JPH0517711A - ポジ型感光性アニオン型電着塗料樹脂組成物、これを用いた電着塗装浴、電着塗装法及びプリント回路板の製造法 - Google Patents

ポジ型感光性アニオン型電着塗料樹脂組成物、これを用いた電着塗装浴、電着塗装法及びプリント回路板の製造法

Info

Publication number
JPH0517711A
JPH0517711A JP16820791A JP16820791A JPH0517711A JP H0517711 A JPH0517711 A JP H0517711A JP 16820791 A JP16820791 A JP 16820791A JP 16820791 A JP16820791 A JP 16820791A JP H0517711 A JPH0517711 A JP H0517711A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
electrodeposition coating
resin composition
acid
weight
electrodeposition
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP16820791A
Other languages
English (en)
Inventor
Satohiko Akahori
聡彦 赤堀
Shigeo Tachiki
繁雄 立木
Masahiko Ko
昌彦 廣
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Showa Denko Materials Co Ltd
Original Assignee
Hitachi Chemical Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Hitachi Chemical Co Ltd filed Critical Hitachi Chemical Co Ltd
Priority to JP16820791A priority Critical patent/JPH0517711A/ja
Publication of JPH0517711A publication Critical patent/JPH0517711A/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Manufacturing Of Printed Wiring (AREA)
  • Paints Or Removers (AREA)
  • Manufacturing Of Printed Circuit Boards (AREA)

Abstract

(57)【要約】 (修正有) 【目的】高感度、高解像度及び電着浴の安定性(感光材
料の水分散安定性)が良好なポジ型感光性アニオン型電
着塗料樹脂組成物を提供し、これを電着塗装法により塗
膜とし、エッチング又はメッキ法等により極めて高精度
高密度のプリント回路板を製造すること。 【構成】 (A)(a)アクリル酸及び/又はメタクリ
ル酸、(b)テトラヒドロピラニルメタクリレート及び
/又はテトラヒドロピラニルアクリレート並びに(c)
ホモポリマーのガラス転移温度が0℃以下である重合性
モノマーを必須成分として共重合した共重合ポリマーと
(B)活性光線の照射により酸を生成する化合物とを含
有してなるポジ型感光性アニオン型電着塗料樹脂組成
物、これを用いた電着塗装浴、電着塗装法、及びプリン
ト回路板の製造法。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、ポジ型感光性アニオン
型電着塗料樹脂組成物、これを用いた電着塗装浴、電着
塗装法及びプリント回路板の製造法に関する。
【0002】
【従来の技術】従来、基板表面にレジストパターンを形
成する方法としては、基板表面に感光層を形成し、次い
で活性光線を照射後、現像する方法がよく用いられてい
る。この工程における感光層の形成には種々の方法が採
用されている。例えば、ディップコート、ロールコー
ト、カーテンコート等の感光性樹脂組成物溶液(塗液)
を用いる方法、あるいは感光層を基材フィルム上に予め
形成したもの(以下、感光性フィルムと略す)を基板表
面にラミネーター等を用いて積層する方法などが知られ
ている。これらの方法のうち、感光性フィルムを用いる
方法は、簡便に均一な厚みの感光層が形成できることか
ら、現在、特にプリント回路板製造の分野では主流の方
法として採用されている。
【0003】最近では、プリント回路板の高密度、高精
度化が進むに従い、レジストパターンはより高品質のも
のが必要となってきている。即ち、ピンホールがなく、
下地の基板表面によく密着したレジストパターンである
ことが望まれている。かかる要求に対して、現在主流と
なっている感光性フィルムを積層する方法では限界のあ
ることが知られている。この方法では、基板製造時の打
痕、研磨の不均一性、基板内層のガラス布の網目、表面
への銅めっきのピット等の不均一などによって生起する
基板表面の凹凸への追従性が乏しく、十分な密着性を得
ることが困難である。この困難は、感光性フィルムの積
層を減圧下で行うこと(特公昭59−3740号公報参
照)によってある程度回避できるが、これには特殊で高
価な装置が必要となる。
【0004】これらの理由から、最近、再びディップコ
ート、ロールコート、カーテンコート等の溶液塗工の方
法が見直されるようになってきた。しかし、これらの塗
工方法では、膜厚の制御が困難、膜厚の均一性が不十
分、ピンホールの発生などの問題がある。
【0005】そこで最近新たな方法として、電着塗装に
より感光膜を形成する方法が提案されている。(特開昭
62−235496号公報参照)。この方法によると、
レジストの密着性が向上する、基板表面の凹凸への
追従生が良好、短時間で膜厚の均一な感光膜を形成で
きる、塗液が水溶液のため、作業環境の汚染を防止で
き、防災上にも問題がないなどの利点がある。
【0006】そのため、特にスルーホールを有するプリ
ント回路基板の製造に有効と考えられるポジ型の感光性
電着塗料については、従来から幾つかの提案がなされて
いる。それらの大半はキノンジアジド基を感光基として
用いているが、光感度が低いこと、感光材料の水分散安
全性が劣るなどの問題があった。
【0007】一方、近年、半導体素子、磁気バブルメモ
リー、集積回路等の電子部品を製造するためのパターン
形成法として、活性光線の照射により酸を生成する化合
物と、その生成した酸により分解されて現像液への溶解
性を向上する性質を示す化合物とを組み合わせた化学増
幅系ポジ型感光材料が数多く報告されている。これらの
方法によれば、従来のキノンジアジド基を用いた方法に
比べ、大幅な高感度化が期待できる。しかしながら、そ
れらの材料系を電着塗料化し、実用化した例は現在のと
ころ見られない。
【0008】従来から報告されている化学増幅系ポジ型
感光材料は、通常、有機溶媒に溶解して塗布法により塗
膜(感光膜)を形成するため、そのままでは水分散せ
ず、電着塗料樹脂組成物としては使用できない。電着塗
料化のためには、従来の化学増幅系ポジ型感光材料を根
本的に改質する必要があった。
【0009】
【発明が解決しようとする課題】本発明は、高感度、高
解像度及び電着浴の安定性(感光材料の水分散安定性)
が良好なポジ型感光性電着塗料樹脂組成物を提供するこ
とを目的とするものである。
【0010】
【課題を解決するための手段】本発明は、 (A)(a)アクリル酸及び/又はメタクリル酸、 (b)テトラヒドロピラニルメタクリレート及び/又は
テトラヒドロピラニルアクリレート並びに (c)ホモポリマーのガラス転移温度が0℃以下である
重合性モノマーを必須成分として共重合した共重合ポリ
マーと (B)活性光線の照射により酸を生成する化合物 とを含有してなるポジ型感光性アニオン型電着塗料樹脂
組成物及びこれを用いた電着塗装浴に関する。
【0011】また、本発明は、前記電着塗装浴に少なく
とも表面が導電性の基板を浸漬し、これを陽極として直
流電圧を印加することを特徴とする電着塗装法及び該法
で得られる電着塗装膜を露光、現像することを特徴とす
るプリント回路基板の製造法に関する。
【0012】以下、本発明について詳述する。本発明に
おいて(A)成分である共重合ポリマーは、前記のよう
に(a)アクリル酸及び/又はメタクリル酸、(b)テ
トラヒドロピラニルメタクリレート及び/又はテトラヒ
ドロピラニルアクリレート並びに(C)ホモポリマーの
ガラス転移温度が0℃以下である重合性モノマーを必須
成分として共重合したものである。
【0013】(a)成分であるアクリル酸及び/又はメ
タクリル酸は、得られた共重合ポリマーの酸価が15〜
270の範囲になるように使用されることが好ましく、
40〜150の範囲がより好ましい。酸価が15未満で
は、本発明のポジ型感光性アニオン型電着塗料樹脂組成
物に、後述するように塩基を加えた後、水を加えて水分
散させる際の水分散性や水分散安定性が悪く、組成物が
沈降する傾向がある。また、酸価が270を越えると電
着塗装後の塗膜(感光膜)の外観が劣る傾向がある。ア
クリル酸及びメタクリル酸は、それぞれ単独で用いても
よく、両者を併用してもよい。
【0014】(a)成分の使用量は、(A)成分である
共重合ポリマーを構成する重合性モノマーの総量100
重量部に対し、2〜35重量部とされることが好まし
く、5〜23重量部とされることがより好ましい。使用
量が2重量部未満では、塗料の分散性に劣り、安全性、
電着性が低下する傾向があり、35重量部を越えると塗
膜の均一性、耐現像性などが低下する傾向がある。
【0015】(b)成分であるテトラヒドロピラニルメ
タクリレート及びテトラヒドロピラニルアクリレート
は、それぞれ式
【化2】 で示される化合物である。テトラヒドロピラニルメタク
リレート及びテトラヒドロピラニルアクリレートは次に
記す一連の操作で得ることができる。メタクリル酸ある
いはアクリル酸と2,3−ジヒドロ−4H−ピランを酢
酸エチル等の適切な溶媒に溶かし、触媒量の塩酸等の酸
を加え20〜80℃に加熱する。6時間〜10日程度で
目的の化合物を得ることができる。テトラヒドロピラニ
ルメタクリレート及びテトラヒドロピラニルアクリレー
トは、それぞれ単独で用いてもよく、両者を併用しても
よい。その使用量は、(A)成分である共重合ポリマー
を構成する重合性モノマーの総量100重量部に対して
10〜80重量部とすることが好ましく、20〜60重
量部とすることがより好ましい。この使用量が10重量
部未満では、光感度が低下する傾向があり、80重量部
を超えると、共重合ポリマーのガラス転移温度が高くな
りすぎて電着塗装性が低下する傾向がある。
【0016】(c)成分であるホモポリマーのガラス転
移温度が0℃以下である重合性モノマーとは、そのモノ
マーを単独重合したポリマーのガラス転移温度が0℃以
下となるモノマーを意味している。ガラス転移温度の測
定は通常の熱分析法で行われるが、好ましくは示差走査
熱量測定法(DSC)で行われる。ここでいうホモポリ
マーのガラス転移温度が0℃以下である重合性モノマー
としては、例えば、エチルアクリレート、イソプロピル
アクリレート、n−プロピルアクリレート、イソブチル
アクリレート、n−ヘキシルメタクリレート、n−オク
チルメタクリレート、n−デシルメタクリレートなどが
あり、中でもn−ブチルアクリレート及び2−エチルヘ
キシルアクリレートが好適である。これらの重合性モノ
マーは、1種類又は2種類以上併用してもよい。
【0017】(c)成分の使用量は、(A)成分である
共重合ポリマーを構成する重合性モノマーの総量100
重量部に対し5〜75重量部とされることが好ましく、
20〜60重量部とされることがより好ましい。この使
用量が5重量部未満では、ポリマーのガラス転移温度が
高くなり、電着塗装性が低下する傾向がある。また、7
5重量部を越えると、共重合ポリマーのガラス転移温度
が低くなりすぎて電着塗装後の塗膜のべたつきが大きく
なる傾向がある。
【0018】なお、(A)成分の共重合ポリマーを構成
する必須成分の(a)、(b)及び(c)の各モノマー
成分の特に好ましい配合量は、(a)、(b)及び
(c)成分の総量100重量部に対して(a)成分が5
〜23重量部、(b)成分が20〜60重量部、(c)
成分が20〜60重量部である。
【0019】(A)成分である共重合ポリマーには、上
記(a)、(b)及び(c)成分である重合性モノマー
以外に、例えば、メチルアクリレート、メチルメタクリ
レート、エチルメタクリレート、n−ブチルメタクリレ
ート、メタクリル酸シクロヘキシル、メタクリル酸メシ
チル、メタクリル酸フェンチル、メタクリル酸アダマン
チル、メタクリル酸トリシクロ[5.2.1.02'6
デカ−8(又は9)−イル、メタクリル酸テトラヒドロ
フルフリル、2,2,2−トリフルオロエチルメタクリ
レート、ジアセトンアクリルアミド、アクリロニトリ
ル、スチレン、ビニルトルエンなどの公知の重合性モノ
マーを1種類以上共重合することができる。その使用量
は、(A)の成分である共重合ポリマーを形成する重合
性モノマーの総量100重量部に対して50重量部以下
で用いることが好ましく、30重量部以下で用いること
がより好ましい。この使用量が50重量部を越えると、
感光特性が低下する。
【0020】(A)成分である共重合ポリマーは、前記
重合性モノマーを有機溶媒中で2,2´−アゾビス(イ
ソブチロニトリル)、2,2´−アゾビス(2,4−ジ
メチルバレロニトリル)等のアゾ化合物系あるいは過酸
化ベンゾイル等の過酸化物系の重合開始剤を用いて一般
的な溶液重合により得ることができる。この場合に用い
る有機溶媒は、電着塗料に供することを考えて、ジオキ
サン、エチレングリコールモノメチルエーテル、エチレ
ングリコールモノエチルエーテル、プロピレングリコー
ルモノメチルエーテル、ジエチレングリコールなどの親
水性有機溶媒を主に用いることが好ましい。もしトルエ
ン、キシレン、ベンゼンなどの疎水性有機溶媒を主に用
いた場合には、共重合ポリマー合成後、溶媒を留去して
前記の親水性有機溶媒に置き換える必要がある。共重合
ポリマーの重量平均分子量(標準ポリスチレン換算)
は、5000〜150000が好ましく、20000〜
90000がより好ましい。5000未満ではレジスト
の機械的強度が弱く、150000を越えると、電着塗
装性が劣り、塗膜の外観が劣る傾向がある。共重合ポリ
マーのガラス転移温度は、0〜100℃であることが好
ましく、10〜70℃であることがより好ましく、20
〜50℃であることが特に好ましい。ガラス転移温度が
低すぎると、塗膜のべたつきが大きくなる傾向があり、
高すぎると、電着塗装性が低下する傾向がある。
【0021】(A)成分である共重合ポリマーの使用量
は、(A)成分及び(B)成分の総量100重量部に対
して60〜99.9重量部とされる。80〜99重量部
とされることがより好ましい。この使用量が60重量部
未満では、光及び熱に対する電着浴や塗膜の安定性が悪
く、また、99.9重量部を超えると、光感度が低すぎ
る傾向があり好ましくない。
【0022】次に、(B)成分である活性光線の照射に
より酸を生成する化合物について説明する。活性光線の
照射により酸を生成する化合物としては、例えば、芳香
族ホスホニウム、スルホニウム、ジアゾニウム及びヨー
ドニウムのAsF6 -、ClO4 -、BF4 -、SbF6 -、P
6 -等の塩、
【化3】 等のオキサゾール誘導体、
【化4】 等のs−トリアジン誘導体、
【化5】 等のジスルホン誘導体、
【化6】 等のイミドスルホネート誘導体、
【化7】 等の一般式(I)
【化8】 〔式中、Rはアルキル基を表す〕で示されるニトロベン
ジル誘導体が挙げられる。これらのうち、分子内にイオ
ン結合を有さない(塩構造を有さない)化合物であるオ
キサゾール誘導体、s−トリアジン誘導体、ジスルホン
誘導体、イミドスルホネート誘導体及びニトロベンジル
誘導体が光感度の点から好ましい。中でもニトロベンジ
ル誘導体が特に好ましい。
【0023】これらの活性光線の照射により酸を生成す
る化合物は、(A)及び(B)成分の総量100重量部
に対して0.1〜40重量部の範囲で使用されることが
好ましく、1〜20重量部の範囲で使用されることがよ
り好ましい。この使用量が0.1重量部未満では、光感
度が低すぎ、40重量部を越えると安定性が低下する傾
向がある。
【0024】本発明のポジ型感光性アニオン型電着塗料
樹脂組成物には、前記活性光線の照射により酸を生成す
る化合物の酸生成効率を増大させる化合物を含有させる
ことができる。このような増感剤としては、例えば、ア
ントラセン、フェナンスレン、ピレン、チオキサント
ン、ベンゾフェノン、アンスロン、ミヒラーケトン、9
−フルオレノン、フェノチアジンなどを挙げることがで
きる。これら増感剤の使用量と活性光線の照射により酸
を生成する化合物との配合割合は、増感剤/酸を生成す
る化合物(モル比)で0.01/1〜20/1であるこ
とが好ましく、0.1/1〜5/1であることがより好
ましい。
【0025】本発明のポジ型感光性アニオン型電着塗料
樹脂組成物には、さらに染料、顔料、可塑剤、接着促進
剤、無機充填剤などを適宜配合することができる。
【0026】以上述べた(A)及び(B)成分を主成分
とする本発明のポジ型感光性アニオン型電着塗料樹脂組
成物を電着塗料化するためには、まず、(A)及び
(B)成分、さらに必要に応じて用いる前記の各種成分
を親水性有機溶媒に均一に溶解せしめることが望ましい
が、必ずしもこれにこだわる必要はない。ここでいう親
水性有機溶媒とは、例えば、ジオキサン、エチレングリ
コールモノメチルエーテル、エチレングリコールモノエ
チルエーテル、プロピレングリコールモノメチルエーテ
ル、ジエチレングリコールなどが挙げられる。これら溶
媒は単独でも、また2種類以上混合して用いてもよく、
その使用量は、全固形分100重量部に対して300重
量部以下の範囲が好ましい。
【0027】次に、この溶液に塩基を加えて(A)成分
である共重合ポリマー中に含まれるカルボキシル基を中
和することにより、組成物の水溶化又は水分散化を容易
にする。ここで用いる塩基としては、特に制限はない
が、例えば、トリエチルアミン、モノエタノールアミ
ン、ジエタノールアミン、ジイソプロピルアミン、ジメ
チルアミノエタノール、モルホリン、アンモニア、水酸
化ナトリウムなどが挙げられ、これらは単独又は2種以
上混合して用いることができる。これら塩基の使用量
は、(A)成分である共重合ポリマー中のカルボキシル
基1当量に対して0.3〜1.0当量が好ましい。0.
3当量未満では、電着塗装浴での水分散安定性が低下
し、1.0当量を越えると、電着塗装後の塗膜(感光
層)厚が薄くなり、貯蔵安定性も低下する傾向があり好
ましくない。
【0028】次に、水を加えて組成物を水に溶解又は分
散させて電着塗装浴を作製する。電着塗装浴の固形分
は、通常5〜20重量%、また、pHは6.0〜9.0
の範囲が好ましい。pHが6.0未満では、分散が悪化
し電気泳動しにくくなるおそれがあり、pHが9.0を
越えると一旦電着した膜が再溶解し、結果として膜が形
成されないことがある。pHを上記の好ましい範囲に合
わせるために後から前記の塩基を加えて調節してもよ
い。
【0029】また、ポジ型感光性アニオン型電着塗料樹
脂組成物の水分散性や分散安定性を高めるために、非イ
オン、陽イオン、陰イオンなどの界面活性剤を適宜加え
ることができる。さらに、電着塗装時に塗布量を多くす
るためにトルエン、キシレン、2−エチルヘキシルアル
コールなどの疎水性溶媒も適宜加えることができる。
【0030】このようにして得られた電着塗装浴を用い
て基板表面(この場合、基板表面は鉄、アルミニウム、
銅、亜鉛、その他の金属及び合金などの金属若しくは他
の導電材料(例えば、ポリピロール)で覆われていて、
導電性を示すことが必要)に電着塗装するには、基板を
電着塗装浴中に浸漬し、これを陽極として通常40〜4
00Vの直流電圧を10秒〜5分間印加して行われる。
このときの電着塗装浴の温度を15〜30℃に管理する
ことが望ましい。
【0031】電着塗装後、電着塗装浴から被塗物を引き
上げ、水洗、水切りした後、熱風などで乾燥する。この
際、乾燥温度が高いと、ポジ型感光性アニオン型電着塗
料樹脂組成物中のテトラヒドロピラニルエステル基が分
解するおそれがあるので、通常110℃以下で乾燥する
ことが好ましい。
【0032】こうして得られた塗膜(感光層)の厚み
は、2〜50μmが好ましい。膜厚が2μm未満では耐
現像液性が低く、また、例えば、プリント回路板の製造
に用いる場合には、レジストパターンを形成後エッチン
グ処理した際に、耐エッチング液性やエッチファクター
が劣る傾向があり、また、膜厚が50μmを越えるとレ
ジストパターンの解像度が低下することがある。
【0033】次いで、該塗膜に活性光線を画像状に照射
し、露光部に酸を発生させた後、場合により、80〜1
50℃で1〜20分間加熱後、現像により露光部を除去
してレジストパターンを得ることができる。活性光線の
光源としては、例えば、水銀灯、キセノンランプ、メタ
ルハライドランプ、ケミカルランプ、カーボンアーク
灯、g線、i線、deep−UV光、さらにはヘリウム
ネオンレーザー、アルゴンイオンレーザー、クリプトン
イオンレーザー、ヘリウム・カドミウムイオンレーザ
ー、KrFエキシマレーザーなどの高密度エネルギービ
ームを使用することもできる。
【0034】現像は通常、0.1〜15重量%である水
酸化ナトリウム、炭酸ナトリウム、メタ珪酸ナトリウ
ム、水酸化カリウム、テトラアルキルアンモニウム塩な
どの無機及び有機アルカリ水溶液を吹きつけるか、アル
カリ水溶液に浸漬するなどして行われる。
【0035】
【実施例】次に、実施例により本発明をさらに詳細に説
明するが、本発明はこれらによって制限されるものでは
ない。
【0036】(A)共重合ポリマーの合成 (A−1)撹拌機、還流冷却器、温度計、滴下ロート及
び窒素ガス導入管を備えたフラスコにジオキサン565
gを加え、撹拌しながら窒素ガスを吹き込み、90℃の
温度に加温した。温度が90℃一定になったところで、
メタクリル酸50g、テトラヒドロピラニルアクリレー
ト325g、n−ブチルアクリレート125g及び2,
2´−アゾビス(イソブチロニトリル)5gを混合した
液を1.5時間かけてフラスコに滴下し、その後90℃
で4時間撹拌しながら保温した。4時間後に2,2´−
アゾビス(2,4−ジメチルバレロニトリル)1.5g
をジオキサン50gに溶かした溶液を10分かけてフラ
スコ内に滴下し、その後再び4時間90℃で撹拌しなが
ら保温した。
【0037】このようにして得られた共重合ポリマーの
重量平均分子量は37000、酸価は64.3であっ
た。また、ポリマー溶液の固形分は45.2重量%であ
った。
【0038】(A−2)(A−1)と同様の装置を備え
たフラスコにプロピレングリコールモノメチルエーテル
565gを加え、撹拌し、窒素ガスを吹き込みながら9
0℃の温度に加温した。温度が90℃一定になったとこ
ろで、メタクリル酸40gテトラヒドロピラニルメタク
リレート155g、2−エチルヘキシルアクリレート2
25g、メチルメタクリレート80g及び2,2′−ア
ゾビス(イソブチロニトリル)3.5gを混合した液を
1.5時間かけてフラスコに滴下し、その後90℃で4
時間撹拌しながら保温した。4時間後に2,2′−アゾ
ビス(2,4−ジメチルバレロニトリル)1.5gをプ
ロピレングリコールモノメチルエーテル50gに溶かし
た溶液を10分かけてフラスコ内に滴下し、その後再び
4時間90℃で撹拌しながら保温した。
【0039】このようにして得られた共重合ポリマーの
重量平均分子量は46000、酸価は51.6であっ
た。また、ポリマー溶液の固形分は45.1重量%であ
った。
【0040】(A−3)(A−1)と同様の装置を備え
たフラスコにプロピレングリコールモノプロピルエーテ
ル565gを加え、撹拌し、窒素ガスを吹き込みながら
80℃の温度に加温した。温度が80℃一定になったと
ころで、アクリル酸70g、テトラヒドロピラニルアク
リレート250g、2−エチルヘキシルアクリレート1
80g及び2,2′−アゾビス(イソブチロニトリル)
5gを混合した液を1.5時間かけてフラスコに滴下
し、その後80℃で5時間撹拌しながら保温した。5時
間後に2,2′−アゾビス(2,4−ジメチルバレロニ
トリル)1.5gをプロピレングリコールモノプロピル
エーテル50gに溶かした溶液を10分かけてフラスコ
内に滴下し、その後、再び5時間80℃で撹拌しながら
保温した。
【0041】このようにして得られた共重合ポリマーの
重量平均分子量は50000、酸価は107.6であっ
た。また、ポリマー溶液の固形分は45.2重量%であ
った。
【0042】(A−4)(A−1)と同様の装置を備え
たフラスコにプロピレングリコールモノプロピルエーテ
ル565gを加え、撹拌し、窒素ガスを吹き込みながら
100℃の温度に加温した。温度が100℃一定になっ
たところで、メタクリル酸30g、テトラヒドロピラニ
ルメタクリレート125g、n−ブチルアクリレート1
00g、メチルメタクリレート145g、エチルアクリ
レート100g及び2,2′−アゾビス(イソブチロニ
トリル)5gを混合した液を1.5時間かけてフラスコ
に滴下し、その後100℃で4時間撹拌しながら保温し
た。4時間後に2,2′−アゾビス(2,4−ジメチル
バレロニトリル)1.5gをプロピレングリコールモノ
プロピルエーテル50gに溶かした溶液を10分かけて
フラスコ内に滴下し、その後、再び4時間100℃で撹
拌しながら保温した。
【0043】このようにして得られた共重合ポリマーの
重量平均分子量は28000、酸価は38.6であっ
た。また、ポリマー溶液の固形分は45.2重量%であ
った。
【0044】実施例1 2−(p−メトキシフェニル)−4,6−ビス(トリク
ロロメチル)−s−トリアジン0.5g及び一般式
(I)においてRがプロピル基であるp−ニトロベンジ
ル誘導体1.5gをジオキサン50gに溶解し、上記
(A−1)で調製した共重合ポリマー溶液110gに加
え、さらにトリエチルアミン4.7gを加えて中和した
後、液を撹拌しながらイオン交換水390gを徐々に滴
下して加えていき、電着塗装浴(pH7.9)を得た。
【0045】実施例2 2−(p−メトキシスチリル)−4,6−ビス(トリク
ロロメチル)−s−トリアジン0.5g及び一般式
(I)においてRがエチル基であるp−ニトロベンジル
誘導体1gをプロピレングリコールモノメチルエーテル
50gに溶解し、上記(A−2)で調製した共重合ポリ
マー溶液110gに加え、さらにトリエチルアミン4.
1gを加えて中和した後、液を撹拌しながらイオン交換
水390gを徐々に滴下して加えていき、電着塗装浴
(pH7.8)を得た。
【0046】実施例3 一般式(I)においてRがn−ブチル基であるp−ニト
ロベンジル誘導体1gをジオキサン50gに溶解し、上
記(A−3)で調製した共重合ポリマー溶液110gに
加え、さらにトリエチルアミン6gを加えて中和した
後、液を撹拌しながらイオン交換水365gを徐々に滴
下して加えていき、電着塗装浴(pH7.2)を得た。
【0047】実施例4 一般式(I)においてRがn−ブチル基であるp−ニト
ロベンジル誘導体2gをジオキサン50gに溶解し、上
記(A−4)で調製した共重合ポリマー溶液110gに
加え、さらにトリエチルアミン3.3gを加えて中和し
た後、液を撹拌しながら、イオン交換水390gを徐々
に滴下して加えていき、電着塗装浴(pH7.9)を得
た。
【0048】比較例 上記(A−1)で調製した共重合ポリマーのモノマー組
成の中で(c)成分のn−ブチルアクリレートの代わり
にメチルメタクリレートを同量配合した以外は(A−
1)と同じ合成条件で共重合ポリマーを合成した。得ら
れた共重合ポリマーの重量平均分子量は36000、酸
価は64.3であった。また、ポリマー溶液の固形分は
45.2重量%であった。この共重合ポリマー溶液を用
いて、実施例1と同一組成の電着塗装浴を得た。
【0049】上記の実施例1〜4及び比較例で作成した
各電着塗装浴の水分散安定性を、電着塗装浴を建築後、
静置し、沈殿物が発生するまでの日数を観察することに
よって評価し、結果を表1に示す。
【0050】上記の実施例1〜4及び比較例で作成した
各電着塗装浴にガラスエポキシ銅張積層板(日立化成工
業株式会社製MCL−E−61)を陽極として、ステン
レス板(SUS304、形状125mm×50mm×1
mm)を陰極として浸漬し、25℃の温度で160Vの
直流電圧を3分間印加し、各銅張積層板の表面に電着塗
装膜を形成した。この後、水洗、水切り後80℃で15
分乾燥した(乾燥後の膜厚及び塗膜外観を表1に示
す)。
【0051】これらの電着塗装膜をフォトマスクを介し
て3kWの超高圧水銀灯で800mJ/cm2露光した
後、130℃で10分加熱し、基板を冷却後、1%の炭
酸ナトリウム水溶液でスプレー現像(スプレー圧力1.
0kg/cm2)した。このときに光感度と解像度を測
定し、結果を表1に示す。なお、光感度は、光学密度
0.05を1段目とし、1段ごとに光学密度が0.15
ずつ増加するステップウェジを使用したグレースケール
フィルム(いわゆるフォトマスク)で測定した。
【0052】表1から明らかなように、本発明の電着塗
装浴の水分散安定性は、極めて良好であり、また、本発
明の電着塗料樹脂組成物を用いて作成したレジストの光
感度も高く、高解像度の良好なレジストパターンを形成
することができた。
【0053】一方、比較例の電着塗装浴は、実施例に比
べ水分散安定性が悪く、また、実施例と同じ電着塗装条
件では膜厚が薄く、塗膜外観も不良であるなど、電着塗
装性は著しく劣る。レジストの感光特性についても、比
較例の光感度は低くなる傾向があり、解像度も膜の表面
状態が不良であることも手伝い極めて劣っている。
【0054】
【表1】
【0055】
【発明の効果】本発明のポジ型感光性アニオン型電着塗
料樹脂組成物を用いた電着塗装浴の水分散安定性は極め
て良好である。この電着塗装浴を用いた電着塗装法によ
って得られる電着塗装膜(感光膜)の光感度は極めて優
れたものであり、解像度も高く、形状の良好なレジスト
パターンを形成できる。このようなレジストパターンを
レリーフとして使用でき、また、銅張積層板を基体とし
て用いエッチング又はメッキ法等によりレジストパター
ンの形成を行うことによって極めて高精度高密度のプリ
ント回路板を製造することができる。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.5 識別記号 庁内整理番号 FI 技術表示箇所 H05K 3/06 H 6921−4E // H05K 3/18 D 6736−4E

Claims (6)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 (A)(a)アクリル酸及び/又はメタ
    クリル酸、 (b)テトラヒドロピラニルメタクリレート及び/又は
    テトラヒドロピラニルアクリレート並びに (c)ホモポリマーのガラス転移温度が0℃以下である
    重合性モノマーを必須成分として共重合した共重合ポリ
    マーと (B)活性光線の照射により酸を生成する化合物 とを含有してなるポジ型感光性アニオン型電着塗料樹脂
    組成物。
  2. 【請求項2】 (c)成分のホモポリマーのガラス転移
    温度が0℃以下である重合性モノマーが、n−ブチルア
    クリレート及び/又は2−エチルヘキシルアクリレート
    である請求項1記載のポジ型感光性アニオン型電着塗料
    樹脂組成物。
  3. 【請求項3】 活性光線の照射により酸を発成する化合
    物が一般式(I) 【化1】 〔式中、Rはアルキル基を表す〕で示される化合物であ
    る請求項1又は2記載のポジ型感光性アニオン型電着塗
    料樹脂組成物。
  4. 【請求項4】 請求項1、2又は3記載のポジ型感光性
    アニオン型電着塗料樹脂組成物を含む電着塗装浴。
  5. 【請求項5】 請求項4記載の電着塗装浴に表面が導電
    性の基板を浸漬し、これを陽極として直流電圧を印加す
    ることを特徴とする電着塗装法。
  6. 【請求項6】 請求項5記載の方法により基板上に電着
    塗装された電着塗装膜を露光、現像することを特徴とす
    るプリント回路板の製造法。
JP16820791A 1991-07-09 1991-07-09 ポジ型感光性アニオン型電着塗料樹脂組成物、これを用いた電着塗装浴、電着塗装法及びプリント回路板の製造法 Pending JPH0517711A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP16820791A JPH0517711A (ja) 1991-07-09 1991-07-09 ポジ型感光性アニオン型電着塗料樹脂組成物、これを用いた電着塗装浴、電着塗装法及びプリント回路板の製造法

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP16820791A JPH0517711A (ja) 1991-07-09 1991-07-09 ポジ型感光性アニオン型電着塗料樹脂組成物、これを用いた電着塗装浴、電着塗装法及びプリント回路板の製造法

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPH0517711A true JPH0517711A (ja) 1993-01-26

Family

ID=15863778

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP16820791A Pending JPH0517711A (ja) 1991-07-09 1991-07-09 ポジ型感光性アニオン型電着塗料樹脂組成物、これを用いた電着塗装浴、電着塗装法及びプリント回路板の製造法

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPH0517711A (ja)

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP0689098A1 (de) 1994-06-22 1995-12-27 Ciba-Geigy Ag Positiv-Photoresist
US6790589B2 (en) 1993-12-28 2004-09-14 Fujitsu Limited Radiation sensitive material and method for forming pattern
WO2006080786A1 (en) * 2005-01-25 2006-08-03 Lg Chem. Ltd. Thermally curable resin composition with extended storage stability and good adhesive property

Cited By (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6790589B2 (en) 1993-12-28 2004-09-14 Fujitsu Limited Radiation sensitive material and method for forming pattern
US7179580B2 (en) 1993-12-28 2007-02-20 Fujitsu Limited Radiation sensitive material and method for forming pattern
US7465529B2 (en) 1993-12-28 2008-12-16 Fujitsu Limited Radiation sensitive material and method for forming pattern
EP0689098A1 (de) 1994-06-22 1995-12-27 Ciba-Geigy Ag Positiv-Photoresist
US5939242A (en) * 1994-06-22 1999-08-17 Ciba Specialty Chemicals Corporation Positive photoresist with an alkoxyalkyl ester group-containing (co)polymer and carboxyl-group containing (co)polymer
WO2006080786A1 (en) * 2005-01-25 2006-08-03 Lg Chem. Ltd. Thermally curable resin composition with extended storage stability and good adhesive property
US7671121B2 (en) 2005-01-25 2010-03-02 Lg Chem. Ltd. Thermally curable resin composition with extended storage stability and good adhesive property

Similar Documents

Publication Publication Date Title
EP0489560B1 (en) Positive type photosensitive anionic electrodeposition coating resin composition
US5077174A (en) Positive working dry film element having a layer of resist composition
US5213946A (en) Positive type, photosensitive resinous composition
US5145764A (en) Positive working resist compositions process of exposing, stripping developing
JPH05247386A (ja) ポジ型感光性アニオン電着塗料樹脂組成物、ポジ型感光性アニオン電着塗料、電着塗装浴、電着塗装法及びプリント回路板の製造法
JPH0517711A (ja) ポジ型感光性アニオン型電着塗料樹脂組成物、これを用いた電着塗装浴、電着塗装法及びプリント回路板の製造法
JPH06110209A (ja) ポジ型感光性アニオン電着塗料樹脂組成物、これを用いた電着塗装浴、電着塗装法及びプリント配線板の製造法
JPH01203424A (ja) 硬化性組成物
JP2824188B2 (ja) 感光性組成物及びパターンの製造方法
JP2527271B2 (ja) ネガ型感光性電着塗料樹脂組成物及びこれを用いた電着塗装浴
JPH05152718A (ja) ポジ型感光性アニオン型電着塗料樹脂組成物、これを用いた電着塗装浴、電着塗装法及びプリント回路板の製造法
JPH05152717A (ja) ポジ型感光性アニオン型電着塗料樹脂組成物、これを用いた電着塗装浴、電着塗装法及びプリント回路板の製造法
JP2788921B2 (ja) 放射重合可能な組成物および感放射線性記録材料
JP3736654B2 (ja) 感光性樹脂組成物及びこれを用いた感光性エレメント
JPH0643644A (ja) ネガ型感光性電着塗料樹脂組成物、これを用いた電着塗装浴及びレジストパターンの製造法
JPH04269754A (ja) ポジ型感光性樹脂組成物及びこれを用いた感光性エレメント
JPH04311775A (ja) ポジ型感光性アニオン電着塗料樹脂組成物、これを用いた電着塗装浴及び電着塗装法
JPH03100073A (ja) ポジ型感光性電着塗料樹脂組成物
JPH06310829A (ja) ポジ型感光性アニオン電着塗料樹脂組成物、ポジ型感光性アニオン電着塗料、電着塗装浴、電着塗装法及びプリント回路板の製造法
JPH03100074A (ja) ポジ型感光性アニオン電着塗料樹脂組成物
JPH04209667A (ja) ポジ型感光性アニオン電着塗料樹脂組成物
JPH0320497A (ja) レジストパターンの形成法
JPS63261254A (ja) ドライフィルムレジスト用光重合性組成物
JPH04209666A (ja) ポジ型感光性カチオン電着塗料樹脂組成物
JPH0661614A (ja) レジストパターンの製造法