JPH05177538A - 板状体の研磨方法 - Google Patents
板状体の研磨方法Info
- Publication number
- JPH05177538A JPH05177538A JP3359860A JP35986091A JPH05177538A JP H05177538 A JPH05177538 A JP H05177538A JP 3359860 A JP3359860 A JP 3359860A JP 35986091 A JP35986091 A JP 35986091A JP H05177538 A JPH05177538 A JP H05177538A
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- JP
- Japan
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- plate
- polishing
- polished
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- Prior art date
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- Pending
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- Finish Polishing, Edge Sharpening, And Grinding By Specific Grinding Devices (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】被研磨板の背面を研磨装置の保持具に装着し、
厚みに対して面積が十分に大きい前記被研磨板の一方の
面を研磨する方法において、研磨によって生じる板厚ム
ラの少ない、安定した板状体の研磨方法を提供する。 【構成】被研磨板10は、保護膜16、固定用両面テープ1
7、剥離シート18を介して固定基板30に固定される。こ
の固定基板30及び保持具31には、それぞれ中央部に小孔
30ａ及び31ａが設けられている。保持具31の重量と、加
工時の研磨シート13の面圧により、被研磨板10と固定基
板15間に生じた空気溜まりの空気は小孔30ａ及び31ａか
ら排出され、被研磨板10は全面が固定基板30に密着した
状態で固定されることになり、安定した研磨が行なわれ
る。
厚みに対して面積が十分に大きい前記被研磨板の一方の
面を研磨する方法において、研磨によって生じる板厚ム
ラの少ない、安定した板状体の研磨方法を提供する。 【構成】被研磨板10は、保護膜16、固定用両面テープ1
7、剥離シート18を介して固定基板30に固定される。こ
の固定基板30及び保持具31には、それぞれ中央部に小孔
30ａ及び31ａが設けられている。保持具31の重量と、加
工時の研磨シート13の面圧により、被研磨板10と固定基
板15間に生じた空気溜まりの空気は小孔30ａ及び31ａか
ら排出され、被研磨板10は全面が固定基板30に密着した
状態で固定されることになり、安定した研磨が行なわれ
る。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、金属、セラミック等の
材料から成る板状体の研磨方法に関し、特にその研磨面
が必ずしも平坦に仕上げられていない板状体の研磨方法
に関するものである。
材料から成る板状体の研磨方法に関し、特にその研磨面
が必ずしも平坦に仕上げられていない板状体の研磨方法
に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】金属、セラミック等の材料から成る板状
体の表面研磨方法には、表と裏の両面を同時に研磨する
方法と、片面のみを研磨する方法とがある。片面のみに
研磨加工を施す場合、図２に示すように、被研磨板10を
保持具11に固定し、これを片面研磨装置12に取り付け
て、研磨加工を行なっていた。片面研磨装置12は、平坦
な上面に研磨シート13を固定した定盤14を備えており、
この研磨シート13に、前記保持具11に取り付けられた被
研磨板10の研磨面を接触させ、被研磨板10と研磨シート
13の少なくとも一方を回転等によって移動させることに
よって、接触面を研磨加工するようにしていた。上述の
加工内容には、被研磨板の板厚ムラは無視して加工面の
状態の向上のみを図る場合と、板厚ムラを抑えつつ面状
態の向上を図る場合とがある。後者の加工では、被研磨
板10のソリ等の特性、及び、保持具11への被研磨板10の
固定において問題を有し、より一層の板厚ムラの生じる
ことがあった。
体の表面研磨方法には、表と裏の両面を同時に研磨する
方法と、片面のみを研磨する方法とがある。片面のみに
研磨加工を施す場合、図２に示すように、被研磨板10を
保持具11に固定し、これを片面研磨装置12に取り付け
て、研磨加工を行なっていた。片面研磨装置12は、平坦
な上面に研磨シート13を固定した定盤14を備えており、
この研磨シート13に、前記保持具11に取り付けられた被
研磨板10の研磨面を接触させ、被研磨板10と研磨シート
13の少なくとも一方を回転等によって移動させることに
よって、接触面を研磨加工するようにしていた。上述の
加工内容には、被研磨板の板厚ムラは無視して加工面の
状態の向上のみを図る場合と、板厚ムラを抑えつつ面状
態の向上を図る場合とがある。後者の加工では、被研磨
板10のソリ等の特性、及び、保持具11への被研磨板10の
固定において問題を有し、より一層の板厚ムラの生じる
ことがあった。
【０００３】従来、この板厚ムラの影響を軽減するため
に、図３に示すように、被研磨板10と固定基板15の間
に、調整用スペーサ19を挿入し、加工の改善を図ってい
た。図３は、図２に比べ、より詳細に各部が示されてい
る。即ち、被研磨板10は、保護膜16、固定用両面テープ
17、剥離シート18及び前記調整用スペーサ19を介して、
固定基板15に固定されており、被研磨板10を固定した固
定基板15は、保持具11に装着されている。しかしなが
ら、このような方法を用いた場合でも、加工時の面圧に
よって、調整用スペーサ19の挿入部以外の加工面は面圧
方向に移動しうるために、研磨加工特性の安定性を確保
するに至らなかった。
に、図３に示すように、被研磨板10と固定基板15の間
に、調整用スペーサ19を挿入し、加工の改善を図ってい
た。図３は、図２に比べ、より詳細に各部が示されてい
る。即ち、被研磨板10は、保護膜16、固定用両面テープ
17、剥離シート18及び前記調整用スペーサ19を介して、
固定基板15に固定されており、被研磨板10を固定した固
定基板15は、保持具11に装着されている。しかしなが
ら、このような方法を用いた場合でも、加工時の面圧に
よって、調整用スペーサ19の挿入部以外の加工面は面圧
方向に移動しうるために、研磨加工特性の安定性を確保
するに至らなかった。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】被研磨板10の板厚ムラ
を抑え、かつ、被加工面を均等に研磨するためには、固
定基板15に被研磨板10を固定する際に、被研磨板10の全
面を固定基板15に密着させておく必要がある。固定基板
15に貼り付け固定された被研磨板10は保持具11に支持さ
れ、回転する研磨シート13（図２）の面上で自転する。
このとき、被研磨板10が固定基板15に全面に密着された
状態で研磨加工が行なわれるならば、被研磨板10の研磨
面は、均等に研磨シート13に接し、良好な研磨が行なわ
れることになる。しかしながら、先に述べたように、被
研磨板10はそれまでに施された加工に起因する変形、ソ
リを少なからず有し、このような被研磨板10を固定基板
15に貼り付け固定する際に、空気の混入は避けられず、
研磨加工時、保持具11の重量によっても被研磨板10と固
定基板15の密着性は改善されない。図４に示すように、
被研磨板10はそれ自体のソリ変形等のために、固定基板
15に全面にわたり均等に密着せず、保護膜16、固定用両
面テープ17を介して、被研磨板10と一体となった剥離シ
ート18と、固定基板15の間に、空気溜まり20を生じる。
この空気溜まり20を内包した状態で研磨加工を行なう
と、空気溜まりの生じている部分の研磨が進行し、それ
により、一層の板厚ムラが生じてしまうという問題があ
った。本発明は、このような問題を解決し、研磨によっ
て生じる板厚ムラの少ない、安定した板状体の研磨方法
を提供することを目的とする。
を抑え、かつ、被加工面を均等に研磨するためには、固
定基板15に被研磨板10を固定する際に、被研磨板10の全
面を固定基板15に密着させておく必要がある。固定基板
15に貼り付け固定された被研磨板10は保持具11に支持さ
れ、回転する研磨シート13（図２）の面上で自転する。
このとき、被研磨板10が固定基板15に全面に密着された
状態で研磨加工が行なわれるならば、被研磨板10の研磨
面は、均等に研磨シート13に接し、良好な研磨が行なわ
れることになる。しかしながら、先に述べたように、被
研磨板10はそれまでに施された加工に起因する変形、ソ
リを少なからず有し、このような被研磨板10を固定基板
15に貼り付け固定する際に、空気の混入は避けられず、
研磨加工時、保持具11の重量によっても被研磨板10と固
定基板15の密着性は改善されない。図４に示すように、
被研磨板10はそれ自体のソリ変形等のために、固定基板
15に全面にわたり均等に密着せず、保護膜16、固定用両
面テープ17を介して、被研磨板10と一体となった剥離シ
ート18と、固定基板15の間に、空気溜まり20を生じる。
この空気溜まり20を内包した状態で研磨加工を行なう
と、空気溜まりの生じている部分の研磨が進行し、それ
により、一層の板厚ムラが生じてしまうという問題があ
った。本発明は、このような問題を解決し、研磨によっ
て生じる板厚ムラの少ない、安定した板状体の研磨方法
を提供することを目的とする。
【０００５】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、本発明の板状体の研磨方法は、被研磨板状体の背面
を研磨装置の保持具に装着し、厚みに対して面積が十分
に大きい前記被研磨板状体の一方の面を研磨する方法に
おいて、前記被研磨板状体を保持固定する固定基板、及
び、前記固定基板を装着する前記保持具の中央部に、空
気逃げ用の小孔を設けるようにしている。
め、本発明の板状体の研磨方法は、被研磨板状体の背面
を研磨装置の保持具に装着し、厚みに対して面積が十分
に大きい前記被研磨板状体の一方の面を研磨する方法に
おいて、前記被研磨板状体を保持固定する固定基板、及
び、前記固定基板を装着する前記保持具の中央部に、空
気逃げ用の小孔を設けるようにしている。
【０００６】
【作用】このようにすると、固定基板と保持具に設けら
れた小孔によって、被研磨板状体と固定基板間に生じる
空気溜まりを除去することができるため、被研磨板状体
と固定基板は密着した状態となり、板厚ムラの少ない安
定した研磨加工を行なうことができる。
れた小孔によって、被研磨板状体と固定基板間に生じる
空気溜まりを除去することができるため、被研磨板状体
と固定基板は密着した状態となり、板厚ムラの少ない安
定した研磨加工を行なうことができる。
【０００７】
【実施例】以下、本発明の実施例を図面を参照しつつ、
説明する。図１に、本発明を実施した研磨加工装置の断
面図を示す。これは、例えば、Ｎｉメッキのスタンパの
研磨である。被研磨板10は、保護膜16、固定用両面テー
プ17、剥離シート18を介して固定基板30に固定される。
21は、研磨シート13上に塗布される研磨液が被研磨板10
の研磨されない側の面に浸透するのを防止するために、
被研磨板10の外周端部に設けられた接着剤である。固定
基板30は、面粗度、平面度の良好なガラス基板を使用し
ており、また、保持具31の固定基板30と接する面も平面
度の高い加工が施されている。この固定基板30及び保持
具31には、それぞれ中央部に小孔30ａ及び31ａが設けら
れている。図４に示したような空気溜まり20が生じるよ
うな場合、保持具31の重量と、加工時の研磨シート13の
面圧により、前記空気溜まり20の空気は小孔30ａ及び31
ａから排出されるので、被研磨板10は、保護膜16、固定
用両面テープ17、剥離シート18を介して固定基板30に密
着した状態で固定され、研磨が行なわれる。このように
被研磨板10を固定した固定基板30は、保持具31に装着さ
れ、保持具31は研磨装置の研磨シート13を貼り付けた定
盤14の上に、回転可能な状態で保持される。定盤14の回
転により保持具31も自転する。このとき、上述のよう
に、被研磨板10と接する研磨シート13上には研磨液が滴
下されている。
説明する。図１に、本発明を実施した研磨加工装置の断
面図を示す。これは、例えば、Ｎｉメッキのスタンパの
研磨である。被研磨板10は、保護膜16、固定用両面テー
プ17、剥離シート18を介して固定基板30に固定される。
21は、研磨シート13上に塗布される研磨液が被研磨板10
の研磨されない側の面に浸透するのを防止するために、
被研磨板10の外周端部に設けられた接着剤である。固定
基板30は、面粗度、平面度の良好なガラス基板を使用し
ており、また、保持具31の固定基板30と接する面も平面
度の高い加工が施されている。この固定基板30及び保持
具31には、それぞれ中央部に小孔30ａ及び31ａが設けら
れている。図４に示したような空気溜まり20が生じるよ
うな場合、保持具31の重量と、加工時の研磨シート13の
面圧により、前記空気溜まり20の空気は小孔30ａ及び31
ａから排出されるので、被研磨板10は、保護膜16、固定
用両面テープ17、剥離シート18を介して固定基板30に密
着した状態で固定され、研磨が行なわれる。このように
被研磨板10を固定した固定基板30は、保持具31に装着さ
れ、保持具31は研磨装置の研磨シート13を貼り付けた定
盤14の上に、回転可能な状態で保持される。定盤14の回
転により保持具31も自転する。このとき、上述のよう
に、被研磨板10と接する研磨シート13上には研磨液が滴
下されている。
【０００８】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
被研磨板状体の表面を研磨するに際して、被研磨板状体
を貼り付け固定する固定基板と、研磨時に固定基板を保
持する保持具の中央部に小孔を設けることにより、被研
磨板状体と固定基板間に生じる空気溜まりを除去するこ
とができる。従って、被研磨板状体は全面が固定基板に
密着した状態となるので、板厚ムラの少ない安定した研
磨加工が実現できる。
被研磨板状体の表面を研磨するに際して、被研磨板状体
を貼り付け固定する固定基板と、研磨時に固定基板を保
持する保持具の中央部に小孔を設けることにより、被研
磨板状体と固定基板間に生じる空気溜まりを除去するこ
とができる。従って、被研磨板状体は全面が固定基板に
密着した状態となるので、板厚ムラの少ない安定した研
磨加工が実現できる。
【図１】 本発明を実施した板状体の研磨方法を示す断
面図。
面図。
【図２】 従来の板状体の研磨方法を示す側面図。
【図３】 従来方法の課題と対策を示す側面図。
【図４】 従来方法の課題を示す図。
10 被研磨板 11 保持具 12 片面研磨装置 13 研磨シート 14 定盤 15 固定基板 16 保護膜 17 固定用両面テープ 18 剥離シート 19 調整用スペーサ 20 空気溜まり 21 接着剤 30 固定基板 30a 小孔 31 保持具 31a 小孔
Claims (1)
- 【請求項１】 被研磨板状体の背面を研磨装置の保持具
に装着し、厚みに対して面積が十分に大きい前記被研磨
板状体の一方の面を研磨する方法において、 前記被研磨板状体を保持固定する固定基板、及び、前記
固定基板を装着する前記保持具の中央部に、空気逃げ用
の小孔を設けたことを特徴とする板状体の研磨方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3359860A JPH05177538A (ja) | 1991-12-26 | 1991-12-26 | 板状体の研磨方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3359860A JPH05177538A (ja) | 1991-12-26 | 1991-12-26 | 板状体の研磨方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05177538A true JPH05177538A (ja) | 1993-07-20 |
Family
ID=18466674
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3359860A Pending JPH05177538A (ja) | 1991-12-26 | 1991-12-26 | 板状体の研磨方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH05177538A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002036097A (ja) * | 2000-07-18 | 2002-02-05 | Rodel Nitta Co | 研磨パッド |
| JP2011088274A (ja) * | 2011-01-05 | 2011-05-06 | Nitta Haas Inc | 研磨パッド |
-
1991
- 1991-12-26 JP JP3359860A patent/JPH05177538A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002036097A (ja) * | 2000-07-18 | 2002-02-05 | Rodel Nitta Co | 研磨パッド |
| JP4686010B2 (ja) * | 2000-07-18 | 2011-05-18 | ニッタ・ハース株式会社 | 研磨パッド |
| JP2011088274A (ja) * | 2011-01-05 | 2011-05-06 | Nitta Haas Inc | 研磨パッド |
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