を示す。

第２図はノルマル・オープン型の３万弁の一実施例で、
バルブケースｌの内部の主室１４Ａと副室１４Ｂとは気
密隔壁１ｂによって分割され、主室には流体入口ポート
１０及び気密隔壁１ｂを貫通して主室と副室とを連通す
る連通ポート１６が設けられており、主室１４Ａ中には
第１図と同様の圧電たわみ素子３が固定部材２によって
固定され、弁体４と対向する位置に連通ポート部のノズ
ル１５が配設され、連通ポート１６に通じている。

連通ポー１−１６のノズル１５と弁体４との間の距離は
連通ポート１６の位置調節機構７によって調節される。

主室１４Ａ内の圧電たわみ素子３のバネ性を有する金属
基板３２の延長部分の自由端に対向する位置に支点とな
る支持材８を気密隔壁１ｂに配設し、支持材位置調節機
構９によって支持材８のｕｎ部が該金属基板３２の自由
端に、該金属基板がたわみ変形を起こさないで接するよ
うに調節される。支持材８の頭部は電気絶縁材料が望ま
しい。

副室１４１３中には第１図と同様な圧電たわみ素子３ｂ
を固定部材２ｂによって固定支持し、且つ圧電たわみ素
子３ｂのバネ性を有する金属基板３２の圧電板より長い
延長部分の自由端部に対向する位置に支点となる支持材
８ｂを気密隔壁１ｂに配設し、支持材位置調′ｒ：ＩＮ
機構９ｂで支持材８ｂのｉｊｎ部が該金属基板３２の自
由端に、該金属基板がたわみ変形を起こさないで接する
ように調節される。圧電たわみ素子３ｂの圧電板３１の
端部に弁体４ｂを付設し、弁体４ｂに対向する位置に流
体排出ノズル１２を配設し、流体排出ポート１３に通じ
させる。流体排出ノズル１２はノズル位置調節機構７に
よって、圧電たわみ素子３ｂがたわみ変形を起こさない
で弁体４ｂに接するように調節する。

主室１４Ａおよび副室１４Ｂ中の圧電たわみ素子３．３
ｂに電圧を印加しない状態では、流体入口ポート１０よ
り主室１４Ａ内に流入した流体はノズル１５を通り、連
通ポート１６を経て副室１４Ｂ内に流入し、流体出口ポ
ート６より流出される。副室１４Ｉ３内の圧電たわみ素
子３ｂに付設した弁体４ｂは流体の圧力によって副室内
に発生する圧力によって流体排出ノズル１２に押圧され
るのでもれはない。

３方弁用のノルマル・オープン型の圧電バルブにおける
主室１４Ａおよび副室１４Ｂ中の圧電たわみ素子は、副
室１４Ｂの圧電たわみ素子用として長さ２０龍、巾２０
ｍｍ、厚み０．２　＊ｍチタン酸・ジルコン酸鉛系の圧
電板３１を使用した以外は前記２方弁用のノルマル・オ
ープン型の圧電バルブにおける圧電たわみ素子３をバル
ブケースｌに配設した場合と同様な方法により主室１４
Ａおよび副室１４Ｂ中に配設した。圧力が５　ｋｇ　／
　ｃｒｌのＮ２ガス流体を、流体人口ポート１０より流
入させ、流体出口ポート６より流出する際の圧力を１ｋ
ｇ／ｃｎｌになるように外部の圧力調節器で調節した。

主室および副室中の圧電たわみ素子に電圧を印加しない
状態で流体入口ポート１０より流体を入れ、流体排出ポ
ート１３よりの流体もれ量を測定したところ零であった
。次に主室１４Ａ中の圧電たわみ素子３に８０Ｖの直流
電圧を印加しておき（第１ステツプ）、副室１４１３中
の圧電たわみ素子３ｂに８０Ｖの直流電圧を印加した所
（第２ステ・ツブ）、副室内は直ちに排気できた。次に
副室内の圧電たわみ素子３ｂへの電圧印加を止め、主室
内の圧電たわみ素子３に対して一１００Ｖの電圧を１．
０秒間だけ加えた所（第３ステツプ）、元のバルブ開の
状態に戻った。

第３図（Ｂ）に第２図の圧電バルブの圧電たわみ素子３
および３ｂに印加する電圧のパターンを示す。第２ステ
ツプから第３ステツプに移る時間りは任意に変えてよい
。

［発明の効果コ 本発明によれば、バルブが開の状態時には何ら圧電たわ
み素子に対し電圧を印加することなく、且つ機械的なた
わみ変形も与えず、バルブが閉の状態時には流体をシー
ルするための押圧力を主として流体自身の流体圧によっ
ており、しかもバルブを閉状態から開状態へする際には
、圧電たわみ素子に電圧を印加することにより発生する
たわみ変形とバネ性を有する基板のバネ反発力とを利用
しているため、バルブの弁体の開閉の動作が確実で、且
つ脱分極による特性の劣化が起こりにくく、長期間にわ
たり使用することができるノルマル・オープン型の圧電
バルブ及びその駆動方法が提供される。

【図面の簡単な説明】 第１図および第２図は本発明の圧電駆動バルブを示す概
略図である。 第３図（Ａ、）および（Ｂ）は本発明の圧電駆動バルブ
の駆動方法である圧電たわみ素子への電圧印加パターン
を示す図である。 ■　　　　　　　　　＝パルプケース ■ｂ　　　　　　　　：気密隔壁 ＩＣ：側壁 ２．２ｂ　　　　　　　：固定部材 ３．３ｂ　　　　　　　：圧電たわみ素子３１　　　　
　　　　：圧電板 ３２　　　　　　　　：バネ性を有する基板４．４ｂ　
　　　　　　：弁体 ５　　　　　　　　　：流体出口ノズル６　　　　　　
　　　　：流体出口ポート７　　　　　　　　　　：ノ
ズル位置調節機構８．８ｂ　　　　　　　：支持材 ９．９ｂ　　　　　　　：支持材位置調節機構１０　　
　　　　　　二流体入口ポート１１　　　　　　　　　
：リード線 １２　　　　　　　　：流体排出ノズル１３　　　　　
　　　：流体排出ポート１４Ａ　　　　　　　　：主室 １４Ｂ　　　　　　　＝副室 １５　　　　　　　　　：連通ポート部のノズル１６　
　　　　　　　　：連通ポート 第３図（Ａ） 【 第３図（Ｂ）

Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. （１）圧電板をバネ性を有する基板に貼り付けた圧電た
   わみ素子の一端をバルブケース中に固定部材により固定
   し、該圧電たわみ素子の固定部より離れた位置に弁体を
   付設し、且つ該圧電たわみ素子のバネ性を有する基板の
   延長端部を支持し、該弁体を先端がバルブケース中に向
   けられた流体出口ノズルから一定の距離だけ離れるよう
   にし、該圧電たわみ素子に電圧を印加することにより発
   生するたわみ変形と、流体入口ポートより流入した流体
   とによる押圧力で該弁体を流体出口ノズルに圧着するこ
   とにより流体をシールするように構成してなることを特
   徴とするノルマル・オープン型の圧電バルブ。
2. （２）気密隔壁によって主室と１以上の副室とに分割さ
   れたバルブであり、主室には側壁を貫通する流体入口ポ
   ートおよび気密隔壁を貫通し主室と副室とを連通する連
   通ポートが設けられており、主室内には、圧電板をバネ
   性を有する基板に貼り付けた圧電たわみ素子の一端を主
   室中に固定部材により固定し、該圧電たわみ素子の固定
   部より離れた位置に弁体を付設し、且つ該圧電たわみ素
   子のバネ性を有する基板の延長端部を支持し、該弁体を
   先端が主室中に向けられた連通ポート部のノズルから一
   定の距離だけ離れるように配置し、圧電たわみ素子に電
   圧を印加することにより発生するたわみ変形と、流体入
   口ポートより主室内に流入した流体とによる押圧力で、
   弁体を連通ポート部のノズルに圧着することにより流体
   をシールするように構成されており、副室には流体出口
   ポートおよび先端が副室内に向けられた流体排出ノズル
   とが側壁を貫通して設けられており、副室内には圧電板
   をバネ性を有する基板に貼り付けた圧電たわみ素子の一
   端を副室中に固定部材により固定し、副室内の圧電たわ
   み素子の固定部より離れた位置に弁体を付設し、該弁体
   を流体排出ノズルに接するように配置し、主室との連通
   ポートから副室内に流入した流体の圧力によって弁体を
   流体排出ノズルに圧着することにより流体をシールする
   とともに、流体出口ポートから流体を流出するようにし
   、副室内の圧電たわみ素子に電圧を印加することによっ
   て発生するたわみ変形によって弁体を流体排出ノズルか
   ら離して流体を排出する様に構成してなることを特徴と
   するノルマル・オープン型の圧電バルブ。
3. （３）圧電板をバネ性を有する基板に貼り付けた圧電た
   わみ素子の一端をバルブケース中に固定部材により固定
   し、該圧電たわみ素子の固定部より離れた位置に弁体を
   付設し、且つ該圧電たわみ素子のバネ性を有する基板の
   延長端部を支持し、該弁体を先端がバルブケース中に向
   けられた流体出口ノズルから一定の距離だけ離れるよう
   にし、該圧電たわみ素子に電圧を印加することにより発
   生するたわみ変形と、流体入口ポートより流入した流体
   とによる押圧力で該弁体を流体出口ノズルに圧着するこ
   とにより流体をシールするように構成してなることを特
   徴とするノルマル・オープン型の圧電バルブにおいて、
   圧電たわみ素子に電圧を印加して弁体を流体出口ノズル
   に圧着させた弁の閉の状態から、弁を元の開の状態に切
   り換える際、圧電たわみ素子に対して弁を閉にする際に
   加えた電圧とは逆の極性の電圧を印加するようにして動
   作させることを特徴とするノルマル・オープン型の圧電
   バルブの駆動方法。
4. （４）気密隔壁によって主室と１以上の副室とに分割さ
   れたバルブであり、主室には側壁を貫通する流体入口ポ
   ートおよび気密隔壁を貫通し主室と副室とを連通する連
   通ポートが設けられており、主室内には、圧電板をバネ
   性を有する基板に貼り付けた圧電たわみ素子の一端を主
   室中に固定部材により固定し、該圧電たわみ素子の固定
   部より離れた位置に弁体を付設し、且つ該圧電たわみ素
   子のバネ性を有する基板の延長端部を支持し、該弁体を
   先端が主室中に向けられた連通ポート部のノズルから一
   定の距離だけ離れるように配置し、圧電たわみ素子に電
   圧を印加することにより発生するたわみ変形と、流体入
   口ポートより主室内に流入した流体とによる押圧力で、
   弁体を連通ポート部のノズルに圧着することにより流体
   をシールするように構成されており、副室には流体出口
   ポートおよび先端が副室内に向けられた流体排出ノズル
   とが側壁を貫通して設けられており、副室内には圧電板
   をバネ性を有する基板に貼り付けた圧電たわみ素子の一
   端を副室中に固定部材により固定し、副室内の圧電たわ
   み素子の固定部より離れた位置に弁体を付設し、該弁体
   を流体排出ノズルに接するように配置し、主室との連通
   ポートから副室内に流入した流体の圧力によって弁体を
   流体排出ノズルに圧着することにより流体をシールする
   とともに、流体出口ポートから流体を流出するようにし
   、副室内の圧電たわみ素子に電圧を印加することによっ
   て発生するたわみ変形によって弁体を流体排出ノズルか
   ら離して流体を排出する様に構成してなることを特徴と
   するノルマル・オープン型の圧電バルブにおいて、主室
   中の圧電たわみ素子に電圧を印加して連通ポート部のノ
   ズルを閉とし、副室内の圧電たわみ素子に電圧を印加し
   て副室内を排気した状態から元のノルマル・オープン状
   態に戻す際、主室内の圧電たわみ素子に対しては加えて
   いた電圧とは逆の極性の電圧を印加して弁体を連通ポー
   ト部のノズルから引き離し、副室内の圧電たわみ素子に
   対しては印加を解き副室内に流入した流体の押圧力で弁
   体を流体排出ノズルに圧着させるように動作させること
   を特徴とするノルマル・オープン型の圧電バルブの駆動
   方法。