JPH05174997A - シンクロトロン放射装置の電磁石 - Google Patents
シンクロトロン放射装置の電磁石Info
- Publication number
- JPH05174997A JPH05174997A JP35614991A JP35614991A JPH05174997A JP H05174997 A JPH05174997 A JP H05174997A JP 35614991 A JP35614991 A JP 35614991A JP 35614991 A JP35614991 A JP 35614991A JP H05174997 A JPH05174997 A JP H05174997A
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- yoke
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 電磁石のヨークの内側の空洞部にチタンフィ
ラメントを配設することにより、効率的な真空排気を可
能とする。 【構成】 電磁石２０の空洞部２１の４箇所の隅部に、
チタンフィラメント２６を配置し、該チタンフィラメン
ト２６に対し電源から通電を行う。通電状態としたチタ
ンフィラメント２６から蒸発したチタンが、電磁石２０
の第１ヨーク固定部２３の内面にチタン膜を形成するた
め、該チタン膜に空洞部２１内部の気体分子を吸着させ
ることができる。即ち、電磁石２０の第１ヨーク固定部
２２の内面と磁極２４の磁極面とを排気面に使用するす
ることにより、チタンゲッターポンプの原理と同様の機
能を発揮させる。
ラメントを配設することにより、効率的な真空排気を可
能とする。 【構成】 電磁石２０の空洞部２１の４箇所の隅部に、
チタンフィラメント２６を配置し、該チタンフィラメン
ト２６に対し電源から通電を行う。通電状態としたチタ
ンフィラメント２６から蒸発したチタンが、電磁石２０
の第１ヨーク固定部２３の内面にチタン膜を形成するた
め、該チタン膜に空洞部２１内部の気体分子を吸着させ
ることができる。即ち、電磁石２０の第１ヨーク固定部
２２の内面と磁極２４の磁極面とを排気面に使用するす
ることにより、チタンゲッターポンプの原理と同様の機
能を発揮させる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、例えば超々ＬＳＩ回路
の作成、医療診断、構造解析等の各種分野へ適用される
シンクロトロン放射装置の電磁石に関する。
の作成、医療診断、構造解析等の各種分野へ適用される
シンクロトロン放射装置の電磁石に関する。
【０００２】
【従来の技術】例えば図４に示す如く、シンクロトロン
放射装置１では、電子発生装置（電子銃）２で発生した
電子ビームは直線加速器（ライナック）３で光速近くに
加速され、ビーム輸送部４の偏向電磁石５で偏向され、
インフレクタ６を介してシンクロトロンの、真空チャン
バとしての蓄積リング７内に入射される。該蓄積リング
７に入射された電子ビームは、高周波加速空洞８でエネ
ルギーを与えられながら収束電磁石９、１０で収束さ
れ、偏向電磁石１１で偏向され蓄積リング７内を周回し
続ける。偏向電磁石１１で偏向される時に発生するシン
クロトロン放射光１２は、ビームチャンネル１３を通し
て出射された後、例えば局所構造解析装置１４へ送られ
局所構造解析用光源等として利用される。
放射装置１では、電子発生装置（電子銃）２で発生した
電子ビームは直線加速器（ライナック）３で光速近くに
加速され、ビーム輸送部４の偏向電磁石５で偏向され、
インフレクタ６を介してシンクロトロンの、真空チャン
バとしての蓄積リング７内に入射される。該蓄積リング
７に入射された電子ビームは、高周波加速空洞８でエネ
ルギーを与えられながら収束電磁石９、１０で収束さ
れ、偏向電磁石１１で偏向され蓄積リング７内を周回し
続ける。偏向電磁石１１で偏向される時に発生するシン
クロトロン放射光１２は、ビームチャンネル１３を通し
て出射された後、例えば局所構造解析装置１４へ送られ
局所構造解析用光源等として利用される。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記シ
ンクロトロン放射装置においては、真空チャンバ（蓄積
リング）の外側に電磁石を配設した構造であるため、該
真空チャンバの内部の真空排気を行うためには、別個に
排気ポンプ等の大掛かりな排気手段を設置しなければな
らず、また、前記の排気ポンプ等により排気を行ったと
しても、効率的な真空排気を行うことができないという
問題があった。また、前記のような問題を解決すべく、
電磁石自体を電磁石の形状より大形状の真空パイプの内
部に収納することも考えられるが、実用上からは非現実
的である。
ンクロトロン放射装置においては、真空チャンバ（蓄積
リング）の外側に電磁石を配設した構造であるため、該
真空チャンバの内部の真空排気を行うためには、別個に
排気ポンプ等の大掛かりな排気手段を設置しなければな
らず、また、前記の排気ポンプ等により排気を行ったと
しても、効率的な真空排気を行うことができないという
問題があった。また、前記のような問題を解決すべく、
電磁石自体を電磁石の形状より大形状の真空パイプの内
部に収納することも考えられるが、実用上からは非現実
的である。
【０００４】本発明は前記課題を解決するもので、電磁
石のヨークの内側に配設した空洞部に排気手段（チタン
フィラメント）を配設することにより、効率的な真空排
気を可能としたシンクロトロン放射装置の電磁石の提供
を目的とする。
石のヨークの内側に配設した空洞部に排気手段（チタン
フィラメント）を配設することにより、効率的な真空排
気を可能としたシンクロトロン放射装置の電磁石の提供
を目的とする。
【０００５】
【課題を解決するための手段】前記目的を達成するた
め、本発明は、ヨークを具備してなるシンクロトロン放
射装置の電磁石において、前記ヨークの内部を貫通して
形成され、電子ビームを通すための高真空状態とされた
空洞部と、前記空洞部内に配設され、前記空洞部が形成
された前記ヨークの内面に活性な金属蒸着膜を形成して
該金属蒸着膜に前記空洞部内の気体を吸着させる排気手
段とを具備することを特徴とする。尚、前記排気手段は
実施例のチタンフィラメントに対応するものである。
め、本発明は、ヨークを具備してなるシンクロトロン放
射装置の電磁石において、前記ヨークの内部を貫通して
形成され、電子ビームを通すための高真空状態とされた
空洞部と、前記空洞部内に配設され、前記空洞部が形成
された前記ヨークの内面に活性な金属蒸着膜を形成して
該金属蒸着膜に前記空洞部内の気体を吸着させる排気手
段とを具備することを特徴とする。尚、前記排気手段は
実施例のチタンフィラメントに対応するものである。
【０００６】
【作用】本発明によれば、電磁石と、真空チャンバとし
ての空洞部とを一体構造とすると共に、空洞部内に配設
した排気手段によりヨークの内面に金属蒸着膜を形成さ
せ、該金属蒸着膜に空洞部内の気体分子を吸着させるよ
うにしているため、ヨークの内面を排気面として使用す
ることが可能となる。この結果、効率的な真空排気を行
うことができる。これにより、従来の如く電磁石と真空
チャンバとを別個に設けた場合のように、真空排気用の
排気ポンプを別個に設置したり、効率的な真空排気がで
きない等の不具合を解消することができる。
ての空洞部とを一体構造とすると共に、空洞部内に配設
した排気手段によりヨークの内面に金属蒸着膜を形成さ
せ、該金属蒸着膜に空洞部内の気体分子を吸着させるよ
うにしているため、ヨークの内面を排気面として使用す
ることが可能となる。この結果、効率的な真空排気を行
うことができる。これにより、従来の如く電磁石と真空
チャンバとを別個に設けた場合のように、真空排気用の
排気ポンプを別個に設置したり、効率的な真空排気がで
きない等の不具合を解消することができる。
【０００７】
【実施例】以下、本発明の実施例を図面に基づいて説明
する。図１及び図２はシンクロトロン放射装置に搭載さ
れる本実施例の４極の電磁石２０の構造であり、該電磁
石２０は、薄肉の積層構造とされると共に内側に空洞部
２１が配設されたヨーク２２と、該ヨーク２２の外周面
に配設されたヨーク固定部２３と、該ヨーク２２の内側
に配設された磁極２４と、該磁極２４に巻回されたコイ
ル２５とから構成されている。前記コイル２５は、磁極
２３に対する装着・取外しが可能な寸法形状に形成され
ており、一体構造または積層構造とされている。この場
合、前記４個の磁極２４の内、対角線上に位置する２個
の磁極２４を前記ヨーク２２から分割した状態（図中破
線箇所で分割）で製作しておき、該磁極２４を後でヨー
ク２２の内側に固着すると共に、該磁極２４にコイル２
５を巻回する組立作業を行うことも可能である。また、
前記各ヨーク固定部２３の接合部分を、溶接Ｙで密封状
態とすることにより、前記ヨーク２２の内部の空洞部２
１を高真空状態に保持するようになっている。尚、前記
各ヨーク固定部２３の接合部分は、例えば図３に示すよ
うな溶接Ｙ’を行ってもよい。
する。図１及び図２はシンクロトロン放射装置に搭載さ
れる本実施例の４極の電磁石２０の構造であり、該電磁
石２０は、薄肉の積層構造とされると共に内側に空洞部
２１が配設されたヨーク２２と、該ヨーク２２の外周面
に配設されたヨーク固定部２３と、該ヨーク２２の内側
に配設された磁極２４と、該磁極２４に巻回されたコイ
ル２５とから構成されている。前記コイル２５は、磁極
２３に対する装着・取外しが可能な寸法形状に形成され
ており、一体構造または積層構造とされている。この場
合、前記４個の磁極２４の内、対角線上に位置する２個
の磁極２４を前記ヨーク２２から分割した状態（図中破
線箇所で分割）で製作しておき、該磁極２４を後でヨー
ク２２の内側に固着すると共に、該磁極２４にコイル２
５を巻回する組立作業を行うことも可能である。また、
前記各ヨーク固定部２３の接合部分を、溶接Ｙで密封状
態とすることにより、前記ヨーク２２の内部の空洞部２
１を高真空状態に保持するようになっている。尚、前記
各ヨーク固定部２３の接合部分は、例えば図３に示すよ
うな溶接Ｙ’を行ってもよい。
【０００８】また、前記電磁石２０の内側に配設した空
洞部２１の４箇所の隅部には、チタンフィラメント２６
が配置されており、該チタンフィラメント２６に対して
は電源から通電が行われるようになっている。チタンフ
ィラメント２６を通電状態とすると、該チタンフィラメ
ント２６から蒸発したチタンが、電磁石２０のヨーク２
２の内面Ｍ１と磁極２４の磁極面Ｍ２とにチタン膜を形
成する結果、該チタン膜に空洞部２１内部の気体分子が
吸着されるようになっている。即ち、本実施例において
は、電磁石２０と真空チャンバとしての空洞部２１とを
一体構造とすると共に、該電磁石２０のヨーク２２の内
面Ｍ１と磁極２４の磁極面Ｍ２とを排気面として使用す
ることにより、公知技術である、活性の金属蒸着膜に気
体を吸着させることにより排気を行うチタンゲッターポ
ンプの原理と同様の機能を発揮させるようになってい
る。尚、前記空洞部２１内の真空排気を行う手段として
は、前記チタンゲッターポンプの他に、ゲッターイオン
ポンプ、スパッターイオンポンプ、ソープションポン
プ、クライオポンプ等がある。
洞部２１の４箇所の隅部には、チタンフィラメント２６
が配置されており、該チタンフィラメント２６に対して
は電源から通電が行われるようになっている。チタンフ
ィラメント２６を通電状態とすると、該チタンフィラメ
ント２６から蒸発したチタンが、電磁石２０のヨーク２
２の内面Ｍ１と磁極２４の磁極面Ｍ２とにチタン膜を形
成する結果、該チタン膜に空洞部２１内部の気体分子が
吸着されるようになっている。即ち、本実施例において
は、電磁石２０と真空チャンバとしての空洞部２１とを
一体構造とすると共に、該電磁石２０のヨーク２２の内
面Ｍ１と磁極２４の磁極面Ｍ２とを排気面として使用す
ることにより、公知技術である、活性の金属蒸着膜に気
体を吸着させることにより排気を行うチタンゲッターポ
ンプの原理と同様の機能を発揮させるようになってい
る。尚、前記空洞部２１内の真空排気を行う手段として
は、前記チタンゲッターポンプの他に、ゲッターイオン
ポンプ、スパッターイオンポンプ、ソープションポン
プ、クライオポンプ等がある。
【０００９】また、前記電磁石２０の端部にはフランジ
２７が配設されており、該フランジ２７を介して隣接す
る他の電磁石あるいは真空チャンバと接続されるように
なっている。また、前記電磁石２０にはコイル２５、あ
るいはチタンフィラメント２６へ接続される端子２８が
配設されており、該端子２８へは電源ケーブルが接続さ
れるようになっている。また、前記電磁石２０の空洞部
２１は真空ポンプ２９へ接続されており、該真空ポンプ
２９により前記空洞部２１を高真空状態（本実施例では
例えば１０-5〜１０-7Ｔｏｒｒとしているが、該数値に
限定されるものではない）とするようになっている。こ
れにより、ゴムのＯリングの使用が可能とされている。
本実施例の電磁石２０では、従来の如く、電磁石とは別
個に真空チャンバを配設する代わりに、ヨーク２２の内
側に空洞部２１を配設し、高真空状態とした空洞部２１
に電子を通すようになっている。
２７が配設されており、該フランジ２７を介して隣接す
る他の電磁石あるいは真空チャンバと接続されるように
なっている。また、前記電磁石２０にはコイル２５、あ
るいはチタンフィラメント２６へ接続される端子２８が
配設されており、該端子２８へは電源ケーブルが接続さ
れるようになっている。また、前記電磁石２０の空洞部
２１は真空ポンプ２９へ接続されており、該真空ポンプ
２９により前記空洞部２１を高真空状態（本実施例では
例えば１０-5〜１０-7Ｔｏｒｒとしているが、該数値に
限定されるものではない）とするようになっている。こ
れにより、ゴムのＯリングの使用が可能とされている。
本実施例の電磁石２０では、従来の如く、電磁石とは別
個に真空チャンバを配設する代わりに、ヨーク２２の内
側に空洞部２１を配設し、高真空状態とした空洞部２１
に電子を通すようになっている。
【００１０】次に、上記の如く構成した本実施例の４極
電磁石の作用について説明する。本実施例では、電磁石
２０を、ヨーク２２、ヨーク固定部２３、磁極２４、コ
イル２５から構成すると共に、各ヨーク固定部２３の接
合部分を溶接Ｙで密封状態とし、更に、ヨーク２２の内
側に空洞部２１を形成すると共に、空洞部２１内の４箇
所の隅部にチタンフィラメント２６を配置する構成して
いるため、電磁石２０と、真空チャンバとしての空洞部
２１とを一体化することができ、空洞部２１内の効率的
な真空排気を行うことができる。ヨーク２２内側の空洞
部２１内の真空排気を行う場合には、前記チタンフィラ
メント２６へ通電すると、該チタンフィラメント２６か
ら蒸発したチタンが、電磁石２０のヨーク２２の内面Ｍ
１と磁極２４の磁極面Ｍ２とにチタン膜が形成される。
これにより、チタン膜に空洞部２１内の気体分子を吸着
させることができる。即ち、本実施例の電磁石２０によ
れば、ヨーク２２の内面Ｍ１と磁極２４の磁極面Ｍ２と
を排気面に使用しているため、従来と比較し、ヨーク２
２内側の空洞部２１内における効率的な真空排気を可能
とすることができる。
電磁石の作用について説明する。本実施例では、電磁石
２０を、ヨーク２２、ヨーク固定部２３、磁極２４、コ
イル２５から構成すると共に、各ヨーク固定部２３の接
合部分を溶接Ｙで密封状態とし、更に、ヨーク２２の内
側に空洞部２１を形成すると共に、空洞部２１内の４箇
所の隅部にチタンフィラメント２６を配置する構成して
いるため、電磁石２０と、真空チャンバとしての空洞部
２１とを一体化することができ、空洞部２１内の効率的
な真空排気を行うことができる。ヨーク２２内側の空洞
部２１内の真空排気を行う場合には、前記チタンフィラ
メント２６へ通電すると、該チタンフィラメント２６か
ら蒸発したチタンが、電磁石２０のヨーク２２の内面Ｍ
１と磁極２４の磁極面Ｍ２とにチタン膜が形成される。
これにより、チタン膜に空洞部２１内の気体分子を吸着
させることができる。即ち、本実施例の電磁石２０によ
れば、ヨーク２２の内面Ｍ１と磁極２４の磁極面Ｍ２と
を排気面に使用しているため、従来と比較し、ヨーク２
２内側の空洞部２１内における効率的な真空排気を可能
とすることができる。
【００１１】
【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、ヨ
ークを具備してなるシンクロトロン放射装置の電磁石に
おいて、前記ヨークの内部を貫通して形成され、電子ビ
ームを通すための高真空状態とされた空洞部と、前記空
洞部内に配設され、前記空洞部が形成された前記ヨーク
の内面に活性な金属蒸着膜を形成して該金属蒸着膜に前
記空洞部内の気体を吸着させる排気手段とを具備する構
成としたので、下記の効果を奏することができる。電磁
石と、真空チャンバとしての空洞部とを一体構造とする
と共に、空洞部内に配設した排気手段によりヨークの内
面に金属蒸着膜を形成させ、該金属蒸着膜に空洞部内の
気体分子を吸着させるようにしているため、ヨークの内
面を排気面として使用することが可能となり、この結
果、効率的な真空排気を行うことができる。これによ
り、従来の如く電磁石と真空チャンバとを別個に設けた
場合のように、真空排気用の排気ポンプを別個に設置し
たり、効率的な真空排気ができない等の不具合を解消す
ることができる。
ークを具備してなるシンクロトロン放射装置の電磁石に
おいて、前記ヨークの内部を貫通して形成され、電子ビ
ームを通すための高真空状態とされた空洞部と、前記空
洞部内に配設され、前記空洞部が形成された前記ヨーク
の内面に活性な金属蒸着膜を形成して該金属蒸着膜に前
記空洞部内の気体を吸着させる排気手段とを具備する構
成としたので、下記の効果を奏することができる。電磁
石と、真空チャンバとしての空洞部とを一体構造とする
と共に、空洞部内に配設した排気手段によりヨークの内
面に金属蒸着膜を形成させ、該金属蒸着膜に空洞部内の
気体分子を吸着させるようにしているため、ヨークの内
面を排気面として使用することが可能となり、この結
果、効率的な真空排気を行うことができる。これによ
り、従来の如く電磁石と真空チャンバとを別個に設けた
場合のように、真空排気用の排気ポンプを別個に設置し
たり、効率的な真空排気ができない等の不具合を解消す
ることができる。
【図１】本発明の実施例の電磁石の概略正面図である。
【図２】本実施例の電磁石の概略側面図である。
【図３】本実施例の溶接構造例の概略図である。
【図４】シンクロトロン放射装置の概略平面図である。
２０ 電磁石 ２１ 空洞部 ２２ ヨーク ２６ チタンフィラメント（排気手段）
Claims (1)
- 【請求項１】 ヨークを具備してなるシンクロトロン放
射装置の電磁石において、 前記ヨークの内部を貫通して形成され、電子ビームを通
すための高真空状態とされた空洞部と、 前記空洞部内に配設され、前記空洞部が形成された前記
ヨークの内面に活性な金属蒸着膜を形成して該金属蒸着
膜に前記空洞部内の気体を吸着させる排気手段と、を具
備することを特徴とするシンクロトロン放射装置の電磁
石。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP35614991A JPH05174997A (ja) | 1991-12-24 | 1991-12-24 | シンクロトロン放射装置の電磁石 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP35614991A JPH05174997A (ja) | 1991-12-24 | 1991-12-24 | シンクロトロン放射装置の電磁石 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05174997A true JPH05174997A (ja) | 1993-07-13 |
Family
ID=18447584
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP35614991A Withdrawn JPH05174997A (ja) | 1991-12-24 | 1991-12-24 | シンクロトロン放射装置の電磁石 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH05174997A (ja) |
-
1991
- 1991-12-24 JP JP35614991A patent/JPH05174997A/ja not_active Withdrawn
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 19990311 |