JPH05190097A - 電子銃検査装置 - Google Patents

電子銃検査装置

Info

Publication number
JPH05190097A
JPH05190097A JP631092A JP631092A JPH05190097A JP H05190097 A JPH05190097 A JP H05190097A JP 631092 A JP631092 A JP 631092A JP 631092 A JP631092 A JP 631092A JP H05190097 A JPH05190097 A JP H05190097A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
electrode
electron gun
interval
cathode
gun assembly
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP631092A
Other languages
English (en)
Other versions
JP2807116B2 (ja
Inventor
Motoaki Nishikawa
元晶 西川
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Mitsubishi Electric Corp
Original Assignee
Mitsubishi Electric Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Mitsubishi Electric Corp filed Critical Mitsubishi Electric Corp
Priority to JP631092A priority Critical patent/JP2807116B2/ja
Publication of JPH05190097A publication Critical patent/JPH05190097A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP2807116B2 publication Critical patent/JP2807116B2/ja
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Abstract

(57)【要約】 【目的】 【構成】 各電極を位置決めしてなる電子銃組立体を固
定保持する固定保持部9と、第1電極および第2電極の
各電子ビーム通過孔を出入移動する測定ノズル8と、上
記電子銃組立体の第1電極3と第2電極4の間隔を測定
するマイクロメータ10と、上記電子銃組立体の陰極1
と第1電極3の間隔を測定する上記マイクロメータ10
とエアーマイクロメータ16により構成されている。 【効果】 第1電極と第2電極の間隔のばらつきによる
検査精度の劣化がなく、高精度の検査が可能で、第1電
極の孔径の小さくても検査できる。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】この発明は、たとえば、陰極線管
に内装される電子銃を検査する場合に用いられる電子銃
検査装置に関するものである。
【0002】
【従来の技術】図5は従来の電子銃検査装置の概略図で
あり、同図において、1は陰極、3は第1電極、4は第
2電極、5,6は第3電極、第4電極で、上記陰極1は
陰極サポート2を介してビードガラス7に位置決めし、
かつその他の電極3〜6はビードガラス7に、直接、そ
れぞれ位置決め保持することにより、電子銃組立体17
を構成している。16はエアーマイクロメータで、測定
ノズル8に接続されている。電子銃組立体の固定保持部
9は上記測定ノズル8と一体となっている。
【0003】つぎに、上記構成の動作を図6により説明
する。電子銃組立体17に測定ノズル8(固定保持部
9)を挿入する。図6で明示するように、第2電極4の
第3電極5側で電子銃組立体17を保持し、エアーマイ
クロメータ16の計測値、つまり、測定ノズル8の先端
部8aから陰極1までの距離(LK)を測定し、検査す
る。これは、第2電極4から陰極1までの距離(L4)
を測定検査するのとほぼ同じことを意味する。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】電子銃組立体17の第
2電極4と陰極1の間隔が一定であっても、第1電極3
と第2電極4の間隔が設定間隔から大きくずれた場合に
は、カットオフ不良となるか、従来の電子銃検査装置に
おいては、これを検出することができないという不都合
があった。
【0005】この発明は、上記の課題を解決するために
なされたもので、第1電極と第2電極の間隔が、設定間
隔から大きくずれた場合でも、これを検出することがで
き、高精度の検査を可能とした電子銃検査装置を提供す
ることを目的とする。
【0006】
【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
め、この発明による電子銃検査装置では、陰極、第1電
極、第2電極およびその他の電極を位置決めしてなる電
子銃組立体を固定保持する手段と、上記電子銃組立体の
第1電極と第2電極の各電子ビーム通過孔をその先端が
出入移動可能となった測定ノズルと、この測定ノズルを
移動させるための駆動装置と、上記電子銃組立体の第1
電極と第2電極の間隔を測定する手段と、上記電子銃組
立体の陰極と第1電極の間隔を測定する手段と、それら
の測定手段により得た測定値を演算する手段とを具備
し、上記第1電極と第2電極の間隔と、陰極と第1電極
の間隔を測定し、それらの測定値を演算できるように構
成してある。
【0007】
【作用】この発明によれば、電子銃組立体の第1電極と
第2電極の間隔と、陰極と第1電極の間隔を測定し、そ
れらの測定値を演算し、検査するため、電子銃組立体の
第1電極と第2電極の間隔のばらつきによる検査精度の
劣化がなく、従来に比べて検査精度が向上する。
【0008】
【実施例】以下、この発明の一実施例を図面により説明
する。図1はこの発明の一実施例による電子銃検査装置
の概略構成図、図2は電子銃組立体の断面図である。
【0009】同図において、1は陰極、3は第1電極、
4は第2電極、5,6は第3、第4電極で、上記陰極1
は陰極サポート2を介してビードガラス7に位置決め
し、かつその他の電極3〜6は図3で示すように、ビー
ドガラス7に、直接、それぞれの位置決め保持すること
により、電子銃組立体17を構成している。
【0010】9は電子銃組立体を固定保持するための固
定保持部で、図2で示す電子銃組立体17を位置決めす
る筒状の位置決め軸9Aと、後述するマイクロメータ1
0の取付フランジ部9Bとからなる。8は測定ノズル
で、上記筒状の位置決め軸9A内にあり、その先端が図
2で示す第1電極3、第2電極4の電子ビーム通過孔3
a,4aに対して入出できるように、図1で示す駆動装
置12を介して矢印(X−Y)方向に移動可能に構成さ
れている。16はエアーマイクロメータで、上記測定ノ
ズル8に接続されている。
【0011】10はマイクロメータで、上記固定保持部
9の取付フランジ部9Bに取り付けられるとともに、演
算装置11が接続されている。13は光源で、第1電極
3と第2電極4との間の一側部に配置されている。
【0012】14は撮像装置で、光源13と反対側の一
側部に配置されており、15は上記撮像装置14に接続
された画像表示部としてのモニタである。
【0013】つぎに、上記構成の動作について説明す
る。電子銃組立体17に、固定保持部9の位置決め軸9
Aを挿入することにより、この電子銃組立体17を固定
保持部9に位置決め固定保持する。
【0014】この状態で、駆動装置12を介して測定ノ
ズル8を矢印X方向に移動させ、図3で示すように、測
定ノズル8の先端部8aから中間部8bを第1電極3、
第2電極4の電子ビーム通過孔3a,4aに挿入する。
【0015】このとき、モニタ15上に、光源13から
の光が第2電極4の面に反射してできる図4で示すよう
な電子ビーム通過孔4aの像19から測定ノズル8の先
端部8aのシルエット17がわずかに見えるようにす
る。
【0016】上記の測定ノズル8のシルエット17の先
端17aと第1電極3のシルエット18との距離(I)
が零となるまでの距離、すなわち、図3で明示したよう
に、第1電極3と第2電極4との対抗面の間隔(L1)
をマイクロメータ10で測定し、その測定データを演算
装置11に印加する。
【0017】つづいて、駆動装置12を介して上記測定
ノズル8を矢印X方向に移動させ、エアーマイクロメー
タ16の計測値があらかじめ、決められた値(n)にな
るまでの距離、すなわち、図3で明示したように、陰極
1と第1電極3との対抗面の間隔(L2)に第1電極3
の板厚(t)を加算し、一定値(m)を減算した値(L
3)をマイクロメータ10で測定し、その測定データを
演算装置11に印加する。
【0018】一定値(m)とは、エアーマイクロメータ
16の値が(n)となったときの測定ノズルの先端8a
と陰極1の端面1aとの間隔であり、一度測定しておけ
ばよい。
【0019】上記した2つの測定データおよび第1電極
3の板厚(t)と孔径(φD)からカットオフ回帰予想
電圧値(COEC2)を、演算装置11により計算し、
検査する。
【0020】なお、第1電極3の板厚(t)と孔径(φ
D)を個々に測定するのは困難であるため、実用上、第
1電極3の製造ロット毎にサンプリングし、平均値を求
め、そのロットを使用した電子銃組立体17を検査する
場合には、その平均値を使用する。カットオフ回帰予想
電圧値は、次式で表される。
【0021】COEC2=K*t/KφD^3*(L1
+A)*(L2−t+B)+C
【0022】また、第1電極3または第2電極4の電子
ビーム通過孔3a,4aの孔径が小さくなると、測定ノ
ズル8の孔径も小さくなるため、エアーマイクロメータ
16の感応範囲(測定範囲)が小さくなり、従来の検査
方法では、第1電極3または第2電極4の電子ビーム通
過孔3a,4aの孔径の小さな電子銃組立体17に対し
ては、実用的でないなどの不都合があったが、この検査
方法では、測定ノズル8は図1の矢印(XY)方向に移
動可能であるため、第1電極3または第2電極4の電子
ビーム通過孔3a,4aの孔径が小さくても十分検査可
能である。
【0023】
【発明の効果】以上のように、この発明によれば、電子
銃組立体を、高精度に検査することができるとともに、
第1電極または第2電極の電子ビーム通過孔の孔径が小
さくても十分検査可能となるという効果がある。
【図面の簡単な説明】
【図1】この発明の一実施例による電子銃検査装置の概
略構成図である。
【図2】電子銃組立体の断面図である。
【図3】検査動作を説明するための要部の拡大断面図で
ある。
【図4】モニタ上の映像図である。
【図5】従来の電子銃検査装置の概略図である。
【図6】従来の検査動作を説明するための要部の拡大断
面図である。
【符号の説明】
1 陰極 3 第1電極 4 第2電極 8 測定ノズル 9 固定保持部 10 マイクロメータ 11 演算装置 16 エアーマイクロメータ

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 陰極、第1電極、第2電極およびその他
    の電極を位置決めしてなる電子銃組立体を固定保持する
    手段と、上記電子銃組立体の第1電極と第2電極の各電
    子ビーム通過孔をその先端が出入移動可能となった測定
    ノズルと、この測定ノズルを移動させるための駆動装置
    と、上記電子銃組立体の第1電極と第2電極の間隔を測
    定する手段と、上記電子銃組立体の陰極と第1電極の間
    隔を測定する手段と、それらの測定手段により得た測定
    値を演算する手段とを具備したことを特徴とする電子銃
    検査装置。
JP631092A 1992-01-17 1992-01-17 電子銃検査装置 Expired - Fee Related JP2807116B2 (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP631092A JP2807116B2 (ja) 1992-01-17 1992-01-17 電子銃検査装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP631092A JP2807116B2 (ja) 1992-01-17 1992-01-17 電子銃検査装置

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPH05190097A true JPH05190097A (ja) 1993-07-30
JP2807116B2 JP2807116B2 (ja) 1998-10-08

Family

ID=11634802

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP631092A Expired - Fee Related JP2807116B2 (ja) 1992-01-17 1992-01-17 電子銃検査装置

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP2807116B2 (ja)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20000034113A (ko) * 1998-11-27 2000-06-15 김영남 칼라음극선관의 전자총 제2그리드와 캐소드의 간격 자동측정장치

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20000034113A (ko) * 1998-11-27 2000-06-15 김영남 칼라음극선관의 전자총 제2그리드와 캐소드의 간격 자동측정장치

Also Published As

Publication number Publication date
JP2807116B2 (ja) 1998-10-08

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US4355278A (en) Method for testing and analyzing surface acoustic wave interdigital transducers
JP2003035752A (ja) 微細構造素子の機能の試験方法及び装置
JP3379044B2 (ja) 基板の試験方法
JPH05190097A (ja) 電子銃検査装置
JPH06281625A (ja) 漏洩磁気探傷装置における感度校正装置
JPH09237574A (ja) 電子銃組立装置および電子銃組立方法
JPH1151906A (ja) 腐食診断装置
TW416084B (en) Method of manufacturing a cathode ray tube and device for inspecting an electron gun
JPH0950014A (ja) 液晶駆動基盤の検査方法
JPH0688766A (ja) カラー液晶表示パネルの輝度測定方法
JPH0828184B2 (ja) 電子銃組立装置
JPH03181848A (ja) 半導体材料評価装置
JP3221160B2 (ja) 電子銃の検査装置
KR0177703B1 (ko) 전자총의 전극부 조립정도 판별 표시부
JPH0613446Y2 (ja) 線条体凹凸検出器
JPS6089050A (ja) ストロボ走査電子顕微鏡
KR0133807Y1 (ko) 브라운관의 내압 검사장치
JPS5817380A (ja) 磁界分布測定装置
JPS6360324B2 (ja)
JPS6298530A (ja) 電子銃組立装置
KR920006967B1 (ko) 음극선관의 검사방법
JPS62191Y2 (ja)
JPH02295106A (ja) 電子ビーム露光装置
JPH0410966B2 (ja)
JPH10233161A (ja) 陰極構体の組立方法及び陰極と第1グリッドの平行度測定方法

Legal Events

Date Code Title Description
FPAY Renewal fee payment (prs date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20070724

Year of fee payment: 9

FPAY Renewal fee payment (prs date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080724

Year of fee payment: 10

FPAY Renewal fee payment (prs date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080724

Year of fee payment: 10

FPAY Renewal fee payment (prs date is renewal date of database)

Year of fee payment: 11

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090724

LAPS Cancellation because of no payment of annual fees